JP2009008200A - 流体軸受装置およびスピンドルモータ - Google Patents

Abstract

【課題】小型化・薄型化された軸受において十分なラジアル軸受部長さを確保しつつ、充填された潤滑流体が漏れ出さないようにした流体軸受装置を提供する。
【解決手段】シャフトと、シャフトに対して回転自在であるスリーブと、シャフトに固定され、スリーブとの間にスラスト軸受部を形成する一対のシール部材と、スリーブの端面に形成された環状の凸部と、潤滑流体の界面を有するテーパキャピラリシール部と、一対のスラスト軸受部間を連通するスリーブに設けられた連通路と、を備え、テーパキャピラリシール部の最も狭い部分と連通路の開口部との回転中心軸からの距離が異なっていることにより、ラジアル軸受部長さを確保し、潤滑流体が漏洩しない流体軸受装置とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、磁気ディスク装置などに使用される流体軸受装置に関するものであり、特に、両端開口型流体軸受装置の構造に関するものである。

従来用いられていた玉軸受装置に代わって、近年、回転精度に優れ、しかも静音性にも優れている流体軸受装置を用いたスピンドルモータを搭載しているハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤとする）は、パーソナルコンピュータ以外の多くの家電製品などに用いられてきている。

この種のＨＤＤに用いられるスピンドルモータに用いられている流体軸受装置としては、片端開口型の流体軸受装置と両端開口型の流体軸受装置がある。特に、両端開口型の流体軸受装置は、軸受剛性などの面で片端開口型の流体軸受装置よりも優れているためにサーバーなどの高信頼性が必要とされるＨＤＤ用として多く用いられている。

この両端開口型の流体軸受装置として、例えば、図４に図示している特許文献１に開示された流体軸受装置がある。この流体軸受装置２００は、一端がベース２０３に固定されたシャフト２０１と、シャフト２０１との間にラジアル軸受部２０６（２０６ａ、２０６ｂ）を形成し、シャフト２０１に対して回転可能に取付けられたスリーブ２０２と、シャフト２０１に固定されスリーブ２０２との間にスラスト軸受部を形成すると共に軸受内部を循環する潤滑流体をシールする一対のシール部材２０４（２０４ａ、２０４ｂ）とを有している。また、スリーブ２０２には、スラスト軸受部どうしを連通する第１の連通路２０５が形成されている。更に、スリーブ２０２には、連通路２０５とラジアル軸受部２０６とを連通する第２の連通路２０７が形成されており、ラジアル軸受部２０５に形成されている２つの動圧発生部（２０６ａ、２０６ｂ）の間に、第２の連通路２０７の開口部２０７ａが位置している。

この流体軸受装置において、ラジアル軸受隙間、スラスト軸受隙間、第１、第２の連通路の内径および、ラジアル動圧発生溝の形状を所定の寸法、形状に設定し、図６中の矢印方向に潤滑剤が流れるような循環流を形成している。

このような循環流を形成することで、シール部近傍の圧力を軽減し、シール部から潤滑剤が漏洩することを防止する技術が開示されている。

また、特許文献２には、シール部材２０４に形成されている傾斜面２０４ｃとスリーブ２０２の内周面２０２ａとの間に形成されているキャピラリシール部２０８と同心円上に位置するようにスリーブ２０２に複数の連通路２０５を設け、連通路２０５に対向するシール部材２０４ａ、２０４ｂの角部２０４ａａ、２０４ｂｂを残りのシール部材２０４ａ，２０４ｂの他の３つの角部よりも大きく切除した構成となっている。この構成によれば、潤滑剤に大気の圧力が伝達し易くなるため、外部からの衝撃や振動により潤滑油が軸受の上下いずれか一方の開口部に偏ったとしても、素早く軸受内に戻るようになり、その結果、潤滑油の漏洩が軽減される技術が開示されている。
特開２００５−４８８９０号公報 特開２００２−７０８４９号公報

しかしながら、ＨＤＤの小型化・薄型化に伴い、両端開口型の流体軸受装置の軸方向長さは、短くしなければならない。軸方向長さを短くするためには、ラジアル軸受部または、キャピラリシール部を短くする必要がある。

特許文献１に開示された従来技術では、２つのラジアル軸受部の間に連通路２０７を確保しなければならないので、必要なラジアル軸受部長さを確保できないので、ラジアル軸受剛性が低下してしまい、ラジアル軸受部にてシャフトとスリーブが接触するという不具合を生じることとなる。

また、特許文献２に開示された従来技術では、シール部材２０４ａ、２０４ｂの角部２０４ａａ、２０４ｂｂを残りのシール部材２０４ａ，２０４ｂの他の３つの角部よりも大きく切除した構成としなければならなく、シール部分の長さが短くなり、キャピラリ−効果が低下してしまい、潤滑流体が漏洩する可能性が高くなる。

つまり、両端開口型の流体軸受装置を小型化・薄型化するにあたり、ラジアル軸受部または、キャピラリシール部のどちらかの軸方向長さを短くする必要があり、流体軸受装置に必要な性能であるラジアル軸受剛性または、潤滑流体漏れ防止構造の一方を犠牲にしなければならないという課題を有していた。

加えて、図６に図示しているように、連通孔２０５が、キャピラリシール部２０８と同心円上に形成されているので、軸方向の外的な衝撃・振動が流体軸受装置に加わることによりスリーブ２０２が上下方向に移動し、連通孔２０５からキャピラリシール部２０８に向かって急激な潤滑流体の移動が生じることとなり、流体軸受装置内部に潤滑流体が戻る前に、キャピラリシール部２０８から潤滑流体が漏洩するという課題も有していた。

本発明は、上記課題を解決するもので、流体軸受装置を小型化・薄型化しても、必要なラジアル軸受剛性を確保し、急激な外部からの衝撃・振動などが加わったとしても潤滑流体が外部に洩れたりすることがなく且つ、長時間にわたって良好に流体軸受装置内に潤滑流体を維持できる両端開口型の流体軸受装置を提供することを目的とする。

前記従来の課題を解決するために、本発明の流体軸受装置は、シャフトと、シャフトが配置されている軸受穴を有し、シャフトの外周面と軸受穴との間でラジアル軸受部を形成されているシャフトに対して回転自在であるスリーブと、シャフトに固定され、スリーブとの間にスラスト軸受部を形成する一対のシール部材と、スリーブの端面に形成された筒状突出部と、筒状突出部の内周面とシール部材の外周面との間に設けられた潤滑流体の界面を有するテーパキャピラリシール部と、軸受穴とは異なる前記一対のスラスト軸受部間を連通するスリーブに設けられた連通路と、を備え、テーパキャピラリシール部の最も狭い部分と連通路の開口部との回転中心軸からの距離が異なっていることを特徴としたものである。

また、本発明は、スラスト軸受部を形成している筒状突出部の半径方向内側であるスリーブの端面には、スラスト軸受部よりも半径方向外方部に溝部が形成されており、シール部材には、溝に間隙を介して配置されている突出部が形成されていることを特徴としたものである。

更に、テーパキャピラリシール部の位置とラジアル軸受部の位置が、軸方向にて重なり合っていることを特徴としたものである。

上記の構成になっていることで、ラジアル軸受部の長さを短くすることなく、テーパキャピラリシール部を必要な長さだけ確保できるので、高ラジアル剛性で、信頼性の高いシール構成が形成できる。

本発明の流体軸受装置によれば、小型化、薄型化された場合でも、十分なラジアル軸受長さを確保できると共に、流体軸受装置の両端部に潤滑剤漏洩防止のためのシール部分を確保することが可能となり、急激な外部からの衝撃・振動などが加わったとしても、軸受性能を安定した状態で長時間にわたって良好に維持できる両端開口型の流体軸受装置を備えたスピンドルモータを提供することができる。

以下に、本発明の流体軸受装置および、スピンドルモータの実施の形態を図面とともに詳細に説明する。

図１は、本発明の第１の実施の形態における流体軸受装置２を搭載したスピンドルモータ１の断面図を示す。以下の説明において、理解し易いように、図１に示すように、ハブ４２側を上方（上側）、ベース３側を下方（下側）などとして説明するが、実際に使用する場合はこの配置に限るものではないことは当然である。

[スピンドルモータ１の全体の構成]
スピンドルモータ１は、図１に示すように、主に、ベース３と、ロータ４と、流体軸受装置２と、ステータ５とを備えている。

ベース３は、スピンドルモータ１の固定部を構成しており、記録再生装置（ＨＤＤ）のハウジングの一部である。また、ベース３は、筒状部３１を有しており、筒状部３１の内側には、流体軸受装置２のシャフト３２の一端が固定されている。

ロータ４は、スピンドルモータ１の回転部であって、磁気回路で発生する回転力により回転駆動される。なお、ロータ４の構成については、後段にて詳述する。

流体軸受装置２は、図１に示すように、ベース３およびステータ５に対して相対回転可能な状態で支持するための装置である。なお、流体軸受装置２については、後段にて詳述する。

ステータ５は、後述するマグネット４１とともに磁気回路を構成しており、筒状部３１の外周部に固定されている。そして、この磁気回路により発生した回転方向の駆動力により、ベース３およびステータ５に対してロータ４が回転駆動される。

[ロータ４の構成]
ロータ４は、図１に示すように、マグネット４１とハブ４２とを有している。

ロータマグネット４１は、ステータ５の半径方向における外周側において対向するように配置された環状の部材であって、ハブ４２の内周側に固定されている。

ハブ４２は、記録ディスク（図示せず）が装着される部材であり、後述するスリーブ２１（図２参照）の外周側に接着剤などにより固定されている。また、ハブ４２は、図１に示すようにハブ本体４３と、ディスク載置部４４とを有している。

ハブ本体４３は、記録ディスクを半径方向に支持する筒状の部分であって、スリーブ２１の外周側に固定されている。ハブ本体４３の外周側には、例えば、２枚の記録ディスクが挿入、配置される。

ディスク載置部４４は、記録ディスクを載置するための部分であり、ハブ本体４３の軸方向における下端部の外周側に形成されている。なお、記録ディスクとしては、例えば、情報アクセス手段（図示せず）によって情報を読み書きできる磁気ディスクなどが含まれる。

[流体軸受装置２の構成]
流体軸受装置２は、図２に示すように、スリーブ２１の両端が開放された両端開口型の流体軸受装置であって、シャフト３２とスリーブ２１とを有している。また、この流体軸受装置２は、固定されたシャフト３２の周りを回転体が回転するシャフト固定型の流体軸受装置である。

（シャフト）
シャフト３２は、流体軸受装置２の固定側の部材であって、軸方向における下端部がベース３の筒状部３１の内側に形成されている穴３１ａに固定されている。また、シャフト３２は、シャフト本体３２ａと、第１スラストフランジ３２ｂと、第２スラストフランジ３２ｃとを有している。

シャフト本体３２ａは、シャフト３２の主要部を構成する円柱状の部材であって、スリーブ２１の内周側にスリーブ２１との間に微小隙間を介して配置されている。

第１スラストフランジ３２ｂは、例えば、シャフト本体３２ａに圧入接着された環状の部材であって、軸方向においてスリーブ２１の軸方向下側端面と微小隙間を介して対向するようにスリーブ２１の第１筒状突出部２１ｂの内周側に配置されている。

また、図１に図示されているように、流体軸受装置２をベース３に取付ける際に、第１スラストフランジ３２ｂの軸方向外側の面３２ｂｂをベース３の筒状部３１の内周側に形成されている面３１ｂに当接させることで、流体軸受装置２（ディスク載置部４４）の軸方向高さを容易に位置決めできるようになっており、軸方向外側の面３２ｂｂおよび、面３１ｂを接着固定するにより、強固に流体軸受装置をベースに固定することができるようになっている。また、より強固に流体軸受装置をベースに固定するために、スラストフランジ３２ｂの軸方向外側の面３２ｂｂに接着用の溝を形成してもよい。

第２スラストフランジ３２ｃは、スリーブ２１に対して軸方向の第１スラストフランジ３２ｂと反対側に配置された環状の部材であって、例えば、シャフト本体３２ａに対してレーザ溶接や圧入、接着等によって固定されている。また、第２スラストフランジ３２ｃは、スリーブ２１の軸方向上側端面と軸方向に微小隙間を介して対向するようにスリーブ２１の第２筒状突出部２１ｃの内周側に配置されている。

また、第１・第２スラストフランジ３２ｂ・３２ｃには、スリーブ２１の一部と対向する側の面に、エッチング等によってスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成されている。なお、第１・第２スラストフランジ３２ｂ・３２ｃに形成されたスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａについては、後段にて詳述する。

（スリーブ２１）
スリーブ２１は、流体軸受装置２に含まれる上下対称な回転側の筒状部材であって、シャフト３２に対して相対回転可能な状態で配置された筒状の部材である。そして、スリーブ２１は、例えば、外周面に複数のＤカット部分が形成されたインナースリーブ２３を、アウタースリーブ２４に圧入（嵌挿）して組み立てることによって、後述する連通孔２２ｅを有する筒状の部分を形成している。具体的には、スリーブ２１は、前述したように、インナースリーブ２３と、アウタースリーブ２４とによって構成され、複数のラジアル動圧発生溝７１ａ・７１ｂと、第１筒状突出部２１ｂと、第２筒状突出部２１ｃと、複数の連通孔２２ｅとを有している。また、インナースリーブ２３とアウタースリーブ２４とは、銅系合金によって形成されており、それぞれ単独にブランク加工が施された後で互いに圧入固定されて一体となる。その後、中加工、精密加工、ラジアル動圧溝加工が施されて、内径形状測定後に無電解Ｎｉりんメッキが所定厚み（約１〜１０μｍ厚み）だけ行われる。

ラジアル動圧発生溝７１ａ、７１ｂは、スリーブ２１の内周面に形成された円周方向に均等に配置されたヘリングボーン形状の溝である。また、ラジアル動圧発生溝７１ａ、７１ｂの間には、スリーブ２１の内周側に形成された環状の凹み部（図示しない）が形成されている。

第１・第２筒状突出部２１ｂ・２１ｃは、スリーブ２１の両端部の外周部が軸方向外側に突出する筒状の部分である。第１・第２筒状突出部２１ｂ・２１ｃの内周部には、第１・第２のスラストフランジ３２ｂ・３２ｃが配置されており、そのため、第１・第２筒状突出部２１ｂ・２１ｃの内径は、スリーブ２１の内径より大きく設定されている。

連通孔２２ｅは、インナースリーブ２３とアウタースリーブ２４との間に形成されており、スリーブ２１を軸方向に貫通するように、例えば、円周方向に均等に配置されている。
シャフト３２および、スリーブ２１の間には、潤滑流体４６が充填されている。そして、第１スラストフランジ３２ｂと第１筒状突出部２１ｂとの間および、第２スラストフランジ３２ｃと第２筒状突出部２１ｃとの間には、後述するテーパキヤピラリシール部４８ａ・４８ｂが形成されている。

そして、この流体軸受装置２では、ロータ４を半径方向に支持するラジアル軸受部７１が、ラジアル動圧発生溝７１ａ・７１ｂを有するスリーブ２１、シャフト３２およびその間に介在する潤滑流体４６によって構成される。また、ロータ４を軸方向に支持する第１スラスト軸受部７２は、スラスト動圧発生溝７２ａを有する第１スラストフランジ３２ｂ、スリーブ２１およびその間に介在する潤滑流体４６によって構成される。さらに、ロータ４を軸方向に支持する第２スラスト軸受部７３は、スラスト動圧発生溝７３ａを有する第２スラストフランジ３２ｃ、スリーブ２１およびその間に介在する潤滑流体４６によって構成される。

ここで、回転側の部材（スリーブ２１など）が固定側の部材（シャフト３２など）に対して相対回転すると、各軸受部７１・７２・７３においてにおいてシャフト３２の半径方向および軸方向において、それぞれ回転側の部材と所定の隙間を空けた状態で支持する力（動圧）が発生する。これにより、回転側の部材と固定側の部材とを非接触状態として効率よくスピンドルモータ１における回転を開始することができる。

上述したように、流体軸受装置２を構成するシャフト３２、スリーブ２１などの間に形成された隙間に、ラジアル動圧発生溝７１ａ・７１ｂおよびスラスト動圧発生溝７２ａ，７３ａに流入して動圧を発生させる潤滑油４６が充填されている。

そして、本実施形態では、小型化・薄型化された軸受において十分なラジアル軸受部長さを確保しつつ、充填された潤滑流体４６が漏れ出さないようにすることを目的として、図２に示すように第１・第２スラストフランジ３２ｂ・３２ｃの外周部にスリーブ２１に向かって延びている突出部３２ｂｄ・３２ｃｄが形成され、スリーブ２１には、突出部３２ｂｄ・３２ｃｄが配置されている環状凹部２４ａ・２４ｂが形成されている。

図３を用いて、さらに詳細に説明する。
図３は、図２における流体軸受装置２のテーパキャピラリシール部４８ｂの拡大図である。第２のスラストフランジ３２ｃは、環状の板状部３２ｄと軸方向内方に突出している突出部３２ｅとを有している。

第２のスラストフランジ３２ｃは、環状の板状部３２ｄの内周側面がシャフトに形成されている段部３２ａａに当接した状態で、環状の板状部３２ｄの内周面３２ｄｄがシャフトに圧入接着されることで、固定されている。本実施例では、圧入接着固定としているが、レーザ溶接固定、接着固定、圧入固定などの工法を用いて固定してもよい。

また、環状の板状部３２ｄのスリーブ２１の端面２３ｂと対向している面３２ｂｄには、ヘリングボーン形状の動圧発生溝７３ａが、エッチング工法にて形成されている。動圧発生溝７３ａは、スパイラル形状でもよく、また、切削加工、プレス加工などの工法で形成してもよい。

また、環状の板状部３２ｄは、第２スラスト軸受部７３を形成している部分でもあり、微小隙間を精度よく且つ、歪などが生じにくい剛性の高い材料で構成しなければならないために、ステンレス材、鉄系材などの材質にて形成されている。

第２のスラストフランジ３２ｃの突出部３２ｅは、環状の板状部３２ｄの外周部に形成されており、突出部３２ｅの外周面３２ｅｅが、スリーブ２１の筒状突出部２１ｂに対向するように配置されている。筒状突出部２１ｂと外周面３２ｅｅにて形成されている隙間は、軸方向外側に向かって隙間が大きくなるように、外周面３２ｅｂに傾斜面が形成されており、テーパキャピラリシール部４８ｂが形成されている。

突出部３２ｅは、第２スラスト軸受部７３を形成しているのではないので、その材質については、樹脂などの成形し易い材料などでよい。

また、第２スラストフランジ３２ｃを形成している環状の板状部３２ｄと突出部３２ｅは、環状の板状部３２ｄをプレス工法にて形成し、インサート成形にて突出部３２ｅを設けている。

一方、第２スラストフランジ３２ｃに軸方向で対向しているスリーブ２１の端面２３ｂには、連通孔２２ｅと環状凹部２４ａが形成されている。

連通孔２２ｅは、アウタースリーブ２４とインナースリーブ２３の間に形成されており、第１スラスト軸受部７２と第２スラスト軸受部７３を連通している。連通孔２２ｅの開口部２２ｅｅは、環状の板状部３２ｄに対向しているインナースリーブ２３の端面２３ｂに形成されており、第２スラスト動圧発生溝７３ａより半径方向外側に位置している。

環状凹部２４ａは、筒状突出部２１ｂより半径方向内側のアウタースリーブ２４の端面に形成されている。環状凹部２４ａには、第２スラストフランジの突出部３２ｅが、図３に図示している隙間Ａ・Ｂ・Ｃを介して位置するように配置されている。

第２スラストフランジ３２ｃの突出部３２ｅの外周面３２ｅｅとスリーブ２１の筒状突出部２１ｂおよび、環状凹部２４ａにて形成されているテーパキャピラリシール部４８ｂおよび、隙間Ａが形成されている部分は、スリーブ２１（インナースリーブ２３）内周面２３ｃとシャフト外周面３２ｚとの間に形成されているラジアル軸受部７１とは軸方向で重なるように配置されている。つまり、ラジアル軸受部７１の軸方向長さは、テーパキャピラリシール部４８ｂの軸方向長さに関係無く軸方向長さを設定できるので、より最適なラジアル軸受部長さを確保することが可能となり、より最適な軸受剛性を確保することが可能となる。

また、第２スラストフランジ３２ｃの外周面３２ｅｅに形成されている傾斜面３２ｅｂと筒状突出部２１に加えて、傾斜面３２ｅｂと環状凹部２４ａとの間にも、テーパキャピラリシール部が形成されているので、潤滑流体４６の膨張・収縮などによる界面の変化が生じても、キャピラリ効果を十分に保持することが可能である。

また、第２スラストフランジ３２ｃの突出部３２ｅと環状凹部２４ａとにより形成されている隙間Ｂ・Ｃにも潤滑流体４６が保持されており、テーパキャピラリシール部４８ｂの潤滑流体４６が蒸発したとしても潤滑流体４６の界面４６ａは、直ぐに軸受部または、連通孔２２ｅに達することがないので、軸受隙間への気泡の混入が防止できるとともに、軸受寿命を延ばすことが可能であり、流体軸受装置としての信頼性が向上する。

更に、連通孔２２ｅの開口部２２ｅｅが、テーパキャピラリシール部４８ｂより、半径方向内側に形成されているために、外的な衝撃・振動が流体軸受装置に加わり、連通孔２２ｅを通ってテーパキャピラリシール部４８ｂに向かう急激な潤滑流体の流れが生じたとしても、隙間Ａ・Ｂ・Ｃが形成されているために急激な潤滑流体４６の流れが分断されることとなり、テーパキャピラリシール部４６ｂの界面４６ａに伝達しにくく、潤滑流体４６の漏洩を防止することが可能となっている。

本発明は、潤滑流体を内部に有する、例えば、ＨＤＤ用スピンドルモータや、高密度光ディスク用スピンドルモータなどに搭載される流体軸受装置に対して広く適用することが可能である。

本発明の実施の形態１における流体軸受装置を搭載したスピンドルモータの断面図 本発明の実施の形態１における流体軸受装置の断面図 本発明の実施の形態１における流体軸受装置のテーパキャピラリシール部の拡大断面図 従来の流体軸受装置を搭載したスピンドルモータの断面図

符号の説明

１ スピンドルモータ
２、２００ 流体軸受装置
２１、２０２ スリーブ
２１ｂ、２１ｃ 筒状突出部
２２ｅ 連通孔
２３ インナースリーブ
２４ アウタースリーブ
２４ａ、２４ｂ 環状凹部
３、２０３ ベース
３１ 筒状部
３１ａ 穴
３２、２０１ シャフト
３２ａ シャフト本体
３２ｂ、３２ｃ スラストフランジ
３２ｄ 環状の板状部
３２ｅ 突出部
４ ロータ
４１ マグネット
４２ ハブ
４３ ハブ本体
４４ ディスク載置部
４６ 潤滑流体
４８ａ、４８ｂ テーパキヤピラリシール部
５ ステータ
７１、２０６ ラジアル軸受部
７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７３ａ 動圧発生溝
７２、７３ スラスト軸受部
２０２ａ 内周面
２０４、２０４ａ、２０４ｂ シール部材
２０４ｃ 傾斜面
２０４ａａ、２０４ｂｂ 角部
２０５、２０７ 連通路
２０７ａ 開口部
２０８ キャピラリシール部

Claims (6)

1. シャフトと、
   前記シャフトが配置されている軸受穴を有し、前記シャフトの外周面と前記軸受穴との間でラジアル軸受部が形成されている前記シャフトに対して回転自在であるスリーブと、
   前記シャフトに固定され、前記スリーブとの間にスラスト軸受部を形成する一対のシール部材と、
   前記スリーブの端面に形成された筒状突出部と、
   前記筒状突出部の内周面と前記シール部材の外周面との間に設けられた前記潤滑流体の界面を有するテーパキャピラリシール部と、
   前記軸受穴とは異なる前記スラスト軸受部間を連通する前記スリーブに設けられた連通路と、を備え、
   前記テーパキャピラリシール部の最も狭い部分と前記連通路の開口部との回転中心軸からの距離が異なっていることを特徴とする流体軸受装置。
2. 前記スラスト軸受部を形成している前記筒状突出部の半径方向内側である前記スリーブの端面には、前記スラスト軸受部よりも半径方向外方部に溝部が形成されており、前記シール部材には、前記溝に間隙を介して配置されている突出部が形成されていることを特徴とする請求項１記載の流体軸受装置。
3. 前記テーパキャピラリシール部の位置と前記ラジアル軸受部の位置が、軸方向にて重なり合っていることを特徴とする請求項２記載の流体軸受装置。
4. 前記突出部を有する前記シール部材は、前記突出部が樹脂材であり、その他の部分がステンレスなどの金属材料であり、インサート成形にて製造されていることを特徴とする請求項１〜３に記載の流体軸受装置。
5. 前記一対のシール部材のうち、一方のシール部材は、前記シャフトと一体成形されていることを特徴とする請求項１〜４に記載の流体軸受装置。
6. 請求項１〜５に記載の流体軸受装置を備えたスピンドルモータ。