JP2008243342A - 磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置および超音波洗浄方法、磁気ディスク製造方法ならびに磁気ディスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超音波洗浄装置100は、洗浄液140を貯留するための内槽110と、超音波媒体液150を貯留して超音波媒体液150中に内槽110を保持するための外槽120と、外槽120の底面に取り付けられ、超音波を放射し、内槽110内の洗浄液140中に設置される磁気ディスク用ガラス基板170を超音波洗浄する超音波発振板130と、内槽110の底面190に滞留する気泡200を底面190の外側に移動させるよう、超音波媒体液150中に液体を放出する液体放出手段250とを含む。これにより、内槽底面190に滞留する気泡200が除去される。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明による磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置の第1の実施形態を示す図である。超音波洗浄装置100は、洗浄液140を貯留するための内槽110と、超音波媒体液150を貯留して超音波媒体液150中に内槽110を保持するための外槽120とを含む。
図4は、本発明による磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置の第2の実施形態を示す図である。第2の実施形態における超音波洗浄装置220では、液体放出手段350は、液流を水平に放出するのではなく、内槽110の底面190に向かって所定の傾斜角で放出し、底面190に衝突させた上で実質的に底面190に平行に液体が流れるようにしている。傾斜角度は5°程度としているが、この値に限られるものではない。
図5は、本発明による磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置の第3の実施形態を示す図である。第3の実施形態における超音波洗浄装置300では、内槽310の底面390が傾斜している点で、第1および第2の実施形態と異なる。液体放出手段250からは、液流は実質的に水平に放出される。本実施形態は、底面390の傾斜による自然な気泡200の除去と、液流による強制的な気泡200の除去とを組み合わせ、相乗効果によって気泡を除去するものである。
図6は、本発明による磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置の第4の実施形態を示す図である。第4の実施形態における超音波洗浄装置320では、第3の実施形態と同様に、内槽310の底面390が傾斜しているが、第3の実施形態とは異なり、傾斜した内槽底面390に液流が実質的に平行に放出される。内槽底面が傾斜している場合、液流の放出方向をも傾斜させて内槽底面と実質的に平行に放出したほうが、水平に放出するより、効果的に気泡200を除去できるからである。
図7は、本発明による磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄方法の実施形態を示すフローチャートである。図7は超音波洗浄装置の第1から第4までの実施形態を用いて共通に使用可能なものであり、以下、第1の実施形態を用いて説明する。
また、本発明による磁気ディスクの製造方法の実施形態は、上述の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄方法により製造されたガラス基板170上に少なくとも磁性層を成膜する工程を含むことを特徴とする。
また、本発明による磁気ディスクの実施形態は、上述の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄方法により製造されたガラス基板上に少なくとも磁性層を成膜したことを特徴とする。
さらに、上述の磁気ディスクは、磁気抵抗効果を用いた読み取りヘッド(MRヘッド)による情報記録再生が可能であることが望ましい。なお、MRヘッドとは、磁界の変化に伴い電気抵抗値が変化する効果を利用したもので、データの読み取りを、磁力そのものではなく、より精度の高い電気抵抗値の変化によって行っている。MRヘッドには外部磁界の変動に応じて電気抵抗が変化する素子が使われている。
以下に、本発明を適用した磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスクの製造方法について実施例を説明する。この磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクは、0.8インチ型ディスク(外径21.6mm)、1.0インチ型ディスク(外径27.4mm)、1.8インチ型磁気ディスク(外径48mm)などの所定の形状を有する磁気ディスクとして製造される。また、2.5インチ型ディスクや3.5インチ型ディスクとして製造してもよい。
本実施例に係る磁気ディスク用ガラス基板の製造方法においては、まず、板状ガラスの表面をラッピング(研削)加工してガラス母材とし、このガラス母材を切断してガラスディスクを切り出す。板状ガラスとしては、様々な板状ガラスを用いることができる。この板状ガラスは、例えば、溶融ガラスを材料として、プレス法やフロート法、ダウンドロー法、リドロー法、フュージョン法など、公知の製造方法を用いて製造することができる。これらのうち、プレス法を用いれば、板状ガラスを廉価に製造することができる。板状ガラスの材質としては、アモルファスガラスやガラスセラミクス(結晶化ガラス)を利用できる。板状ガラスの材料としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラス等を用いることができる。特にアモルファスガラスとしては、化学強化を施すことができ、また主表面の平坦性及び基板強度において優れた磁気ディスク用基板を供給することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好ましく用いることができる。
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス母材を切断し、このガラス母材から円板状のガラス基板を切り出した。次に、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に内孔を形成し、円環状のガラス基板とした(コアリング)。そして内周端面および外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施した(フォーミング、チャンファリング)。
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行った。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができるようになる。
次に、ガラス基板の外周端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行った。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いた。
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を施した。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とするものである。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行った。研磨剤としては、酸化セリウム砥粒を用いた。
第2研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水、IPA(イソプロピルアルコール)の各洗浄槽(内槽)に順次浸漬して、洗浄した。そして各洗浄槽には、二重槽方式により、超音波を印加した。
次に、前述のラッピング工程および研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施した。化学強化は、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)を混合した化学強化溶液を用意し、この化学強化溶液を400℃に加熱しておくとともに、洗浄済みのガラス基板を300℃に予熱し、化学強化溶液中に約3時間浸漬することによって行った。この浸漬は、本発明の実施形態で形成したガラス基板の積層体120および160を支持枠200および収容体400を用いて行った。
上述した工程を経て得られたガラス基板の両面に、ガラス基板の表面にCr合金からなる付着層、CoTaZr基合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt基合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を順次成膜することにより、垂直磁気記録ディスクを製造した。なお、本構成は垂直磁気ディスクの構成の一例であるが、面内磁気ディスクとして磁性層等を構成してもよい。
110 内槽
120 外槽
130 超音波発振板
140 洗浄液
150 超音波媒体液
170 ガラス基板
200 気泡
250、350 液体放出手段
500A、500B ワイパ
Claims (12)
- 洗浄液を貯留するための内槽と、
超音波媒体液を貯留して該超音波媒体液中に前記内槽を保持するための外槽と、
前記外槽の底部から超音波を放射し、前記内槽内の洗浄液中に設置される磁気ディスク用ガラス基板を超音波洗浄する超音波振動子と、
前記内槽の底面に滞留する気泡を該底面の外側に移動させるよう、前記超音波媒体液中に液体を放出する液体放出手段とを含むことを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。 - 前記液体放出手段は、前記内槽の底面より外側に設置されていることを特徴とする、請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。
- 前記液体放出手段は、前記内槽の底面を含む平面から30mm以内の距離から液体を放出する放出口を備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。
- 前記液体放出手段は、螺旋状の溝が腔面に設けられた放出口を有することを特徴とする、請求項1から3までのいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。
- 前記放出される液体の初期流速は1m/秒以上であることを特徴とする、請求項1から4までのいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。
- 前記超音波媒体液、および前記液体放出手段から放出される液体は、水であること特徴とする、請求項1から5までのいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。
- 洗浄液を貯留するための内槽と、
超音波媒体液を貯留して該超音波媒体液中に前記内槽を保持するための外槽と、
前記外槽の底部から超音波を放射し、前記内槽内の洗浄液中に設置される磁気ディスク用ガラス基板を超音波洗浄する超音波振動子と、
前記内槽の底面を掃拭して該底面に滞留する気泡を該底面の外側に移動させる掃拭手段とを含むことを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。 - 内槽に貯留した洗浄液中に磁気ディスク用ガラス基板を設置するガラス基板設置工程と、
外槽の底部の超音波振動子から超音波を放射し、前記外槽に貯留した超音波媒体液中に保持された前記内槽内の磁気ディスク用ガラス基板を超音波洗浄する超音波洗浄工程と、
前記内槽の底面に滞留する気泡を該底面の外側に移動させる液体を前記超音波媒体液中に放出する液体放出工程とを含むことを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄方法。 - 前記超音波洗浄工程と液体放出工程とは、排他的な時間に行うことを特徴とする、請求項8に記載の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄方法。
- 請求項8または9に記載の方法により製造されたガラス基板上に少なくとも磁性層を成膜する工程を含むことを特徴とする、磁気ディスクの製造方法。
- 請求項8または9に記載の方法により製造されたガラス基板上に少なくとも磁性層を成膜したことを特徴とする、磁気ディスク。
- 磁気抵抗効果を用いた読み取りヘッドによる情報記録再生が可能であることを特徴とする、請求項11に記載の磁気ディスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008243342A5 JP2008243342A5 (ja) | 2010-05-13 |
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