JP2008266090A - シリコン結晶素材及びこれを用いたfzシリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FZ法によるシリコン単結晶の製造に用いられるシリコン結晶素材であって、CZ法により製造された有転位又は多結晶シリコンであり種結晶部と、この種結晶部から結晶成長した漸次拡径する肩部と、円柱状の直胴部と、漸次縮径する尾部と、を有する。そして、CZ炉内で結晶成長させて炉内から取り出される前に、所定時間かけて所定温度にまで徐冷される徐冷工程を経て製造され、300℃下における残留応力が0.6MPa以下である。
【選択図】図1
Description
以下、本実施形態に係る有転位又は多結晶シリコン結晶素材1の製造方法について説明する。図2は、本実施形態に係るシリコン結晶素材1を製造するためのCZシリコン結晶素材製造装置の部分模式図で、該CZシリコン結晶素材製造装置2は、CZ炉体3内には、引き上げるべきシリコン結晶素材1の原料である多結晶シリコンの融液4を貯留する石英坩堝5と、石英坩堝5を収容する黒鉛坩堝6とが回転及び昇降自在に設置されている。黒鉛坩堝6の周囲には環状のヒータ7及び黒鉛断熱材8が設置されている。尚、このシリコン結晶素材製造装置2は一例であり、これに特定されるものではない。
次に、本実施形態のシリコン結晶素材1用いたFZシリコン単結晶の製造方法について説明する。
CZ法において通常行われるダッシュネック作業を実施せずに、太さφ20mmの種結晶を用いて、直胴部の直径が150mm、長さが1000mmのFZシリコン単結晶用の原料棒となるシリコン結晶素材を引き上げた。このとき、ボロン、リン、砒素、アンチモン等のドーパント(不純物)は添加しなかった。そして、種結晶部1dとシリコン結晶素材1の直胴部1bの肩部1aとがそのまま繋がって一体化しているシリコン結晶を成長させた。
通常に行われているCZ法により、直胴部の直径が155mm、長さが1000mmのシリコン結晶素材を製造した。
FZシリコン単結晶の原料棒として、市販されている直胴部の直径が155mm、長さが1000mmの多結晶素材について、比較例1と同様にして溝を機械加工により形成し、比較例1と同様にして、この溝を利用して、シリコン結晶素材を把持具に取り付け、FZ炉内に装填した。そして、シリコン結晶素材回転のための芯だしを行った。その後、実施例1と同様の条件で、直胴部の直径が150mm、長さが1000mmのFZシリコン単結晶を製造した。
1a 肩部
1b 直胴部
1c 尾部
1d 種結晶部(被把持部)
1e ざくり部
2 CZシリコン結晶素材製造装置
3 CZ炉体
4 融液
5 石英坩堝(CZ坩堝)
6 黒鉛坩堝
7 ヒータ
8 黒鉛断熱材
11 FZシリコン単結晶製造装置
13 把持具
13a 支持部
13b 把持ロッド
13c ピン
14 シリコン原料棒(シリコン結晶素材)
19 誘導加熱コイル(高周波コイル)
20 溶融帯
21 FZシリコン単結晶
Claims (6)
- FZ法によるシリコン単結晶の製造に用いられるシリコン結晶素材であって、
前記シリコン結晶素材は、CZ法により製造された有転位又は多結晶シリコンであることを特徴とするシリコン結晶素材。 - 前記有転位又は多結晶シリコンは、300℃下における残留応力が0.6MPa以下である請求項1記載のシリコン結晶素材。
- 前記有転位又は多結晶シリコンは、種結晶部と、この種結晶部から結晶成長して形成された漸次拡径する肩部と、円柱状の直胴部と、漸次縮径する尾部と、を有する請求項1又は2記載のシリコン結晶素材。
- 前記有転位又は多結晶シリコンは、CZ炉内で結晶成長させて炉内から取り出される前に、所定時間かけて所定温度にまで徐冷される徐冷工程を経て製造されたものである請求項1から3いずれか記載のシリコン結晶素材。
- 前記徐冷工程は、前記有転位又は多結晶シリコンを所定速度で所定高さまで引上げて所定時間保持する工程を少なくとも1回含む請求項4記載のシリコン結晶素材。
- 請求項1から5いずれか記載のシリコン結晶素材を用いてFZシリコン単結晶を製造することを特徴とするFZシリコン単結晶の製造方法。
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