JP2008285243A - 基板搬送ローラ及びそれを具備した基板洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス基板の形状に応じてユニット化された搬送シャフトを組み合わせた、芯出しの調整が不要で、取り付けが簡単な基板搬送ローラ、及びそれを用いた基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】第１の搬送シャフト１００と、第２の搬送シャフト１１０と、第３の搬送シャフト１２０とを具備し、１つ以上の第１の搬送シャフト１００が同軸上にマグネットカップリングされ、該マグネットカップリングされた１つ以上の第１の搬送シャフト１００の片側に第２の搬送シャフト１１０がマグネットカップリングされ、その反対側に第３の搬送シャフト１２０がマグネットカップリングされて成る。
【選択図】 図１

Description

本発明は、大型ガラス基板の洗浄において、ガラス基板を搬送する基板搬送ローラに係り、詳しくは、ユニット化された搬送シャフトを組み合わせた基板搬送ローラとそれを用いた基板洗浄装置に関する。

画像表示装置に見られる表示画面の大型化に伴い、表示用のガラス基板が大型化している。このため、ガラス基板洗浄装置も大型化し、基板搬送用のローラを有した回転軸（搬送シャフト）も長尺化している。ところがこの長尺化した搬送シャフトを、一本のシャフトで実現する場合、自重による撓みを防止することや、加工精度を確保することが困難となっている。また撓みを抑えるためカーボン材等の部材を用いる場合、コスト高となる問題がある。

長尺シャフトを複数の短尺シャフトで実現する場合、短尺シャフトをメカニカルカップリングで連結する。図４は、メカニカルカップリングを示すカップリング構造図である。２本のシャフト１が、連結部２に形成された連結穴３に左右から挿入され、直角に配置されて空けられたネジ孔４に挿入されるネジによりネジ止めされる。このメカニカルカップリング用の連結部２は、所定の長尺シャフトを得るための加工精度の確保や、取り付け時の芯出し調整を必要とする。このため、製作及び取り付けに多くの時間を費やし、コスト高となる。特許文献１には、処理室内に配置された回転チャックが、基板保持部とその下面の周縁付近から垂下した円筒状のスカート部とを有し、スカート部の下端は隔壁の上面に固定された貯留容器に貯留された純水に接液し、基板保持部の下面に中央からは中心軸が垂下しており、この中心軸は軸受けによって回転自在に支持され、中心軸には回転アクチュエータからの回転力および昇降駆動機構からの昇降駆動力がマグネットカップリングによって隔壁を介して伝達され、これにより回転チャックは回動および昇降駆動される旨の記載がある。
特開平１０−２４４２０１号公報

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、ガラス基板の形状に応じてユニット化された搬送シャフトを組み合わせた、芯出しの調整が不要で、取り付けが簡単な基板搬送ローラ、及びそれを用いた基板洗浄装置を提供することにある。

本発明の基板搬送ローラは、大型ガラス基板を搬送する基板搬送ローラであって、回転軸の両端にマグネット部を有し、両端のマグネット部の間に１つ以上のローラを有する第１の搬送シャフトと、回転軸の片側にマグネット部を有し、回転軸の反対側が回転軸を回転駆動する回転軸駆動部に接続され、マグネット部と回転軸駆動部との間に１つ以上のローラを有する第２の搬送シャフトと、回転軸の片側にマグネット部を有し、回転軸の反対側が回転軸を固定する回転軸固定部に接続され、マグネット部と回転軸固定部との間に１つ以上のローラを有する第３の搬送シャフトとを具備し、１つ以上の第１の搬送シャフトが同軸上にマグネットカップリングされ、該マグネットカップリングされた１つ以上の第１の搬送シャフトの片側に第２の搬送シャフトがマグネットカップリングされ、その反対側に第３の搬送シャフトがマグネットカップリングされて成ることを特徴とする。

本発明の基板洗浄装置は、前記基板搬送ローラが複数配備されて成ることを特徴とする。

本発明によれば、カップリングの芯出しの調整が不要で、取り付けが簡単な、ユニット化された搬送シャフトを組み合わせ、任意の長さの基板搬送ローラを構成することができる。またこの基盤搬送ローラを用いてローラの芯出し調整がいらない大型基板洗浄装置を提供することができる。

本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明の基板搬送ローラの構成を示す構成図である。図１において、第１の搬送シャフト１００は、回転軸１０の両端にマグネット部２０を有している。また、両端のマグネット部２０の間に１つ以上のローラ３０を有している。第２の搬送シャフト１１０は、回転軸４０の片側にマグネット部５０を有し、回転軸４０の反対側が回転軸を回転駆動する回転軸駆動部９５に接続されている。また、マグネット部５０と回転軸駆動部９５との間に１つ以上のローラを有している。第３の搬送シャフト１２０は、回転軸７０の片側にマグネット部８０を有し、回転軸７０の反対側が回転軸７０を固定する回転軸固定部９７に接続されている。また、マグネット部８０と回転軸固定部９７との間に１つ以上のローラ９０を有している。

第１乃至第３の搬送シャフト１００、１１０、１２０は、それぞれ独立してユニット化されている。このため、基板搬送ローラ２００は、任意の数の第１の搬送シャフト１００が同軸上にマグネットカップリングされ、そのマグネットカップリングされた１つ以上の第１の搬送シャフト１００の片側に、第２の搬送シャフト１１０がマグネットカップリングされ、その反対側に第３の搬送シャフト１２０がマグネットカップリングされて構成されている。これにより、基板搬送ローラ２００のシャフトの長さは、ガラス基板の形状に合わせて任意に調整することが可能となる。

図２は、本発明の基板搬送ローラの搬送シャフトのマグネット部の構造を示す構造図である。図２において、マグネット部２０は、円周内に沿って配置された互いに対極する偶数個の磁極２５を有し、回転軸１０の端部に固定されている。これら２本の回転軸１０の端部に固定されたマグネット部２５は、対向する反対の磁極同士が互いに引き合い、マグネットカップリングされる。これにより、芯出しの調整が不要で、ユニット化された第１乃至第３の搬送シャフト１００、１１０、１２０を互いに組み合わせ、任意の長さの基板搬送ローラ２００を構成することができる。マグネット部２０は、パッキン等による気密構造としても良く、これにより水中もしくは薬液中での使用が可能になる。

図３は、本発明の基板搬送ローラを用いた基板洗浄装置の構成図である。図３において、基板洗浄装置３００は、複数本の基板搬送ローラ２００が洗浄用の筐体４０内に配備され、第３のシャフトの片側は、回転軸固定部９７に接続され、第３のシャフトの片側は筐体４０外に設置されている回転軸駆動部９５に接続されて構成されている。大型ガラス基板１３０は、洗浄用の筐体４０の入口から搬入され、洗浄設備（図示されず）により洗浄された後、出口から搬出される。基板洗浄装置３００の基板搬送部分については、大型ガラス基板１３０の形状に合わせて第１の搬送シャフト１００の本数を決め、第２、３の搬送シャフト１１０、１２０とマグネットカップリングさせることで基板搬送ローラ２００を構成し、これを所定の本数だけ配備することにより簡単に組み立てることができる。

以上説明したように本発明の基板搬送ローラは、カップリングの芯出しの調整が不要なユニット化された搬送シャフトを組み合わせることにより、任意の長さの基板搬送ローラを構成することができる。またこの基盤搬送ローラを用いて簡単に大型基板洗浄装置を組み上げることができる。

本発明の基板搬送ローラの構成を示す構成図。 本発明の搬送シャフトのマグネット部の構造を示す構造図。 本発明の基板搬送ローラを用いた基板洗浄装置の構成図。 メカニカルカップリングを示すカップリング構造図。

符号の説明

１０ 回転軸
２０ マグネット部
２５ 磁極
３０ ローラ
４０ 回転軸
５０ マグネット部
６０ ローラ
７０ 回転軸
８０ マグネット部
９０ ローラ
９５ 回転軸駆動部
９７ 回転軸固定部
１００ 第１の搬送シャフト
１１０ 第２の搬送シャフト
１２０ 第３の搬送シャフト
１３０ 大型ガラス基板
１４０ 筐体
２００ 基板搬送ローラ
３００ 基板洗浄装置

Claims (2)

1. 大型ガラス基板を搬送する基板搬送ローラであって、
   回転軸の両端にマグネット部を有し、前記両端のマグネット部の間に１つ以上のローラを有する第１の搬送シャフトと、
   前記回転軸の片側に前記マグネット部を有し、前記回転軸の反対側が前記回転軸を回転駆動する回転軸駆動部に接続され、前記マグネット部と前記回転軸駆動部との間に１つ以上のローラを有する第２の搬送シャフトと、
   前記回転軸の片側に前記マグネット部を有し、前記回転軸の反対側が前記回転軸を固定する回転軸固定部に接続され、前記マグネット部と前記回転軸固定部との間に１つ以上のローラを有する第３の搬送シャフトとを具備し、
   １つ以上の前記第１の搬送シャフトが同軸上にマグネットカップリングされ、該マグネットカップリングされた前記１つ以上の第１の搬送シャフトの片側に前記第２の搬送シャフトがマグネットカップリングされ、その反対側に前記第３の搬送シャフトがマグネットカップリングされて成ることを特徴とする基板搬送ローラ。
2. 請求項１に記載の基板搬送ローラが複数配備されて成ることを特徴とする基板洗浄装置。

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