JP2009004772A - 実装基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ソルダレジスト層の積層工程が省略できるので実装基板の製造費用が節減でき、アンダーフィル内にボイドの発生を最小化することができるので実装工程の信頼度を確保して実装成功率が改善できる、実装基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】実装基板は、一面にチップが実装される基板であって、絶縁層200と、チップが実装される位置に対応して絶縁層の一面に埋め込まれるボンディングパッド512、523と、ボンディングパッドに電気的に接続する回路パターン201と、を含み、ボンディングパッドの表面を絶縁層の表面から陥入させることを特徴とする。
【選択図】図5
【解決手段】実装基板は、一面にチップが実装される基板であって、絶縁層200と、チップが実装される位置に対応して絶縁層の一面に埋め込まれるボンディングパッド512、523と、ボンディングパッドに電気的に接続する回路パターン201と、を含み、ボンディングパッドの表面を絶縁層の表面から陥入させることを特徴とする。
【選択図】図5
Description
本発明は、実装基板及びその製造方法に関する。
電子部品の高性能化傾向に伴い、パッケージの小型化及び高密度化が進行される。これはパッケージにおいて、チップとメインボードとを接続させる実装基板、すなわち、インターポーザ(interposer)の高密度化を要求する。現在、高密度パッケージに用いられる実装方法としては、ワイヤーボンディン及びフリップボンディングがある。単位面積当たり入出力端子の数が増加する場合、実装時かかる費用などの問題から、フリップボンディングが好まれる。
図1は、従来技術に係るフリップチップボールグリッドアレイ (FCBGA:flip chip ball grid array)構造の断面図とその部分の拡大図である。チップ100は、バンプ113を通してボンディングパッド111と電気的に接続する。ボンディングパッド111は、絶縁基板110に形成された回路(図示せず)と電気的に接続する。この回路は、ソルダボール140と電気的に接続可能である。ソルダボール140は、絶縁基板110とメインボードとの間に介在され、チップ100とメインボードとの電気的な接続を提供する。
ボンディングパッド111は、絶縁基板110の一面上に形成される。ボンディングパッド111は、絶縁基板上に形成されたソルダレジスト層112に開口部を形成した後、伝導性物質をメッキする方法で形成できる。この場合、メッキ工程の公差はボンディングパッド111の高さ公差を誘発する。スクリーンプリンティング方法などによりバンプ113を形成する場合、プリントされるソルダの量が不足すると、バンプ113がチップと電気的に接続しないという問題が発生し得る。また、ソルダレジスト層112を形成し、これに開口部を形成する工程は、高精度を要する工程であって、複雑なだけでなく、費用が増加する要因となる。
前述した従来技術の問題点に鑑み、本発明は、ボンディングパッドを絶縁層に埋め込むことにより、実装基板の製造工程を単純化し、生産費用を節減して、実装工程の信頼度を向上させることを目的とする。
本発明の一実施形態によれば、一面にチップが実装される基板であって、絶縁層と、チップが実装される位置に対応して絶縁層の一面に埋め込まれるボンディングパッドと、ボンディングパッドに電気的に接続する回路パターンと、を含む実装基板が提供される。
ボンディングパッドの表面は、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されてもよい。
ボンディングパッドは、絶縁層の一面に埋め込まれたランドを含んでもよく、ランドの表面も前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されてもよい。
ボンディングパッドは、絶縁層の他面に形成された回路パターンと電気的に接続し、前期ランドに対応した位置に、絶縁層に埋め込まれたビアをさらに含むことができる。ビアの表面は前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されてもよい。
一方、ボンディングパッドがランド及びビアを含む場合、ランド及びビアの表面は、絶縁層の表面から所定深さ陥入されてもよく、この場合、ビアの表面がランドの表面に比べ前記絶縁層の表面から所定深ささらに陥入されてもよい。
本発明の他の実施形態によれば、一面に回路パターンが形成された絶縁層を提供するステップと、絶縁層の他面に前記回路パターンと電気的に接続するボンディングパッドを形成するステップと、ボンディングパッドの表面が前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されるように前記ボンディングパッドをエッチングするステップと、を含む実装基板の製造方法が提供される。
ボンディングパッドを形成するステップは、他面にランドを埋め込むステップを含むことができる。また、ランドが埋め込まれる位置に対応して、回路パターンに電気的に接続するビアを形成してもよい。また、ランド及びビアをエッチングしてボンディングパッドの表面が絶縁層の表面から陥入されるようにする。
このように、表面が絶縁層の表面から陥入された形態にボンディングパッドを形成することにより、ソルダレジスト層を積層する工程は省略できる。従って、工程が単純化し、実装基板の製造費用が節減できる。また、チップが実装される実装基板の一面を、突出部を含まない平らな形態で維持して、アンダーフィル(underfill)内にボイドが発生することを最小化することができる。こうすると、実装工程の信頼度を確保でき、実装成功率が改善される。
バンプとは、実装基板とチップとの間に介在され電気的な接続を提供する部分であって、ソルダボールの形態に限定されるものではない。
ボンディングパッドとは、実装基板において、チップとの電気的な接続を提供するバンプ及びワイヤーなどとボンディングする部分を通称する意味であって、必ずしも一つの独立した構造または物質からなるものに限定されない。以下、ボンディングパッドはバンプ及びワイヤーなどと電気的に接続するランド及びビアを含む意味で使用できる。また、ボンディングパッドは、ランド及びビアの表面に形成された腐食防止膜を含む意味で解釈され得る。
前述した以外の他の実施形態、特徴、利点が以下の図面、本発明の特許請求の範囲、及び発明の詳細な説明から明確になるだろう。
本発明の好ましい実施例によれば、絶縁層に埋め込まれたボンディングパッドを形成して、工程を単純化することができる。また、ボンディングパッドの表面が絶縁層の表面から陥入されるようにすることで、ソルダレジスト層を積層する工程が省略できるため、実装基板の製造費用が節減できる。一方、チップが実装される実装基板の一面を、突出部を含まない平らな形態に維持して、アンダーフィル内にボイドが発生することを最小化することができる。これにより、実装工程の信頼度が確保でき、実装成功率が改善される。
以下、本発明に係る実装基板及びその製造方法の好ましい実施例を添付図面を参照して詳細に説明し、添付図面を参照して説明するに当たって、同一構成要素及び対応構成要素には、同一の図面符号を付し、これに対する重複説明は省略する。
図2は、本発明の第1実施例に係る実装基板の断面図である。図2を参照すると、絶縁層200、回路パターン201、ランド210、ビア220、ボンディングパッド230、及びバンプ240が示されている。
絶縁層200は、実装基板において、チップが実装される一面に形成された絶縁層である。実装基板が複数層から形成された場合、絶縁層200はチップが実装される方向の外郭層を形成する。この場合、絶縁層200は、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂などを塗布する方法を用いて形成できる。追加的なソルダレジスト層が省略される場合、絶縁層200が実装基板の最外郭層になれる。
回路パターン201は、絶縁層200の一面に位置する。実装基板が複数層から形成された場合、回路パターン201の下方にはまた他の絶縁層が位置する。実装基板はコア基板を用いるビルドアップ工法で製作できるため、回路パターン201が他の絶縁層などに形成されたまま絶縁層200が形成されることもできる。
ランド210は、絶縁層200の他面に埋め込まれ、例えば、銅のような金属からなってもよい。ランド210は、環状(annular)に形成されてもよい。ランド210はビア220と電気的に接続され、ボンディングパッド230とバンプ240との接触面積を広げる。ランド210の形成方法は図5及び図6の詳細な説明から明らかになる。
ビア220は、絶縁層200の他面に、ランドの対応する位置に形成される。ビアは、絶縁層を貫挿して絶縁層の一面に形成された回路パターン201とランド210との間に電気的接続を提供する。ビアは、例えば、銅のような金属からなり、ビア220の形成方法は、図5及び図6の詳細な説明を通して明らかになる。
ボンディングパッド230は、ランド210とビア220とを含む。本実施例において、ランド210とビア220との表面は絶縁層200の表面と実質的に同じ高さを有する。図1では、ボンディングパッド111がソルダレジスト層112に囲まれているが、本実施例の絶縁層200は、互いに隣り合うボンディングパッド230間を区切る役割をする。
図2の(b)では、ボンディングパッド230の上方にバンプ240が形成されている。ランド210とビア220との表面がバンプ240と結合する。バンプ240は、スクリーン印刷方法で形成できる。本実施例でのボンディングパッドは、バンプを通してチップと電気的に接続するが、ワイヤーボンディングでチップに電気的に接続することも可能である。
一方、実装基板は一つの絶縁層からなることができる。この場合、絶縁層200の一面に形成された回路パターン201は、メインボードとの電気的接続を提供する、ソルダボールが連結される入出力端子を構成してもよい。
図3は、本発明の第2実施例に係る実装基板の断面図である。図3を参照すると、絶縁層200、回路パターン201、ランド310、及びビア320が示されている。同じ図面符号の構成要素については他の図面の詳細な説明を参照すればよい。
本実施例では、ビア320の表面が、絶縁層の表面に比べ所定深さ陥入されることにより、バンプ及びワイヤーなどが安定してボンディングパッドに結合できるようにすることにその特徴がある。
ビア320は、図2に示されているビア220と同じ位置に同じ物質を用いて形成することができる。ビア320の表面の陥入深さは、ランド310と電気的接続を維持できる範囲であればよい。
図1のソルダレジスト層112により提供されるボンディングパッド111周りの高さ差が、 本実施例においては、ランド310により提供されるので、ソルダレジスト層112は省略できる。
ランド310は、図2のランド210に類似した形態と属性を有することができる。但し、ビア320の表面を絶縁層200の表面より所定深さ陥入させるためにエッチング工程を用いる場合、ランド310にも影響を及ぼし得る。
本実施例において、ボンディングパッドはランド310とビア320とを含む。また、ボンディングパッドは、ランド310及びビア320の表面に形成される腐食防止膜をさらに含むことができる。腐食防止膜はニッケルまたは金メッキで形成され得る。
図4は、本発明の第3実施例に係る実装基板の断面図である。図4を参照すると、絶縁層200、回路パターン201、ランド410、及びビア420が示されている。
本実施例は、ランド410及びビア420の表面が絶縁層の表面から所定深さ陥入されることにより、ランド410及びビア420を含むボンディングパッドと、バンプなどとの結合を安定して維持できるようにし、相隣り合う複数のボンディングパッド間をより確実に区切るということに特徴がある。
ランド410及びビア420は、図3に示されているランド310及びビア320をさらにエッチングすることにより形成できる。その他の形態や属性において、ランド410及びビア420は、図2及び図3で例示したランド210,310及びビア220,320と類似の形態と属性を有することができる。
図5は、本発明の第4実施例に係る実装基板の製造方法の工程度であり、図6は、本発明の第4実施例に係る実装基板の製造方法のフローチャートである。図5及び図6を参照すると、絶縁層200、ランド510,511,512、ビアホール520、ビア521,522,523が示されている。
ステップS610で、図5の(a)に示すように、一面に回路パターンが形成されている絶縁層を提供する。上述したように、実装基板は複数層から形成されることができ、この場合、絶縁層200はチップが実装される外郭層を形成する。
絶縁層200が必ずしも回路パターン201より先に形成されるものではない。絶縁層200は、実装基板の他層に形成されている回路パターン201をカバーするように樹脂などの絶縁物質を塗布して形成することができる。
ステップS620で、図5の(b)のように、絶縁層の他面にランドを埋め込む。ランド510は、一面に金属パターンが形成されているキャリアを圧着し、後続工程でキャリアを除去する方法から形成できる。
キャリアは、金属、ガラス、及び樹脂からなることができる。キャリアにパターンを形成する過程でシード層を予め形成する工程を行ってもよい。図面には示されていないが、ランド510の表面にはこのようなシード層の一部が残存し得る。
ステップS630で、図5の(c)及び(d)のように、ランドに対応する位置にビアを形成する。
ビアホール520は、ランド510に対応する位置で絶縁層200を貫挿する形態に形成される。ビアホール520は、レーザー加工及び/またはエッチング工程で形成できる。
ビア521は、ビアホール520に伝導性物質を充填して形成される。ビアホール520には銅などの金属を充填することができる。伝導性物質の充填にはメッキ工程を活用することができる。
本実施例では、ビアホール520が完全に充填され、後続工程でビア521をエッチングする。一方、ビアホール520の一部のみを充填してビアを形成する場合、ビアをエッチングする工程は省略でき、簡素化できる。
ステップS640で、図5の(e)に示すように、ビアをエッチングする。このステップは、ビア521をエッチングしてビアの表面が絶縁層200の表面より所定深さ陥入されるということに特徴がある。これにより、従来ソルダレジスト層により提供された段差を絶縁層200が提供することになる。
ビア521とランド511が同じ物質からなった場合、同じエッチャントによりランド511もエッチングできる。しかし、ランド511の形成過程でランド511の表面に残されたシード層がランドのエッチングを妨げる場合には、同じ物質から構成されたランドであってもその高さが維持されることもある。
ステップS650で、図5の(f)に示すように、ランドをエッチングする。このステップは、ランドをエッチングしてランド512の表面が絶縁層200の表面より所定深さ陥入されるようにすることを特徴とする。
この工程に用いられるエッチャントの反応性に応じて、ビア523の高さは図5の(e)のビア522に比べさらに深くなることもできる。
一方、ランド510,511,512は、ビア521,522,523と異なる物質からなってもよく、この場合、各々をエッチングするエッチャントもそれに対応して異なる物質が使用できる。これにより、エッチング工程の工程変数を調整してビアとランドとの段差を調節することができる。
一方、本実施例では、ビアをエッチングするステップS640は、ランドをエッチングするステップS650とは別途に行われたが、一つの工程にして同時に行うこともできる。この場合、ランド510,511,512及びビア521,522,523の物性に適する一つ以上のエッチャントを混合して用いることができる。
前述した実施例の以外の多くの実施例が本発明の特許請求の範囲内に存在する。
以上、本発明についてその実施例を中心に説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば、本発明が本質的特性から逸脱しない範囲で、変形し具現できることを理解できよう。したがって、開示された実施例は限定的な観点からではなく、説明的な観点から考慮されるべきである。本発明の範囲は、前述した説明ではなく、特許請求の範囲に示されており、それと同等な範囲内にある全ての差は本発明に含まれるものとして解釈しなくてはならない。
100:チップ
110:絶縁基板
111:ボンディングパッド
112:ソルダレジスト層
113、240:バンプ
130:アンダーフィル
140:ソルダボール
200:絶縁層
210、310、410、510:ランド
220、320、420、521:ビア
230:ボンディングパッド
520:ビアホール
110:絶縁基板
111:ボンディングパッド
112:ソルダレジスト層
113、240:バンプ
130:アンダーフィル
140:ソルダボール
200:絶縁層
210、310、410、510:ランド
220、320、420、521:ビア
230:ボンディングパッド
520:ビアホール
Claims (13)
- 一面にチップが実装される基板であって、
絶縁層と、
前記チップが実装される位置に対応して前記絶縁層の一面に埋め込まれるボンディングパッドと、
前記ボンディングパッドに電気的に接続する回路パターンと、
を含む実装基板。 - 前記ボンディングパッドの表面が、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されることを特徴とする請求項1に記載の実装基板。
- 前記ボンディングパッドが、前記絶縁層の一面に埋め込まれたランドを含むことを特徴とする請求項2に記載の実装基板。
- 前記ランドの表面が、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されることを特徴とする請求項3に記載の実装基板。
- 前記絶縁層の他面に形成された回路パターンをさらに含み、
前記ボンディングパッドは、前記回路パターンと電気的に接続し、前記ランドに対応する位置に、前記絶縁層に埋め込まれたビアをさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の実装基板。 - 前記ビアの表面が、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されることを特徴とする請求項5に記載の実装基板。
- 前記ランドの表面が、前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されることを特徴とする請求項6に記載の実装基板。
- 前記ビアの表面が、前記ランドの表面に比べ前記絶縁層の表面からさらに深く陥入されることを特徴とする請求項7に記載の実装基板。
- 一面に回路パターンが形成された絶縁層を提供するステップと、
前記絶縁層の他面に前記回路パターンと電気的に接続するボンディングパッドを形成するステップと、
前記ボンディングパッドの表面が前記絶縁層の表面から所定深さ陥入されるように前記ボンディングパッドをエッチングするステップと、
を含む実装基板の製造方法。 - 前記ボンディングパッドを形成するステップが、
前記絶縁層の他面にランドを埋め込むステップを含むことを特徴とする請求項9に記載の実装基板の製造方法。 - 前記ボンディングパッドを形成するステップが、
前記ランドが埋め込まれる位置に対応して、前記回路パターンと電気的に接続するビアを形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の実装基板の製造方法。 - 前記ボンディングパッドをエッチングするステップは、前記ビアの表面が前記絶縁層の表面より所定深さ陥入されるように前記ビアをエッチングするステップを含む請求項11に記載の実装基板の製造方法。
- 前記ボンディングパッドをエッチングするステップは、前記ランドの表面が前記絶縁層の表面より所定深さ陥入されるように前記ランドをエッチングするステップを含む請求項12に記載の実装基板の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (1)
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