KR102204092B1 - 수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치 - Google Patents

수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102204092B1
KR102204092B1 KR1020190004658A KR20190004658A KR102204092B1 KR 102204092 B1 KR102204092 B1 KR 102204092B1 KR 1020190004658 A KR1020190004658 A KR 1020190004658A KR 20190004658 A KR20190004658 A KR 20190004658A KR 102204092 B1 KR102204092 B1 KR 102204092B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
nozzle
transfer
filter assembly
clean
wet scrubber
Prior art date
Application number
KR1020190004658A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20200088091A (ko
Inventor
고정휘
오상기
박영준
Original Assignee
(주)중앙플랜트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)중앙플랜트 filed Critical (주)중앙플랜트
Priority to KR1020190004658A priority Critical patent/KR102204092B1/ko
Publication of KR20200088091A publication Critical patent/KR20200088091A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102204092B1 publication Critical patent/KR102204092B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B01D46/0065—
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/66—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter
    • B01D46/68—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by means acting on the cake side involving movement with regard to the filter elements
    • B01D46/681—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by means acting on the cake side involving movement with regard to the filter elements by scrapers, brushes or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/14—Packed scrubbers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

본원 발명에 따른 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 상하좌우면을 세척할 수 있는 자동세척장치 및 이를 이용하여 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되어 있는 다수의 클린 필터를 포함하는 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척하는 방법은 세척 작업시 근로자가 스크러버 내부에 직접 들어갈 필요가 없어 근무환경을 개선하고 작업에 따른 위험성을 최소화할 수 있다. 또한 세척 시간을 단축함으로써, 반도체 및 디스플레이 생산 및 수율을 높일 수 있다.

Description

수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치 {Automatic Cleaning Apparatus for Clean Filter of Horizontal Wet Scrubber}
본원 발명은 수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치에 관한 것으로서, 구체적으로 반도체 및 디스플레이 산업에서 발생하는 배가스를 처리하는 수평형 습식 스크러버에 사용되는 다층의 클린 필터로 구성되는 클린 필터 조립체를 세척할 때, 자동으로 상하좌우면을 세척할 수 있는 자동세척장치에 관한 것이다.
현재 국내 주력산업의 한 분야를 차지하는 반도체 및 디스플레이 산업은 제조 공정시 다양한 종류의 기체를 발생한다. 상기 기체를 처리하는 방법은 통상적으로 스크러버 방식의 포집 방법과 전기집진법, 또는 이들의 혼합된 방식을 사용한다.
스크러버는 기체를 정화하기 위해 수십 년 전부터 사용되어온 가장 일반적인 환경 설비로서 액체를 위에서 분사하고 아래부터 오염기체를 불어넣어 액체에 용해되는 기체상 물질을 흡수, 제거하고 고체상 물질은 미세 액적과 충돌해 세정하는 원리다. 따라서 기체와 액체가 만나는 시간이 길어질수록 기체 중의 물질이 흡수, 혹은 충돌되는 양이 증가되어 처리 효율이 좋아진다.
이러한 스크러버 중 상기와 같이 수직이 아닌 수평으로 배치되어 기체는 수평 방향으로 이동하고, 기체와 액체가 접촉하는 충전물의 상단 및 전단에 액체를 스프레이로 공급하는 수평형 습식 스크러버가 있다(도 8 참조).
스크러버에 배치되는 충전물에는 여러가지 종류가 있다. 대표적인 흡착제로서 특허문헌 1에 기재된 활성탄, 특허문헌 2에 기재된 NaOH, Ca(OH)2, Mg(OH)2와 같은 염기성 물질의 흡착제, 특허문헌 3에 기재된 활성탄과 염기성 물질을 혼합한 경우가 있다. 이와 같은 흡착제는 포화 상태에 이르면 유해물질의 흡착 능력이 현저히 저하되기 때문에 일정시간 사용한 후에는 흡착제를 재생하거나 교환해주어야 하는 문제가 있다. 또한 압력강하가 클 수밖에 없어 대량의 유해가스 처리를 처리하는데 다소 부적합한 문제점이 있다.
다른 방식으로는 기체와 액체의 접촉 시간 및 면적을 크게 하기 위한 필터 형태가 있다. 또는 이들을 혼용한 방식도 가능하다. 흡착제로 사용되는 활성탄 등과 같은 재료를 여과매체로 사용하고, 여기에 첨가물이 부가된 수용액을 분사한다(특허문헌 4 참조).
특허문헌 5의 랜덤하게 배향된 개별 섬유는 적어도 제1 용융 온도를 가지는 제1 영역 및 제2 용융 온도를 가지는 제2 영역을 가지는 다성분 섬유(multi-component fiber)를 포함하고, 제1 용융 온도는 제2 용융 온도 미만인 점에 특징이 있다. 배향된 개별 섬유의 적어도 일부분이 다성분 섬유의 제1 영역과의 복수의 교차점에서 서로 접합되며 이러한 패턴화된 에어 레이드 부직포 섬유질 웨브의 제조 및 사용 방법이 개시되어 있다.
비특허문헌 1에서는 재질은 합성수지, 부직포 및 숯이며 보조필터는 전/후방의 프레임이 결합 및 분리가 가능하도록 형성되고, 내부에는 복수의 통기구멍이 형성되어 에어필터에서 발생되는 음이온이 보조필터 내부 끼워진 숯필터를 통해서 자동차 실내로 살균 및 정화된 공기를 유입시키도록 한 에어필터용 보조필터가 개시되어 있다.
비특허문헌 2에서는 재질은 합성수지이며 습식 스크러버에 장착되어 인입되는 유해가스를 처리하기 위해 사용되는 것으로, 세척이 용이하도록 상하로 분리 가능하고, 상하부에 결합홀들이 형성되어 습식 스크러버용 필터가 개시되어 있다.
이러한 필터 조립체 중 액체의 투과성이 우수하고, 배출이 용이하여 내부에 침전물이 쌓이지 않을 뿐만 아니라, 기액 접촉 성능이 높으면서 청소 및 분해가 용이한 필터를 제공하기 위해서 본원 출원인은 이미 특허문헌 6 및 특허문헌 7을 통해서 상기와 같은 문제점을 해결한 우수한 필터를 제공하였다.
특허문헌 6 및 특허문헌 7을 통해서 청소 및 분해가 용이한 필터를 제공하였지만, 현재까지의 스크러버에 대한 청소는 대부분이 사람이 직접 수평형 습식 스크러버 내부로 들어가서 세척액을 분사하여 청소하는 방식이 대부분이다. 반도체 및 디스플레이 산업에서 발생하는 배가스를 처리하는 스크러버의 필터에 쌓이는 물질은 유독할 수 있기 때문에 수작업으로 진행할 경우, 예측할 수 없는 문제가 발생할 수 있다. 또한 원한할 공정 조업을 위해서 세척 또한 자동화를 하는 것이 반도체 및 디스플레이 생산 및 수율에 있어서 매우 유리하다.
그럼에도 불구하고 이러한 세척에 대한 명확한 자동화 기술은 제공되고 있지 않다.
일본 공개특허공보 제61-35849호 일본 공개특허공보 제61-61619호 미국 특허공보 제5322674호 등록특허공보 제10-0340384호 공개특허공보 제2013-0041928호 등록특허공보 제10-1726299호 등록특허공보 제10-1898890호
한국 등록디자인공보 제30-039644호 한국 등록디자인공보 제30-0813547호
이상과 같이 본원 발명은 반도체 및 디스플레이 산업에서 발생하는 배가스를 처리하는 수평형 습식 스크러버에 사용되는 다층의 클린 필터로 구성되는 클린 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 장치 및 이를 이용하여 상기 클린 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 하기 위해서 본원 발명은 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되어 있는 다수의 클린 필터를 포함하는 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 상하좌우면을 세척할 수 있는 자동세척장치에 있어서, 상기 자동세척장치를 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있게하는 하면이송부; 상기 하면이송부의 상부에 배치되며 복수개의 노즐이 상하로 엇갈리게 배치되어 상기 필터 조립체에 세척액을 분사하는 노즐결합체; 상기 자동세척장치의 최상단에 위치하며 상기 하면이송부에 대응되는 형태로서 상기 자동세척장치가 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있도록 복수개의 이송바퀴 및 지지바퀴를 포함하는 상면이송부;를 포함하는 자동세척장치를 제공한다.
상기 클린 필터는 사각형 형태의 제1외부 프레임; 상기 사각형 형태의 제1외부 프레임 내부를 일정한 간격으로 평행하게 배분하는 직선 형태로 배치된 다수의 제1내부 프레임; 상기 직선에서 일정한 간격으로 상하 수직으로 엇갈리게 연장되며 가장 근접한 직선의 연장선과 경사지게 연결되는 제1내부 부재를 포함하는 제1클린 필터 및 사각형 형태의 제2외부 프레임; 상기 사각형 형태의 제2외부 프레임의 내부를 일정한 다수의 사각형 형태로 분배하도록 배치된 제2내부 프레임을 포함하는 제2클린 필터 및 사각형 형태의 제3외부 프레임; 상기 사각형 형태의 제3외부 프레임 내부를 다수의 한쌍의 직선이 일정한 간격으로 평행하게 배분하도록 배치된 제3내부 프레임; 상기 각각의 한쌍의 직선은 내부가 일정간 간격으로 연결되어 있고 외부는 일정한 간격으로 상하 수직으로 연장되며 가장 근접한 상기 한쌍의 직선의 연장선과 연결되는 제3내부 부재를 포함하는 제3클린 필터 중에서 중복되어 복수로 선택될 수 있으며, 상기 클린 필터들이 상기와 같이 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치될 경우 기체 이동 방향과 수직한 면을 투영하여 비어있는 부분이 10% 미만이며, 상기 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체는 육면체 형태로 구성되며, 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면을 포함하여 상면, 하면, 또는 상하면이 추가로 개방되고, 내부에 다수의 상기 클린 필터가 상기 개방된 수직면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되는 케이스를 더 포함한다.
상기 하면이송부는 상기 자동세척장치가 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있도록 복수개의 이송바퀴 및 지지바퀴를 포함한다.
상기 하면이송부는 a) 내부에 동력수단을 구비하여 하면이송부에 마련된 바퀴인 하면이송바퀴의 구름에 의해서 이동하거나, b) 미리 설치된 톱니 형태의 레일 모양인 이송레일, 상기 이송레일을 따라서 이송할 수 있도록 상기 하면이송부에 마련된 회전하는 기어인 이송기어에 의해서 이동하거나, c) 상기 하면이송부에 마련된 암나사 형태의 이송지지홈과 상기 이송지지홈을 관통하는 수나사 형태의 이송나사의 회전에 의해서 이동한다.
상기 수평형 습식 스크러버에는 상기 자동세척장치가 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있도록 상기 상면이송부 및 상기 하면이송부가 지지하면서 이동할 수 있는 틀이 미리 마련되어 있다.
상기 노즐결합체는 노즐지지대를 따라서 상하 위치에 복수개가 고정 배치되거나, 상기 노즐결합체를 좌우로 일정한 각도로 움직임과 동시에 상하로도 이동할 수 있는 노즐박스에 배치된다.
상기 노즐박스는 내부에 노즐결합체를 좌우로 일정한 각도로 움직일 수 있는 구동수단이 마련되어 있고, 측면에는 상기 상면이송부와 상기 하면이송부 사이를 상하 이동할 수 있는 이동수단이 마련된다. 상기 이동수단의 일례로는 상기 노즐박스에 고정되는 암나사 형태의 노즐상하이송축; 상기 노즐상하이송축을 관통하는 수나사 형태의 노즐상하이송레일; 상기 노즐상하이송레일을 회전시키는 노즐상하이송모터;를 포함한다. 아울러 상기 이동수단에는 상기 노즐박스의 상하 이동을 원할하게 하는 노즐상하지지바퀴레일과 상기 노즐상하지지바퀴레일을 따라 이동하는 노즐상하지지바퀴가 부가될 수 있다.
또한 본원 발명은 상기 자동세척장치를 사용하여 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되어 있는 다수의 클린 필터를 포함하는 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척하는 방법을 제공한다.
상기 노즐에 고압 세척액을 공급하는 고압 펌프는 상기 수평형 습식 스크러버의 외부에 있고, 상기 고압 펌프와 상기 노즐은 호스로 연결되며, 상기 세척액의 공급 압력은 100bar 내지 250bar이다.
본원 발명에 따른 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 상하좌우면을 세척할 수 있는 자동세척장치 및 이를 이용하여 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되어 있는 다수의 클린 필터를 포함하는 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척하는 방법은 세척 작업시 근로자가 스크러버 내부에 직접 들어갈 필요가 없어 근무환경을 개선하고 작업에 따른 위험성을 최소화할 수 있다. 또한 세척 시간을 단축함으로써, 반도체 및 디스플레이 생산 및 수율을 높일 수 있다.
도 1은 본원 발명의 일 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 자동세척장치의 사시도이다.
도 2는 본원 발명의 일 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 자동세척장치의 하면이송부를 확대한 도면이다.
도 3은 본원 발명의 일 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 자동세척장치의 측면도이다.
도 4는 본원 발명의 다른 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 자동세척장치의 측면도이다.
도 5는 본원 발명의 다른 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체의 하면이송부만을 나타낸 도면이다
도 6은 본원 발명의 또 다른 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체의 하면이송부의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 7은 일반적인 수평형 습식 스크러버에 대한 개략도이다.
이하 첨부된 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다. 그러나 첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상의 내용과 범위를 쉽게 설명하기 위한 예시일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되거나 변경되는 것은 아니다. 또한 이러한 예시에 기초하여 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 다양한 변형과 변경이 가능함은 당업자에게는 당연할 것이다.
또한, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석 되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시 예는 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본원 발명의 일 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 자동세척장치의 사시도이다.
도 2는 본원 발명의 일 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 자동세척장치의 하면이송부를 확대한 도면이다.
도 3은 본원 발명의 일 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 자동세척장치의 측면도이다.
도 4는 본원 발명의 다른 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척할 수 있는 자동세척장치의 측면도이다.
도 5는 본원 발명의 다른 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체의 하면이송부만을 나타낸 도면이다
도 6은 본원 발명의 또 다른 실시예인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체의 하면이송부의 다른 예를 보여주는 도면이다.
스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되어 있는 다수의 클린 필터를 포함하는 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 상하좌우면을 세척할 수 있는 자동세척장치(100)에 있어서, 상기 자동세척장치(100)를 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있게하는 하면이송부(110); 상기 하면이송부(110)의 상부에 배치되며 복수개의 노즐(123)이 상하로 엇갈리게 배치되어 상기 필터 조립체에 세척액을 분사하는 노즐결합체(122); 상기 자동세척장치(100)의 최상단에 위치하며 상기 하면이송부(110)에 대응되는 형태로서 상기 자동세척장치(100)가 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있도록 복수개의 이송바퀴(142) 및 지지바퀴(144)를 포함하는 상면이송부(140);를 포함하는 자동세척장치(100)를 제공한다.
상기 클린 필터는 사각형 형태의 제1외부 프레임; 상기 사각형 형태의 제1외부 프레임 내부를 일정한 간격으로 평행하게 배분하는 직선 형태로 배치된 다수의 제1내부 프레임; 상기 직선에서 일정한 간격으로 상하 수직으로 엇갈리게 연장되며 가장 근접한 직선의 연장선과 경사지게 연결되는 제1내부 부재를 포함하는 제1클린 필터 및 사각형 형태의 제2외부 프레임; 상기 사각형 형태의 제2외부 프레임의 내부를 일정한 다수의 사각형 형태로 분배하도록 배치된 제2내부 프레임을 포함하는 제2클린 필터 및 사각형 형태의 제3외부 프레임; 상기 사각형 형태의 제3외부 프레임 내부를 다수의 한쌍의 직선이 일정한 간격으로 평행하게 배분하도록 배치된 제3내부 프레임; 상기 각각의 한쌍의 직선은 내부가 일정간 간격으로 연결되어 있고 외부는 일정한 간격으로 상하 수직으로 연장되며 가장 근접한 상기 한쌍의 직선의 연장선과 연결되는 제3내부 부재를 포함하는 제3클린 필터 중에서 중복되어 복수로 선택될 수 있으며, 상기 클린 필터들이 상기와 같이 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치될 경우 기체 이동 방향과 수직한 면을 투영하여 비어있는 부분이 10% 미만이며, 상기 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체는 육면체 형태로 구성되며, 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면을 포함하여 상면, 하면, 또는 상하면이 추가로 개방되고, 내부에 다수의 상기 클린 필터가 상기 개방된 수직면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되는 케이스를 더 포함한다. 클린 필터에 대한 자세한 설명은 특허문헌 6, 7에 기재된바 자세한 설명은 생략한다.
상기 하면이송부(110)는 상기 자동세척장치(100)가 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있도록 복수개의 이송바퀴(112) 및 지지바퀴(114)를 포함한다.
본원 발명에 따른 하면이송부는 다양한 형태로 변형이 가능하다. 도 1 내지 도 3의 하면이송부(110)는 미리 설치된 톱니 형태의 레일 모양인 이송레일(116), 상기 이송레일(116)을 따라서 이송할 수 있도록 상기 하면이송부(110)에 마련된 회전하는 기어인 이송기어(115)에 의해서 이동이 가능하다.
도 4 및 도 5에 따른 하면이송부(210)은 내부에 동력수단을 구비(도면 미도시)하여 하면이송부(210)에 마련된 바퀴인 하면이송바퀴(212)의 구름에 의해서 이동할 수 있다.
도 6에 따른 하면이송부(310)는 상기 하면이송부(310)에 마련된 암나사 형태의 이송지지홈(318)과 상기 이송지지홈(318)을 관통하는 수나사 형태의 이송나사(317)의 회전에 의해서 이동한다.
한편 상기 수평형 습식 스크러버에는 상기 자동세척장치(100, 200, 300)가 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있도록 상기 상면이송부(140, 240)및 상기 하면이송부(110, 210, 310)가 지지하면서 이동할 수 있는 틀(도면 미도시)이 미리 마련되어 있다. 상기 틀은 가운데에 다수의 클린 필터를 포함하는 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체의 이동을 위한 것과 그 앞면과 뒷면에 본원 발명에 따른 자동세척장치의 이송을 위한 틀을 마련할 수 있다.
상기 노즐결합체 또한 다양한 형태로 변형이 가능하다. 도 1 내지 도 3에 따른 노즐결합체(122)는 노즐지지대(125)를 따라서 상하 위치에 복수개가 고정 배치된 것이다.
도 4에 따른 노즐결합체(222)는 노즐결합체(222)를 좌우로 일정한 각도로 움직임과 동시에 상하로도 이동할 수 있는 노즐박스(221)에 배치된다.
상기 노즐박스(221)는 내부에 노즐결합체(222)와 결합되어 노즐(223)에 세척액을 공급할 수 있는 노즐지지부(224)로 연결된다. 상기 노즐박스(221) 내부에는 상기 노즐결합체(222)가 좌우로 일정한 각도로 움직일 수 있는 구동수단(도면 미도시)이 마련되어 있다. 상기 구동수단은 모터에 의한 회전 운동 또는 일정한 각도만을 왕복하는 운동일 수 있다. 이러한 운동의 형태는 스프링쿨러와 같이 모터의 힘이 아닌 노즐에 의해서 분사되는 힘만으로도 구현이 가능하며 이는 종래의 회전 각도 조절이 가능한 스프링쿨러와 동일한 원리로 작동한다.
상기 노즐박수(221)의 측면에는 상기 상면이송부(140, 240)와 상기 하면이송부(110, 210, 310) 사이를 상하 이동할 수 있는 이동수단이 마련된다. 상기 이동수단의 일례로는 상기 노즐박스(221)에 고정되는 암나사 형태의 노즐상하이송축(227); 상기 노즐상하이송축(227)을 관통하는 수나사 형태의 노즐상하이송레일(225); 상기 노즐상하이송레일(225)을 회전시키는 노즐상하이송모터(226);를 포함한다. 아울러 상기 이동수단에는 상기 노즐박스(221)의 상하 이동을 원할하게 하는 노즐상하지지바퀴레일(229)과 상기 노즐상하지지바퀴레일(229)을 따라 이동하는 노즐상하지지바퀴(228)가 부가될 수 있다.
또한 본원 발명은 상기 자동세척장치(100, 200)를 사용하여 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되어 있는 다수의 클린 필터를 포함하는 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척하는 방법을 제공한다.
상기 노즐(123, 223)에 고압 세척액을 공급하는 고압 펌프(도면 미도시)는 상기 수평형 습식 스크러버의 외부에 있고, 상기 고압 펌프와 상기 노즐(123, 223)은 호스로 연결되며, 상기 세척액의 공급 압력은 100bar 내지 250bar이다.
이상에서 도면을 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 도면에 관한 설명에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다.
그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 ??위에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100, 200: 자동세척장치
110, 210, 310: 하면이송부
111, 211, 311: 하면부
112, 212, 312: 하면이송바퀴
114, 214, 314: 하면지지바퀴
115: 이송기어
116: 이송레일
117: 좌우이송막대
118: 좌우지지고정대
120, 220: 세정부
122, 222: 노즐결합체
123, 223: 노즐
124: 노즐고정부
125: 노즐지지대
130, 230: 지지부
140, 240: 상면이송부
141, 241: 상면부
142, 242: 상면이송바퀴
143, 243: 상면이송바퀴완충부
144, 244: 상면지지바퀴
221: 노즐박스
224: 노즐지지부
225: 노즐상하이송레일
226: 노즐상하이송모터
227: 노즐상하이송축
228: 노즐상하지지바퀴
229: 노즐상하지지바퀴레일
317: 이송나사
318: 이송지지홈
511: 패킹미디어
512: 수분 제거기
513: 공기/기체 주입구
514: 액체 순환 펌프
515: 팬/모터 결합체
516: 세정 후 공기/기체 방출부
517: 그레이팅

Claims (11)

  1. 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되어 있는 다수의 클린 필터를 포함하는 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 상하좌우면을 세척할 수 있는 자동세척장치에 있어서,
    상기 자동세척장치를 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있게하는 하면이송부;
    상기 하면이송부의 상부에 배치되며 복수개의 노즐이 상하로 엇갈리게 배치되어 상기 필터 조립체에 세척액을 분사하는 노즐결합체;
    상기 자동세척장치의 최상단에 위치하며 상기 하면이송부에 대응되는 형태로서 상기 자동세척장치가 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있도록 복수개의 이송바퀴 및 지지바퀴를 포함하는 상면이송부;를 포함하며,
    상기 노즐결합체는 노즐지지대를 따라서 상하 위치에 복수개가 고정 배치되거나,
    상기 노즐결합체를 좌우로 일정한 각도로 움직임과 동시에 상하로도 이동할 수 있는 노즐박스에 배치되고,
    상기 노즐박스는 내부에 노즐결합체를 좌우로 일정한 각도로 움직일 수 있는 구동수단이 마련되어 있고, 측면에는 상기 상면이송부와 상기 하면이송부 사이를 상하 이동할 수 있는 이동수단이 마련된 자동세척장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 클린 필터는 사각형 형태의 제1외부 프레임; 상기 사각형 형태의 제1외부 프레임 내부를 일정한 간격으로 평행하게 배분하는 직선 형태로 배치된 다수의 제1내부 프레임; 상기 직선에서 일정한 간격으로 상하 수직으로 엇갈리게 연장되며 가장 근접한 직선의 연장선과 경사지게 연결되는 제1내부 부재를 포함하는 제1클린 필터 및
    사각형 형태의 제2외부 프레임; 상기 사각형 형태의 제2외부 프레임의 내부를 일정한 다수의 사각형 형태로 분배하도록 배치된 제2내부 프레임을 포함하는 제2클린 필터 및
    사각형 형태의 제3외부 프레임; 상기 사각형 형태의 제3외부 프레임 내부를 다수의 한쌍의 직선이 일정한 간격으로 평행하게 배분하도록 배치된 제3내부 프레임; 상기 각각의 한쌍의 직선은 내부가 일정간 간격으로 연결되어 있고 외부는 일정한 간격으로 상하 수직으로 연장되며 가장 근접한 상기 한쌍의 직선의 연장선과 연결되는 제3내부 부재를 포함하는 제3클린 필터 중에서 중복되어 복수로 선택될 수 있으며,
    상기 클린 필터들이 상기와 같이 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치될 경우 기체 이동 방향과 수직한 면을 투영하여 비어있는 부분이 10% 미만이며,
    상기 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체는 육면체 형태로 구성되며, 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면을 포함하여 상면, 하면, 또는 상하면이 추가로 개방되고, 내부에 다수의 상기 클린 필터가 상기 개방된 수직면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되는 케이스를 더 포함하는 자동세척장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하면이송부는 상기 자동세척장치가 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있도록 복수개의 이송바퀴 및 지지바퀴를 포함하는 자동세척장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하면이송부는 a) 내부에 동력수단을 구비하여 하면이송부에 마련된 바퀴인 하면이송바퀴의 구름에 의해서 이동하거나,
    b) 미리 설치된 톱니 형태의 레일 모양인 이송레일, 상기 이송레일을 따라서 이송할 수 있도록 상기 하면이송부에 마련된 회전하는 기어인 이송기어에 의해서 이동하거나,
    c) 상기 하면이송부에 마련된 암나사 형태의 이송지지홈과 상기 이송지지홈을 관통하는 수나사 형태의 이송나사의 회전에 의해서 이동하는 자동세척장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 수평형 습식 스크러버에는 상기 자동세척장치가 상기 필터 조립체의 면 방향과 평행한 방향으로 이송할 수 있도록 상기 상면이송부 및 상기 하면이송부가 지지하면서 이동할 수 있는 틀이 미리 마련된 자동세척장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 이동수단은 상기 노즐박스에 고정되는 암나사 형태의 노즐상하이송축; 상기 노즐상하이송축을 관통하는 수나사 형태의 노즐상하이송레일; 상기 노즐상하이송레일을 회전시키는 노즐상하이송모터;를 포함하는 자동세척장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 이동수단에는 상기 노즐박스의 상하 이동을 원할하게 하는 노즐상하지지바퀴레일과 상기 노즐상하지지바퀴레일을 따라 이동하는 노즐상하지지바퀴가 부가된 자동세척장치.
  10. 제1항 내지 제5항, 제8항, 제9항 중 어느 한 항에 따른 자동세척장치를 사용하여 스크러버의 기체 이동 방향과 수직한 면에 평행하게 간격을 두고 레이어 형태로 배치되어 있는 다수의 클린 필터를 포함하는 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척하는 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 노즐에 고압 세척액을 공급하는 고압 펌프는 상기 수평형 습식 스크러버의 외부에 있고, 상기 고압 펌프와 상기 노즐은 호스로 연결되며,
    상기 세척액의 공급 압력은 100bar 내지 250bar인 수평형 습식 스크러버용 필터 조립체를 자동으로 세척하는 방법.
KR1020190004658A 2019-01-14 2019-01-14 수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치 KR102204092B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190004658A KR102204092B1 (ko) 2019-01-14 2019-01-14 수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190004658A KR102204092B1 (ko) 2019-01-14 2019-01-14 수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200088091A KR20200088091A (ko) 2020-07-22
KR102204092B1 true KR102204092B1 (ko) 2021-01-18

Family

ID=71893239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190004658A KR102204092B1 (ko) 2019-01-14 2019-01-14 수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102204092B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102524114B1 (ko) * 2022-12-14 2023-04-21 주식회사 월드이노텍 소형생물 역세필터장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200331101Y1 (ko) * 2003-07-18 2003-10-22 심광보 공기여과장치
KR101726299B1 (ko) * 2016-05-25 2017-04-12 (주)중앙플랜트 수평형 습식 스크러버용 클린 필터를 포함하는 조립체 및 그의 구성방법

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6135849A (ja) 1984-07-27 1986-02-20 Ube Ind Ltd ドライエツチング排ガス処理剤
JPS6161619A (ja) 1984-09-04 1986-03-29 Asahi Glass Co Ltd 排ガスの処理方法
JPH04156919A (ja) 1990-10-19 1992-05-29 Ebara Res Co Ltd ハロゲン系化合物を含有する排ガスの処理方法
DE4411078A1 (de) 1994-03-30 1995-10-05 Gutehoffnungshuette Man Filter zum Abscheiden von Schadstoffen aus Rauchgasen
KR0140043Y1 (ko) * 1996-03-15 1999-04-15 김윤훈 공기정화용 에어필터의 이물질 제거장치
BR112013000281A2 (pt) 2010-07-07 2016-05-24 3M Innovative Properties Co mantas fibrosas não tecidas produzidas por deposição a ar (airlaid) dotadas de um padrão e métodos de preparo e uso das mesmas
KR101898890B1 (ko) 2016-07-25 2018-10-29 (주)중앙플랜트 수평형 습식 스크러버용 클린 필터를 포함하는 조립체 및 그의 구성방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200331101Y1 (ko) * 2003-07-18 2003-10-22 심광보 공기여과장치
KR101726299B1 (ko) * 2016-05-25 2017-04-12 (주)중앙플랜트 수평형 습식 스크러버용 클린 필터를 포함하는 조립체 및 그의 구성방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200088091A (ko) 2020-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101601246B1 (ko) 공기 정화장치
KR102039917B1 (ko) 분진 저감 전처리장치 및 이를 이용한 전처리시스템
KR101650786B1 (ko) 집진장치
KR101898890B1 (ko) 수평형 습식 스크러버용 클린 필터를 포함하는 조립체 및 그의 구성방법
KR102204092B1 (ko) 수평형 습식 스크러버용 클린 필터의 자동세척장치
KR20140114119A (ko) 실험실 장비용 유해가스 정화장치
KR101881958B1 (ko) 플라이 포집 및 공기 여과 기능을 갖는 집진장치
KR101591511B1 (ko) 다단 회전형 분산 디스크를 이용한 습식 분진 제거 장치
JP4642559B2 (ja) 不純物除去装置
KR101610739B1 (ko) 습식 집진기 세척 장치
KR102278922B1 (ko) 타워식 공기정화장치
KR101726299B1 (ko) 수평형 습식 스크러버용 클린 필터를 포함하는 조립체 및 그의 구성방법
KR20100002452A (ko) 부스형 집진기
JP3870375B2 (ja) 空気浄化装置
KR20200121661A (ko) 물을 이용한 미세먼지 저감형 공기청정기
JP2007275860A (ja) フィルター清掃と浄水を同時に行う浄水方法と装置
KR101678177B1 (ko) 대용량 휘발성 가스 처리장치
CN106111424A (zh) 一种喷漆间空气净化装置
KR102385991B1 (ko) 다단 적층형 공기필터의 자동 청소장치
KR200394651Y1 (ko) 공기 세정기
KR102253871B1 (ko) 습식 탈취 장치
KR102406712B1 (ko) 다단 경사 공기 필터 설비용 자동 청소장치
KR200141265Y1 (ko) 오염공기 및 배기가스의 정화장치
KR20070054272A (ko) 공기 세정기
TWM509076U (zh) 廢氣淨化裝置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant