JP2008306826A - 圧電アクチュエータ及びその駆動方法 - Google Patents
圧電アクチュエータ及びその駆動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008306826A JP2008306826A JP2007151059A JP2007151059A JP2008306826A JP 2008306826 A JP2008306826 A JP 2008306826A JP 2007151059 A JP2007151059 A JP 2007151059A JP 2007151059 A JP2007151059 A JP 2007151059A JP 2008306826 A JP2008306826 A JP 2008306826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- duty ratio
- piezoelectric
- driving
- driven body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000009471 action Effects 0.000 claims description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 7
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 4
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N lead zinc Chemical compound [Zn].[Pb] JQJCSZOEVBFDKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/145—Large signal circuits, e.g. final stages
- H02N2/147—Multi-phase circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
- H02N2/004—Rectangular vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/062—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. for removing hysteresis
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/065—Large signal circuits, e.g. final stages
- H02N2/067—Large signal circuits, e.g. final stages generating drive pulses
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電アクチュエータは、少なくとも1つの圧電素子(120)と、被駆動体(MB)に駆動力を作用させるための作用端(130)とを有し、圧電素子(120)の変形に応じて作用端(130)が振動する圧電素子構造体100を備える。圧電アクチュエータは、さらに、圧電素子(120)に電圧を印加するためのドライバ回路(300)と、ドライバ回路(300)に矩形波状の駆動信号(DV,#DV)を供給することによって、作用端(130)を振動させる駆動制御回路(200)と、を備える。駆動制御回路(300)は、駆動信号(DV,#DV)のデューティ比を変更することによって被駆動体(MB)の駆動方向を反転可能である。
【選択図】図1
Description
少なくとも1つの圧電素子と、前記被駆動体に駆動力を作用させるための作用端とを有し、前記圧電素子の変形に応じて前記作用端が振動する圧電素子構造体と、
前記圧電素子に電圧を印加するためのドライバ回路と、
前記ドライバ回路に矩形波状の駆動信号を供給することによって、前記作用端を振動させる駆動制御回路と、
を備え、
前記駆動制御回路は、前記駆動信号のデューティ比を変更することによって前記被駆動体の駆動方向を反転可能である、圧電アクチュエータ。
前記駆動制御回路は、
(i)前記駆動信号のデューティ比を50%未満の値に設定することによって前記被駆動体を第1の方向に駆動し、
(ii)前記駆動信号のデューティ比を50%に設定することによって前記被駆動体を停止させ、
(iii)前記駆動信号のデューティ比を50%を超えた値に設定することによって前記被駆動体を前記第1の方向とは逆の第2の方向に駆動する、圧電アクチュエータ。
前記駆動信号のデューティ比と前記作用端の駆動力との関係を示す特性は、前記デューティ比が50%の近傍で前記駆動力の変化の傾きが小さく、前記デューティ比が50%から離れた位置で前記駆動力の変化の傾きが大きくなる非線形な特性である、圧電アクチュエータ。
前記圧電素子構造体は、前記圧電素子構造体の振動を検出するためのセンサを有しており、
前記駆動制御回路は、
前記センサからのセンサ出力に応じて、前記圧電素子構造体が共振する共振周波数を有する共振周波数信号を生成する共振周波数信号生成部と、
前記共振周波数信号と同一の周波数を有するとともに、前記被駆動体の駆動方向に応じたデューティ比を有するように前記駆動信号を生成するデューディ制御部と、
を有する、圧電アクチュエータ。
前記圧電素子構造体は、
略矩形の板状の2つの前記圧電素子と、
前記2つの圧電素子の間に介挿された共通電極と、
前記2つの圧電素子の外面側の対応する位置に設けられて互いに接続された第1及び第2の電極と、
を含み、
前記第1と第2の電極は、前記圧電素子の表面上の2つの対角線のうちの一方の対角線に沿って偏在した状態で配置されている、圧電アクチュエータ。
A.第1実施例:
B.他の実施例:
C.変形例
図1(A)は、本発明の第1実施例としての圧電アクチュエータの構成を示す概念図である。この圧電アクチュエータは、被駆動体MBを駆動するための圧電素子構造体100と、圧電素子構造体100の動作を制御する駆動制御回路200と、駆動制御回路200から与えられた駆動信号DV,#DVに応じて圧電素子構造体100に駆動電圧を供給するドライバ回路300とを備えている。なお、符号の先頭に「#」が付されている駆動信号#DVは、駆動信号DVを反転した信号である。駆動制御回路200とドライバ回路300とを含む回路全体は、圧電素子構造体100を駆動する駆動部として機能している。この駆動部は、半導体集積回路(IC)として実装可能である。
図8は、第2実施例における圧電素子構造体と被駆動体との関係を示す説明図である。ここでは、円盤状の被駆動体MBの両側に2つの圧電素子構造体101,102が設けられている。圧電素子構造体101,102は同一の構造を有しており、例えば図2に示したものと同じ構造を採用することができる。被駆動体MBは、2つの圧電素子構造体101,102からの駆動力を受けて、右回りと左回りの両方に回転可能である。なお、2つの圧電素子構造体101,102を被駆動体MBの反対側に設けた理由は、被駆動体MBに加えられる駆動力をバランスさせて、より滑らかに回転できるようにするためである。
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
上記実施例では、駆動制御回路が圧電素子構造体の共振状態を検出できる構成を有しているものとしたが、この代わりに、共振状態を検出すること無く、予め求めた共振周波数と等しい一定の周波数を有する駆動信号を生成する回路を利用することも可能である。但し、上記実施例では、個々の圧電素子構造体の製造誤差や環境(温度など)に応じて共振周波数が変化しても、圧電素子構造体を常に共振させることができるという利点がある。
駆動信号のデューティ比と駆動力との関係としては、図1(B)に示したもの以外の任意の特性を示すものを使用することができる。例えば、駆動力の反転が生じるデューティ比の値が50%以外の値になる場合も生じ得る。例えば、図1(A)に示したように、圧電素子構造体100を被駆動体MBに対して傾いた状態で配置した場合に、駆動力の反転が生じるデューティ比は50%から多少ずれる可能性がある。また、駆動力の大きさも、左方向と右方向で同じ値が得られる必要は無く、左方向と右方向で多少の差が生じていてもよい。
62,64…圧電素子
63…補強板
65a〜65d,65g…電極
66…作用端
68…固定部(共通電極)
100…圧電素子構造体
110…振動センサ
120…圧電素子
130…作用端
200…駆動制御回路
210…デューティ制御部
220…ループフィルタ(LPF)
230…電圧制御発振器(VCO)
240…分周器
250…位相比較器
260…位相補正部
270…電圧比較器
280…CPU
300…ドライバ回路
311〜314…スイッチングトランジスタ
Claims (10)
- 被駆動体を駆動するための圧電アクチュエータであって、
少なくとも1つの圧電素子と、前記被駆動体に駆動力を作用させるための作用端とを有し、前記圧電素子の変形に応じて前記作用端が振動する圧電素子構造体と、
前記圧電素子に電圧を印加するためのドライバ回路と、
前記ドライバ回路に矩形波状の駆動信号を供給することによって、前記作用端を振動させる駆動制御回路と、
を備え、
前記駆動制御回路は、前記駆動信号のデューティ比を変更することによって前記被駆動体の駆動方向を反転可能である、圧電アクチュエータ。 - 請求項1記載の圧電アクチュエータであって、
前記駆動制御回路は、
(i)前記駆動信号のデューティ比を50%未満の値に設定することによって前記被駆動体を第1の方向に駆動し、
(ii)前記駆動信号のデューティ比を50%に設定することによって前記被駆動体を停止させ、
(iii)前記駆動信号のデューティ比を50%を超えた値に設定することによって前記被駆動体を前記第1の方向とは逆の第2の方向に駆動する、圧電アクチュエータ。 - 請求項2記載の圧電アクチュエータであって、
前記駆動信号のデューティ比と前記作用端の駆動力との関係を示す特性は、前記デューティ比が50%の近傍で前記駆動力の変化の傾きが小さく、前記デューティ比が50%から離れた位置で前記駆動力の変化の傾きが大きくなる非線形な特性である、圧電アクチュエータ。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電アクチュエータであって、
前記圧電素子構造体は、前記圧電素子構造体の振動を検出するためのセンサを有しており、
前記駆動制御回路は、
前記センサからのセンサ出力に応じて、前記圧電素子構造体が共振する共振周波数を有する共振周波数信号を生成する共振周波数信号生成部と、
前記共振周波数信号と同一の周波数を有するとともに、前記被駆動体の駆動方向に応じたデューティ比を有するように前記駆動信号を生成するデューディ制御部と、
を有する、圧電アクチュエータ。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の圧電アクチュエータであって、
前記圧電素子構造体は、
略矩形の板状の2つの前記圧電素子と、
前記2つの圧電素子の間に介挿された共通電極と、
前記2つの圧電素子の外面側の対応する位置に設けられて互いに接続された第1及び第2の電極と、
を含み、
前記第1と第2の電極は、前記圧電素子の表面上の2つの対角線のうちの一方の対角線に沿って偏在した状態で配置されている、圧電アクチュエータ。 - 少なくとも1つの圧電素子と、被駆動体に駆動力を作用させるための作用端とを有し、前記圧電素子の変形に応じて前記作用端が振動する圧電素子構造体を用いて、前記被駆動体を駆動するための圧電アクチュエータの駆動方法であって、
前記圧電素子を駆動するための駆動信号のデューティ比を変更することによって前記被駆動体の駆動方向を反転する、方法。 - 請求項6記載の方法であって、
(i)前記駆動信号のデューティ比を50%未満の値に設定することによって前記被駆動体を第1の方向に駆動し、
(ii)前記駆動信号のデューティ比を50%に設定することによって前記被駆動体を停止させ、
(iii)前記駆動信号のデューティ比を50%を超えた値に設定することによって前記被駆動体を前記第1の方向とは逆の第2の方向に駆動する、方法。 - 請求項7記載の方法であって、
前記駆動信号のデューティ比と前記作用端の駆動力との関係を示す特性は、前記デューティ比が50%の近傍で前記駆動力の変化の傾きが小さく、前記デューティ比が50%から離れた位置で前記駆動力の変化の傾きが大きくなる非線形な特性である、方法。 - 請求項6ないし8のいずれかに記載の方法であって、
前記圧電素子構造体は、前記圧電素子構造体の振動を検出するためのセンサを有しており、
前記方法は、
前記センサからのセンサ出力に応じて、前記圧電素子構造体が共振する共振周波数を有する共振周波数信号を生成する工程と、
前記共振周波数信号と同一の周波数を有するとともに、前記被駆動体の駆動方向に応じたデューティ比を有するように前記駆動信号を生成する工程と、
を含む、方法。 - 請求項6ないし9のいずれかに記載の方法であって、
前記圧電素子構造体は、
略矩形の板状の2つの前記圧電素子と、
前記2つの圧電素子の間に介挿された共通電極と、
前記2つの圧電素子の外面側の対応する位置に設けられて互いに接続された第1及び第2の電極と、
を含み、
前記第1と第2の電極は、前記圧電素子の表面上の2つの対角線のうちの一方の対角線に沿って偏在した状態で配置されている、方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007151059A JP2008306826A (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | 圧電アクチュエータ及びその駆動方法 |
US12/133,609 US7994687B2 (en) | 2007-06-07 | 2008-06-05 | Piezoelectric actuator and method for driving the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007151059A JP2008306826A (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | 圧電アクチュエータ及びその駆動方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008306826A true JP2008306826A (ja) | 2008-12-18 |
Family
ID=40095217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007151059A Pending JP2008306826A (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | 圧電アクチュエータ及びその駆動方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7994687B2 (ja) |
JP (1) | JP2008306826A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010233443A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-10-14 | Panasonic Corp | 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ |
JP2010259223A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Fujifilm Corp | 駆動装置、光学装置及び駆動信号制御回路 |
JP2019068587A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置の制御装置および圧電駆動装置の制御方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6010997B2 (ja) * | 2012-04-18 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、駆動回路及び駆動方法 |
JP6439466B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-12-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット及びロボットの駆動方法 |
EP3537593B1 (fr) * | 2018-03-09 | 2024-04-24 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Dispositif de rotation d'une roue dentée |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001211669A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-08-03 | Minolta Co Ltd | 駆動装置 |
JP2004166324A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Seiko Epson Corp | 超音波モータ駆動回路および電子機器 |
JP2004222377A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Seiko Epson Corp | 共振制御装置及び共振デバイスの制御方法 |
JP2004320979A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-11 | Seiko Epson Corp | 稼働装置および電気機器 |
JP2004336906A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Seiko Epson Corp | 駆動制御回路及び駆動制御方法 |
JP2004336862A (ja) * | 2003-05-06 | 2004-11-25 | Seiko Epson Corp | 超音波モータの駆動回路およびアクチュエータ |
JP2005328698A (ja) * | 2005-07-04 | 2005-11-24 | Seiko Epson Corp | 超音波モータ駆動回路および電子機器 |
JP2006353055A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの駆動制御装置、電子機器、および圧電アクチュエータの駆動制御方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5616980A (en) * | 1993-07-09 | 1997-04-01 | Nanomotion Ltd. | Ceramic motor |
WO2000038309A1 (fr) * | 1998-12-21 | 2000-06-29 | Seiko Epson Corporation | Actionneur piezo-electrique, compteur de temps et dispositif portable |
JP2004166479A (ja) * | 2002-06-14 | 2004-06-10 | Seiko Epson Corp | 回転型駆動装置およびこれを備えた装置 |
JP2004266943A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Seiko Epson Corp | 超音波モータ、稼働装置、光学系切換機構および電気機器 |
JP2004320980A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-11 | Seiko Epson Corp | 稼働装置および電気機器 |
-
2007
- 2007-06-07 JP JP2007151059A patent/JP2008306826A/ja active Pending
-
2008
- 2008-06-05 US US12/133,609 patent/US7994687B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001211669A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-08-03 | Minolta Co Ltd | 駆動装置 |
JP2004166324A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-10 | Seiko Epson Corp | 超音波モータ駆動回路および電子機器 |
JP2004222377A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Seiko Epson Corp | 共振制御装置及び共振デバイスの制御方法 |
JP2004320979A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-11 | Seiko Epson Corp | 稼働装置および電気機器 |
JP2004336862A (ja) * | 2003-05-06 | 2004-11-25 | Seiko Epson Corp | 超音波モータの駆動回路およびアクチュエータ |
JP2004336906A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Seiko Epson Corp | 駆動制御回路及び駆動制御方法 |
JP2006353055A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエータの駆動制御装置、電子機器、および圧電アクチュエータの駆動制御方法 |
JP2005328698A (ja) * | 2005-07-04 | 2005-11-24 | Seiko Epson Corp | 超音波モータ駆動回路および電子機器 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010233443A (ja) * | 2009-03-06 | 2010-10-14 | Panasonic Corp | 駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ |
JP2010259223A (ja) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Fujifilm Corp | 駆動装置、光学装置及び駆動信号制御回路 |
JP2019068587A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置の制御装置および圧電駆動装置の制御方法 |
JP7102702B2 (ja) | 2017-09-29 | 2022-07-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置の制御装置および圧電駆動装置の制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7994687B2 (en) | 2011-08-09 |
US20080303380A1 (en) | 2008-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008306826A (ja) | 圧電アクチュエータ及びその駆動方法 | |
JP2012257424A (ja) | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット | |
JP2012253989A (ja) | 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、及びロボット | |
JP2007267482A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP5212397B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP5350715B2 (ja) | Mems振動子 | |
JP3719249B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの駆動制御回路、時計、携帯機器、圧電アクチュエータ駆動回路の制御方法、時計の制御方法および携帯機器の制御方法 | |
JP2000514250A (ja) | ピエゾ電気変成器用パルス位置変調駆動 | |
JP2013013218A (ja) | 圧電アクチュエーターの駆動方法 | |
US9240746B2 (en) | Driving apparatus for vibration-type actuator | |
JP3718786B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2010252471A (ja) | 圧電駆動装置、圧電駆動装置の制御方法および電子機器 | |
JP2010252422A (ja) | 圧電駆動装置、圧電駆動装置の制御方法および電子機器 | |
US11515812B2 (en) | Control method for piezoelectric drive device, piezoelectric drive device, and robot | |
JP2021100308A (ja) | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、および、ロボット | |
JP4593266B2 (ja) | 振動子 | |
JP4595453B2 (ja) | 超音波モータの駆動回路およびアクチュエータ | |
JP5637195B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP2002233175A (ja) | アクチュエータ及びその駆動方法 | |
JPH07264882A (ja) | 超音波モータ | |
JP2017131052A (ja) | 圧電素子駆動装置 | |
JPH04313369A (ja) | 超音波アクチュエータ駆動回路 | |
JP2004336862A (ja) | 超音波モータの駆動回路およびアクチュエータ | |
JP2002359988A (ja) | 超音波モータ制御回路 | |
JP6019545B2 (ja) | 圧電アクチュエーター、駆動ユニット、及び、圧電アクチュエーターの駆動方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100514 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120417 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121218 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130213 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130820 |