JP2008305667A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
表示画像に発生する像障害を回避して、鮮明な表示画像を取得する荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
像表示部に表示する表示画像102を、それぞれウェハアライメントによって決定する直交座標系の直交座標105、106のいずれかの軸に沿った辺のみで構成された四角形とする。そして、荷電粒子線をこの基準直交座標系のいずれの軸にも平行でない方向108に走査することで、表示画像102を含む領域に荷電粒子線を照射して得られる画像情報107のうち、表示画像102の領域に含まれる箇所の情報のみを像表示部に表示し、明るさむらのない鮮明な表示画像を得る。
【選択図】図1
Description
装置オペレータは、カーソル1106を動かしてスクロールバー1104を任意の位置に移動することにより、走査角度の設定を行う。角度の設定は、ボタン1105を用いて行っても良い。走査角度の設定値を設定値の最小刻み幅分(例えば、図11の場合は0.01°)ずつ変更できるため、スクロールバー1104よりもボタン1105の方が細かな角度設定が可能である。スクロールバー1104、ボタン1105の操作は入力装置35により行う。設定された角度値は、レビュー情報記憶部34や演算装置54内のメモリなどに格納され、必要に応じて角度変換部40に読み出される。
本実施例により、操作者が選択した任意の角度の斜め走査画像からトリミングされた表示画像を用いることにより、表示画像に発生する像障害を回避し、明るさむらのない鮮明な画像を取得することが可能となり、自動レビュー時における欠陥認識率の向上と共に、表示情報の誤認識を防止することが実現できる。
Claims (7)
- 被計測試料を保持する試料ステージを格納する試料室と、前記被計測試料上に荷電粒子線を走査して発生する二次信号を検出して出力する荷電粒子光学鏡筒とを備えた荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子光学鏡筒は、前記荷電粒子線を前記被計測試料表面の任意の方向に走査する走査偏向部を有すると共に、
前記走査偏向部によって前記荷電粒子線を走査して得られた前記二次信号から画素信号データを得る演算装置と、前記画素信号データを格納する画像形成記憶部と、前記形成記憶部に格納された前記画素信号データの一部を抽出して形成した試料像を表示する像表示部とを有し、
前記演算装置は、前記画像形成記憶部から抽出される前記試料像の抽出方向と前記荷電粒子線の走査方向との関係が斜め方向であるよう制御する
荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線の走査方向が、前記試料像の表示時に、前記画像形成記憶部から抽出された前記画素信号データを補完することなく前記像表示部に表示することが可能な走査方向である
荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記画像形成記憶部から抽出される前記試料像の前記抽出方向は、前記荷電粒子線の照射の方向制御の為の直交座標系の座標軸にほぼ平行な方向であり、前記荷電粒子線の走査方向は、前記直交座標系の座標軸に対し所定の角度を有する
荷電粒子線装置。 - 請求項3記載の荷電粒子線装置であって、
前記所定の角度は、前記直交座標系の座標軸の一方から45度の角度である
荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を試料上で走査し、得られる二次信号から試料像を生成する荷電粒子線装置であって、
前記荷電粒子線を走査する走査偏向部と、
前記走査偏向部の偏向制御を行なう偏向制御部と、
前記二次信号を検出する二次信号検出器と、
前記荷電粒子線装置の基準直交座標系に対して斜め方向に前記荷電粒子線を走査するよう、前記偏向制御部に駆動信号を出力する演算処理部と、
前記試料像を表示する像表示部とを有し、
前記演算処理部は、
前記二次信号検出器の出力信号に基づく画像表示データを記憶する画像形成記憶部と、前記画像形成記憶部から前記基準直交座標系の座標軸に沿ったトリミング領域の前記画像表示データを読み出すための読出しアドレスを生成するアドレス生成部とを有し、
前記像表示部は、前記読出しアドレスに基づき前記画像形成記憶部から読み出された前記画像表示データを表示する
荷電粒子線装置。 - 請求項5記載の荷電粒子線装置であって、
前記演算処理部は、
前記荷電粒子線の走査の基準信号波形を発生する走査波形形成部と、前記基準信号波形に対し、前記斜め方向に対応する角度変換を施し、前記駆動信号を出力する角度変換部とを含む
荷電粒子線装置。 - 請求項6記載の荷電粒子線装置であって、
前記斜め方向の角度は、前記基準直交座標系の座標軸から45度の角度である
荷電粒子線装置。
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