JP2008507846A - 単一ウエハチャンバを用いたナノ結晶シリコンの堆積 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図4
Description
[0016]明細書中で“一実施形態”又は“実施形態”について述べることは、実施形態に関連して記載される具体的な特徴、構造、又は特性は、特許請求された内容の少なくとも一実施形態にあてはまることを意味する。明細書中の様々な箇所に“一実施形態においては”という句が出現するのは、必ずしも全て同じ実施形態を意味するわけではない。
本発明の一実施形態においては、ナノ結晶シリコン膜を形成するためのプロセス環境は、単一ウエハ堆積チャンバであってもよく、低圧化学気相堆積(LPCVD)のようなCVD堆積法が、基板上のナノ結晶シリコン膜を形成するために用いられる。ナノ結晶シリコン膜の成長速度は、具体的な密度と寸法、ウエハ間の再現性、低熱量をもって、シリコン膜を形成する所望のレベルに制御されてもよい。単一ウエハ堆積チャンバは、ナノ結晶シリコン堆積の間、所望の堆積温度と圧力制御を正確に維持するという利点を与える。一実施形態においては、ナノ結晶シリコン膜は、不連続であり、ドープされた、ドープされていない双方のナノ結晶シリコン形成が、単一ウエハチャンバにより達成されてもよい。他の実施形態においては、相対的に低い堆積温度の結果としてアモルファスナノ結晶シリコン層となる。本発明の実施形態は、複数のステップ(例えば、アモルファスシリコン堆積に続いてアモルファスシリコンをナノ結晶に再結晶するためにアニーリングプロセスが続く)を含むナノ結晶シリコン層を形成する先行技術の方法にわたって、有益である。本発明の一実施形態においては、ナノ結晶シリコン形成は、堆積チャンバ内で実施される単一ステップで得られてもよい。
Claims (30)
- 単一ウエハチャンバ内に基板を位置決めするステップと、
該単一ウエハチャンバを加熱して、約300℃〜約490℃の堆積温度を生成させるステップと、
該基板の表面に対して方向付けたシリコンガス源を約0.1トール〜約3.5トールの分圧で供給して、該基板上にナノ結晶シリコン層を形成させるステップと、
を含む方法。 - 約10トール〜約350トールの堆積圧を生成させるステップを更に含む、請求項1記載の方法。
- 供給するステップが、該シリコン源に窒素キャリアガスを加える工程を更に含む、請求項2記載の方法。
- 前記ナノ結晶シリコン層が、アモルファスで不連続の層を備えている、請求項1記載の方法。
- 該ナノ結晶シリコン層が、約1E10結晶/cm2より大きい密度を有し、約5ナノメートルよりも小さい平均粒径を有する、請求項1記載の方法。
- 該シリコン源がシランを含む、請求項1記載の方法。
- 該シリコン源がジシランを含む、請求項1記載の方法。
- 加熱するステップが、該単一ウエハチャンバ内に配置された二重抵抗ヒータで該堆積温度を維持する工程を含む、請求項1記載の方法。
- 基板上にナノ結晶シリコン層を堆積させる方法であって、
該基板を単一ウエハチャンバ内に置くステップと、
約300℃〜約490℃の堆積温度でシリコン前駆物質を供給するステップと、
約10トール〜約350トールの堆積圧力を生成して、堆積速度と結晶密度を制御するステップと、
を含み、前記シリコン前駆物質が該基板の片面に限定される前記方法。 - 供給するステップが、窒素キャリアガスを該シリコン前駆物質に加える工程を更に含む請求項9記載の方法。
- 供給するステップが、約0.5トール〜約3.5トールの分圧でシランを供給する工程を更に含む、請求項10記載の方法。
- 供給するステップが、約0.1トール〜約3.0トールの分圧でジシランを供給する工程を更に含む、請求項10記載の方法。
- 供給するステップが、2つのゾーンヒータで該温度を維持する工程を更に含む、請求項9記載の方法。
- 供給するステップが、該シリコン前駆物質にインサイチュでドーパントを加える工程を更に含む、請求項9記載の方法。
- 供給するステップが、約50sccm〜約150sccmの流量で該単一ウエハチャンバに該シリコン前駆物質を送る工程を更に含む、請求項9記載の方法。
- 機械によってアクセスされるときに、
約300℃〜約490℃の堆積温度を生成させるステップと、
約10トール〜約350トールの堆積圧を生成させるステップと、
約0.1トール〜約3.5トールの分圧でシリコン源を該機械に供給して、該基板上にナノ結晶シリコン層を堆積させるステップと、
を含む動作を機械に行わせる、データを含む機械がアクセス可能な媒体、
を備えた装置。 - 該機械が、単一ウエハ堆積チャンバを含む、請求項16記載の装置。
- 該単一ウエハ堆積チャンバが、
ナノ結晶シリコン堆積の間、該基板を固定する基板ホルダと、
該単一ウエハ堆積チャンバにプロセスガス混合物を導入するガス分配システムと、
堆積圧を制御するガス出口と結合されるポンプと、
該ガス分配システムとポンプを制御するコントローラと、
を備えている、請求項17記載の装置。 - 該ナノ結晶シリコン層が、アモルファスで不連続である、請求項17記載の装置。
- 該ナノ結晶シリコン層が、約1E10結晶/cm2より大きい密度を有し、約5ナノメートルよりも小さい平均粒径を有する、請求項17記載の装置。
- ナノ結晶シリコンを堆積させる方法であって、
堆積チャンバ内に、上面と底面を有するウエハを置くステップと、
約440℃〜約490℃の温度に該堆積チャンバを加熱するステップと、
約0.5トール〜約3.5トールの分圧でウエハの上面に対してシランを窒素キャリアガスと共に方向付けるステップと、
を含む前記方法。 - 方向付けるステップが、ナノ結晶シリコンの堆積を該ウエハの該上面に限定する工程を更に含む、請求項21記載の方法。
- 加熱するステップが、二重抵抗ヒータで該堆積チャンバの該温度を上昇させ維持する工程を更に含む、請求項21記載の方法。
- 約150トール〜約350トールの堆積圧を安定化させるステップを更に含む、請求項21記載の方法。
- 方向付けるステップが、ナノ結晶シリコンの不連続層とアモルファス層を形成する工程を更に含む、請求項1記載の方法。
- ナノ結晶シリコンを堆積させる方法であって、
堆積チャンバ内に上面と底面を有するウエハを置くステップと、
約425℃〜約475℃の温度に堆積チャンバを加熱するステップと、
約0.1トール〜約3.0トールの分圧で該ウエハの上面に対してジシランを窒素キャリアガスと共に方向付けるステップと、
を含む、前記方法。 - 方向付けるステップが、ナノ結晶シリコンの堆積を該ウエハの上面に限定する工程を更に含む、請求項26記載の方法。
- 加熱するステップが、二重抵抗ヒータで該堆積チャンバの該温度を上昇させ維持する工程を更に含む、請求項26記載の方法。
- 約30トール〜約225トールの堆積圧を安定化させるステップを更に含む、請求項26記載の方法。
- 方向付けるステップが、ナノ結晶シリコンの不連続層とアモルファス層を形成する工程を更に含む、請求項26記載の方法。
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