JP2008235841A - 基板移載装置及び基板移載方法並びに記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査ユニット6に、水平な光軸Lを形成する光センサ62を、ウエハ搬送機構4の搬送基体5に対して相対的に昇降させたときに、フォーク41の周端面が前記光軸Lを横切る位置に設ける。キャリアCからウエハWを取り出す前に、前記フォーク41を検査ユニット61に挿入し、搬送基体5を光センサ62に対して相対的に昇降させて、前記光センサ62からの受光ー非受光の検出結果を取得する。この検出結果と、前記搬送基体5の高さ位置とに基づいて、前記フォーク41の水平面に対する姿勢が正常であるか否かを判断し、フォーク41の姿勢が異常であると判断されたときに、前記キャリアCから次のウエハWの取り出しを行う前に前記ウエハ搬送機構4を停止する。
【選択図】図5
Description
水平な光軸を形成し、前記搬送基体に対して相対的に昇降させたときに、保持アームの周端面が前記光軸を横切る位置に設けられた光センサと、
前記搬送基体を前記光センサに対して相対的に昇降させる昇降手段と、
前記光軸に対する前記搬送基体の高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
前記保持アームが基板を保持していない状態で、搬送基体を光センサに対して相対的に昇降させることにより取得した前記光センサからの受光ー非受光の検出結果と、前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する判断手段と、
この判断手段により保持アームの姿勢が異常であると判断されたときに、前記保持具から次の基板の取り出しを行う前に前記基板搬送手段を停止するように制御する手段とを備えたことを特徴とする。
前記基板搬送手段により前記保持具から次の基板を取り出す前に、前記搬送基体を水平な光軸を有する光センサに対して相対的に昇降させたときに、保持アームの周端面が前記光軸を横切る位置に前記保持アームを位置させる工程と、
前記保持アームが基板を保持していない状態で、前記搬送基体を前記光センサに対して相対的に昇降させ、前記光軸に対する前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とを取得する工程と、
前記取得した前記光センサの検出結果と前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する工程と、
前記保持アームの姿勢が異常であると判断されたときに、前記保持具から次の基板の取り出しを行う前に当該基板搬送手段を停止するように制御する工程と、を含むことを特徴とする。
この検査では、例えばフォーク41a〜41eを検査ユニット6の前記検査位置までに挿入し、例えば搬送基体5を、第1のフォーク41aが前記光軸Lの下方側に位置する高さから、第5のフォーク41eが光センサ62の光軸Lの上方側に位置する高さまで上昇させながら、このときの光センサ62のデータを、搬送基体5の前記光軸Lに対する高さ位置と対応づけて所定のタイミングで連続して取得する。こうしてフォーク41a〜41eを光センサ62に対して相対的に昇降させたときに、各フォーク41a〜41eが前記光軸Lを遮断するときのフォーク41a〜41eの厚み(高さ量)を、例えばエンコーダ54のパルス数をカウントすることで取得する。
C キャリア
32 ウエボート
4 ウエハ搬送機構
41 フォーク
5 搬送基体
51 回転機構
52 昇降機構
54 エンコーダ
6 検査ユニット
61 筐体
62 光センサ
63 発光部
64 受光部
65 反射型光センサ
68 距離センサ
7 制御部
72 検査プログラム
73 基準データ記憶部
74 取得データ記憶部
81 表示手段
82 アラーム発生手段
Claims (10)
- 搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載装置において、
水平な光軸を形成し、前記搬送基体に対して相対的に昇降させたときに、保持アームの周端面が前記光軸を横切る位置に設けられた光センサと、
前記搬送基体を前記光センサに対して相対的に昇降させる昇降手段と、
前記光軸に対する前記搬送基体の高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
前記保持アームが基板を保持していない状態で、搬送基体を光センサに対して相対的に昇降させることにより取得した前記光センサからの受光ー非受光の検出結果と、前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する判断手段と、
この判断手段により保持アームの姿勢が異常であると判断されたときに、前記保持具から次の基板の取り出しを行う前に前記基板搬送手段を停止するように制御する手段とを備えたことを特徴とする基板移載装置。 - 前記搬送基体には、各々基板を保持するための略水平な複数の保持アームが互いに独立して、あるいは一括して進退できるように積層して設けられていることを特徴とする請求項1記載の基板移載装置。
- 複数の保持アームが共通の光センサの光軸を横切るように前記搬送基体を昇降させ、前記判断手段は前記複数の保持アームの各々について、前記姿勢が正常であるか否かを判断することを特徴とする請求項2記載の基板移載装置。
- 前記搬送基体に、各々基板を保持するための略水平な複数の保持アームが互いに独立して積層して設けられた基板搬送手段において、一の保持アームの前記姿勢が異常であると判断されたときに、他の保持アームにより前記保持具から次の基板の取り出しを行うように前記基板搬送手段を制御する手段を備えたことを特徴とする請求項2又は3記載の基板移載装置。
- 前記判断手段は、前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの進退軸周りの姿勢が正常であるか否かを判断することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一に記載の基板移載装置。
- 前記光センサは距離センサであり、前記判断手段は、前記搬送基体の高さ位置と、前記距離センサと検査対象の保持アームとの距離の検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの左右方向の姿勢が正常であるか否かを判断することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一に記載の基板移載装置。
- 搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載方法において、
前記基板搬送手段により前記保持具から次の基板を取り出す前に、前記保持アームが基板を保持していない状態で、前記搬送基体を水平な光軸を有する光センサに対して相対的に昇降させ、前記光軸に対する前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とを取得する工程と、
前記取得した前記光センサの検出結果と前記搬送基体の高さ位置とに基づいて、前記保持アームの水平面に対する前後の姿勢が正常であるか否かを判断する工程と、
前記保持アームの姿勢が異常であると判断されたときに、前記保持具から次の基板の取り出しを行う前に当該基板搬送手段を停止するように制御する工程と、を含むことを特徴とする基板移載方法。 - 前記搬送基体の高さ位置と、前記光センサからの受光-非受光の検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの進退軸周りの姿勢が正常であるか否かを判断する工程を含むことを特徴とする請求項7記載の基板移載方法。
- 前記光センサは距離センサであり、前記搬送基体の高さ位置と、前記距離センサからの検出結果とに基づいて、更に前記保持アームの左右方向の姿勢が正常であるか否かを判断する工程を含むことを特徴とする請求項7記載の基板移載方法。
- 搬送基体に略水平な保持アームを進退自在に設けて構成した基板搬送手段を用い、複数の基板が棚状に保持される保持具から基板を取り出す基板移載装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項7ないし9記載の基板移載方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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