JP2008244036A - 半導体結晶および半導体装置 - Google Patents
半導体結晶および半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008244036A JP2008244036A JP2007080633A JP2007080633A JP2008244036A JP 2008244036 A JP2008244036 A JP 2008244036A JP 2007080633 A JP2007080633 A JP 2007080633A JP 2007080633 A JP2007080633 A JP 2007080633A JP 2008244036 A JP2008244036 A JP 2008244036A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- semiconductor crystal
- buffer layer
- crystal
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Abstract
【課題】優れた特性の窒化物系化合物半導体複合層を有する半導体結晶および半導体装置を提供すること。
【解決手段】SiC基板1上に、基板1とバッファ層とのつなぎをよくするために、AlGaNバッファ層2’を結晶成長し、AlGaNバッファ層2’上にGaNバッファ層2を2μm成長し、GaNバッファ層2上にIn0.25Al0.05Ga0.70Nチャネル層3を30nm成長した後、In0.25Al0.05Ga0.70Nチャネル層3上にIn0.10Al0.80Ga0.10Nバリア層4を25nm成長してなる構造を有する半導体装置を構成する。
【選択図】図2
【解決手段】SiC基板1上に、基板1とバッファ層とのつなぎをよくするために、AlGaNバッファ層2’を結晶成長し、AlGaNバッファ層2’上にGaNバッファ層2を2μm成長し、GaNバッファ層2上にIn0.25Al0.05Ga0.70Nチャネル層3を30nm成長した後、In0.25Al0.05Ga0.70Nチャネル層3上にIn0.10Al0.80Ga0.10Nバリア層4を25nm成長してなる構造を有する半導体装置を構成する。
【選択図】図2
Description
本発明は半導体結晶および半導体装置に関し、特に、窒化物系化合物半導体結晶およびそれを用いた半導体装置に関する。
窒化物系化合物半導体で高速・高出力動作が可能な高電子移動度トランジスタ(HEMT)を構成する場合、従来は、キャリアを供給するバリア層にAlGaNを、電子が走行するチャネル層にGaNを、それぞれ使用したAlGaN/GaNHEMTとすることが多かった。その理由として、AlGaNとGaNとの格子不整合から来る格子歪みにより、AlGaNに特にドーピングしなくても、ピエゾ分極効果と自発分極効果によりGaNチャネル層に二次元電子ガスを発生させることが可能であること、そしてトランジスタ作製上の面からは、窒化物系化合物半導体の中でもGaNとAlGaNは比較的結晶成長が容易な材料である事があげられる。
結晶成長技術の進展と共に、InGaNがLED等の光デバイスの分野で利用可能な結晶品質まで向上し、これをHEMTのチャネル層に応用することでAlGaN/GaNHEMTよりも高性能なHEMTを作る試みがなされてきた。理論的には、InGaNチャネルはGaNチャネルよりもHEMTの二次元電子ガスのシートキャリア密度を上げられる可能性があり、実現すると素子の特性を向上させられるためである(例えば、下記非特許文献1参照)。
しかしながら、InGaNを電子デバイスに用いるには依然としてInGaN自身の結晶品質や他層との急峻なヘテロ界面形成に課題がある事が試作から判明している。これは、一般に窒化物系化合物半導体は1000℃を越える高温で結晶成長を行うことが多いのに対し、InGaNの結晶成長は結晶成長中に結晶表面からのInの再蒸発を抑制しなければならないために低温で成長する必要があり、そのために結晶中に欠陥や転移等が発生しやすいためである。
「MOCVD-grown InGaN-channel HEMT structures with electron mobility of over 1000cm2/Vs」、Naoya Okamoto ら5名、Elsevier、Journal of Crystal Growth、2004年発行、Vol. 272、278-284ぺージ。 「Si基板上にMOCVD成長した高品質 InAlN/GaN HEMT エピ」、渡邊 則之ら6名、信学技報、ED2006-233, MW2006-186(2007-1)、183-187ぺージ。
「MOCVD-grown InGaN-channel HEMT structures with electron mobility of over 1000cm2/Vs」、Naoya Okamoto ら5名、Elsevier、Journal of Crystal Growth、2004年発行、Vol. 272、278-284ぺージ。 「Si基板上にMOCVD成長した高品質 InAlN/GaN HEMT エピ」、渡邊 則之ら6名、信学技報、ED2006-233, MW2006-186(2007-1)、183-187ぺージ。
本発明は、上記の問題点、すなわち、InGaNの結晶成長は、結晶表面からのInの再蒸発を抑制するために低温で行う必要があり、そのために結晶中に欠陥や転移等が発生しやすく、良好な特性の電子デバイスが得られないという問題点に鑑みてなされたものであり、本発明が解決しようとする課題は、優れた特性の窒化物系化合物半導体複合層を有する半導体結晶および半導体装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明では、請求項1に記載のように、
InとAlとGaとNを含む第一の層と、AlとNを含む第二の層とを有し、前記第二の層の伝導帯端のポテンシャルが前記第一の層の伝導帯端のポテンシャルより高いことを特徴とする半導体結晶を構成する。
InとAlとGaとNを含む第一の層と、AlとNを含む第二の層とを有し、前記第二の層の伝導帯端のポテンシャルが前記第一の層の伝導帯端のポテンシャルより高いことを特徴とする半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項2に記載のように、
基板上にバッファ層を有し、前記バッファ層上にチャネル層を有し、前記チャネル層上にバリア層を有する半導体結晶であって、前記バッファ層がGaとNを含み、前記チャネル層がInとAlとGaとNを含み、前記バリア層がAlとNを含み、前記バッファ層の伝導帯端のポテンシャルが前記チャネル層の伝導帯端のポテンシャルより高く、かつ、前記バリア層の伝導帯端のポテンシャルより低いことを特徴とする半導体結晶を構成する。
基板上にバッファ層を有し、前記バッファ層上にチャネル層を有し、前記チャネル層上にバリア層を有する半導体結晶であって、前記バッファ層がGaとNを含み、前記チャネル層がInとAlとGaとNを含み、前記バリア層がAlとNを含み、前記バッファ層の伝導帯端のポテンシャルが前記チャネル層の伝導帯端のポテンシャルより高く、かつ、前記バリア層の伝導帯端のポテンシャルより低いことを特徴とする半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項3に記載のように、
前記第一の層または前記チャネル層において、Alの添加によりIn取り込みが増加していることを特徴とする請求項1または2記載の半導体結晶を構成する。
前記第一の層または前記チャネル層において、Alの添加によりIn取り込みが増加していることを特徴とする請求項1または2記載の半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項4に記載のように、
前記バッファ層がInaAlbGa1−a−bN(0≦a、0≦b、a+b<1)であって、前記チャネル層がInvAlwGa1−v−wN(0<v、0<w、v+w<1)であって、前記バリア層がInxAlyGa1−x−yN(0≦x、0<y、x+y≦1)であることを特徴とする請求項2または3記載の半導体結晶を構成する。
前記バッファ層がInaAlbGa1−a−bN(0≦a、0≦b、a+b<1)であって、前記チャネル層がInvAlwGa1−v−wN(0<v、0<w、v+w<1)であって、前記バリア層がInxAlyGa1−x−yN(0≦x、0<y、x+y≦1)であることを特徴とする請求項2または3記載の半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項5に記載のように、
請求項4記載の半導体結晶において、前記InaAlbGa1−a−bNにおけるaおよびbが、0<a≦0.05および0<b≦0.05を満足することを特徴とする半導体結晶を構成する。
請求項4記載の半導体結晶において、前記InaAlbGa1−a−bNにおけるaおよびbが、0<a≦0.05および0<b≦0.05を満足することを特徴とする半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項6に記載のように、
請求項4記載の半導体結晶において、前記バッファ層がGaNであることを特徴とする半導体結晶を構成する。
請求項4記載の半導体結晶において、前記バッファ層がGaNであることを特徴とする半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項7に記載のように、
請求項4、5または6記載の半導体結晶において、前記InvAlwGa1−v−wNにおけるvおよびwが、0<v<0.30および0<w<0.32を満足することを特徴とする半導体結晶を構成する。
請求項4、5または6記載の半導体結晶において、前記InvAlwGa1−v−wNにおけるvおよびwが、0<v<0.30および0<w<0.32を満足することを特徴とする半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項8に記載のように、
請求項4、5、6または7記載の半導体結晶において、前記InxAlyGa1−x−yNにおけるyが0.49<y≦1を満足することを特徴とする半導体結晶を構成する。
請求項4、5、6または7記載の半導体結晶において、前記InxAlyGa1−x−yNにおけるyが0.49<y≦1を満足することを特徴とする半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項9に記載のように、
請求項4ないし8いずれかに記載の半導体結晶において、前記InxAlyGa1−x−yNにおけるxおよびyが、x+y=1および0≦x≦0.18を満足することを特徴とする半導体結晶を構成する。
請求項4ないし8いずれかに記載の半導体結晶において、前記InxAlyGa1−x−yNにおけるxおよびyが、x+y=1および0≦x≦0.18を満足することを特徴とする半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項10に記載のように、
請求項2ないし9いずれかに記載の半導体結晶において、前記基板がシリコン基板であり、その面方位が(111)およびそれと等価な面方位であることを特徴とする半導体結晶を構成する。
請求項2ないし9いずれかに記載の半導体結晶において、前記基板がシリコン基板であり、その面方位が(111)およびそれと等価な面方位であることを特徴とする半導体結晶を構成する。
また、本発明では、請求項11に記載のように、
請求項1ないし10いずれかに記載の半導体結晶を有する半導体装置を構成する。
請求項1ないし10いずれかに記載の半導体結晶を有する半導体装置を構成する。
すなわち、例えば、InGaN系HEMTのチャネル層に好適な材料としてInAlGaN、またそれと組み合わせるのに好適なバリア層材料としてチャネル層と組成が異なるInAlGaN、特にInAlNによって構成されたHEMT構造を提供する。
例えば、チャネル層にAlを含むInAlGaNを用いることによって、高品質なInAlGaNチャネル/InAl(Ga)Nバリア結晶が得られ、これによって、優れた特性の窒化物系化合物半導体複合層を有する半導体結晶および半導体装置を提供することが可能となる。
以下に、本発明を実施するための最良の形態を、バッファ層がGaNであり、チャネル層がInAlGaNであり、バリア層がInAlGaNまたはInAlNであるHEMT構造を例として説明するが、本発明は、これに限られるものではない。
図1に本発明の基本構成の一例を示す。図において、基板1の上に、GaNバッファ層2、第一の層であるInAlGaNチャネル層3、第二の層であるInAlGaNバリア層4が、この順に、形成されている。この図において、本発明の説明に必要のない部分は省略されている。
我々は、InAlNの結晶成長の検討から、結晶内へのInの取り込み効率にAlの存在が深く関与していることを見いだし、InGaNの結晶成長においてもAlを少量添加するだけでInの取り込み効率を改善できるという知見を得た。ここで、InAlGaNの組成式をInvAlwGa1−v−wN(0<v、0<w、v+w<1)とする。
Alを含まないInGaNを結晶成長する場合、結晶にいったん取り込まれたInが結晶表面から再離脱するという、Inの再蒸発が結晶中のIn組成を上げるための障害となる。このInの再蒸発に一番影響を及ぼすのは結晶成長時の温度であり、成長温度が600℃以上になるとInの再蒸発が生じはじめ、さらに成長温度を上げるとInは結晶中にごくわずかしか取り込まれなくなる。
V族原料、一般に窒化物系化合物半導体成長ではアンモニアの供給量を増やすと再蒸発を少しだけ抑制できるが、その一方で結晶中に意図しない不純物の混入(主として炭素)が増加し、また転位などの結晶欠陥も増大する。一方で、本発明のように、結晶組成をInvAlwGa1−v−wNとすると、一度結晶中に取り込まれたInは結合エネルギーが大きいAlの影響を受けるために再蒸発を生じにくくなるため、通常のInGaN成長よりも成長可能な条件が拡大する。
ただし、Alの添加は伝導帯端のポテンシャルを上昇させる効果もある。HEMTのチャネル層にGaNに換えてInGaN系を採用するのは、GaNよりも伝導帯端のポテンシャルが低くなり、結果としてチャネル中に発生する二次元電子ガスの濃度(シートキャリア密度)を高めることができるためである。
ここで、チャネル層の上にあるバリア層については、従来から用いられているAlGaNバリア層でも本発明の効果は十分に発揮されるが、より効果を高めるためには、バリア層の組成をInxAlyGa1−x−yN(0≦x、0<y、x+y≦1)としたときに、通常用いられているAlGaNバリア層の組成(一般にAl組成yが0.3未満)よりもAl組成yを高めて、結晶内での自発分極効果を高めることにより、より多くの二次元電子ガスをチャネル層側に発生させる事が有効である。このとき、バリア層の伝導帯端のポテンシャルがチャネル層のそれよりも高い必要があることがHEMTの動作原理から要求される。
以上を伝導帯端に着目してまとめると、HEMT構造において重要となる二次元電子ガスを効率よく発生させるためには、HEMT構造中のバッファ層、チャネル層、バリア層の3層において伝導帯端のポテンシャルが「チャネル層<バッファ層<バリア層」となっている必要がある。ここでの不等号「<」は、各層の伝導帯端のポテンシャルの高低関係(低<高)を表すものとする。
ここでまずバッファ層については、上記のポテンシャル高さの関係を満たすのと同時にチャネル層に二次元電子ガスを発生させない事が求められる。そのため、自発分極やピエゾ分極が小さい組成領域を使用しなければならず、InaAlbGa1−a−bNバッファ層(0≦a、0≦b、a+b<1)においては、aおよびbが0≦a≦0.05かつ0≦b≦0.05の範囲で使用することが望ましい。究極的には特にGaNバッファ層(a=b=0)とする。
その上で、「チャネル層<バッファ層<バリア層」の条件を満たす組成を、InGaNの伝導帯端ポテンシャルのIn組成依存性とAlNの伝導帯端ポテンシャルとからベガード則を基にして求めると、GaNバッファ層とInvAlwGa1−v−wNチャネル層においては、vおよびwが0<v<0.30、0<w<0.32である。In組成vについては0.30以上にすることも結晶成長上は可能であるが、相分離が生じやすくなるため実質0.30以上の組成を使用することは難しい。このIn組成の極限値から自動的にAl組成の上限が定まり、Al組成が0.32を越えるとInvAlwGa1−v−wNチャネル層の伝導帯端がGaNバッファ層のそれを上回ってしまう。
次に、GaNバッファ層とInxAlyGa1−x−yNバリア層についてみると、yが0.49<y≦1の時に伝導帯端のポテンシャルの条件を満たし、かつ、Al組成yが0.3未満のAlGaNよりも効果的に二次元電子ガスを発生させることが可能となる。特に好適な組成は、xおよびyの関係がx+y=1であり、かつ0≦x≦0.18である。このとき、バリア層内の自発分極はAlGaNよりも大きくなり、AlNに近い状態となるため、より効果的に二次元電子ガスを発生させることが可能となる。
本発明の効果は、窒化物系化合物半導体を成長できるどの基板(例えば、GaN、サファイア、SiC、Si、ZnOなど)を用いても発揮されるものであるが、特にコストを抑えつつ、高耐圧・高出力であるHEMTを製造するためには、基板として安価に入手が可能なSi(111)基板と組み合わせるのが良い(例えば、前記非特許文献2参照)。基板とバッファ層との間には、一般に核生成層などを挿入するが、この部分については良好なバッファ層が形成できるのであれば任意の構造を用いても本発明の効果を減じるものではない。
また結晶成長の手法として、一般には窒化物系化合物半導体の成長はV族原料の窒素原子の供給に優れる有機金属気相成長法(MOCVD)が用いられているが、本発明の構造が実現できる成長法であれば、ハロゲン化気相成長法(HVPE)や、分子線エピタキシ法(MBE)、ガスソースMBEなど、どの方法も用いることが可能である。
[実施の形態例1]
発明の第1の実施の形態例として、図2に示したように、基本となる素子構造としてSiC基板1上のGaNバッファ層/In0.25Al0.05Ga0.70Nチャネル層/In0.10Al0.80Ga0.10Nバリア層を用いているが、本発明はこの構造に限定されることなく、請求項に記載された材料系において適用可能である。
発明の第1の実施の形態例として、図2に示したように、基本となる素子構造としてSiC基板1上のGaNバッファ層/In0.25Al0.05Ga0.70Nチャネル層/In0.10Al0.80Ga0.10Nバリア層を用いているが、本発明はこの構造に限定されることなく、請求項に記載された材料系において適用可能である。
SiC基板1を希釈したフッ酸溶液で洗浄し、清浄表面を得る。次に、MOCVD装置に洗浄済SiC基板1を装填し、水素雰囲気下で昇温してサーマルクリーニングを行う。クリーニング後、最初に基板1とバッファ層とのつなぎをよくするためにAlGaNバッファ層2’を結晶成長し、次にGaNバッファ層2を2μm成長する。次に、In0.25Al0.05Ga0.70Nチャネル層3を30nm成長した後、In0.10Al0.80Ga0.10Nバリア層4を25nm成長する。通常、In組成0.25のInGaN層を成長しようとすると、相分離を起こしやすく、表面が荒れやすいために良好なヘテロ界面が得られないが、本実施の形態例の構造においては急峻なヘテロ界面を得ることができる。
本実施の形態例における結晶について通常のホール測定により測定した結果、移動度が900cm2/v・s以上とGaNチャネルと同等の移動度であり高品質の結晶が得られたことがわかった。
[実施の形態例2]
発明の第2の実施の形態例として、図3に示したように、基本となる素子構造としてSi(111)基板1上のGaNバッファ層/In0.15Al0.02Ga0.83Nチャネル層/In0.17Al0.83Nバリア層を用いているが、本発明はこの構造に限定されることなく、請求項に記載された材料系において適用可能である。
発明の第2の実施の形態例として、図3に示したように、基本となる素子構造としてSi(111)基板1上のGaNバッファ層/In0.15Al0.02Ga0.83Nチャネル層/In0.17Al0.83Nバリア層を用いているが、本発明はこの構造に限定されることなく、請求項に記載された材料系において適用可能である。
Si(111)基板1をRCA法もしくはフッ酸溶液で洗浄し、清浄表面を得る。次に、MOCVD装置に洗浄済シリコン基板を装填し、水素雰囲気下で昇温してサーマルクリーニングを行う。クリーニング後、最初にAlNバッファ層2”を結晶成長し、次にAlGaNバッファ層2’をシリコン基板に近い方から順にAl組成を減らしていきながら成長し、次に成長するGaNバッファ層2とのつながりを良くする。次にGaNバッファ層2を1μm成長する。次に、In0.15Al0.02Ga0.83Nチャネル層3を10nm成長した後、In0.17Al0.83Nバリア層4を30nm成長する。このとき、チャネル層をGaNで構成したときにシートキャリア密度は1.3×1013cm−2程度であったのが、それをIn0.15Al0.02Ga0.83Nチャネル層とすることで2.1×1013cm−2まで向上した。このとき、通常のホール測定により測定した結果、移動度が900cm2/v・s以上とGaNチャネルと同等の移動度であり高品質の結晶が得られたことがわかった。
このように、InGaN系HEMTのチャネル層に好適な材料としてInAlGaN、またそれと組み合わせるのに好適なバリア層材料としてチャネル層と組成が異なるInAlGaN、特にInAlNによって構成されたHEMT構造とすることにより、HEMT構造にInGaN系材料をチャネル層に利用できるようになり、HEMTのシートキャリア密度を高める事が可能となる。
1:基板、2、2’、2”:バッファ層、3:チャネル層、4:バリア層。
Claims (11)
- InとAlとGaとNを含む第一の層と、AlとNを含む第二の層とを有し、
前記第二の層の伝導帯端のポテンシャルが前記第一の層の伝導帯端のポテンシャルより高いことを特徴とする半導体結晶。 - 基板上にバッファ層を有し、前記バッファ層上にチャネル層を有し、前記チャネル層上にバリア層を有する半導体結晶であって、
前記バッファ層がGaとNを含み、
前記チャネル層がInとAlとGaとNを含み、
前記バリア層がAlとNを含み、
前記バッファ層の伝導帯端のポテンシャルが前記チャネル層の伝導帯端のポテンシャルより高く、かつ、前記バリア層の伝導帯端のポテンシャルより低いことを特徴とする半導体結晶。 - 前記第一の層または前記チャネル層において、Alの添加によりIn取り込みが増加していることを特徴とする請求項1または2記載の半導体結晶。
- 前記バッファ層がInaAlbGa1−a−bN(0≦a、0≦b、a+b<1)であって、
前記チャネル層がInvAlwGa1−v−wN(0<v、0<w、v+w<1)であって、
前記バリア層がInxAlyGa1−x−yN(0≦x、0<y、x+y≦1)であることを特徴とする請求項2または3記載の半導体結晶。 - 請求項4記載の半導体結晶において、前記InaAlbGa1−a−bNにおけるaおよびbが、0<a≦0.05および0<b≦0.05を満足することを特徴とする半導体結晶。
- 請求項4記載の半導体結晶において、前記バッファ層がGaNであることを特徴とする半導体結晶。
- 請求項4、5または6記載の半導体結晶において、前記InvAlwGa1−v−wNにおけるvおよびwが、0<v<0.30および0<w<0.32を満足することを特徴とする半導体結晶。
- 請求項4、5、6または7記載の半導体結晶において、前記InxAlyGa1−x−yNにおけるyが0.49<y≦1を満足することを特徴とする半導体結晶。
- 請求項4ないし8いずれかに記載の半導体結晶において、前記InxAlyGa1−x−yNにおけるxおよびyが、x+y=1および0≦x≦0.18を満足することを特徴とする半導体結晶。
- 請求項2ないし9いずれかに記載の半導体結晶において、前記基板がシリコン基板であり、その面方位が(111)およびそれと等価な面方位であることを特徴とする半導体結晶。
- 請求項1ないし10いずれかに記載の半導体結晶を有する半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007080633A JP2008244036A (ja) | 2007-03-27 | 2007-03-27 | 半導体結晶および半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007080633A JP2008244036A (ja) | 2007-03-27 | 2007-03-27 | 半導体結晶および半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008244036A true JP2008244036A (ja) | 2008-10-09 |
Family
ID=39915036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007080633A Pending JP2008244036A (ja) | 2007-03-27 | 2007-03-27 | 半導体結晶および半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008244036A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010177416A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Mitsubishi Electric Corp | 窒化物半導体装置 |
JP2010238699A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置 |
JP2011071266A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Ngk Insulators Ltd | 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子、および半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法 |
JP2012033703A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2007
- 2007-03-27 JP JP2007080633A patent/JP2008244036A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010177416A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Mitsubishi Electric Corp | 窒化物半導体装置 |
JP2010238699A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置 |
JP2011071266A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Ngk Insulators Ltd | 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子、および半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法 |
JP2012033703A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6318474B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5705399B2 (ja) | 転位密度の低いiii族窒化物材料及び当該材料に関連する方法 | |
JP6731584B2 (ja) | 窒化物半導体装置および窒化物半導体基板 | |
US20150144954A1 (en) | Method for heteroepitaxial growth of iii metal-face polarity iii-nitrides on substrates with diamond crystal structure and iii-nitride semiconductors | |
JP6141627B2 (ja) | シリコン基板上にGaN層を形成する方法およびGaN基板 | |
JP2009231561A (ja) | 窒化物半導体結晶薄膜およびその作製方法、半導体装置およびその製造方法 | |
JP4860736B2 (ja) | 半導体構造物及びそれを製造する方法 | |
JP2007243006A (ja) | 窒化物系半導体の気相成長方法、及び、エピタキシャル基板とそれを用いた半導体装置 | |
JP2006237582A (ja) | 結晶窒化ガリウムベースの化合物の成長方法及び窒化ガリウムベース化合物を含む半導体デバイス | |
JP2008311533A (ja) | 高電子移動度トランジスタ | |
JP4449357B2 (ja) | 電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハの製造方法 | |
JP6305137B2 (ja) | 窒化物半導体積層物および半導体装置 | |
JP3753068B2 (ja) | 電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハの製造方法 | |
JP2008244036A (ja) | 半導体結晶および半導体装置 | |
JP2006179861A (ja) | 半導体エピタキシャルウェハ及び電界効果トランジスタ | |
JP2006114652A (ja) | 半導体エピタキシャルウェハ及び電界効果トランジスタ | |
JP2004235193A (ja) | 窒化物系iii−v族化合物半導体装置の製造方法および窒化物系iii−v族化合物半導体装置 | |
JP2014090065A (ja) | 窒化物系半導体エピタキシャルウエハ及び窒化物系電界効果型トランジスタ | |
JP2004289005A (ja) | エピタキシャル基板、半導体素子および高電子移動度トランジスタ | |
TWI277212B (en) | Method of converting N face into Ga face for HEMT nitride buffer layer structure | |
JP2002050758A (ja) | 化合物半導体エピタキシャルウェハ及びそれを用いたトランジスタ | |
JP6205497B2 (ja) | 窒化物半導体の製造方法 | |
JP2003218127A (ja) | 電界効果トランジスタ用エピタキシャルウェハ及び電界効果トランジスタ並びにその製造方法 | |
JP2006196557A (ja) | 半導体エピタキシャルウェハ及び電界効果トランジスタ | |
JP2009263144A (ja) | 半導体結晶 |