JP6038581B2 - 迷光を遮るように構成された光学エンコーダリードヘッド - Google Patents
迷光を遮るように構成された光学エンコーダリードヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP6038581B2 JP6038581B2 JP2012222712A JP2012222712A JP6038581B2 JP 6038581 B2 JP6038581 B2 JP 6038581B2 JP 2012222712 A JP2012222712 A JP 2012222712A JP 2012222712 A JP2012222712 A JP 2012222712A JP 6038581 B2 JP6038581 B2 JP 6038581B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal layer
- track
- light
- read head
- scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 50
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 6
- 102000012677 DET1 Human genes 0.000 description 3
- 101150113651 DET1 gene Proteins 0.000 description 3
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H lead(2+);trioxido(oxo)-$l^{5}-arsane Chemical compound [Pb+2].[Pb+2].[Pb+2].[O-][As]([O-])([O-])=O.[O-][As]([O-])([O-])=O LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/245—Constructional details of parts relevant to the encoding mechanism, e.g. pattern carriers, pattern sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/14—Conversion in steps with each step involving the same or a different conversion means and delivering more than one bit
- H03M1/143—Conversion in steps with each step involving the same or a different conversion means and delivering more than one bit in pattern-reading type converters, e.g. having both absolute and incremental tracks on one disc or strip
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
- H03M1/28—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding
- H03M1/30—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip with non-weighted coding incremental
- H03M1/301—Constructional details of parts relevant to the encoding mechanism, e.g. pattern carriers, pattern sensors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
多様な実施形態において、そのような光学リードヘッドは、トラックへ光源光を出力するように構成された照明部と、モノリシック検出器構造と、を備えてもよい。モノリシック検出器構造は、トラックからのスケール光を受光するように構成された第1トラック光検出器部と、第1金属層と、第2金属層と、第1金属層と第2金属層との間の複数のダミービアと、を備えてもよい。
複数のダミービアは、第1と第2の金属層の間を通り抜ける光の伝達を遮るように配置され、また、これら複数のダミービアは、モノリシック検出器構造上の回路要素間を接続するための複数の有効ビアを製造する工程と同じ工程によって形成されてもよい。
いくつかの実施形態において、トラックは互いに平行な第1トラック部と第2トラック部とを備え、第1トラック光検出器部は第1トラック部からのスケール光を受光するように構成され、さらに、モノリシック検出器構造は第2トラック部からのスケール光を受光するように構成された第2トラック光検出器部をさらに備えてもよい。
いくつかの実施形態において、複数のダミービアは、モノリシック検出器構造上の電流伝搬回路要素に電気的に接続されなくてもよい。
いくつかの実施形態において、複数のダミービアは、1つの方向に沿って細長の断面を有するダミービアを含んでもよい。
いくつかの実施形態において、複数のダミービアは、第1金属層の縁の付近において、第1金属層の縁に平行な列状に配置されてもよい。
図1は、本発明の検出器構造を利用することができる光学エンコーダ構成100の1つの実施形態を概略的に図示する分解図である。図1に示されているように、エンコーダ構成100は、スケール要素110と、電力・信号接続192によって信号生成・処理回路190に接続された信号処理電子回路120と、照明部160と、を備える。
照明部160は、可視波長又は不可視波長の光を放射する光源130と、レンズ140と、光源格子150と、を備える。(ただし、光源格子150は無くてもよい。)
光源130は、電力・信号接続(不図示)によって信号生成・処理回路190に接続されていてもよい。
図1に示されている例において、スケール要素110は、アブソリュート型スケールパターン115を有し、アブソリュート型スケールパターン115は、2つのトラックパターンとしてインクリメント型トラックパターンTINCとアブソリュート型トラックパターンTABS1とを有する。トラックパターンTABS1は、その構成によって決まる絶対測定範囲内において絶対位置を決定するのに利用可能な信号をあたえるので、アブソリュート型トラックパターンとして参照される。
図1はまた、慣用的に使用される互いに直角なX、Y、Z方向を示している。
XとY方向はアブソリュート型スケールパターン115の平面に平行であり、X方向は意図した測定方向MAに平行である(例えば、インクリメント型トラックパターンTINCに含まれてもよい細長の格子パターン要素に垂直である)。Z方向はアブソリュート型スケールパターン115の平面に垂直である。
光路134Bは、トラックパターンTABS1を照射する光を含む代表的な光路である。
トラックパターンTABS1が照射されると、パターン、例えば空間的に変調された周期的な光のパターン(例えば、トラックパターンに対応してパターン化された光)又はコード化された光のパターンが光路116Bに沿って生じ、信号処理電子回路120の検出器部DETABS1にて受光される。
多様な実施形態において、エンコーダ構成100としては、トラックパターンTABS1は、影像(例えば、ぼやけた又はぼやけていない影像)を検出器部DETABS1に造り出すように構成されていてもよい。
ここで、全ての空間的に変調された光のパターンは、スケール110と連動して移動することが理解されなければならない。検出器部DETINC及びDET1の各々において、個々の光検出器領域は、それぞれの受光した空間的に変調された光のパターンを空間的に濾波し、所望の位置指示信号(例えば、直交信号又は信号補間の助けとなる空間位相関係を有する他の周期的信号)を与えるように配置されている。いくつかの実施形態において、個々の光検出器領域に代えて、既知の手段により、個々の開口を有する空間フィルターマスクでそれぞれ一回り大きな光検出器をマスクし、これにより図示されたような個々の検出器領域に相当する受光領域を生成するようにし、全体的に同様な信号効果が得られるようにしてもよい。
比較的高い解像度の実施形態において、トラックパターンTINCは、一般的に、回折光を作り出すように構成される。
例えば、約8ミクロン又はそれ以下の細かいトラック波長を有する実施形態において、エンコーダ構成100は、周知の方法に基づいて、回折された光(例えば、プラスまたはマイナス一次の回折光)が干渉縞を作り出し、これが検出器部DETINCに達するように構成されてもよい。そのような実施形態において、光源格子150は一般的に省略される。例えば、約8−40ミクロンの細かいトラック波長を有する他の実施形態において、エンコーダ構成100は、周知の方法に基づいて、複数の回折された光が相互に作用して、検出器部DETINCの面上に自己像(例えば、トールボット像又はフレネル像)を作り出すように構成されてもよい。自己像を生成する構成において、光源130はLEDであってもよい。光源格子150は省略されてもよいし、又は、光源の寸法が十分に小さいいくつかの実施形態においては、選択的に使用されてもよい。
しかしながら、光束が広がるタイプの光源が使用される場合、光源格子150は最も理想的な自己像を与えるために必要になるだろう。そのような場合、周知の自己像照明原理に基づき、代表的な光路134Aを囲んでいる光は、光源格子150の格子構造を通過して、トラックパターンTINCのピッチ又は波長にほぼ一致するピッチで配置された格子の開口において部分的にコヒーレントな照明光の配列を生じさせ、この部分的にコヒーレントな光でトラックパターンTINCを照射するようにする。
図1は、光源格子150の実施形態を示し、この光源格子150は、代表的な光路134Bが光源格子150の透明基板を通過するようにし、これによって、検出器トラックDETABS1からの信号の品質に寄与する輝度及び平行度合いが光源格子150の格子構造によって乱されないようにしている。
他の実施形態において、代表的な光路134Bは光源格子150の格子構造を通過してもよい。(しかしながら、それは最適な構成とはいえない。)
多様な応用例において、スケールは可動台に取り付けられてもよいし、又はゲージ軸等に取り付けられてもよい。
図1に示された構成は透過型の構成である。スケールパターン115は、光遮蔽部と、光透過部と、を備え、光透過部は、例えば、周知の薄膜パターニング技術を使用して透明基板上に形成されたものであり、空間的に変調された光を生じさせ、この光は、透過によって検出器トラックに受光される。必要であれば、周知技術に基づいて、同様な構成要素が反射型の実施形態において用いられてもよい。
ここで、照明システム160と信号処理電子回路120とは、スケール110の同じ側に配置され、角度をもった照明及び反射に応じて配置される。
エンコーダ構成100は、米国特許第7608813号に開示されている同様な実施形態を参照することによってさらに理解されるだろう。
モノリシック検出器構造225は図1のモノリシック検出器構造125と同様又は類似したものであってもよい。
モノリシック検出器構造225は、第1トラック光検出器部(不図示)と、第1金属層230と、第2金属層240と、部材層250と、を備える。第1トラック光検出器部は、例えば図1における検出器部DETINCであって、トラック(例えば、スケール要素110)からのスケール光を受光するように構成されている。
第1金属層230は、スロット260を有する。スロット260の右にある第1金属層230の部分はY軸に沿って重なり距離OLだけ第2金属層240と重なっている。スロット260等のスロットは、光検出器部に対応する位相マスクの開口部に対応していてもよいが、スロットはIC内の多様な層の製造に対して付加的に必要とされる。
第1金属層230と第2金属層240との重なり距離OLは小型構成を維持するために小さくなければならない。いくつかの例において、重なり距離OLは10ミクロン未満である必要がある。結果として、スケール光SLの一部(例えば、図1においてトラック部TINC又はトラック部TASB1等のトラック部から光路116A又は光路116Bに沿って出力される光)は、第1金属層230と第2金属層240との間の層に沿って伝達され、そうしてそれが部材層250に入射する可能性がある。スケール光SLの一部は、光検出器や、トランジスタ、又はダイオード等の構成要素に入射し、それらのなかの伝達信号を変化させ、望ましくない信号破損を生じさせる可能性がある。
通常、十分に大きな重なり距離OLによってそのような信号破損は回避されるが、小型構成の場合、このような防止策がいつでも採り得るとはいえない。したがって、異なる手段によってそのような迷光を遮ることが望まれる。
図3において、図2の2XX系統の番号と同じ接尾部XXを有する3XX系統の番号を有する要素は、特にそうでないと記載された場合を除いて、同様又は同一の要素を示している。
図3に示された実施形態において、検出器構造325は付加的に、第1金属層330と第2金属層340との間に形成されたダミービア371を備える。ダミービア371は、第1金属層330と第2金属層340との間の層370に沿った光の伝達を遮るために配置されている。ここで、ダミービア371は、その機能を示すための例に過ぎないことは理解されなければならない。多様な実施形態において、光学リードヘッド300などの光学リードヘッドは、ダミービア371と同様な複数のダミービアであって金属層の縁に沿って配置されたものを有する。実験的な結果によれば、信号の破損を防止するためには、多くの場合、例えば、10ミクロン程度の大きな重なり距離OLよりも複数のダミービアがより効果的であることが示されている。
いくつかの実施形態において、複数のダミービアはモノリシック検出器構造上の電流伝搬回路部材に電気的に接続されない。すなわち、それらは回路自体としては機能を有さず、迷光を遮るためだけに存在する。ダミービアは有効ビアと同じ工程で形成されるので、低コストかつ付加的又は特別な製造工程を必要としない簡便な方法によって、迷光に対してロバストな光学リードヘッドを製造することができる。ここで、典型的なモノリシック検出器構造が3つ以上の層を備え、迷光を遮るためにダミービアが必要に応じて多様な層の間に配置されてもよいことは理解されなければならない。
図4は、第1金属層430と第2金属層440との間の一群のダミービア471Nを示している。
一群のダミービア471Nは、概略的に正方形の断面を有するビアを含む。しかしながら、いくつかの実施形態において、一群のダミービア471Nがスロット460に平行な方向に沿って細長の断面を有してもよいことは理解されなければならない。細長のダミービアは正方形の断面を有するビアよりも多くの光を遮る。ここで、一群のダミービア471Nは、スロット460の付近の、第1金属層430の縁460Eに平行な単一の列として配置されているが、この配置が一例に過ぎず、本発明を制限するものではないことは理解されなければならない。多様な実施形態において、それらはより強力な光遮蔽を与えるためにスロット460の付近において複数の列に配置されてもよい。スロット460の方向は例としてのものであり、本発明を制限するためのものではない。一群のダミービアは、第1金属層の縁に隣接する位置において、様々な方向のスロットに応じて配置されていればよい。
Claims (6)
- リードヘッドとトラックとの測定軸方向に沿った変位を測定する光学リードヘッドであって、
前記トラックへ光源光を出力するように構成された照明部と、
モノリシック検出器構造と、を具備し、
前記モノリシック検出器構造は、
前記トラックからのスケール光を受光するように構成された第1トラック光検出器部と、
前記スケール光を透過可能なスロットが形成された第1金属層と、
前記第1金属層に対して、前記測定軸と直交する前記スケール光の入射方向に離隔して設けられ、前記スロットを透過した前記スケール光が入射する第2金属層と、
前記第2金属層に対して前記測定軸と直交する前記スケール光の入射方向に離隔して設けられた部材層と、
前記第1金属層と前記第2金属層との間に形成され、前記部材層への前記スケール光の入射を遮る複数のダミービアと、を有し、
前記第2金属層は、前記スロットの外縁の前記第1金属層と、前記光源光の入射方向において重複する部分を有し、
前記複数のダミービアは、前記第1金属層と前記第2金属層との間の層を通りぬける光の伝達を遮るように、前記重複する部分の前記第2金属層と、前記第1金属層と、の間に配列される、
光学リードヘッド。 - 請求項1に記載の光学リードヘッドにおいて、
前記トラックは、互いに平行な第1トラック部と第2トラック部とを備え、
前記第1トラック光検出器部が第1スケールトラック部からスケール光を受光するように構成されており、
前記モノリシック検出器構造がさらに、第2スケールトラック部からスケール光を受光するように構成された第2トラック光検出器部を備える
ことを特徴とする光学リードヘッド。 - 請求項1または請求項2に記載の光学リードヘッドにおいて、
前記複数のダミービアは、前記モノリシック検出器構造上の電流伝搬回路要素に電気的に接続されていない
ことを特徴とする光学リードヘッド。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の光学リードヘッドにおいて、
前記複数のダミービアは、1つの方向に沿って細長の断面を有する少なくとも1つのダミービアを含む
ことを特徴とする光学リードヘッド。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の光学リードヘッドにおいて、
記複数のダミービアは、第1金属層の縁の付近において、第1金属層の前記縁に平行な列状に配置されている
ことを特徴とする光学リードヘッド。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の光学リードヘッドにおいて、
前記複数のダミービアは、前記モノリシック検出器構造上の回路要素間を接続するための複数の有効ビアを製造する工程と同じ工程によって形成される
ことを特徴とする光学リードヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/291,905 US8723103B2 (en) | 2011-11-08 | 2011-11-08 | Optical encoder readhead configured to block stray light with dummy vias |
US13/291905 | 2011-11-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013101106A JP2013101106A (ja) | 2013-05-23 |
JP6038581B2 true JP6038581B2 (ja) | 2016-12-07 |
Family
ID=48129139
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012222712A Active JP6038581B2 (ja) | 2011-11-08 | 2012-10-05 | 迷光を遮るように構成された光学エンコーダリードヘッド |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8723103B2 (ja) |
JP (1) | JP6038581B2 (ja) |
DE (1) | DE102012220078B4 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6178854A (ja) * | 1984-09-25 | 1986-04-22 | Takemoto Oil & Fat Co Ltd | ポリオレフイン樹脂への帯電防止性及び防曇性付与方法 |
JP6359254B2 (ja) * | 2013-09-03 | 2018-07-18 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
US11874144B2 (en) * | 2020-07-28 | 2024-01-16 | Li Lin | Displacement measurement system |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29805392U1 (de) * | 1998-03-25 | 1999-08-05 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 83301 Traunreut | Optoelektronische Baugruppe |
JP2003282850A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-03 | Seiko Epson Corp | 固体撮像素子 |
US7256470B2 (en) * | 2005-03-16 | 2007-08-14 | Udt Sensors, Inc. | Photodiode with controlled current leakage |
GB0406540D0 (en) | 2004-03-24 | 2004-04-28 | Koninkl Philips Electronics Nv | Electroluminescent display devices |
GB0621487D0 (en) * | 2006-10-28 | 2006-12-06 | Renishaw Plc | Opto-electronic read head |
US7880168B2 (en) | 2007-12-19 | 2011-02-01 | Aptina Imaging Corporation | Method and apparatus providing light traps for optical crosstalk reduction |
US7608813B1 (en) * | 2008-11-18 | 2009-10-27 | Mitutoyo Corporation | Scale track configuration for absolute optical encoder including a detector electronics with plurality of track detector portions |
US8212202B2 (en) * | 2009-01-08 | 2012-07-03 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Reflective optical encoder package and method |
US20120168890A1 (en) * | 2011-01-04 | 2012-07-05 | Yu Hin Desmond Cheung | Image sensor structure |
-
2011
- 2011-11-08 US US13/291,905 patent/US8723103B2/en active Active
-
2012
- 2012-10-05 JP JP2012222712A patent/JP6038581B2/ja active Active
- 2012-11-05 DE DE102012220078.9A patent/DE102012220078B4/de active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102012220078A1 (de) | 2013-05-08 |
US20130112859A1 (en) | 2013-05-09 |
DE102012220078B4 (de) | 2014-01-23 |
JP2013101106A (ja) | 2013-05-23 |
US8723103B2 (en) | 2014-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5286584B2 (ja) | 絶対位置測長型エンコーダ | |
EP2866001B1 (en) | Photoelectric encoder | |
KR101240413B1 (ko) | 원점 검출 장치, 변위 측정 장치 및 광학 장치 | |
JP6312505B2 (ja) | 光学式エンコーダおよびこれを備えた装置 | |
JP5717633B2 (ja) | 光学式位置測定装置 | |
KR101184167B1 (ko) | 광 위치 인코더 | |
JP2005043192A (ja) | 光学式エンコーダ及びその製造方法並びに光学レンズモジュール | |
JP2010122214A (ja) | 光学式エンコーダ、及び、そのスケール | |
JP2008261701A (ja) | 絶対位置測長型エンコーダ | |
JP2006220655A (ja) | 位置測定装置 | |
US10077991B2 (en) | Optical encoder configured to mitigate undesired interfering light components | |
JP6038581B2 (ja) | 迷光を遮るように構成された光学エンコーダリードヘッド | |
US8493569B2 (en) | Optical encoder readhead configuration with phosphor layer | |
JP6563813B2 (ja) | 光学要素 | |
JP2560513B2 (ja) | 回析干渉型エンコーダ | |
US9689715B2 (en) | Light source array used in an illumination portion of an optical encoder | |
JP4425078B2 (ja) | エンコーダ | |
JP6705649B2 (ja) | エンコーダ | |
JP5553669B2 (ja) | 光学式絶対位置測長型エンコーダ | |
KR101434925B1 (ko) | 정점 검출 장치 및 변위 측정 장치 | |
JP2005283357A (ja) | 光電式エンコーダ | |
US11353583B2 (en) | Optical position-measurement device with varying focal length along a transverse direction | |
JP6111852B2 (ja) | エンコーダ装置 | |
JP4291168B2 (ja) | 光学式エンコーダ用光検出器 | |
EP4390327A1 (en) | Encoder apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150904 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160802 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160929 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161018 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161102 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6038581 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |