JP2008298684A - Testing method for fluid bearing device - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To easily inspect accuracy between radial bearing surfaces. <P>SOLUTION: Bearing sleeves 3, 4 having the radial bearing surfaces are axially arranged and fixed on the inner periphery of a housing 2. A first tool 22 is then press-fitted to the inner periphery of the second bearing sleeve 4, and a second tool 23 is press-fitted to the inner periphery of the first bearing sleeve 3. The first tool 22 is rotated to integrally rotate the housing 2, both bearing sleeves 3, 4 and the second tool 23, and the deflection quantity of the second tool 23 is measured. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、流体軸受装置の検査方法に関するものである。   The present invention relates to an inspection method for a hydrodynamic bearing device.

流体軸受装置は、軸受部材と軸部材の相対回転により、軸受隙間に形成される油膜で軸部材を回転自在に支持する軸受装置である。この流体軸受装置は、高速回転、高回転精度、低騒音等の特徴を有するものであり、近年ではその特徴を活かして、情報機器をはじめ種々の電気機器に搭載されるモータ用の軸受装置として、より具体的には、ＨＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置等のスピンドルモータ、レーザビームプリンタのポリゴンスキャナモータ、プロジェクタのカラーホイールモータ、ファンモータなどのモータ用軸受装置として好適に使用されている。   The hydrodynamic bearing device is a bearing device that rotatably supports a shaft member with an oil film formed in a bearing gap by relative rotation of the bearing member and the shaft member. This hydrodynamic bearing device has characteristics such as high-speed rotation, high rotation accuracy, and low noise. In recent years, the hydrodynamic bearing device has been utilized as a motor bearing device for motors mounted on various electrical devices including information devices. More specifically, magnetic disk devices such as HDDs, optical disk devices such as CD-ROM, CD-R / RW, DVD-ROM / RAM, spindle motors such as magneto-optical disk devices such as MD and MO, laser beams, etc. It is suitably used as a motor bearing device such as a polygon scanner motor of a printer, a color wheel motor of a projector, and a fan motor.

上記モータのうち、例えば、ＨＤＤ等のディスク駆動装置のスピンドルモータに組み込まれる流体軸受装置には、軸部材をラジアル方向に支持するラジアル軸受部と、スラスト方向に支持するスラスト軸受部とが設けられる。両軸受部のうち、ラジアル軸受部は、ラジアル軸受隙間を介して対向する軸受部材の内周面および軸部材の外周面の何れか一方に動圧溝等の動圧発生部を設けた動圧軸受で構成される場合と、この種の動圧発生部を設けない真円軸受で構成される場合とがある。   Among the motors described above, for example, a hydrodynamic bearing device incorporated in a spindle motor of a disk drive device such as an HDD is provided with a radial bearing portion that supports the shaft member in the radial direction and a thrust bearing portion that supports the axial direction. . Of the two bearing portions, the radial bearing portion is a dynamic pressure in which a dynamic pressure generating portion such as a dynamic pressure groove is provided on one of the inner peripheral surface of the bearing member and the outer peripheral surface of the shaft member facing each other through the radial bearing gap. There are cases where it is constituted by a bearing and cases where it is constituted by a perfect circle bearing not provided with this type of dynamic pressure generating portion.

上記構造の流体軸受装置として、ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定したものが公知である（例えば、特許文献１を参照）。かかる構造の流体軸受装置では、ハウジングの内周に軸受スリーブを固定した状態におけるラジアル軸受面相互間の精度（例えば、同軸度）がラジアル方向の回転精度を大きく左右する。そのため、上記構造の流体軸受装置の製造工程では、ハウジングの内周に軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定した後、例えば真円度測定機を用いてラジアル軸受面相互間の精度を検査するのが通例となっている。真円度測定機を用いての検査は、例えば以下示す手順で行われる。   As a hydrodynamic bearing device having the above-described structure, one in which two bearing sleeves having radial bearing surfaces are arranged side by side in the axial direction on the inner periphery of a housing is known (see, for example, Patent Document 1). In the hydrodynamic bearing device having such a structure, the accuracy (for example, the coaxiality) between the radial bearing surfaces in a state where the bearing sleeve is fixed to the inner periphery of the housing greatly affects the rotational accuracy in the radial direction. Therefore, in the manufacturing process of the hydrodynamic bearing device having the above structure, after two bearing sleeves are axially arranged and fixed on the inner periphery of the housing, the accuracy between the radial bearing surfaces is inspected using, for example, a roundness measuring machine. It is customary. The inspection using the roundness measuring machine is performed, for example, according to the following procedure.

（１）真円度測定機のターンテーブル上にハウジングを固定する。（２）軸受スリーブのラジアル軸受面の内周に測定端子を配置した状態でターンテーブルを回転させて各ラジアル軸受面における断面形状を個別に測定する。（３）前記の測定データに基づいて各軸受スリーブのラジアル軸受面における軸心を算出した後、一方の軸心に対する他方の軸心のズレを解析する。
特開平１１−２６９４７５号公報 (1) Fix the housing on the turntable of the roundness measuring machine. (2) The turntable is rotated in a state where the measurement terminals are arranged on the inner periphery of the radial bearing surface of the bearing sleeve, and the cross-sectional shape of each radial bearing surface is individually measured. (3) After calculating the axial center of the radial bearing surface of each bearing sleeve based on the measurement data, the deviation of the other axial center from one axial center is analyzed.
JP-A-11-269475

上記の方法で信頼性の高い検査結果を得るには、ハウジングをターンテーブル上に精度良く位置決めすると共に、軸受スリーブ内周の所定箇所に測定端子を精度良く配置する必要がある。しかしながら、軸受スリーブの内径寸法は数ｍｍ程度（例えば、２ｍｍ）に設定される場合が多く、しかも要求される上記の各種位置決め精度はマイクロオーダーレベルであるため、これらを精度良く位置決めするのに手間がかかる。また、上記のとおり、直接的にラジアル軸受面相互間の精度を検査することができないため、データ解析に長時間を要す。従って、従来方法は、ラジアル軸受面相互間の精度を検査するのに多大な時間（約２０分／個）を要すため、量産時における検査方法として用いるには難がある。   In order to obtain a highly reliable test result by the above method, it is necessary to position the housing on the turntable with high accuracy and to accurately arrange the measurement terminals at predetermined locations on the inner periphery of the bearing sleeve. However, the inner diameter of the bearing sleeve is often set to about several millimeters (for example, 2 mm), and the above-mentioned various positioning accuracy is on the micro-order level. It takes. In addition, as described above, since the accuracy between the radial bearing surfaces cannot be directly inspected, a long time is required for data analysis. Therefore, since the conventional method requires a great amount of time (about 20 minutes / piece) to inspect the accuracy between the radial bearing surfaces, it is difficult to use it as an inspection method in mass production.

また、この種の流体軸受装置は、その内部へ異物が混入するのを極度に嫌うため、クリーンルーム内で製造する場合がある。しかしながら、このような特殊環境下に、ターンテーブル等を有する大掛かりな真円度測定機を持ち込むことは現実的ではない。   In addition, this type of hydrodynamic bearing device is extremely likely to be mixed with foreign matter and may be manufactured in a clean room. However, it is not realistic to bring a large roundness measuring machine having a turntable or the like under such a special environment.

本発明の課題は、ハウジングにラジアル軸受面を有する軸受スリーブを二つ固定した状態におけるラジアル軸受面相互間の精度を簡易に検査し得る方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a method capable of easily inspecting the accuracy between radial bearing surfaces in a state where two bearing sleeves having radial bearing surfaces are fixed to a housing.

上記課題を解決するため、本発明では、ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定し、一方の軸受スリーブの内周に第１治具を圧入すると共に、他方の軸受スリーブの内周に第２治具を圧入し、一方の治具を回転させてハウジング、両軸受スリーブ、および他方の治具を一体に回転させ、他方の治具の振れ量を測定することを特徴とする流体軸受装置の検査方法を提供する。なお、ここでいうラジアル軸受面は、ラジアル軸受隙間を形成する一方の面を意図したものであり、この面に動圧溝等の動圧発生部が形成されているか否かは問わない。   In order to solve the above-mentioned problems, in the present invention, two bearing sleeves having radial bearing surfaces are arranged side by side in the inner circumference of the housing and fixed, and the first jig is press-fitted into the inner circumference of one of the bearing sleeves. Then, press the second jig into the inner circumference of the other bearing sleeve, rotate one jig to rotate the housing, both bearing sleeves, and the other jig together, and adjust the deflection amount of the other jig. A method for inspecting a hydrodynamic bearing device is provided. Here, the radial bearing surface is intended as one surface forming a radial bearing gap, and it does not matter whether a dynamic pressure generating portion such as a dynamic pressure groove is formed on this surface.

上記のように、本発明では、二つの軸受スリーブの内周に第１および第２の治具を個別に圧入し、一方の治具を回転させて他方の治具の振れ量を測定するようにしたので、従来方法のように両軸受スリーブのラジアル軸受面における軸心位置をそれぞれ導き出すことなく、一工程でラジアル軸受面相互間の精度を検査することができる。また、本発明にかかる検査方法であれば、治具を軸受スリーブよりも突出させて設けることができるため、測定端子を治具の外周側に配置することができる。また、軸受スリーブの内周へ圧入するだけで測定対象物（治具）の位置決めがなされる。従って、検査および検査準備の双方に多大な手間を要していた従来方法に比べ、ラジアル軸受面相互間の精度を簡易に検査することができる。   As described above, in the present invention, the first and second jigs are individually press-fitted into the inner circumferences of the two bearing sleeves, and one jig is rotated to measure the deflection amount of the other jig. Therefore, the accuracy between the radial bearing surfaces can be inspected in one step without deriving the axial center positions of the radial bearing surfaces of the two bearing sleeves as in the conventional method. Moreover, if it is the inspection method concerning this invention, since a jig | tool can be made to protrude rather than a bearing sleeve, a measurement terminal can be arrange | positioned on the outer peripheral side of a jig | tool. Further, the object to be measured (jig) can be positioned simply by press-fitting into the inner periphery of the bearing sleeve. Therefore, the accuracy between the radial bearing surfaces can be easily inspected as compared with the conventional method that requires a great amount of labor for both the inspection and the inspection preparation.

また、本発明にかかる検査方法では、上記のように、軸受スリーブの端面よりも突出して設けた治具の振れ量を測定することができるから、測定される振れ量は、実際のラジアル軸受面相互間のずれ量よりも増幅された値となる。そのため、微細な位置ずれ等も検知することが可能となり、高い回転精度を誇る流体軸受装置が提供可能となる。   Further, in the inspection method according to the present invention, as described above, the amount of deflection of the jig provided so as to protrude from the end surface of the bearing sleeve can be measured. Therefore, the measured amount of deflection is the actual radial bearing surface. It becomes an amplified value rather than the amount of deviation between each other. For this reason, it is possible to detect a minute positional deviation and the like, and it is possible to provide a hydrodynamic bearing device boasting high rotational accuracy.

また、上記の方法であればターンテーブル等を必要としないため、測定装置の簡略化および小型化を図ることができる。そのため、クリーンルーム等の特殊な環境化に測定装置を搬入することができ、クリーンルーム内でもかかる検査を容易に行い得る。   In addition, since the above method does not require a turntable or the like, the measurement apparatus can be simplified and downsized. Therefore, the measuring device can be carried into a special environment such as a clean room, and such an inspection can be easily performed even in the clean room.

上記の態様でラジアル軸受面相互間の精度を検査するに際し、第１および第２治具は、０以上２μｍ以下の締め代をもって軸受スリーブに圧入するのが望ましい。締め代が０μｍよりも小さいと、軸受スリーブおよびハウジングを治具と同期させて回転させることができず、締め代が２μｍよりも大きいと、圧入力が過大となってラジアル軸受面が損傷するおそれがあるからである。なお、逆を言えば、例えば締め代が２μｍとなるように形成された治具を用いた場合に、当該治具が円滑に圧入されない軸受スリーブは、所定の精度で形成されていない軸受スリーブであるとも言え、上記検査を行うまでもなく個々の軸受スリーブが不良品であると判定することも可能である。   When inspecting the accuracy between the radial bearing surfaces in the above-described manner, it is desirable that the first and second jigs are press-fitted into the bearing sleeve with a tightening margin of 0 to 2 μm. If the tightening margin is smaller than 0 μm, the bearing sleeve and the housing cannot be rotated in synchronization with the jig, and if the tightening margin is larger than 2 μm, the pressure input may be excessive and the radial bearing surface may be damaged. Because there is. In other words, for example, when a jig formed to have a tightening margin of 2 μm is used, a bearing sleeve in which the jig is not smoothly press-fitted is a bearing sleeve that is not formed with a predetermined accuracy. It can be said that it is possible to determine that each bearing sleeve is defective without performing the above inspection.

また、本発明では、ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定した流体軸受装置において、一方の軸受スリーブの内周に第１治具を圧入すると共に、他方の軸受スリーブの内周に第２治具を圧入した状態で、一方の治具を回転させたときの他方の治具の振れ量が０以上２μｍ以下であることを特徴とする流体軸受装置を提供する。かかる構成の流体軸受装置は、ラジアル軸受面相互間の精度が高く、高い軸受性能を具備するものである。   Further, in the present invention, in the hydrodynamic bearing device in which two bearing sleeves having radial bearing surfaces are arranged side by side in the inner circumference of the housing and fixed, the first jig is press-fitted into the inner circumference of one of the bearing sleeves, A hydrodynamic bearing device in which a deflection amount of the other jig when the second jig is rotated in a state where the second jig is press-fitted into the inner circumference of the other bearing sleeve is 0 to 2 μm I will provide a. The hydrodynamic bearing device having such a configuration has high accuracy between the radial bearing surfaces and high bearing performance.

以上に示すように、本発明によれば、ハウジングにラジアル軸受面を有する軸受スリーブを二つ固定した状態におけるラジアル軸受面相互間の精度を簡易にかつ精度良く検査することが可能となる。これにより、検査工程の簡略化を図ることができ、流体軸受装置の製造コストを低廉化することが、またあるいは検査頻度を増大させ流体軸受装置の品質保証レベルを高めることが可能となる。   As described above, according to the present invention, it is possible to easily and accurately inspect the accuracy between the radial bearing surfaces in a state where two bearing sleeves having radial bearing surfaces are fixed to the housing. As a result, the inspection process can be simplified, the manufacturing cost of the hydrodynamic bearing device can be reduced, or the frequency of inspection can be increased and the quality assurance level of the hydrodynamic bearing device can be increased.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明における『上下』方向は単に各図における上下方向を便宜的に示すものであり、使用態様等を限定するものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the “up and down” direction in the following description merely indicates the up and down direction in each drawing for the sake of convenience, and does not limit the mode of use or the like.

図１は、本発明を適用可能な流体軸受装置の一実施形態を示している。同図に示す流体軸受装置１は、例えばＨＤＤ用のスピンドルモータに組み込んで用いられるものであり、ハウジング２と、ハウジング２の内周に軸方向に二つ並べて固定された第１，第２軸受スリーブ３，４と、軸受スリーブ３，４の内周に挿入された軸部材５と、軸部材５の外径側に突出して設けられたシール部材６，７とを備える。   FIG. 1 shows an embodiment of a hydrodynamic bearing device to which the present invention can be applied. The hydrodynamic bearing device 1 shown in FIG. 1 is used by being incorporated in, for example, a spindle motor for an HDD, and includes a housing 2 and first and second bearings fixed side by side in the axial direction on the inner periphery of the housing 2. The sleeves 3 and 4, the shaft member 5 inserted in the inner periphery of the bearing sleeves 3 and 4, and the seal members 6 and 7 provided to protrude to the outer diameter side of the shaft member 5 are provided.

ハウジング２は、例えば樹脂材料を射出成形して略円筒状に形成され、その内周面は、第１および第２軸受スリーブ３，４の固定面となる小径内周面２ａと、小径内周面２ａの両端側で小径内周面２ａよりも大径に形成された第１，第２大径内周面２ｂ，２ｃとに区画される。第１大径内周面２ｂは第１段面２ｄを介して小径内周面２ａに繋がり、第２大径内周面２ｃは第２段面２ｅを介して小径内周面２ａに繋がっている。   The housing 2 is formed into a substantially cylindrical shape by, for example, injection molding of a resin material. It is divided into first and second large-diameter inner peripheral surfaces 2b and 2c that are formed at larger diameters than the small-diameter inner peripheral surface 2a at both ends of the surface 2a. The first large-diameter inner peripheral surface 2b is connected to the small-diameter inner peripheral surface 2a via the first step surface 2d, and the second large-diameter inner peripheral surface 2c is connected to the small-diameter inner peripheral surface 2a via the second step surface 2e. Yes.

図２（ａ）に示すように、ハウジング２の第１段面２ｄの一部又は全部環状領域には、第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受面となる領域が形成され、該スラスト軸受面には動圧発生部として、ヘリングボーン形状に配列された複数の動圧溝２ｄ１が形成されている。また、図２（ｃ）に示すように、ハウジング２の第２段面２ｅの一部又は全部環状領域には、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受面となる領域が形成され、該スラスト軸受面には動圧発生部として、ヘリングボーン形状に配列された複数の動圧溝２ｅ１が形成されている。これら動圧溝２ｄ１、２ｅ１は、ハウジング２の射出成形型のうち、第１段面２ｄ、第２段面２ｅの形成領域に、動圧溝形状に対応した型部を設けることにより、ハウジング２の射出成形と同時に型成形される。なお、動圧溝は、対向するシール部材６，７の端面に形成してもよく、またその形状は、スパイラル形状等、公知のその他の形状とすることもできる。   As shown in FIG. 2 (a), a region that becomes the thrust bearing surface of the first thrust bearing portion T1 is formed in a part or all of the annular region of the first step surface 2d of the housing 2, and the thrust bearing surface is provided with the thrust bearing surface. As a dynamic pressure generating portion, a plurality of dynamic pressure grooves 2d1 arranged in a herringbone shape are formed. In addition, as shown in FIG. 2 (c), a part or the whole annular region of the second step surface 2e of the housing 2 is formed with a region to be a thrust bearing surface of the second thrust bearing portion T2, and the thrust bearing A plurality of dynamic pressure grooves 2e1 arranged in a herringbone shape are formed on the surface as dynamic pressure generating portions. The dynamic pressure grooves 2d1 and 2e1 are formed in the housing 2 by providing a mold portion corresponding to the dynamic pressure groove shape in the formation region of the first step surface 2d and the second step surface 2e in the injection mold of the housing 2. Molding is performed simultaneously with the injection molding. The dynamic pressure groove may be formed on the end surfaces of the opposing seal members 6 and 7, and the shape thereof may be other known shapes such as a spiral shape.

ハウジング２の成形に用いるベース樹脂としては、射出成形可能なものであれば非晶性樹脂，結晶性樹脂を問わず使用可能で、例えば、非晶性樹脂として、ポリサルフォン（ＰＳＵ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリフェニルサルフォン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等、結晶性樹脂として、液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等を用いることができる。もちろんこれらは一例にすぎず、使用環境や用途等を考慮してその他のベース樹脂を使用することもできる。また、上記のベース樹脂には、強度アップや導電性付与を目的として、公知の各種充填材を一種又は二種以上配合することもできる。   The base resin used for molding the housing 2 can be any amorphous resin or crystalline resin as long as it can be injection molded. For example, as the amorphous resin, polysulfone (PSU), polyethersulfur can be used. Liquid crystalline polymers (LCP), polyetheretherketone (PEEK), polybutylene terephthalate (PBT), polyphenylenesulfide (PET), polyphenylsulfone (PPSU), polyetherimide (PEI), etc. PPS) or the like can be used. Of course, these are only examples, and other base resins can be used in consideration of the use environment and applications. In addition, one or more known various fillers can be blended into the above base resin for the purpose of increasing strength and imparting electrical conductivity.

なお、ハウジング２は、上記のように樹脂材料で形成する他、黄銅やアルミニウム合金等の軟質金属やステンレス鋼等の金属材料で形成することも可能である。   The housing 2 can be formed of a resin material as described above, or a soft metal such as brass or an aluminum alloy, or a metal material such as stainless steel.

軸部材５は、ステンレス鋼等の金属材料で形成され、全体として概ね同径の軸状をなしている。さらに、この実施形態では、軸部材５に環状のシール部材６，７が適宜の固定手段、例えば接着又は圧入接着（圧入と接着の併用）により固定されている。これらシール部材６，７は、軸部材５の外周面５ａから外径側に突出した形態となり、それぞれハウジング２の第１大径内周面２ｂ、第２大径内周面２ｃの内周側に収容される。また、接着剤による固定強度を高めるため、シール部材６，７の固定位置となる軸部材５の外周面５ａには接着剤溜りとなる円周溝５ａ１、５ａ２が設けられている。なお、シール部材６，７は、黄銅等の軟質金属材料やその他の金属材料で形成しても良いし、樹脂材料で形成しても良い。また、部品点数削減および組立工数低減を図るため、シール部材６，７のうち何れか一方は、軸部材５に一体形成しても良い。   The shaft member 5 is formed of a metal material such as stainless steel, and has a shaft shape with substantially the same diameter as a whole. Furthermore, in this embodiment, the annular seal members 6 and 7 are fixed to the shaft member 5 by an appropriate fixing means, for example, adhesion or press-fit adhesion (combination of press-fit and adhesion). The seal members 6 and 7 protrude from the outer peripheral surface 5a of the shaft member 5 to the outer diameter side. The inner peripheral side of the first large diameter inner peripheral surface 2b and the second large diameter inner peripheral surface 2c of the housing 2, respectively. Is housed in. Further, in order to increase the fixing strength by the adhesive, circumferential grooves 5a1 and 5a2 serving as adhesive reservoirs are provided on the outer peripheral surface 5a of the shaft member 5 serving as a fixing position of the seal members 6 and 7. The seal members 6 and 7 may be made of a soft metal material such as brass, other metal materials, or a resin material. Further, any one of the seal members 6 and 7 may be integrally formed with the shaft member 5 in order to reduce the number of parts and the number of assembly steps.

シール部材６の外周面６ａはハウジング２の第１大径内周面２ｂとの間に所定容積のシール空間Ｓ１を形成し、シール部材７の外周面７ａはハウジング２の第２大径内周面２ｃとの間に所定容積のシール空間Ｓ２を形成する。この実施形態において、シール部材６の外周面６ａ及びシール部材７の外周面７ａは、それぞれハウジング２の外部側に向かって漸次縮径したテーパ面状に形成されている。そのため、シール空間Ｓ１、Ｓ２は、ハウジング２の内部側に向かって漸次縮小したテーパ形状を呈する。   The outer peripheral surface 6a of the seal member 6 forms a seal space S1 having a predetermined volume with the first large-diameter inner peripheral surface 2b of the housing 2, and the outer peripheral surface 7a of the seal member 7 is the second large-diameter inner peripheral surface of the housing 2. A predetermined volume of the seal space S2 is formed between the surface 2c. In this embodiment, the outer peripheral surface 6 a of the seal member 6 and the outer peripheral surface 7 a of the seal member 7 are each formed in a tapered surface shape that is gradually reduced in diameter toward the outside of the housing 2. Therefore, the seal spaces S <b> 1 and S <b> 2 have a tapered shape that gradually decreases toward the inner side of the housing 2.

第１軸受スリーブ３および第２軸受スリーブ４は、共に、例えば焼結金属からなる多孔質体、特に銅を主成分とする焼結金属の多孔質体で円筒状に形成されている。本実施形態で、第１軸受スリーブ３は、その上側端面３ｂが、ハウジング２の第１段面２ｄから軸方向にδ１だけ下方に位置するようにして、ハウジング２の小径内周面２ａに固定されている（図３参照）。また、図示は省略するが、第２軸受スリーブ４は第１軸受スリーブ３と同様に、その下側端面４ｂが、ハウジング２の第２段面２ｅから所定寸法（δ１）軸方向上方に位置するようにして、ハウジング２の小径内周面２ａに固定されている。なお、ハウジング２に対する両軸受スリーブ３，４の固定手段としては、接着、圧入等適宜の手段を採用することができ、本実施形態では、所定幅の接着隙間に充填された接着剤を介して両者が接着固定されている（隙間接着）。また本実施形態では、第１軸受スリーブ３の下側端面３ｃと第２軸受スリーブ４の上側端面４ｃとが非当接とされているが、両軸受スリーブ３，４の軸方向寸法等によっては当接する場合もある。   Both the first bearing sleeve 3 and the second bearing sleeve 4 are formed in a cylindrical shape, for example, with a porous body made of sintered metal, in particular, a sintered metal porous body mainly composed of copper. In the present embodiment, the first bearing sleeve 3 is fixed to the small-diameter inner peripheral surface 2a of the housing 2 such that the upper end surface 3b thereof is positioned below the first step surface 2d of the housing 2 by δ1 in the axial direction. (See FIG. 3). Although not shown, the lower end surface 4b of the second bearing sleeve 4 is positioned above the second step surface 2e of the housing 2 by a predetermined dimension (δ1) in the axial direction, like the first bearing sleeve 3. In this manner, the housing 2 is fixed to the small-diameter inner peripheral surface 2a. As the means for fixing the bearing sleeves 3 and 4 to the housing 2, appropriate means such as adhesion and press-fitting can be employed. In this embodiment, an adhesive filled in an adhesive gap having a predetermined width is used. Both are bonded and fixed (gap bonding). In this embodiment, the lower end surface 3c of the first bearing sleeve 3 and the upper end surface 4c of the second bearing sleeve 4 are not in contact with each other. There is also a case of contact.

第１軸受スリーブ３の内周面３ａには、軸部材５の外周面５ａとの間にラジアル軸受隙間を形成する第１および第２のラジアル軸受面Ａ１、Ａ２が軸方向の二箇所に離隔形成されている。第１のラジアル軸受面Ａ１には、動圧発生部として、例えば図２（ｂ）に示すようなヘリングボーン形状の動圧溝３ａ１が形成されている。第１のラジアル軸受面Ａ１は、第２軸受スリーブ４から離反する側（上側）の端部に形成され、第２のラジアル軸受面Ａ２はその反対側の端部に形成されている。第２のラジアル軸受面Ａ２は平滑な円筒面をなし、その内径寸法は、動圧溝３ａ１を区画形成する背部（図中クロスハッチングで示す）と略同径（同径の場合も含む）に形成されている。外周面３ｄには、円周方向等間隔に配された複数（図示例は３本）の軸方向溝３ｄ１が形成されている。   First and second radial bearing surfaces A1 and A2 forming a radial bearing gap between the inner peripheral surface 3a of the first bearing sleeve 3 and the outer peripheral surface 5a of the shaft member 5 are separated at two axial positions. Is formed. For example, a herringbone-shaped dynamic pressure groove 3a1 as shown in FIG. 2B is formed on the first radial bearing surface A1 as a dynamic pressure generating portion. The first radial bearing surface A1 is formed at the end (upper side) away from the second bearing sleeve 4, and the second radial bearing surface A2 is formed at the opposite end. The second radial bearing surface A2 has a smooth cylindrical surface, and the inner diameter thereof is substantially the same diameter (including the case of the same diameter) as the back portion (indicated by cross hatching in the drawing) that forms the dynamic pressure groove 3a1. Is formed. A plurality of (three in the illustrated example) axial grooves 3d1 are formed on the outer peripheral surface 3d at regular intervals in the circumferential direction.

また、第２軸受スリーブ４の内周面４ａには、軸部材５の外周面５ａとの間にラジアル軸受隙間を形成する第１および第２のラジアル軸受面Ａ１’、Ａ２’が軸方向の二箇所に離隔形成されている。第１のラジアル軸受面Ａ１’には、動圧発生部として、例えば図２（ｂ）に示すようなヘリングボーン形状の動圧溝４ａ１が形成されている。第１のラジアル軸受面Ａ１’は、第１軸受スリーブ３から離反する側（下側）の端部に形成され、第２のラジアル軸受面Ａ２’はその反対側の端部に形成されている。第２のラジアル軸受面Ａ２’は平滑な円筒面をなし、その内径寸法は、動圧溝４ａ１を区画形成する背部（図中クロスハッチングで示す）と略同径（同径の場合も含む）に形成されている。外周面４ｄには、円周方向等間隔に配された複数（図示例は３本）の軸方向溝４ｄ１が形成されている。   Further, first and second radial bearing surfaces A1 ′ and A2 ′ that form a radial bearing gap between the inner peripheral surface 4a of the second bearing sleeve 4 and the outer peripheral surface 5a of the shaft member 5 are provided in the axial direction. Separated at two locations. For example, a herringbone-shaped dynamic pressure groove 4a1 as shown in FIG. 2B is formed on the first radial bearing surface A1 'as a dynamic pressure generating portion. 1st radial bearing surface A1 'is formed in the edge part on the side (lower side) which leaves | separates from the 1st bearing sleeve 3, and 2nd radial bearing surface A2' is formed in the edge part on the opposite side. . The second radial bearing surface A2 ′ has a smooth cylindrical surface, and the inner diameter thereof is approximately the same diameter (including the case of the same diameter) as the back portion (indicated by cross hatching in the drawing) that defines the dynamic pressure groove 4a1. Is formed. A plurality (three in the illustrated example) of axial grooves 4d1 are formed on the outer peripheral surface 4d at regular intervals in the circumferential direction.

上記の構成からなる流体軸受装置１（ハウジング２）の内部空間には、両軸受スリーブ３，４の内部気孔も含め潤滑流体として例えば潤滑油が充満される。潤滑油は、例えば組立が完了した流体軸受装置１を真空槽内で潤滑油中に浸漬した後、大気圧に開放することによりハウジング２の内部空間に充満される。なお、潤滑流体としては、潤滑油以外にも磁性流体や空気等の気体を使用することもできる。   The internal space of the hydrodynamic bearing device 1 (housing 2) having the above-described configuration is filled with, for example, lubricating oil as a lubricating fluid including the internal pores of the two bearing sleeves 3 and 4. For example, the lubricating oil is filled in the internal space of the housing 2 by immersing the hydrodynamic bearing device 1 that has been assembled in the lubricating oil in a vacuum chamber and then releasing it to atmospheric pressure. In addition to the lubricating oil, a magnetic fluid or a gas such as air can be used as the lubricating fluid.

上記構成の流体動圧軸受装置１において、軸部材５が回転すると、第１軸受スリーブ３の第１および第２のラジアル軸受面Ａ１、Ａ２は、それぞれ軸部材５の外周面５ａとラジアル軸受隙間を介して対向する。第１のラジアル軸受面Ａ１が面するラジアル軸受隙間では、このラジアル軸受隙間に充満された潤滑油が動圧溝３ａ１の動圧作用によってその圧力を高められ、この圧力によって軸部材２がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。一方、第２のラジアル軸受面Ａ２が面するラジアル軸受隙間では、ラジアル軸受隙間に滲み出した油で油膜が形成され、この油膜で軸部材５がラジアル方向に回転自在に支持される。これにより、動圧軸受および真円軸受で軸部材５をラジアル方向に回転自在に支持する第１ラジアル軸受部Ｒ１が形成される。同様に第２軸受スリーブ４でも第１および第２のラジアル軸受面Ａ１’，Ａ２’によって動圧軸受および真円軸受が構成され、軸部材５をラジアル方向に回転自在に支持する第２ラジアル軸受部Ｒ２が形成される。   In the fluid dynamic pressure bearing device 1 configured as described above, when the shaft member 5 rotates, the first and second radial bearing surfaces A1 and A2 of the first bearing sleeve 3 are respectively connected to the outer peripheral surface 5a of the shaft member 5 and the radial bearing gap. Opposite through. In the radial bearing gap that the first radial bearing surface A1 faces, the lubricating oil filled in the radial bearing gap is increased in pressure by the dynamic pressure action of the dynamic pressure groove 3a1, and this pressure causes the shaft member 2 to move in the radial direction. Is supported in a non-contact manner. On the other hand, in the radial bearing gap that the second radial bearing surface A2 faces, an oil film is formed by the oil that has oozed into the radial bearing gap, and the shaft member 5 is rotatably supported in the radial direction by this oil film. As a result, the first radial bearing portion R1 that supports the shaft member 5 rotatably in the radial direction is formed by the dynamic pressure bearing and the perfect circle bearing. Similarly, in the second bearing sleeve 4 as well, the first and second radial bearing surfaces A1 ′ and A2 ′ constitute a dynamic pressure bearing and a perfect circular bearing, and a second radial bearing that supports the shaft member 5 rotatably in the radial direction. Part R2 is formed.

また、軸部材５が回転すると、ハウジング２の第１段面２ｄのスラスト軸受面がシール部材６の下側端面６ｂと所定のスラスト軸受隙間を介して対向し、ハウジング２の第２段面２ｅのスラスト軸受面がシール部材７の上側端面７ｂと所定のスラスト軸受隙間を介して対向する。そして軸部材５の回転に伴い、各スラスト軸受隙間に充満された潤滑油は、動圧溝の動圧作用によってその圧力が高められ、軸部材５が両スラスト方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材５を両スラスト方向に回転自在に非接触支持する第１スラスト軸受部Ｔ１と第２スラスト軸受部Ｔ２とが形成される。   Further, when the shaft member 5 rotates, the thrust bearing surface of the first step surface 2d of the housing 2 faces the lower end surface 6b of the seal member 6 via a predetermined thrust bearing gap, and the second step surface 2e of the housing 2 is reached. This thrust bearing surface faces the upper end surface 7b of the seal member 7 via a predetermined thrust bearing gap. As the shaft member 5 rotates, the lubricating oil filled in the thrust bearing gaps is increased by the dynamic pressure action of the dynamic pressure grooves, and the shaft member 5 is supported in a non-contact manner so as to be rotatable in both thrust directions. The Thereby, the 1st thrust bearing part T1 and the 2nd thrust bearing part T2 which support the shaft member 5 in a non-contact manner so as to be rotatable in both thrust directions are formed.

また、軸部材５の回転時には、上述のように、シール空間Ｓ１、Ｓ２が、ハウジング２の内部側に向かって漸次縮小したテーパ形状を呈しているため、両シール空間Ｓ１、Ｓ２内の潤滑油は毛細管力による引き込み作用と、回転時の遠心力による引き込み作用とにより、シール空間が狭くなる方向、すなわちハウジング２の内部側に向けて引き込まれる。これにより、ハウジング２の内部からの潤滑油の漏れ出しが効果的に防止される。また、シール空間Ｓ１、Ｓ２は、ハウジング２の内部空間に充填された潤滑油の温度変化に伴う容積変化量を吸収するバッファ機能を有し、想定される温度変化の範囲内では、潤滑油の油面は常にシール空間Ｓ１、Ｓ２内にある。   Further, when the shaft member 5 rotates, as described above, the seal spaces S1 and S2 have a tapered shape that gradually decreases toward the inner side of the housing 2, so that the lubricating oil in both the seal spaces S1 and S2 is obtained. Is pulled in the direction in which the seal space is narrowed, that is, toward the inside of the housing 2 by the pulling action by the capillary force and the pulling action by the centrifugal force at the time of rotation. Thereby, the leakage of the lubricating oil from the inside of the housing 2 is effectively prevented. Further, the seal spaces S1 and S2 have a buffer function of absorbing a volume change amount accompanying a temperature change of the lubricating oil filled in the internal space of the housing 2, and within the range of the assumed temperature change, The oil level is always in the seal space S1, S2.

また、第１軸受スリーブ３の軸方向溝３ｄ１によって形成される流体通路、第２軸受スリーブ４の軸方向溝４ｄ１によって形成される流体通路、および各軸受隙間（第１ラジアル軸受部Ｒ１および第２ラジアル軸受部Ｒ２のラジアル軸受隙間、第１スラスト軸受部Ｔ１および第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間）により、ハウジング２の内部に一連の循環通路が形成される。そして、ハウジング２の内部空間に充満された潤滑油がこの循環通路を介して流動循環することにより、潤滑油の圧力バランスが保たれると同時に、局部的な負圧の発生に伴う気泡の生成、気泡の生成に起因する潤滑油の漏れや振動の発生等が防止される。   Further, the fluid passage formed by the axial groove 3d1 of the first bearing sleeve 3, the fluid passage formed by the axial groove 4d1 of the second bearing sleeve 4, and each bearing gap (the first radial bearing portion R1 and the second radial bearing portion R1). A series of circulation passages are formed inside the housing 2 by the radial bearing gap of the radial bearing portion R2 and the thrust bearing gap of the first thrust bearing portion T1 and the second thrust bearing portion T2. Then, the lubricating oil filled in the internal space of the housing 2 flows and circulates through the circulation passage, so that the pressure balance of the lubricating oil is maintained, and at the same time, bubbles are generated due to the generation of local negative pressure. In addition, leakage of lubricating oil and generation of vibration due to the generation of bubbles are prevented.

特に本実施形態では、第１軸受スリーブ３の軸方向溝３ｄ１によって形成される流体通路の一端と、第２軸受スリーブ４の軸方向溝４ｄ１によって形成される流体通路の一端は、それぞれ、大気開放側となるシール空間Ｓ１、Ｓ２に通じている。そのため、何らかの理由で潤滑油中に気泡が混入した場合でも、気泡が潤滑油に伴って循環する際に外気開放側に排出されるので、気泡による悪影響はより一層効果的に防止される。なお、本実施形態では、第１軸受スリーブ３および第２軸受スリーブ４の外周縁部にそれぞれ面取りが設けられていることから、各軸方向溝３ｄ１、４ｄ１の円周方向の位相を合せなくても、第１スラスト軸受部Ｔ１および第２スラスト軸受部Ｔ２の両スラスト軸受隙間は連通可能である。   In particular, in the present embodiment, one end of the fluid passage formed by the axial groove 3d1 of the first bearing sleeve 3 and one end of the fluid passage formed by the axial groove 4d1 of the second bearing sleeve 4 are respectively open to the atmosphere. It leads to the seal spaces S1 and S2 on the side. For this reason, even if bubbles are mixed in the lubricating oil for some reason, the bubbles are discharged to the open side when circulating with the lubricating oil, so that the adverse effects of the bubbles can be more effectively prevented. In the present embodiment, since the chamfers are provided on the outer peripheral edge portions of the first bearing sleeve 3 and the second bearing sleeve 4, the phases in the circumferential direction of the axial grooves 3d1, 4d1 need not be matched. However, both thrust bearing gaps of the first thrust bearing portion T1 and the second thrust bearing portion T2 can communicate with each other.

上記構成の流体軸受装置１では、ハウジング２の内周に軸受スリーブ３，４を固定した状態におけるラジアル軸受面Ａ１、Ａ２、Ａ１’、Ａ２’相互間の精度がラジアル方向の回転精度を大きく左右する。そのため、上記構成の流体軸受装置１では、ハウジング２の内周に第１および第２軸受スリーブ３，４を軸方向に並べて固定した後、各ラジアル軸受面相互間で所定の精度が確保されているか否かを検査する検査工程を設けるのが通例となっている。本発明はこの検査方法に関するものであり、以下、その要旨を図４に基づいて詳述する。   In the hydrodynamic bearing device 1 configured as described above, the accuracy between the radial bearing surfaces A1, A2, A1 ′, A2 ′ with the bearing sleeves 3 and 4 fixed to the inner periphery of the housing 2 greatly affects the rotational accuracy in the radial direction. To do. Therefore, in the hydrodynamic bearing device 1 configured as described above, after the first and second bearing sleeves 3 and 4 are axially arranged and fixed on the inner periphery of the housing 2, a predetermined accuracy is secured between the radial bearing surfaces. It is customary to provide an inspection process for inspecting whether or not there is any. The present invention relates to this inspection method, and the gist thereof will be described in detail below with reference to FIG.

図４に示す検査装置２０は、第１治具２２を一体に有する回転駆動部２１と、第１治具２２と別体に設けられた第２治具２３と、第２治具２３の振れ量を測定する測定端子２４を有するゲージ２５とを主要な構成として備える。第１および第２治具２２，２３は、例えばステンレス鋼等の金属材料で全長に亘って径一定に形成され、またその外周面は凹凸のない平滑な円筒面に形成されている。回転駆動部２１には図示しないスピンドルが組み込まれており、第１治具２２が回転駆動部２１の運転に伴って回転駆動される。なお、回転駆動部２１に組み込むスピンドルとしては、高い回転精度を誇るエアスピンドルが望ましい。   The inspection apparatus 20 shown in FIG. 4 includes a rotation drive unit 21 that integrally includes a first jig 22, a second jig 23 that is provided separately from the first jig 22, and the vibration of the second jig 23. A gauge 25 having a measurement terminal 24 for measuring the quantity is provided as a main configuration. The first and second jigs 22 and 23 are made of a metal material such as stainless steel and have a constant diameter over the entire length, and the outer peripheral surfaces thereof are formed as smooth cylindrical surfaces without irregularities. A spindle (not shown) is incorporated in the rotational drive unit 21, and the first jig 22 is rotationally driven as the rotational drive unit 21 is operated. In addition, as a spindle incorporated in the rotation drive part 21, the air spindle which boasts high rotation accuracy is desirable.

以上の構成からなる検査装置２０において、まず、ハウジング２の内周に固定した第２軸受スリーブ４に第１治具２２を圧入した後、第１軸受スリーブ３に第２治具２３を圧入する。第１治具２２は、その上端部が第２ラジアル軸受面Ａ２’の上端部を超えるようにして第２軸受スリーブ４の内周に圧入され、第２治具２３は、その下端部が第２ラジアル軸受面Ａ２の下端部を超えるようにして第１軸受スリーブ３の内周に圧入される。第１軸受スリーブ３への圧入が完了した時点で、第２治具２３はハウジング２の上端面よりも軸方向上方に所定量突出する。   In the inspection apparatus 20 having the above configuration, first, the first jig 22 is press-fitted into the second bearing sleeve 4 fixed to the inner periphery of the housing 2, and then the second jig 23 is press-fitted into the first bearing sleeve 3. . The first jig 22 is press-fitted into the inner periphery of the second bearing sleeve 4 so that the upper end of the first jig 22 exceeds the upper end of the second radial bearing surface A2 ′, and the lower end of the second jig 23 is the first. It is press-fitted into the inner periphery of the first bearing sleeve 3 so as to exceed the lower end of the two radial bearing surface A2. When the press-fitting into the first bearing sleeve 3 is completed, the second jig 23 projects a predetermined amount above the upper end surface of the housing 2 in the axial direction.

なお、第１治具２２および第２治具２３は、それぞれ、０以上２μｍ以下の締め代をもって軸受スリーブ３，４に圧入できるように形成される。これにより、軸受スリーブ３，４およびハウジング２が治具２２，２３と同期して回転可能となる一方で、第１ラジアル軸受面Ａ１、Ａ１’（動圧溝３ａ１、４ａ１）および第２ラジアル軸受面Ａ２、Ａ２’が、治具２２，２３の圧入に伴って損傷する事態が回避される。なお、本実施形態では、１μｍの締め代をもって軸受スリーブ３，４に圧入される治具２２，２３を用いている。そのため、各治具２２，２３を所定の圧入力で軸受スリーブ３，４に圧入できない場合には、第１軸受スリーブ３のラジアル軸受面Ａ１，Ａ２間および第２軸受スリーブ４のラジアル軸受面Ａ１’，Ａ２’間で所定の精度（１μｍ以下の同軸度）が確保されていないこと、すなわち単体の軸受スリーブが所定の精度で形成されていないことを意味する。従って、この時点で個々の軸受スリーブの内径寸法異常等を発見することができる。   The first jig 22 and the second jig 23 are formed so that they can be press-fitted into the bearing sleeves 3 and 4 with a tightening margin of 0 to 2 μm, respectively. As a result, the bearing sleeves 3 and 4 and the housing 2 can rotate in synchronization with the jigs 22 and 23, while the first radial bearing surfaces A1 and A1 ′ (dynamic pressure grooves 3a1 and 4a1) and the second radial bearing. A situation in which the surfaces A2 and A2 ′ are damaged as the jigs 22 and 23 are press-fitted is avoided. In this embodiment, jigs 22 and 23 that are press-fitted into the bearing sleeves 3 and 4 with a tightening margin of 1 μm are used. Therefore, when the jigs 22 and 23 cannot be press-fitted into the bearing sleeves 3 and 4 with a predetermined pressure input, the radial bearing surfaces A1 between the radial bearing surfaces A1 and A2 of the first bearing sleeve 3 and the radial bearing surfaces A1 of the second bearing sleeve 4 are used. This means that a predetermined accuracy (coaxiality of 1 μm or less) is not ensured between “, A2”, that is, a single bearing sleeve is not formed with a predetermined accuracy. Therefore, an abnormality in the inner diameter of each bearing sleeve can be found at this point.

上記のように、第２軸受スリーブ４に第１治具２２を、第１軸受スリーブ３に第２治具２３を圧入した後、第２治具２３の外周に測定端子２４を備えたゲージ２５を配設する。測定端子２４は、例えば第２軸受スリーブ４の上側端面４ｃ又は第１治具２２の上端面を基準として軸方向に位置決めされ、また第１治具２２の軸心を基準として径方向に位置決めされる。   As described above, after the first jig 22 is press-fitted into the second bearing sleeve 4 and the second jig 23 is press-fitted into the first bearing sleeve 3, the gauge 25 having the measurement terminal 24 on the outer periphery of the second jig 23. Is disposed. The measurement terminal 24 is positioned in the axial direction with respect to, for example, the upper end surface 4c of the second bearing sleeve 4 or the upper end surface of the first jig 22, and is positioned in the radial direction with respect to the axis of the first jig 22. The

以上のようにして各種位置決めが完了すると回転駆動部２１を駆動して、第１治具２２、第２治具２３、ハウジング２および軸受スリーブ３，４を一体に回転させ、測定端子２４で第２治具２３の振れ量を測定する。このように振れ量を測定することで、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２、Ａ１’、Ａ２’相互間の同軸度、ラジアル軸受面Ａ１’，Ａ２’（第２軸受スリーブ４）の軸心に対するラジアル軸受面Ａ１，Ａ２（第１軸受スリーブ３）の軸心の傾き等が検知できる。合否判定は、第１治具２２を所定時間（例えば３秒）あるいは所定数（例えば５回）回転させたときの第２治具２３の振れ回り量の平均を評価することによって行われ、この平均値が２μｍ以下であれば合格（良品）と判定される。   When the various positionings are completed as described above, the rotation driving unit 21 is driven to rotate the first jig 22, the second jig 23, the housing 2 and the bearing sleeves 3 and 4 together, and the measurement terminal 24 2 Measure the deflection amount of the jig 23. By measuring the runout in this way, the radial bearing surfaces A1, A2, A1 ′, A2 ′ are coaxial with each other, and the radial bearings are centered on the axial centers of the radial bearing surfaces A1 ′, A2 ′ (second bearing sleeve 4). The inclination of the axis of the surfaces A1 and A2 (first bearing sleeve 3) can be detected. The pass / fail judgment is performed by evaluating the average amount of swing of the second jig 23 when the first jig 22 is rotated for a predetermined time (for example, 3 seconds) or a predetermined number (for example, 5 times). If the average value is 2 μm or less, it is determined to be acceptable (non-defective).

以上に示すように、本発明にかかる検査方法であれば、真円度測定機を用いる場合のように軸受スリーブ３，４のラジアル軸受面の軸心位置を個別に導き出すことなく、一工程でラジアル軸受面相互間の精度を検査（検知）することができる。また、測定対象物を軸受外部に突出させた第２治具２３としているので、測定端子２４の位置決めを簡便に行うことができ、さらに軸受スリーブ３の内周に第２治具２３を圧入するだけで測定対象物としての第２治具２３の位置決めがなされる。このように、本発明に係る検査方法では、検査およびその準備が従来方法に比べて大幅に簡略化されるので、ラジアル軸受面相互間の精度を簡易に検査することが可能となる。本願発明者らの検証によれば、従来方法では上述のとおり約２０分／個の検査時間を要していたのに対し、本発明にかかる方法では約２０秒／個の検査時間、すなわち検査時間を６０分の１程度に短縮できることが確認された。   As described above, the inspection method according to the present invention can be performed in one step without deriving the axial center positions of the radial bearing surfaces of the bearing sleeves 3 and 4 as in the case of using a roundness measuring machine. The accuracy between the radial bearing surfaces can be inspected (detected). Further, since the measurement object is the second jig 23 protruding outside the bearing, the measurement terminal 24 can be easily positioned, and the second jig 23 is press-fitted into the inner periphery of the bearing sleeve 3. Only the second jig 23 as a measurement object is positioned. As described above, in the inspection method according to the present invention, the inspection and preparation thereof are greatly simplified as compared with the conventional method, so that the accuracy between the radial bearing surfaces can be easily inspected. According to the verification by the present inventors, the conventional method requires about 20 minutes / piece inspection time as described above, whereas the method according to the present invention takes about 20 seconds / piece inspection time, that is, the inspection time. It was confirmed that the time can be reduced to about 1/60.

また、本発明にかかる検査方法では、上記のように、第１軸受スリーブ３に圧入した第２治具２３のうち、軸受スリーブ３の上側端面３ｂよりも突出した部分での振れ量を測定するので、測定される振れ量は、実際のラジアル軸受面相互間のずれ量よりも増幅された値となる。そのため、微細な位置ずれ等も検知することが可能となり、高い回転精度を誇る流体軸受装置１が提供可能となる。   Further, in the inspection method according to the present invention, as described above, the amount of deflection at the portion of the second jig 23 press-fitted into the first bearing sleeve 3 that protrudes from the upper end surface 3b of the bearing sleeve 3 is measured. Therefore, the measured deflection amount is a value that is amplified more than the actual deviation amount between the radial bearing surfaces. Therefore, it is possible to detect a minute positional deviation and the like, and it is possible to provide the hydrodynamic bearing device 1 that boasts high rotational accuracy.

また、本発明にかかる検査方法で用いる検査装置２０は、上記のようにターンテーブル等を有しないものであるから、一般的な真円度測定機に比べて小型化される。そのため、クリーンルーム等の特殊な環境化にも容易に搬入することが、換言するとクリーンルーム内でもラジアル軸受面相互間の精度検査を行うことが可能となる。従って、ラジアル軸受面相互間の精度検査に際し、軸受スリーブ３，４を内周に固定したハウジング２を別工程に搬送する手間を省くことができ、製造コストの低廉化を図ることができる。またあるいは、検査頻度を増大させて流体軸受装置１の品質保証レベルを高めることもできる。   Moreover, since the inspection apparatus 20 used in the inspection method according to the present invention does not have a turntable or the like as described above, it is smaller than a general roundness measuring machine. For this reason, it is possible to easily carry in a special environment such as a clean room. In other words, it is possible to check the accuracy between the radial bearing surfaces even in the clean room. Therefore, in the accuracy inspection between the radial bearing surfaces, it is possible to save the trouble of transporting the housing 2 in which the bearing sleeves 3 and 4 are fixed to the inner periphery to another process, and to reduce the manufacturing cost. Alternatively, the quality assurance level of the hydrodynamic bearing device 1 can be increased by increasing the inspection frequency.

以上のような検査工程を経て製造された流体軸受装置１は、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２、Ａ１’、Ａ２’相互間における精度が高く、従って、高い軸受性能を具備する。   The hydrodynamic bearing device 1 manufactured through the inspection process as described above has high accuracy among the radial bearing surfaces A1, A2, A1 ', A2', and thus has high bearing performance.

以上、本発明の一実施形態について説明を行ったが、本発明は上記構成の流体軸受装置に限定適用されるものではない。例えば、図５に示すように、ハウジング２内周に、軸受スリーブ３，４およびスペーサ部材９を固定した構成とした場合にも、上記同様にしてラジアル軸受面相互間の精度検査を簡易に行うことができる。スペーサ部材９は、その内周面９ａと軸部材５の外周面５ａとの間にラジアル軸受隙間を形成するものではなく、単に両軸受スリーブ３，４間の空間を埋めるために設けられる部材であるため、スペーサ部材９の内径寸法は軸受スリーブ３，４のそれよりも大径に設定される。そのため、図示する態様で治具２２，２３を軸受スリーブ４，３に圧入しても、治具２２，２３の固定精度に悪影響は及ばない。なお、検査の手順は上記同様であるから、具体的な検査手順の説明は省略する。   As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, this invention is not limitedly applied to the hydrodynamic bearing apparatus of the said structure. For example, as shown in FIG. 5, even when the bearing sleeves 3 and 4 and the spacer member 9 are fixed to the inner periphery of the housing 2, the accuracy inspection between the radial bearing surfaces is simply performed in the same manner as described above. be able to. The spacer member 9 is not a member that forms a radial bearing gap between the inner peripheral surface 9a and the outer peripheral surface 5a of the shaft member 5, but is simply a member provided to fill the space between the bearing sleeves 3 and 4. Therefore, the inner diameter of the spacer member 9 is set larger than that of the bearing sleeves 3 and 4. Therefore, even if the jigs 22 and 23 are press-fitted into the bearing sleeves 4 and 3 in the illustrated manner, the fixing accuracy of the jigs 22 and 23 is not adversely affected. Since the inspection procedure is the same as described above, a detailed description of the inspection procedure is omitted.

以上では、軸受スリーブ３，４を焼結金属で形成した場合について説明を行ったが、軸受スリーブ３，４を焼結金属以外のその他の弾性体、例えば樹脂材料（多孔質であるか否かは問わない）で形成した場合にも、上記同様の手法でラジアル軸受面相互間の精度検査を行うことができる。また、例えば、軸受スリーブ３，４を金属材料等の非弾性体で形成した場合には、治具２２，２３を弾性体で形成することにより、上記本発明にかかる検査方法を用いることができる。さらに、例えば治具２２、２３を縮拡径自在な構造とすれば、軸受スリーブ３，４の形成材料に関わらず、上記本発明にかかる検査方法を用いることができる。   The case where the bearing sleeves 3 and 4 are made of sintered metal has been described above. However, the bearing sleeves 3 and 4 are made of other elastic bodies other than the sintered metal, for example, resin materials (whether they are porous or not). Can be used to check the accuracy between the radial bearing surfaces by the same method as described above. Further, for example, when the bearing sleeves 3 and 4 are made of an inelastic material such as a metal material, the inspection method according to the present invention can be used by forming the jigs 22 and 23 with an elastic material. . Further, for example, if the jigs 22 and 23 have a structure that can be reduced and expanded, the inspection method according to the present invention can be used regardless of the material for forming the bearing sleeves 3 and 4.

また、以上では、第１軸受スリーブ３および第２軸受スリーブ４の内周面の双方に、軸方向に離隔して２つのラジアル軸受面を設けた構成について説明を行ったが、ラジアル軸受面の形成数は、軸受スリーブ３，４の内周面の軸方向１箇所あるいは３箇所以上とすることもできる。   In the above description, the configuration in which the two radial bearing surfaces are provided in the axial direction on both the inner peripheral surfaces of the first bearing sleeve 3 and the second bearing sleeve 4 has been described. The number of formation may be one or three or more in the axial direction of the inner peripheral surface of the bearing sleeves 3 and 4.

また、以上では、ハウジング２の内周面を、小径内周面２ａと大径内周面２ｂ、２ｃとで形成した場合について説明を行ったが、ハウジング２は、その内周面が全長に亘って径一定のものとしてもよい。   In the above description, the case where the inner peripheral surface of the housing 2 is formed by the small-diameter inner peripheral surface 2a and the large-diameter inner peripheral surfaces 2b, 2c has been described. It is good also as a thing with a constant diameter over it.

また、以上では、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２のうちの動圧軸受として、ヘリングボーン形状等の動圧溝によって潤滑油の動圧作用を発生させる場合について説明を行っているが、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２を構成する動圧軸受として、いわゆるステップ軸受や多円弧軸受を採用しても良い。さらに、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２を全て真円軸受で構成することもできる（以上、図示省略）。   In the above description, a case has been described in which the dynamic pressure action of the lubricating oil is generated by a dynamic pressure groove having a herringbone shape or the like as the dynamic pressure bearing of the radial bearing portions R1 and R2, but the radial bearing portion R1. , R2 may be a so-called step bearing or multi-arc bearing. Furthermore, the radial bearing portions R1 and R2 can all be constituted by perfect circle bearings (not shown).

また、以上では、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２を、へリングボーン形状等の動圧溝を設けた動圧軸受で構成としているが、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２の一方又は双方は、いわゆるステップ軸受や波型軸受（ステップ型が波型になったもの）で構成することもできる（図示省略）。また、スラスト軸受部は、軸部材５の一端を接触支持する、いわゆるピボット軸受で構成することもできる。   In the above description, the thrust bearing portions T1 and T2 are configured by a dynamic pressure bearing provided with a dynamic pressure groove such as a herringbone shape, but one or both of the thrust bearing portions T1 and T2 are so-called step bearings or It can also be comprised with a wave type bearing (what the step type turned into a wave type) (illustration omitted). Further, the thrust bearing portion can also be configured by a so-called pivot bearing that contacts and supports one end of the shaft member 5.

また、本発明にかかる検査方法は、上記のように両端を開口させた状態で使用されるハウジングを組み込んだ流体軸受装置に限定適用されるわけではなく、一端開口部を別体の蓋部材で封止したハウジングを組み込んだ流体軸受装置にも好ましく用いることができる。   In addition, the inspection method according to the present invention is not limited to a hydrodynamic bearing device incorporating a housing that is used with both ends opened as described above, and the one end opening is a separate lid member. It can also be preferably used for a hydrodynamic bearing device incorporating a sealed housing.

流体軸受装置の一構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the example of 1 structure of the hydrodynamic bearing apparatus. 第１および第２軸受スリーブを内周に固定したハウジングを示すもので（ａ）図はその上面図、（ｂ）図はその断面図、（ｃ）図はその下面図である。The housing which fixed the 1st and 2nd bearing sleeve to the inner periphery is shown, (a) figure is the upper surface figure, (b) figure is the sectional view, and (c) figure is the bottom view. 図１の一部拡大断面図である。It is a partially expanded sectional view of FIG. 本発明にかかる検査方法の第１実施形態を示す図である。It is a figure which shows 1st Embodiment of the test | inspection method concerning this invention. 本発明にかかる検査方法の第２実施形態を示す図である。It is a figure which shows 2nd Embodiment of the test | inspection method concerning this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ 流体軸受装置
２ ハウジング
３ 第１軸受スリーブ
４ 第２軸受スリーブ
２０ 検査装置
２１ 回転駆動部
２２ 第１治具
２３ 第２治具
２４ 測定端子
Ａ１、Ａ１’ 第１のラジアル軸受面
Ａ２、Ａ２’ 第２のラジアル軸受面
Ｒ１ 第１ラジアル軸受部
Ｒ２ 第２ラジアル軸受部
Ｔ１ 第１スラスト軸受部
Ｔ２ 第２スラスト軸受部
Ｓ１、Ｓ２ シール空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fluid dynamic bearing apparatus 2 Housing 3 1st bearing sleeve 4 2nd bearing sleeve 20 Inspection apparatus 21 Rotation drive part 22 1st jig | tool 23 2nd jig | tool 24 Measuring terminal A1, A1 '1st radial bearing surface A2, A2' 2nd radial bearing surface R1 1st radial bearing part R2 2nd radial bearing part T1 1st thrust bearing part T2 2nd thrust bearing part S1, S2 Seal space

Claims (3)

ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定し、
一方の軸受スリーブの内周に第１治具を圧入すると共に、他方の軸受スリーブに第２治具を圧入し、
一方の治具を回転させてハウジング、両軸受スリーブ、および他方の治具を一体に回転させ、他方の治具の振れ量を測定することを特徴とする流体軸受装置の検査方法。 Two bearing sleeves having radial bearing surfaces are arranged side by side in the axial direction on the inner periphery of the housing, and fixed.
While pressing the first jig into the inner circumference of one bearing sleeve, press the second jig into the other bearing sleeve,
An inspection method for a hydrodynamic bearing device, wherein one jig is rotated to rotate a housing, both bearing sleeves, and the other jig together to measure a deflection amount of the other jig. 第１および第２治具を、０以上２μｍ以下の締め代をもって軸受スリーブに圧入した請求項１記載の流体軸受装置の検査方法。   The fluid bearing device inspection method according to claim 1, wherein the first and second jigs are press-fitted into the bearing sleeve with a tightening margin of 0 to 2 μm. ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定した流体軸受装置において、
一方の軸受スリーブの内周に第１治具を圧入すると共に、他方の軸受スリーブの内周に第２治具を圧入した状態で、一方の治具を回転させたときの他方の治具の振れ量が０以上２μｍ以下であることを特徴とする流体軸受装置。 In the hydrodynamic bearing device in which two bearing sleeves having radial bearing surfaces are arranged side by side in the axial direction on the inner periphery of the housing,
While the first jig is press-fitted into the inner periphery of one bearing sleeve and the second jig is press-fitted into the inner periphery of the other bearing sleeve, A hydrodynamic bearing device having a deflection amount of 0 to 2 μm.

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