JP2008286013A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008286013A JP2008286013A JP2007129197A JP2007129197A JP2008286013A JP 2008286013 A JP2008286013 A JP 2008286013A JP 2007129197 A JP2007129197 A JP 2007129197A JP 2007129197 A JP2007129197 A JP 2007129197A JP 2008286013 A JP2008286013 A JP 2008286013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical body
- rotor
- molecular pump
- turbo molecular
- turbo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
【解決手段】ロータ3には、複数段のうちの一部の段数の動翼1aが形成された筒状体30と、筒状体30の下流端部の外周側に一定的に設けられ、複数段のうちの残りの段数の動翼1bが形成された筒状体31とを備えている。そして、筒状体30の下流端部からロータ回転軸方向に沿って伸延する応力軽減用突出部32を設けたことにより、下流端部の応力を低減することができる。
【選択図】図2
Description
請求項2の発明は、請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、第1の筒状体の形状を、円錐形状としたものである。
請求項3の発明は、請求項1または2に記載のターボ分子ポンプにおいて、ネジステータをさらに備え、第2の筒状体と突出部との間にネジステータの先端を伸延させて、第2の筒状体の内周面とネジステータの外周面とによりネジ溝ポンプ段を構成したものである。
請求項4の発明は、請求項3に記載のターボ分子ポンプにおいて、ネジステータの上端部に形成されて第2の筒状体の方向に突出する凸部と、第2の筒状体の内周面に形成されて凸部に対向する凹部とを備えたものである。
Claims (4)
- 複数段の動翼が形成されたロータを高速回転することにより真空排気を行うターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータは、
前記複数段のうちの一部の段数の動翼が形成された第1の筒状体と、
前記第1の筒状体の下流端部の外周側に一体的に設けられ、前記複数段のうちの残りの段数の動翼が形成された第2の筒状体と、
前記第1の筒状体の下流端部からロータ回転軸方向に沿って伸延する応力緩和用突出部とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記第1の筒状体の形状を、円錐形状としたこと特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1または2に記載のターボ分子ポンプにおいて、
ネジステータをさらに備え、
前記第2の筒状体と前記突出部との間に前記ネジステータの先端を伸延させて、前記第2の筒状体の内周面と前記ネジステータの外周面とによりネジ溝ポンプ段を構成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項3に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ネジステータの上端部に形成されて前記第2の筒状体の方向に突出する凸部と、
前記第2の筒状体の内周面に形成されて前記凸部に対向する凹部とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007129197A JP5056152B2 (ja) | 2007-05-15 | 2007-05-15 | ターボ分子ポンプ |
US12/117,392 US8221052B2 (en) | 2007-05-15 | 2008-05-08 | Turbo-molecular pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007129197A JP5056152B2 (ja) | 2007-05-15 | 2007-05-15 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008286013A true JP2008286013A (ja) | 2008-11-27 |
JP5056152B2 JP5056152B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=40027652
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007129197A Active JP5056152B2 (ja) | 2007-05-15 | 2007-05-15 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8221052B2 (ja) |
JP (1) | JP5056152B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013185577A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
WO2022176745A1 (ja) | 2021-02-19 | 2022-08-25 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ用回転体 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3022944B1 (fr) * | 2014-06-26 | 2020-02-14 | Safran Aircraft Engines | Ensemble rotatif pour turbomachine |
US10557471B2 (en) * | 2017-11-16 | 2020-02-11 | L Dean Stansbury | Turbomolecular vacuum pump for ionized matter and plasma fields |
GB2601515B (en) | 2020-12-02 | 2022-12-28 | Agilent Technologies Inc | Vacuum pump with elastic spacer |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11218094A (ja) * | 1998-02-02 | 1999-08-10 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
JP2000205183A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ―ボ分子ポンプ |
JP2003172291A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH583856A5 (ja) * | 1974-09-27 | 1977-01-14 | Balzers Patent Beteilig Ag | |
JPH01130095A (ja) | 1987-11-12 | 1989-05-23 | Nippon Denso Co Ltd | 送風機制御装置 |
US5219269A (en) * | 1988-07-13 | 1993-06-15 | Osaka Vacuum, Ltd. | Vacuum pump |
FR2683277B1 (fr) * | 1991-11-04 | 1995-01-13 | Cit Alcatel | Entretoise a epaisseur ajustable. |
US5577883A (en) * | 1992-06-19 | 1996-11-26 | Leybold Aktiengesellschaft | Gas friction vacuum pump having a cooling system |
DE4314418A1 (de) * | 1993-05-03 | 1994-11-10 | Leybold Ag | Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten |
JP4156830B2 (ja) * | 2001-12-13 | 2008-09-24 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
ITTO20030420A1 (it) * | 2003-06-05 | 2004-12-06 | Varian Spa | Metodo per la realizzazione di statori per pompe da vuot0 e statori cosi' ottenuti |
JP2006090231A (ja) | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Boc Edwards Kk | ターボ分子ポンプ固定翼の製造方法および真空ポンプ |
-
2007
- 2007-05-15 JP JP2007129197A patent/JP5056152B2/ja active Active
-
2008
- 2008-05-08 US US12/117,392 patent/US8221052B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11218094A (ja) * | 1998-02-02 | 1999-08-10 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
JP2000205183A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ―ボ分子ポンプ |
JP2003172291A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Boc Edwards Technologies Ltd | 真空ポンプ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013185577A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
WO2022176745A1 (ja) | 2021-02-19 | 2022-08-25 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、及び、真空ポンプ用回転体 |
KR20230144531A (ko) | 2021-02-19 | 2023-10-16 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프, 및, 진공 펌프용 회전체 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080286089A1 (en) | 2008-11-20 |
JP5056152B2 (ja) | 2012-10-24 |
US8221052B2 (en) | 2012-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9388816B2 (en) | Turbo-molecular pump | |
JP5056152B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP6331491B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP5680334B2 (ja) | 真空ポンプ | |
WO2021015018A1 (ja) | 真空ポンプ、及び、真空ポンプに用いられるロータ並びに回転翼 | |
JP5670095B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP4935509B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP4147042B2 (ja) | 真空ポンプ | |
KR102450928B1 (ko) | 진공 펌프와 이에 이용되는 스테이터 칼럼과 그 제조 방법 | |
JP5577798B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP6393978B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP7378697B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP2011027049A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP5434684B2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP5136262B2 (ja) | 回転真空ポンプ | |
JP5532051B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP6118784B2 (ja) | 真空ポンプ | |
JP2015127525A (ja) | 真空ポンプ | |
JP2017137840A (ja) | 真空ポンプ並びにこれに用いられるロータ及びステータ | |
JP3193149U (ja) | ターボ分子ポンプ | |
JP2525848Y2 (ja) | 真空ポンプ | |
TW202421927A (zh) | 磁性軸承輪轂及真空泵 | |
JP2002195188A (ja) | 真空ポンプ | |
JP2020133600A (ja) | 遠心圧縮機 | |
JP5273070B2 (ja) | 真空ポンプおよび真空ポンプの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090708 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120417 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120611 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120703 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120716 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5056152 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810 Year of fee payment: 3 |