JP2008233518A - 感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子用スペーサー - Google Patents

Abstract

【課題】高感度で十分なスペーサー形状が得られ、スペーサー形成時に発生する汚染物を抑制することができ、再処理時の強アルカリ水溶液等剥離液に対する耐性や基板との密着性に優れた液晶表示素子用スペーサーを形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物と、他の不飽和化合物との共重合体、重合性不飽和化合物、光重合開始剤、および上記共重合体と熱により架橋反応しうる官能基を含有するシロキサンオリゴマーを含有する感放射線性樹脂組成物。
【選択図】なし

Description

本発明は、特に液晶表示素子におけるスペーサーの形成に極めて好適な感放射線性樹脂組成物、スペーサーとその形成方法ならびに液晶表示素子に関する。

液晶表示素子には、従来から、２枚の基板間の間隔（セルギャップ）を一定に保つため、所定の粒径を有するガラスビーズ、プラスチックビーズ等のスペーサーが使用されている。これらのスペーサーは、ガラス基板などの透明基板上にランダムに散布されるため、画素形成領域にスペーサーが存在すると、スペーサーの写り込み現象の発生や、入射光が散乱を受け液晶表示素子としてのコントラストが低下するという問題があった。
そこで、このような問題を解決するために、スペーサーをフォトリソグラフィーにより形成する方法が採用されるようになってきた。この方法は、感放射線性樹脂組成物を基板上に塗布し、所定のマスクを介して例えば紫外線を露光したのち現像して、ドット状やストライプ状のスペーサーを形成するものであり、画素形成領域以外の所定の場所にのみスペーサーを形成することができるため、前述したような問題は基本的には解決される。

また近年、液晶表示素子の大面積化や生産性の向上等の観点から、マザーガラス基板の大型化（例えば、１，５００×１，８００ｍｍ、さらに１，８７０×２，２００ｍｍ程度）が進んでいる。しかし、基板の大型化に伴い、プレベーク及び露光工程における感放射線性樹脂組成物によるプレベーク炉、露光マスクの汚染等、今まで表面化しなかった問題が発生し、生産性をさらに低下させる問題が発生している。
また基板の大型化に伴い、基板のコストも高くなっていることから、工程で不良が発生した基板の再利用が積極的に行われている。その再利用の一例として、配向膜を形成したカラーフィルターを強アルカリ水溶液等剥離液により、配向膜剥離処理を行う。この際、スペーサーの剥離液耐性が低い場合、スペーサーも剥離されてしまう可能性がある。
スペーサーも剥がれてしまうと、再度スペーサー形成を実施しなければならず、生産コストがさらに嵩む要因となってしまう。

そこで、本発明の目的は、高感度で十分なスペーサー形状が得られ、スペーサー形成時に発生する汚染物を抑制することができ、再処理時の強アルカリ水溶液等剥離液に対する耐性や基板との密着性に優れた液晶表示素子用スペーサーを形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供することにある。

本発明の他の目的は、本発明の上記感放射線性樹脂組成物から形成された液晶表示素子用スペーサーとその形成方法ならびに当該スペーサーを含有する液晶表示素子を提供することにある。

本発明のさらに他の目的および利点は以下の説明から明らかになろう。

本発明によると、本発明の上記目的および利点は、第一に、
［Ａ］（ａ１）不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物と、（ａ２）他の不飽和化合物との共重合体、
［Ｂ］重合性不飽和化合物、
［Ｃ］光重合開始剤、ならびに
［Ｄ］オキシラニル基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基およびスチリル基の群から選ばれる少なくとも１種の官能基を含有するシロキサンオリゴマー
を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物によって達成される。

さらに、上記［Ｄ］成分が下記式（１）および下記式（２）のそれぞれで表されるアルコキシシランを共加水分解したシロキサンオリゴマーであるのが好ましい。
Ｓｉ（Ｒ^１）_ｌ（Ｒ^２）_ｍ（ＯＲ^３）_ｎ （１）
（ここでＲ^１はエポキシ基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基またはスチリル基を含有する置換基であり、Ｒ^２、Ｒ^３は同一でも異なっていてもよく、それぞれ１価の有機基であり、ｌ、ｎはそれぞれ１〜３の整数であり、ｍは０〜２の整数である。但し、ｌ＋ｍ＋ｎ＝４である。）
Ｓｉ（Ｒ^４）_ｘ（ＯＲ^５）_４−ｘ （２）
（ここでＲ^４、Ｒ^５は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子または１価の有機基でありそして、ｘは０〜３の整数である。）

本発明によると、本発明の上記目的および利点は、第二に、前記感放射線性樹脂組成物から形成されてなる、液晶表示素子用スペーサーによって達成される。

本発明によると、本発明の上記目的および利点は、第三に、少なくとも以下の工程を以下に記載の順序で含むことを特徴とする液晶表示素子用スペーサーの形成方法によって達成される。
（イ）前記液晶表示素子用スペーサー用感放射線性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程、
（ロ）該被膜の少なくとも一部に露光する工程、
（ハ）露光後の該被膜を現像する工程、および
（ニ）現像後の該被膜を加熱する工程。

本発明によると、本発明の上記目的および利点は、第四に、前記液晶表示素子用スペーサーを具備する液晶表示素子によって達成される。

本発明の感放射線性樹脂組成物は、高感度で十分なスペーサー形状が得られ、スペーサー形成時に発生する汚染物を抑制することができ、プレベーク炉や露光マスクの汚染を防ぎ、再処理時の強アルカリ水溶液等剥離液に対する耐性や基板との密着性に優れた液晶表示素子用スペーサーを形成することを可能にする。
本発明の液晶表示素子は、感度、弾性回復性、ラビング耐性、透明基板との密着性、耐熱性等の諸性能に優れたスペーサーを具備するものであり、長期にわたり高い信頼性を実現することができる。

以下、本発明について詳細に説明する。

−〔Ａ〕共重合体−
本発明における共重合体は、（ａ１）不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物と、（ａ２）他の不飽和化合物との共重合体（以下、〔Ａ〕共重合体という。）からなる。
〔Ａ〕共重合体を構成する各成分のうち、（ａ１）不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物（以下、これらをまとめて「（ａ１）不飽和カルボン酸系化合物」という。）としては、例えば、
アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、２−アクリロイルオキシエチルコハク酸、２−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、２−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸等のモノカルボン酸；
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等のジカルボン酸；
前記ジカルボン酸の酸無水物等を挙げることができる。

これらの（ａ１）不飽和カルボン酸系化合物は、後述する［Ｄ］成分がエポキシ基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ヒドロキシル基、メルカプト基またはアミノ基を有する場合に、［Ｄ］成分と架橋反応する。
これらの（ａ１）不飽和カルボン酸系化合物のうち、共重合反応性、得られる〔Ａ〕共重合体のアルカリ現像液に対する溶解性および入手が容易である点から、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸等が好ましい。
〔Ａ〕共重合体において、（ａ１）不飽和カルボン酸系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
〔Ａ〕共重合体において、（ａ１）不飽和カルボン酸系化合物に由来する繰り返し単位の含有率は、好ましくは５〜５０重量％、さらに好ましくは１０〜４０重量％、特に好ましくは１５〜３０重量％である。

（ａ２）他の不飽和化合物としては、［Ｄ］成分が有する官能基の種類に応じて、［Ｄ］成分と架橋反応しうる不飽和化合物（以下、「化合物（ａ２−１）」という。）を適宜選択することができる。
［Ｄ］成分がビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基またはスチリル基を有するときには、化合物（ａ２−１）としては、例えば、アリル（メタ）アクリレート等を選択することができる。

［Ｄ］成分がカルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、ウレイド基またはアミノ基であるときには、化合物（ａ２−１）としては、例えば、
アクリル酸グリシジル、アクリル酸２−メチルグリシジル、４−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル、アクリル酸３，４−エポキシブチル、アクリル酸６，７−エポキシヘプチル、アクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシル等のアクリル酸エポキシ（シクロ）アルキルエステル；
メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸２−メチルグリシジル、メタクリル酸３，４−エポキシブチル、メタクリル酸６，７−エポキシヘプチル、メタクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルメチル等のメタクリル酸エポキシ（シクロ）アルキルエステル；
α−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸６，７−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシル等の他のα−アルキルアクリル酸エポキシ（シクロ）アルキルエステル；
ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のグリシジルエーテル類等を選択することができる。

［Ｄ］成分がイソシアネート基であるときには、化合物（ａ２−１）としては、例えばアクリル酸２−ヒドロキシエチルエステル、アクリル酸３−ヒドロキシプロピルエステル、アクリル酸４−ヒドロキシブチルエステル、アクリル酸５−ヒドロキシペンチルエステル、アクリル酸６−ヒドロキシヘキシルエステル、アクリル酸７−ヒドロキシヘプチルエステル、アクリル酸８−ヒドロキシオクチルエステル、アクリル酸９−ヒドロキシノニルエステル、アクリル酸１０−ヒドロキシデシルエステル、アクリル酸１１−ヒドロキシウンデシルエステル、アクリル酸１２−ヒドロキシドデシルエステルの如きアクリル酸ヒドロキシアルキルエステル；
メタクリル酸２−ヒドロキシエチルエステル、メタクリル酸３−ヒドロキシプロピルエステル、メタクリル酸４−ヒドロキシブチルエステル、メタクリル酸５−ヒドロキシペンチルエステル、メタクリル酸６−ヒドロキシヘキシルエステル、メタクリル酸７−ヒドロキシヘプチルエステル、メタクリル酸８−ヒドロキシオクチルエステル、メタクリル酸９−ヒドロキシノニルエステル、メタクリル酸１０−ヒドロキシデシルエステル、メタクリル酸１１−ヒドロキシウンデシルエステル、メタクリル酸１２−ヒドロキシドデシルエステルの如きメタクリル酸ヒドロキシアルキルエステル；
さらに、アクリル酸４−ヒドロキシ−シクロヘキシルエステル、アクリル酸４−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル、アクリル酸４−ヒドロキシエチル−シクロヘキシルエチルエステル、アクリル酸３−ヒドロキシ−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルエステル、アクリル酸３−ヒドロキシメチル−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチルエステル、アクリル酸３−ヒドロキシエチル−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルエチルエステル、アクリル酸８−ヒドロキシ−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルエステル、アクリル酸２−ヒドロキシ−オクタヒドロ−４，７−メタノ−インデン−５−イルエステル、アクリル酸２−ヒドロキシメチル−オクタヒドロ−４，７−メタノ−インデン−５−イルメチルエステル、アクリル酸２−ヒドロキシエチル−オクタヒドロ−４，７−メタノ−インデン−５−イルエチルエステル、アクリル酸３−ヒドロキシ−アダマンタン−１−イルエステル、アクリル酸３−ヒドロキシメチル−アダマンタン−１−イルメチルエステル、アクリル酸３−ヒドロキシエチル−アダマンタン−１−イルエチルエステルの如き脂環式構造を有するアクリル酸ヒドロキシアルキルエステル；
メタクリル酸４−ヒドロキシ−シクロヘキシルエステル、メタクリル酸４−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル、メタクリル酸４−ヒドロキシエチル−シクロヘキシルエチルエステル、メタクリル酸３−ヒドロキシ−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルエステル、メタクリル酸３−ヒドロキシメチル−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチルエステル、メタクリル酸３−ヒドロキシエチル−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルエチルエステル、メタクリル酸８−ヒドロキシ−ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルエステル、メタクリル酸２−ヒドロキシ−オクタヒドロ−４，７−メタノ−インデン−５−イルエステル、メタクリル酸２−ヒドロキシメチル−オクタヒドロ−４，７−メタノ−インデン−５−イルメチルエステル、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル−オクタヒドロ−４，７−メタノ−インデン−５−イルエチルエステル、メタクリル酸３−ヒドロキシ−アダマンタン−１−イルエステル、メタクリル酸３−ヒドロキシメチル−アダマンタン−１−イルメチルエステル、メタクリル酸３−ヒドロキシエチル−アダマンタン−１−イルエチルエステルの如き脂環式構造を有するメタクリル酸ヒドロキシアルキルエステル；
アクリル酸１，２−ジヒドロキシエチルエステル、アクリル酸２，３−ジヒドロキシプロピルエステル、アクリル酸１，３−ジヒドロキシプロピルエステル、アクリル酸３，４−ジヒドロキシブチルエステル、アクリル酸３−［３−（２，３−ジヒドロキシプロポキシ）−２−ヒドロキシプロポキシ］−２−ヒドロキシプロピルエステル等のアクリル酸ジヒドロキシアルキルエステル；
メタクリル酸１，２−ジヒドロキシエチルエステル、メタクリル酸２，３−ジヒドロキシプロピルエステル、メタクリル酸１，３−ジヒドロキシプロピルエステル、メタクリル酸３，４−ジヒドロキシブチルエステル、メタクリル酸３−［３−（２，３−ジヒドロキシプロポキシ）−２−ヒドロキシプロポキシ］−２−ヒドロキシプロピルエステル等のメタクリル酸ジヒドロキシアルキルエステル等を選択することができる。

〔Ａ〕共重合体において、化合物（ａ２−１）は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
〔Ａ〕共重合体において、化合物（ａ２−１）に由来する繰り返し単位の含有率は、好ましくは１０〜７０重量％、さらに好ましくは２０〜５０重量％、特に好ましくは２０〜４０重量％である。

また、（ａ２）他の不飽和化合物としては、［Ｄ］成分と架橋反応を示さない不飽和化合物（以下、「化合物（ａ２−２）」という。）を選択することもできる。化合物（ａ２−２）としては、上記化合物（ａ２−１）の他、例えば、
アクリル酸メチル、アクリル酸ｎ−プロピル、アクリル酸ｉ−プロピル、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸ｓｅｃ−ブチル、アクリル酸ｔ−ブチル等のアクリル酸アルキルエステル；
メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ｎ−プロピル、メタクリル酸ｉ−プロピル、メタクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸ｓｅｃ−ブチル、メタクリル酸ｔ−ブチル等のメタクリル酸アルキルエステル；
アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸２−メチルシクロヘキシル、アクリル酸トリシクロ［５．２．１．０^２,６］デカン−８−イル、アクリル酸２−（トリシクロ［５．２．１．０^２,６］デカン−８−イルオキシ）エチル、アクリル酸イソボロニル等のアクリル酸脂環式エステル；
メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸２−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ［５．２．１．０^２,６］デカン−８−イル、メタクリル酸２−（トリシクロ［５．２．１．０^２,６］デカン−８−イルオキシ）エチル、メタクリル酸イソボロニル等のメタクリル酸脂環式エステル；
アクリル酸フェニル、アクリル酸ベンジル等のアクリル酸のアリールエステルあるいはアラルキルエステル；
メタクリル酸フェニル、メタクリル酸ベンジル等のメタクリル酸のアリールエステルあるいはアラルキルエステル；
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等の不飽和ジカルボン酸ジアルキルエステル；
アクリル酸テトラヒドロフラン−２−イル、アクリル酸テトラヒドロピラン−２−イル、アクリル酸２−メチルテトラヒドロピラン−２−イル等の含酸素複素５員環あるいは含酸素複素６員環を有するアクリル酸エステル；
メタクリル酸テトラヒドロフラン−２−イル、メタクリル酸テトラヒドロピラン−２−イル、メタクリル酸２−メチルテトラヒドロピラン−２−イル等の含酸素複素５員環あるいは含酸素複素６員環を有するメタクリル酸エステル；
スチレン、α−メチルスチレン、ｍ−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−メトキシスチレン等のビニル芳香族化合物；
１，３−ブタジエン、イソプレン、２，３−ジメチル−１，３−ブタジエン等の共役ジエン系化合物のほか、
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、アクリルアミド、メタクリルアミド、塩化ビニル、塩化ビニリデン、酢酸ビニル
等を挙げることができる。

これらの化合物（ａ２−２）のうち、共重合反応性および得られる〔Ａ〕重合体のアルカリ水溶液に対する溶解性の点から、メタクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸２−メチルグリシジル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸３，４−エポキシシクロヘキシルメチル、メタクリル酸トリシクロ［５．２．１．０^２,６］デカン−８−イル、スチレン、ｐ−メトキシスチレン、メタクリル酸テトラヒドロフラン−２−イル、１，３−ブタジエン等が好ましい。

〔Ａ〕共重合体において、化合物（ａ２−２）は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
〔Ａ〕共重合体において、化合物（ａ２−２）に由来する繰り返し単位の含有率は、好ましくは１０〜７０重量％、さらに好ましくは２０〜５０重量％、特に好ましくは３０〜５０重量％である。化合物（ａ２−２）に由来する繰り返し単位の含有率が７０重量％を超えると、該重合体のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向がある。
〔Ａ〕共重合体は、例えば、（ａ１）不飽和カルボン酸系化合物、（ａ２）他の不飽和化合物を、適当な溶媒中、ラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。

前記重合に用いられる溶媒としては、例えば、
メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、ｉ−プロパノール等のアルコール；
テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル；
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキルエーテル；
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート；
エチレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、エチレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、エチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルプロピオネート、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルプロピオネート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート；
ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等のジエチレングリコールアルキルエーテル；
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル；
ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテル等のジプロピレングリコールアルキルエーテル；
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート；
プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルプロピオネート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート；
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素；
メチルエチルケトン、２−ペンタノン、３−ペンタノン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン等のケトン；
２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−メトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−エトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−エトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸メチル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸エチル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸メチル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸エチル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、２−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−メトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−エトキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸メチル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸エチル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−ｎ−プロポキシプロピオン酸ｎ−ブチル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸メチル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸エチル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−ｎ−ブトキシプロピオン酸ｎ−ブチル等のアルコキシプロピオン酸アルキルや、
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ｎ−プロピル、ヒドロキシ酢酸ｎ−ブチル、酢酸４−メトキシブチル、酢酸３−メトキシブチル、酢酸２−メトキシブチル、酢酸３−エトキシブチル、酢酸３−プロキシブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ｎ−プロピル、乳酸ｎ−ブチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−ヒドロキシプロピオン酸メチル、３−ヒドロキシプロピオン酸エチル、３−ヒドロキシプロピオン酸ｎ−プロピル、３−ヒドロキシプロピオン酸ｎ−ブチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ｎ−プロピル、メトキシ酢酸ｎ−ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸ｎ−プロピル、エトキシ酢酸ｎ−ブチル、ｎ−プロポキシ酢酸メチル、ｎ−プロポキシ酢酸エチル、ｎ−プロポキシ酢酸ｎ−プロピル、ｎ−プロポキシ酢酸ｎ−ブチル、ｎ−ブトキシ酢酸メチル、ｎ−ブトキシ酢酸エチル、ｎ−ブトキシ酢酸ｎ−プロピル、ｎ−ブトキシ酢酸ｎ−ブチル等の他のエステル
等を挙げることができる。

これらの溶媒のうち、ジエチレングリコールアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、アルコキシプロピオン酸アルキル、酢酸エステル等が好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

また、前記ラジカル重合開始剤としては、特に限定されるものではなく、例えば、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス−（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）、４，４’−アゾビス（４―シアノバレリン酸）、ジメチル−２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）等のアゾ化合物；ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド、ｔ−ブチルペルオキシピバレート、１，１−ビス（ｔ−ブチルペルオキシ）シクロヘキサン等の有機過酸化物；過酸化水素等を挙げることができる。
また、ラジカル重合開始剤として過酸化物を用いる場合には、それを還元剤とを併用して、レドックス型開始剤としてもよい。
これらのラジカル重合開始剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

〔Ａ〕共重合体のゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によるポリスチレン換算重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」という。）は、好ましくは２，０００〜１００，０００、より好ましくは５，０００〜５０，０００である。Ｍｗが２，０００未満であると、得られる被膜のアルカリ現像性、残膜率等が低下したり、またパターン形状、耐熱性等が損なわれたりするおそれがあり、一方１００，０００を超えると、解像度が低下したり、パターン形状が損なわれたりするおそれがある。
〔Ａ〕共重合体は、カルボキシル基および／またはカルボン酸無水物基を有しており、アルカリ現像液に対して適度の溶解性を有するものであり、〔Ａ〕共重合体を含有する感放射線性樹脂組成物は、現像する際に現像残りおよび膜減りを生じることなく、所定形状のスペーサーを容易に形成することができる。

−〔Ｂ〕重合性不飽和化合物−
〔Ｂ〕重合性不飽和化合物は、光重合開始剤の存在下における放射線の露光により重合する不飽和化合物からなる。また、後述する［Ｄ］成分がビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基またはスチリル基を有する場合に、熱によりまたは放射線の露光により［Ｄ］成分と架橋反応する。
このような〔Ｂ〕重合性不飽和化合物としては、特に限定されるものではないが、例えば、単官能、２官能または３官能以上の（メタ）アクリル酸エステルが、共重合性が良好であり、得られるスペーサーの強度が向上する点から好ましい。

前記単官能（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、イソボロニルアクリレート、イソボロニルメタクリレート、３−メトキシブチルアクリレート、３−メトキシブチルメタクリレート、（２−アクリロイルオキシエチル）（２−ヒドロキシプロピル）フタレート、（２−メタクリロイルオキシエチル）（２−ヒドロキシプロピル）フタレート、ω―カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート等を挙げることができる。市販品として、商品名で、例えば、アロニックスＭ−１０１、同Ｍ−１１１、同Ｍ−１１４、同Ｍ−５３００（以上、東亜合成（株）製）；ＫＡＹＡＲＡＤ ＴＣ−１１０Ｓ、同 ＴＣ−１２０Ｓ（以上、日本化薬（株）製）；ビスコート１５８、同２３１１（以上、大阪有機化学工業（株）製）等を挙げることができる。

また、前記２官能（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、１，９−ノナンジオールジアクリレート、１，９−ノナンジオールジメタクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジアクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジメタクリレート等を挙げることができる。市販品として、商品名で、例えば、アロニックスＭ−２１０、同Ｍ−２４０、同Ｍ−６２００（以上、東亜合成（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＨＤＤＡ、同 ＨＸ−２２０、同 Ｒ−６０４（以上、日本化薬（株）製）、ビスコート２６０、同３１２、同３３５ＨＰ（以上、大阪有機化学工業（株）製）、ライトアクリレート１，９−ＮＤＡ（共栄社（株）製等を挙げることができる。

さらに、前記３官能以上の（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、トリ（２−アクリロイルオキシエチル）フォスフェート、トリ（２−メタクリロイルオキシエチル）フォスフェートや、９官能以上の（メタ）アクリル酸エステルとして、直鎖アルキレン基および脂環式構造を有し、かつ２個以上のイソシアネート基を有する化合物と、分子内に１個以上の水酸基を有し、かつ３個、４個あるいは５個のアクリロイルオキシ基および／またはメタクリロイルオキシ基を有する化合物とを反応させて得られる多官能ウレタンアクリレート系化合物等を挙げることができる。

３官能以上の（メタ）アクリル酸エステルの市販品としては、商品名で、例えば、アロニックスＭ−３０９、同Ｍ−４００、同Ｍ−４０５、同Ｍ−４５０、同Ｍ−７１００、同Ｍ−８０３０、同Ｍ−８０６０、同ＴＯ−１４５０（以上、東亜合成（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＴＭＰＴＡ、同 ＤＰＨＡ、同 ＤＰＣＡ−２０、同 ＤＰＣＡ−３０、同 ＤＰＣＡ−６０、同 ＤＰＣＡ−１２０（以上、日本化薬（株）製）、ビスコート２９５、同３００、同３６０、同ＧＰＴ、同３ＰＡ、同４００（以上、大阪有機化学工業（株）製）や、多官能ウレタンアクリレート系化合物を含有する市販品として、ニューフロンティア Ｒ−１１５０（第一工業製薬（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ−４０Ｈ（日本化薬（株）製）等を挙げることができる。

これらの単官能、２官能または３官能以上の（メタ）アクリル酸エステルのうち、３官能以上の（メタ）アクリル酸エステルがさらに好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートや、多官能ウレタンアクリレート系化合物を含有する市販品等が好ましい。
前記単官能、２官能または３官能以上の（メタ）アクリル酸エステルは、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明の感放射線性樹脂組成物において、〔Ｂ〕重合性不飽和化合物の使用量は、〔Ａ〕共重合体１００重量部に対して、好ましくは１〜１２０重量部、さらに好ましくは３〜１００重量部である。〔Ｂ〕重合性不飽和化合物の使用量が１重量部未満では、現像時に現像残りが発生するおそれがあり、一方１２０重量部を超えると、得られるスペーサーの密着性が低下する傾向がある。

−〔Ｃ〕光重合開始剤−
〔Ｃ〕光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、荷電粒子線、Ｘ線等の放射線の露光により、〔Ｂ〕重合性不飽和化合物の重合を開始しうる活性種を発生する成分からなる。
このような〔Ｃ〕感放射線性重合開始剤としては、Ｏ−アシルオキシム系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ホスフィン系化合物、トリアジン系化合物等を挙げることができる。

Ｏ−アシルオキシム系化合物としては、９．Ｈ．−カルバゾール系のＯ−アシルオキシム型重合開始剤が好ましい。例えば、１−〔９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−ノナン−１，２−ノナン−２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−ノナン−１，２−ノナン−２−オキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−ペンタン−１，２−ペンタン−２−オキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−ベンゾイル−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−オクタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−（１，３，５−トリメチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−ブチル−６−（２−エチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、エタノン−１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン−１−〔９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）等を挙げることができる。

これらのＯ−アシルオキシム化合物のうち、特に１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、エタノン−１−〔９−エチル−６−｛２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−１−（Ｏ−アセチルオキシム）が好ましい。

前記Ｏ−アシルオキシム化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。本発明において、Ｏ−アシルオキシム化合物を用いることにより、１，０００Ｊ/ｍ^２以下の露光量でも十分な感度、密着性を有したスペーサーを得ることを可能にする。
前記アセトフェノン系化合物としては、例えば、α−ヒドロキシケトン系化合物、α−アミノケトン系化合物等を挙げることができる。

前記α−ヒドロキシケトン系化合物としては、例えば、１−フェニル−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−ｉ−プロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等を挙げることができ、また前記α−アミノケトン系化合物としては、例えば、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−（４−メチルベンゾイル）−２−（ジメチルアミノ）−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等を挙げることができる。これら以外の化合物として、例えば、２，２−ジメトキシアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン等を挙げることができる。

これらのアセトフェノン系化合物のうち、特に、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−（４−メチルベンゾイル）−２−（ジメチルアミノ）−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンが好ましい。
本発明においては、アセトフェノン系化合物を併用することにより、感度、スペーサー形状や圧縮強度をさらに改善することが可能となる。

また、前記ビイミダゾール系化合物としては、例えば、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等を挙げることができる。

これらのビイミダゾール系化合物のうち、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等が好ましく、特に２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾールが好ましい。

本発明においては、ビイミダゾール系化合物を併用することにより、感度、解像度や密着性をさらに改善することが可能となる。
また、ビイミダゾール系化合物を併用する場合、それを増感するため、ジアルキルアミノ基を有する脂肪族系または芳香族系の化合物（以下、「アミノ系増感剤」という。）を添加することができる。

アミノ系増感剤としては、例えば、Ｎ−メチルジエタノールアミン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸ｉ−アミル等を挙げることができる。
これらのアミノ系増感剤のうち、特に４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
前記アミノ系増感剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

さらに、ビイミダゾール系化合物とアミノ系増感剤とを併用する場合、水素供与化合物として、チオール系化合物を添加することができる。ビイミダゾール系化合物は前記アミノ系増感剤によって増感されて開裂し、イミダゾールラジカルを発生するが、そのままでは高い重合開始能が発現されず、得られるスペーサーが逆テーパ形状のような好ましくない形状となる場合が多い。しかし、ビイミダゾール系化合物とアミノ系増感剤とが共存する系に、チオール系化合物を添加することにより、イミダゾールラジカルにチオール系化合物から水素ラジカルが供与される結果、イミダゾールラジカルが中性のイミダゾールに変換されるとともに、重合開始能の高い硫黄ラジカルを有する成分が発生し、それによりスペーサーの形状をより好ましい順テーパ状にすることができる。

前記チオール系化合物としては、例えば、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−５−メトキシベンゾチアゾール、２−メルカプト−５−メトキシベンゾイミダゾール等の芳香族系化合物；３−メルカプトプロピオン酸、３−メルカプトプロピオン酸メチル、３−メルカプトプロピオン酸エチル、３−メルカプトプロピオン酸オクチル等の脂肪族系モノチオール；３，６−ジオキサ−１，８−オクタンジチオール、ペンタエリストールテトラ（メルカプトアセテート）、ペンタエリストールテトラ（３−メルカプトプロピオネート）等の２官能以上の脂肪族系チオールを挙げることができる。
これらのチオール系化合物のうち、特に２−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。

本発明の感放射線性樹脂組成物において、他の感放射線性重合開始剤の使用割合は、全光重合開始剤１００重量部に対して、好ましくは１００重量部以下、さらに好ましくは８０重量部以下、特に好ましくは６０重量部以下である。他の光重合開始剤の使用割合が１００重量部を超えると、本発明の所期の効果が損なわれるおそれがある。
また、ビイミダゾール系化合物とアミノ系増感剤とを併用する場合、アミノ系増感剤の添加量は、ビイミダゾール系化合物１００重量部に対して、好ましくは０．１〜５０重量部、さらに好ましくは１〜２０重量部である。アミノ系増感剤の添加量が０．１重量部未満では、感度、解像度や密着性の改善効果が低下する傾向があり、一方５０重量部を超えると、得られるスペーサーの形状が損なわれる傾向がある。
また、ビイミダゾール系化合物とアミノ系増感剤とを併用する場合、チオール系化合物の添加量は、ビイミダゾール系化合物１００重量部に対して、好ましくは０．１〜５０重量部、さらに好ましくは１〜２０重量部である。チオール系化合物の添加量が０．１重量部未満では、スペーサーの形状の改善効果が低下したり、膜減りを生じやすくなる傾向があり、一方５０重量部を超えると、得られるスペーサーの形状が損なわれる傾向がある。

−［Ｄ］シロキサンオリゴマー−
本発明で用いられる［Ｄ］成分は、前記〔Ａ〕共重合体成分または〔Ｂ〕重合性不飽和化合物と熱によりまたは放射線の露光により架橋反応する官能基を有するシロキサンオリゴマーであり、オキシラニル基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基およびスチリル基の群から選ばれる少なくとも１種の官能基を含有する。
本発明で用いられる［Ｄ］成分は、好ましくは下記式（１）および下記式（２）のそれぞれで表されるアルコキシシランを共加水分解することにより製造することができる。
Ｓｉ（Ｒ^１）_ｌ（Ｒ^２）_ｍ（ＯＲ^３）_ｎ （１）
（ここでＲ^１はオキシラニル基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基またはスチリル基を含有する置換基を表わし、Ｒ^２、Ｒ^３は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子または１価の有機基であり、ｌ、ｎはそれぞれ１〜３の整数であり、ｍは０〜２の整数である。但し、ｌ＋ｍ＋ｎ＝４である。）
Ｓｉ（Ｒ^４）_ｘ（ＯＲ^５）_４−ｘ （２）
（ここでＲ^４、Ｒ^５は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ１価の有機基でありそして、ｘは０〜２の整数である。）
上記加水分解物には、原料中の加水分解されうる部分の全部が加水分解されたもの、およびその一部が加水分解され一部が加水分解されずに残存するものも包含されると理解すべきである。

オキシラニル基を含有する化合物（１）の具体例としては、３−グリシドキシメチルトリメトキシシラン、３−グリシドキシメチルトリエトキシシラン、３−グリシドキシメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシメチルトリアセトキシシラン、３−グリシドキシメチルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシメチルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシメチルメチルジアセトキシシラン、３−グリシドキシメチルエチルジメトキシシラン、３−グリシドキシメチルエチルジエトキシシラン、３−グリシドキシメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシメチルエチルジアセトキシシラン、３−グリシドキシメチルフェニルジメトキシシラン、３−グリシドキシメチルフェニルジエトキシシラン、３−グリシドキシメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシメチルフェニルジアセトキシシラン、３−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、３−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、３−グリシドキシエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシエチルトリアセトキシシラン、３−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシエチルメチルジアセトキシシラン、３−グリシドキシエチルエチルジメトキシシラン、３−グリシドキシエチルエチルジエトキシシラン、３−グリシドキシエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシエチルエチルジアセトキシシラン、３−グリシドキシエチルフェニルジメトキシシラン、３−グリシドキシエチルフェニルジエトキシシラン、３−グリシドキシエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシエチルフェニルジアセトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリアセトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジアセトキシシラン、３−グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルエチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシプロピルエチルジアセトキシシラン、３−グリシドキシプロピルフェニルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルフェニルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−グリシドキシプロピルフェニルジアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルトリアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルメチルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルメチルジアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルエチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルエチルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルエチルジアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルフェニルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルフェニルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルフェニルジアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルメチルジアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルエチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルエチルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルエチルジアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルフェニルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルフェニルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルフェニルジアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルトリエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルトリアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルメチルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルメチルジアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルエチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルエチルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルエチルジアセトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルフェニルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルフェニルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）プロピルフェニルジアセトキシシランなど；

エピスルフィド基を含有する化合物（１）の具体例としては、２，３−エピチオプロピルオキシメチルトリメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルトリエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルトリアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルメチルジメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルメチルジエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルメチルジアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルエチルジメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルエチルジエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルエチルジアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシメチルフェニルジアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルトリメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルトリエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルトリアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルメチルジメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルメチルジエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルメチルジアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルエチルジメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルエチルジエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルエチルジアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシエチルフェニルジアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルトリメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルトリエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルトリアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルメチルジアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルエチルジアセトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジメトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジエトキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２，３−エピチオプロピルオキシプロピルフェニルジアセトキシシランなど；

オキセタニル基を含有する化合物（１）の具体例としては、（オキセタン−３−イル）メチルトリメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルトリエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルトリアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルメチルジメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルメチルジエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルメチルジアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルエチルジメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルエチルジエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルエチルジアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルフェニルジメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルフェニルジエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）メチルフェニルジアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルトリメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルトリエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルトリアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルメチルジメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルメチルジエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルメチルジアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルエチルジメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルエチルジエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルエチルジアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルフェニルジメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルフェニルジエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）エチルフェニルジアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルトリメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルトリエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルトリアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルメチルジメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルメチルジエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルメチルジアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルエチルジメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルエチルジエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルエチルジアセトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルフェニルジメトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルフェニルジエトキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（オキセタン−３−イル）プロピルフェニルジアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルトリメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルトリエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルトリアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルトリメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルトリエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルトリアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルトリメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルトリエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルトリアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジアセトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジメトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジエトキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−メチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジアセトキシシラン、

（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルトリメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルトリエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルトリアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルメチルジアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルエチルジアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）メチルフェニルジアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルトリメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルトリエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルトリアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルメチルジアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルエチルジアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）エチルフェニルジアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルトリメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルトリエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルトリアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルメチルジアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルエチルジアセトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルフェニルジアセトキシシランなど；

ビニル基を含有する化合物（１）の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、ビニルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリ（メトキシエトキシ）シラン、ビニルメチルジメトキシシラン、ビニルメチルジエトキシシラン、ビニルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、ビニルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、ビニルメチルジアセトキシシラン、ビニルエチルジメトキシシラン、ビニルエチルジエトキシシラン、ビニルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、ビニルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、ビニルエチルジアセトキシシラン、ビニルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、ビニルフェニルジメトキシシラン、ビニルフェニルジエトキシシラン、ビニルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、ビニルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、ビニルフェニルジアセトキシシラン、ビニルフェニルジ（メトキシエトキシ）シランなど；
アリル基を含有する化合物（１）の具体例としては、アリルトリメトキシシラン、アリルトリエトキシシラン、アリルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、アリルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、アリルトリアセトキシシラン、アリルトリ（メトキシエトキシ）シラン、アリルメチルジメトキシシラン、アリルメチルジエトキシシラン、アリルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、アリルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、アリルメチルジアセトキシシラン、アリルエチルジメトキシシラン、アリルエチルジエトキシシラン、アリルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、アリルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、アリルエチルジアセトキシシラン、アリルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、アリルフェニルジメトキシシラン、アリルフェニルジエトキシシラン、アリルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、アリルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、アリルフェニルジアセトキシシラン、アリルフェニルジ（メトキシエトキシ）シランなど；

（メタ）アクリロイル基を含有する化合物（１）の具体例としては、３−（メタ）アクリロキシメチルトリメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルトリエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルトリアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルメチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルメチルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルメチルジアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルエチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルエチルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルエチルジアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルフェニルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルフェニルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシメチルフェニルジアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルトリメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルトリエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルトリアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルメチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルメチルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルメチルジアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルエチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルエチルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルエチルジアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルフェニルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルフェニルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシエチルフェニルジアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルトリアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルエチルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルエチルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルエチルジアセトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルフェニルジメトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルフェニルジエトキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−（メタ）アクリロキシプロピルフェニルジアセトキシシランなど；

カルボキシル基を含有する化合物（１）の具体例としては、カルボキシメチルトリメトキシシラン、カルボキシメチルトリエトキシシラン、カルボキシメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルトリアセトキシシラン、カルボキシメチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、カルボキシメチルメチルジメトキシシラン、カルボキシメチルメチルジエトキシシラン、カルボキシメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルメチルジアセトキシシラン、カルボキシメチルエチルジメトキシシラン、カルボキシメチルエチルジエトキシシラン、カルボキシメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルエチルジアセトキシシラン、カルボキシメチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、カルボキシメチルフェニルジメトキシシラン、カルボキシメチルフェニルジエトキシシラン、カルボキシメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、カルボキシメチルフェニルジアセトキシシラン、カルボキシメチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−カルボキシエチルトリメトキシシラン、２−カルボキシエチルトリエトキシシラン、２−カルボキシエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−カルボキシエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−カルボキシエチルトリアセトキシシラン、２−カルボキシエチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、２−カルボキシエチルメチルジメトキシシラン、２−カルボキシエチルメチルジエトキシシラン、２−カルボキシエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−カルボキシエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−カルボキシエチルメチルジアセトキシシラン、２−カルボキシエチルエチルジメトキシシラン、２−カルボキシエチルエチルジエトキシシラン、２−カルボキシエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−カルボキシエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−カルボキシエチルエチルジアセトキシシラン、２−カルボキシエチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−カルボキシエチルフェニルジメトキシシラン、２−カルボキシエチルフェニルジエトキシシラン、２−カルボキシエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−カルボキシエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−カルボキシエチルフェニルジアセトキシシラン、２−カルボキシエチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シランなど；

ヒドロキシル基を含有する化合物（１）の具体例としては、ヒドロキシメチルトリメトキシシラン、ヒドロキシメチルトリエトキシシラン、ヒドロキシメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルトリアセトキシシラン、ヒドロキシメチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、ヒドロキシメチルメチルジメトキシシラン、ヒドロキシメチルメチルジエトキシシラン、ヒドロキシメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルメチルジアセトキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジメトキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジエトキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジアセトキシシラン、ヒドロキシメチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、ヒドロキシメチルフェニルジメトキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジエトキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジアセトキシシラン、ヒドロキシメチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−ヒドロキシエチルトリメトキシシラン、２−ヒドロキシエチルトリエトキシシラン、２−ヒドロキシエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−ヒドロキシエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−ヒドロキシエチルトリアセトキシシラン、２−ヒドロキシエチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、２−ヒドロキシエチルメチルジメトキシシラン、２−ヒドロキシエチルメチルジエトキシシラン、２−ヒドロキシエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−ヒドロキシエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−ヒドロキシエチルメチルジアセトキシシラン、２−ヒドロキシエチルエチルジメトキシシラン、２−ヒドロキシエチルエチルジエトキシシラン、２−ヒドロキシエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−ヒドロキシエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−ヒドロキシエチルエチルジアセトキシシラン、２−ヒドロキシエチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−ヒドロキシエチルフェニルジメトキシシラン、２−ヒドロキシエチルフェニルジエトキシシラン、２−ヒドロキシエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−ヒドロキシエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−ヒドロキシエチルフェニルジアセトキシシラン、２−ヒドロキシエチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−ヒドロキシプロピルトリメトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルトリエトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−ヒドロキシプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−ヒドロキシプロピルトリアセトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルトリ（メトキシエトキシ）シラン、３−ヒドロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−ヒドロキシプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−ヒドロキシプロピルメチルジアセトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルエチルジメトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルエチルジエトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−ヒドロキシプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−ヒドロキシプロピルエチルジアセトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−ヒドロキシプロピルフェニルジメトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルフェニルジエトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−ヒドロキシプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−ヒドロキシプロピルフェニルジアセトキシシラン、３−ヒドロキシプロピルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルトリメトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルトリエトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルトリアセトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルトリ（メトキシエトキシ）シラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルメチルジメトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルメチルジエトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルメチルジアセトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルエチルジメトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルエチルジエトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルエチルジアセトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルフェニルジメトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルフェニルジエトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルフェニルジアセトキシシラン、４−ヒドロキシ−（ｐ−ヒドロキシフェニルカルボニルオキシ）ベンジルフェニルジ（メトキシエトキシ）シランなど；

メルカプト基を含有する化合物（１）の具体例としては、メルカプトメチルトリメトキシシラン、メルカプトメチルトリエトキシシラン、メルカプトメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルトリアセトキシシラン、メルカプトメチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、メルカプトメチルメチルジメトキシシラン、メルカプトメチルメチルジエトキシシラン、メルカプトメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルメチルジアセトキシシラン、メルカプトメチルエチルジメトキシシラン、メルカプトメチルエチルジエトキシシラン、メルカプトメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルエチルジアセトキシシラン、メルカプトメチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、メルカプトメチルフェニルジメトキシシラン、メルカプトメチルフェニルジエトキシシラン、メルカプトメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、メルカプトメチルフェニルジアセトキシシラン、メルカプトメチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−メルカプトエチルトリメトキシシラン、２−メルカプトエチルトリエトキシシラン、２−メルカプトエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−メルカプトエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−メルカプトエチルトリアセトキシシラン、２−メルカプトエチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、２−メルカプトエチルメチルジメトキシシラン、２−メルカプトエチルメチルジエトキシシラン、２−メルカプトエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−メルカプトエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−メルカプトエチルメチルジアセトキシシラン、２−メルカプトエチルエチルジメトキシシラン、２−メルカプトエチルエチルジエトキシシラン、２−メルカプトエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−メルカプトエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−メルカプトエチルエチルジアセトキシシラン、２−メルカプトエチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−メルカプトエチルフェニルジメトキシシラン、２−メルカプトエチルフェニルジエトキシシラン、２−メルカプトエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−メルカプトエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−メルカプトエチルフェニルジアセトキシシラン、２−メルカプトエチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−メルカプトプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−メルカプトプロピルトリアセトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリ（メトキシエトキシ）シラン、３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３−メルカプトプロピルメチルジエトキシシラン、３−メルカプトプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−メルカプトプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−メルカプトプロピルメチルジアセトキシシラン、３−メルカプトプロピルエチルジメトキシシラン、３−メルカプトプロピルエチルジエトキシシラン、３−メルカプトプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−メルカプトプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−メルカプトプロピルエチルジアセトキシシラン、３−メルカプトプロピルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−メルカプトプロピルフェニルジメトキシシラン、３−メルカプトプロピルフェニルジエトキシシラン、３−メルカプトプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−メルカプトプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−メルカプトプロピルフェニルジアセトキシシラン、３−メルカプトプロピルフェニルジ（メトキシエトキシ）シランなど；
イソシアネート基を含有する化合物（１）の具体例としては、イソシアネートメチルトリメトキシシラン、イソシアネートメチルトリエトキシシラン、イソシアネートメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルトリアセトキシシラン、イソシアネートメチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、イソシアネートメチルメチルジメトキシシラン、イソシアネートメチルメチルジエトキシシラン、イソシアネートメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルメチルジアセトキシシラン、イソシアネートメチルエチルジメトキシシラン、イソシアネートメチルエチルジエトキシシラン、イソシアネートメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルエチルジアセトキシシラン、イソシアネートメチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、イソシアネートメチルフェニルジメトキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジエトキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジアセトキシシラン、イソシアネートメチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−イソシアネートエチルトリメトキシシラン、２−イソシアネートエチルトリエトキシシラン、２−イソシアネートエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−イソシアネートエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−イソシアネートエチルトリアセトキシシラン、２−イソシアネートエチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、２−イソシアネートエチルメチルジメトキシシラン、２−イソシアネートエチルメチルジエトキシシラン、２−イソシアネートエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−イソシアネートエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−イソシアネートエチルメチルジアセトキシシラン、２−イソシアネートエチルエチルジメトキシシラン、２−イソシアネートエチルエチルジエトキシシラン、２−イソシアネートエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−イソシアネートエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−イソシアネートエチルエチルジアセトキシシラン、２−イソシアネートエチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−イソシアネートエチルフェニルジメトキシシラン、２−イソシアネートエチルフェニルジエトキシシラン、２−イソシアネートエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−イソシアネートエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−イソシアネートエチルフェニルジアセトキシシラン、２−イソシアネートエチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリアセトキシシラン、３−イソシアネートプロピルトリ（メトキシエトキシ）シラン、３−イソシアネートプロピルメチルジメトキシシラン、３−イソシアネートプロピルメチルジエトキシシラン、３−イソシアネートプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−イソシアネートプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−イソシアネートプロピルメチルジアセトキシシラン、３−イソシアネートプロピルエチルジメトキシシラン、３−イソシアネートプロピルエチルジエトキシシラン、３−イソシアネートプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−イソシアネートプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−イソシアネートプロピルエチルジアセトキシシラン、３−イソシアネートプロピルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−イソシアネートプロピルフェニルジメトキシシラン、３−イソシアネートプロピルフェニルジエトキシシラン、３−イソシアネートプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−イソシアネートプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−イソシアネートプロピルフェニルジアセトキシシラン、３−イソシアネートプロピルフェニルジ（メトキシエトキシ）シランなど；

アミノ基を含有する化合物（１）の具体例としては、アミノメチルトリメトキシシラン、アミノメチルトリエトキシシラン、アミノメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、アミノメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、アミノメチルトリアセトキシシラン、アミノメチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、アミノメチルメチルジメトキシシラン、アミノメチルメチルジエトキシシラン、アミノメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、アミノメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、アミノメチルメチルジアセトキシシラン、アミノメチルエチルジメトキシシラン、アミノメチルエチルジエトキシシラン、アミノメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、アミノメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、アミノメチルエチルジアセトキシシラン、アミノメチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、アミノメチルフェニルジメトキシシラン、アミノメチルフェニルジエトキシシラン、アミノメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、アミノメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、アミノメチルフェニルジアセトキシシラン、アミノメチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−アミノエチルトリメトキシシラン、２−アミノエチルトリエトキシシラン、２−アミノエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルトリアセトキシシラン、２−アミノエチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、２−アミノエチルメチルジメトキシシラン、２−アミノエチルメチルジエトキシシラン、２−アミノエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルメチルジアセトキシシラン、２−アミノエチルエチルジメトキシシラン、２−アミノエチルエチルジエトキシシラン、２−アミノエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルエチルジアセトキシシラン、２−アミノエチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−アミノエチルフェニルジメトキシシラン、２−アミノエチルフェニルジエトキシシラン、２−アミノエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルフェニルジアセトキシシラン、２−アミノエチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−アミノプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−アミノプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−アミノプロピルトリアセトキシシラン、３−アミノプロピルトリ（メトキシエトキシ）シラン、３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、３−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、３−アミノプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−アミノプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−アミノプロピルメチルジアセトキシシラン、３−アミノプロピルエチルジメトキシシラン、３−アミノプロピルエチルジエトキシシラン、３−アミノプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−アミノプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−アミノプロピルエチルジアセトキシシラン、３−アミノプロピルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−アミノプロピルフェニルジメトキシシラン、３−アミノプロピルフェニルジエトキシシラン、３−アミノプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−アミノプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−アミノプロピルフェニルジアセトキシシラン、３−アミノプロピルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリアセトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリ（メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジアセトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルエチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルエチルジエトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルエチルジアセトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルフェニルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルフェニルジエトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルフェニルジアセトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、アミノメチルトリメトキシシラン、アミノメチルトリエトキシシラン、アミノメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、アミノメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、アミノメチルトリアセトキシシラン、アミノメチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、アミノメチルメチルジメトキシシラン、アミノメチルメチルジエトキシシラン、アミノメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、アミノメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、アミノメチルメチルジアセトキシシラン、アミノメチルエチルジメトキシシラン、アミノメチルエチルジエトキシシラン、アミノメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、アミノメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、アミノメチルエチルジアセトキシシラン、アミノメチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、アミノメチルフェニルジメトキシシラン、アミノメチルフェニルジエトキシシラン、アミノメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、アミノメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、アミノメチルフェニルジアセトキシシラン、アミノメチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−アミノエチルトリメトキシシラン、２−アミノエチルトリエトキシシラン、２−アミノエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルトリアセトキシシラン、２−アミノエチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、２−アミノエチルメチルジメトキシシラン、２−アミノエチルメチルジエトキシシラン、２−アミノエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルメチルジアセトキシシラン、２−アミノエチルエチルジメトキシシラン、２−アミノエチルエチルジエトキシシラン、２−アミノエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルエチルジアセトキシシラン、２−アミノエチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−アミノエチルフェニルジメトキシシラン、２−アミノエチルフェニルジエトキシシラン、２−アミノエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−アミノエチルフェニルジアセトキシシラン、２−アミノエチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリアセトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリ（メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルメチルジアセトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルエチルジメトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルエチルジエトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルエチルジアセトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルフェニルジメトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルフェニルジエトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルフェニルジアセトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−トリメトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、３−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、３−トリ−ｎ−プロピルオキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミンなど；

ウレイド基を含有する化合物（１）の具体例としては、イソシアネートメチルトリメトキシシラン、ウレイドメチルトリエトキシシラン、ウレイドメチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルトリアセトキシシラン、ウレイドメチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、ウレイドメチルメチルジメトキシシラン、ウレイドメチルメチルジエトキシシラン、ウレイドメチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルメチルジアセトキシシラン、ウレイドメチルエチルジメトキシシラン、ウレイドメチルエチルジエトキシシラン、ウレイドメチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルエチルジアセトキシシラン、ウレイドメチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、ウレイドメチルフェニルジメトキシシラン、ウレイドメチルフェニルジエトキシシラン、ウレイドメチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、ウレイドメチルフェニルジアセトキシシラン、ウレイドメチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−ウレイドエチルトリメトキシシラン、２−ウレイドエチルトリエトキシシラン、２−ウレイドエチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−ウレイドエチルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−ウレイドエチルトリアセトキシシラン、２−ウレイドエチルトリ（メトキシエトキシ）シラン、２−ウレイドエチルメチルジメトキシシラン、２−ウレイドエチルメチルジエトキシシラン、２−ウレイドエチルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−ウレイドエチルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−ウレイドエチルメチルジアセトキシシラン、２−ウレイドエチルエチルジメトキシシラン、２−ウレイドエチルエチルジエトキシシラン、２−ウレイドエチルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−ウレイドエチルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−ウレイドエチルエチルジアセトキシシラン、２−ウレイドエチルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、２−ウレイドエチルフェニルジメトキシシラン、２−ウレイドエチルフェニルジエトキシシラン、２−ウレイドエチルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、２−ウレイドエチルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、２−ウレイドエチルフェニルジアセトキシシラン、２−ウレイドエチルフェニルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−ウレイドプロピルトリメトキシシラン、３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、３−ウレイドプロピルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−ウレイドプロピルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−ウレイドプロピルトリアセトキシシラン、３−ウレイドプロピルトリ（メトキシエトキシ）シラン、３−ウレイドプロピルメチルジメトキシシラン、３−ウレイドプロピルメチルジエトキシシラン、３−ウレイドプロピルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−ウレイドプロピルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−ウレイドプロピルメチルジアセトキシシラン、３−ウレイドプロピルエチルジメトキシシラン、３−ウレイドプロピルエチルジエトキシシラン、３−ウレイドプロピルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−ウレイドプロピルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−ウレイドプロピルエチルジアセトキシシラン、３−ウレイドプロピルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、３−ウレイドプロピルフェニルジメトキシシラン、３−ウレイドプロピルフェニルジエトキシシラン、３−ウレイドプロピルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、３−ウレイドプロピルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、３−ウレイドプロピルフェニルジアセトキシシラン、３−ウレイドプロピルフェニルジ（メトキシエトキシ）シランなど；

スチリル基を含有する化合物（１）の具体例としては、スチリルトリメトキシシラン、スチリルトリエトキシシラン、スチリルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、スチリルトリ−ｉ−プロピルオキシシラン、スチリルトリアセトキシシラン、スチリルトリ（メトキシエトキシ）シラン、スチリルメチルジメトキシシラン、スチリルメチルジエトキシシラン、スチリルメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、スチリルメチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、スチリルメチルジアセトキシシラン、スチリルエチルジメトキシシラン、スチリルエチルジエトキシシラン、スチリルエチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、スチリルエチルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、スチリルエチルジアセトキシシラン、スチリルエチルジ（メトキシエトキシ）シラン、スチリルフェニルジメトキシシラン、スチリルフェニルジエトキシシラン、スチリルフェニルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、スチリルフェニルジ−ｉ−プロピルオキシシラン、スチリルフェニルジアセトキシシラン、スチリルフェニルジ（メトキシエトキシ）シランなど；
を挙げることができる。

これらのうち、オキシラニル基、オキセタニル基、ヒドロキシル基、メルカプト基を含有する化合物（１）が好ましく用いられ、特に３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルトリメトキシシラン、（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルトリエトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリエトキシシランが［Ａ］成分との反応性および保存安定性の点からとりわけ好ましい。

化合物（２）の具体例としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン（通称ＴＥＯＳ）、テトラ−ｎ−プロピルオキシシラン、テトライソプロピルオキシシラン、テトラ−ｎ−ブトキシシランの如きテトラアルコキシシラン；メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリ−ｎ−プロピルオキシシラン、エチルトリエトキシシラン、シクロヘキシルトリエトキシシランの如きモノアルキルトリアルコキシシラン；フェニルトリエトキシシラン、ナフチルトリエトキシシラン、４−クロロフェニルトリエトキシシラン、４−シアノフェニルトリエトキシシラン、４−アミノフェニルトリエトキシシラン、４−ニトロフェニルトリエトキシシラン、４−メチルフェニルトリエトキシシラン、４−ヒドロキシフェニルトリエトキシシランの如きモノアリールトリアルコキシシラン；フェノキシトリエトキシシラン、ナフチルオキシトリエトキシシラン、４−クロロフェニルオキシトリエトキシシラン、４−シアノフェニルトリオキシエトキシシラン、４−アミノフェニルオキシトリエトキシシラン、４−ニトロフェニルオキシトリエトキシシラン、４−メチルフェニルオキシトリエトキシシラン、４−ヒドロキシフェニルオキシトリエトキシシランの如きモノアリールオキシトリアルコキシシラン；モノヒドロキシトリメトキシシラン、モノヒドロキシトリエトキシシラン、モノヒドロキシトリ−ｎ−プロピルオキシシランの如きモノヒドロキシトリアルコキシシラン；ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジ−ｎ−プロピルオキシシラン、メチル（エチル）ジエトキシシラン、メチル（シクロヘキシル）ジエトキシシランの如きジアルキルジアルコキシシラン；メチル（フェニル）ジエトキシシランの如きモノアルキルモノアリールジアルコキシシラン；ジフェニルジエトキシシランの如きジアリールジアルコキシシラン；ジフェノキシジエトキシシランの如きジアリールオキシジアルコキシシラン；メチル（フェノキシ）ジエトキシシランの如きモノアルキルモノアリールオキシジアルコキシシラン；フェニル（フェノキシ）ジエトキシシランの如きモノアリールモノアリールオキシジアルコキシシラン；ジヒドロキシジメトキシシラン、ジヒドロキシジエトキシシラン、ジヒドロキシジ−ｎ−プロピルオキシシランの如きジヒドロキシジアルコキシシラン；メチル（ヒドロキシ）ジメトキシシランの如きモノアルキルモノヒドロキシジアルコキシシラン；フェニル（ヒドロキシ）ジメトキシシランの如きモノアリールモノヒドロキシジアルコキシシラン；トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチル−ｎ−プロピルオキシシラン、ジメチル（エチル）エトキシシラン、ジメチル（シクロヘキシル）エトキシシランの如きトリアルキルモノアルコキシシラン；ジメチル（フェニル）エトキシシランの如きジアルキルモノアリールモノアルコキシシラン；メチル（ジフェニル）エトキシシランの如きモノアルキルジアリールモノアルコキシシラン；トリフェノキシエトキシシランの如きトリアリールオキシモノアルコキシシラン；メチル（ジフェノキシ）エトキシシランの如きモノアルキルジアリールオキシモノアルコキシシラン；フェニル（ジフェノキシ）エトキシシランの如きモノアリールジアリールオキシモノアルコキシシラン；ジメチル（フェノキシ）エトキシシランの如きジアルキルモノアリールオキシモノアルコキシシラン；ジフェニル（フェノキシ）エトキシシランの如きジアリールモノアリールオキシモノアルコキシシラン；メチル（フェニル）（フェノキシ）エトキシシランの如きモノアルキルモノアリールモノアリールオキシモノアルコキシシラン；トリヒドロキシメトキシシラン、トリヒドロキシエトキシシラン、トリヒドロキシ−ｎ−プロピルオキシシランの如きトリヒドロキシモノアルコキシシランを挙げることができる。

これらのうち、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシランが反応性、基板に対する密着性の点で好ましい。
これらの化合物は任意の複数を任意の組成で併用してもよい。
上記の化合物を、共加水分解反応に付すことより本発明で使用される［Ｄ］成分とすることができる。

加水分解反応は、好ましくは適当な溶媒中で行われる。このような溶媒としては、例えばメタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブタノール、イソブチルアルコール、ｔ−ブチルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、テトラヒドロフラン、ジオキサン、アセトニトリルの如き水溶性溶剤またはそれらの水溶液が挙げられる。

これらの水溶性溶剤は後の工程で除去されるので、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロピルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、テトラヒドロフラン等の比較的沸点の低いものが好適であり、原料溶解性の点でアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類がさらに好ましく、最も好ましいのはメチルイソブチルケトンである。

［Ｄ］成分を合成するための加水分解反応は、好ましくは、酸触媒（例えば、塩酸、硫酸、硝酸、蟻酸、シュウ酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、トリフルオロメタンスルホン酸、酸性イオン交換樹脂、各種ルイス酸等）または塩基触媒（例えば、アンモニア、１級アミン類、２級アミン類、３級アミン類、ピリジン等の含窒素芳香族化合物、塩基性イオン交換樹脂、水酸化ナトリウム等の水酸化物、炭酸カリウム等の炭酸塩、酢酸ナトリウム等のカルボン酸塩、各種ルイス塩基等）存在下で行われる。水の使用量、反応温度、反応時間は適宜設定される。例えば下記の条件が採用できる。

水の使用量は上記式（１）で表わされる化合物および上記式（２）で表される化合物中のアルコキシル基の合計量１モルに対して、好ましくは１．５モル以下、より好ましくは１モル以下、さらに好ましくは０．９モル以下の量である。
反応温度は、好ましくは４０〜２００℃、より好ましくは５０〜１５０℃である。
反応時間は、好ましくは３０分〜２４時間、より好ましくは１〜１２時間である。
［Ｄ］成分のゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によるポリスチレン換算重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」ということがある。）は、好ましくは５００〜１０，０００、より好ましくは１，０００〜３，０００である。Ｍｗが５００未満であると、十分な密着性やスペーサー形成時に発生する汚染物の抑制効果を発現することが難しく、一方１０，０００を超えると、塗布性が悪化するおそれがある。

本発明の感放射線性樹脂組成物において、［Ｄ］成分の使用量は、〔Ａ〕共重合体１００重量部に対して、好ましくは０．５〜５０重量部、さらに好ましくは１〜３０重量部である。［Ｄ］成分の使用量が０．５重量部未満では、十分な密着性や剥離液耐性を発現することが難しく、一方５０重量部を超えると、感放射線性樹脂組成物の現像残りが生じやすくなる傾向がある。
また、シロキサンオリゴマーのモノマーである上記式（１）及び（２）で示される化合物もそれ自体を、必要に応じて、シロキサンオリゴマーと併用して用いることができる。その使用量は、〔Ａ〕共重合体１００重量部に対して、好ましくは０．５〜２０重量部、さらに好ましくは１〜１０重量部である。使用量が０．５重量部未満では、十分な密着性や剥離液耐性を発現することが難しく、一方２０重量部を超えると、感放射線性樹脂組成物の保存安定性が低下する傾向がある。

−添加剤−
本発明の感放射線性樹脂組成物には、本発明の所期の効果を損なわない範囲内で、必要に応じて、前記成分以外にも、界面活性剤、密着助剤、保存安定剤、耐熱性向上剤等の添加剤を配合することもできる。
前記界面活性剤は、塗布性を改善する作用を有する成分であり、フッ素系界面活性剤およびシリコーン系界面活性剤が好ましい。

前記フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキル基あるいはフルオロアルキレン基を有する化合物が好ましく、その具体例としては、１，１，２，２−テトラフロロオクチル（１，１，２，２−テトラフルオロ−ｎ−プロピル）エーテル、１，１，２，２−テトラフルオロ−ｎ−オクチル（ｎ−ヘキシル）エーテル、オクタエチレングリコールジ（１，１，２，２−テトラフルオロ−ｎ−ブチル）エーテル、ヘキサエチレングリコール（１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロ−ｎ−ペンチル）エーテル、オクタプロピレングリコールジ（１，１，２，２−テトラフルオロ−ｎ−ブチル）エーテル、ヘキサプロピレングリコールジ（１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロ−ｎ−ペンチル）エーテル、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロ−ｎ−デカン、１，１，２，２，８，８，９，９，１０，１０−デカフルオロ−ｎ−ドデカン、パーフルオロ−ｎ−ドデシルスルホン酸ナトリウムや、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム、フルオロアルキルホスホン酸ナトリウム、フルオロアルキルカルボン酸ナトリウム、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、ジグリセリンテトラキス（フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル）、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、パーフルオロアルキルポリオキシエタノール、パーフルオロアルキルアルコキシレート、フッ素系アルキルエステル等を挙げることができる。

また、フッ素系界面活性剤の市販品としては、商品名で、例えば、ＢＭ−１０００、同−１１００（以上、ＢＭ ＣＨＥＭＩＥ社製）、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１８３、同Ｆ１７８、同Ｆ１９１、同Ｆ４７１、同Ｆ４７６（以上、大日本インキ化学工業（株）製）、フロラードＦＣ １７０Ｃ、同ＦＣ−１７１、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５、同Ｓ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６（以上、旭硝子（株）製）、エフトップＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５２（以上、新秋田化成（株）製）、フタージェントＦＴ−１００、同ＦＴ−１１０、同ＦＴ−１４０Ａ、同ＦＴ−１５０、同ＦＴ−２５０、同ＦＴ−２５１、同ＦＴＸ−２５１、同ＦＴＸ−２１８、同ＦＴ−３００、同ＦＴ−３１０、同ＦＴ−４００Ｓ（以上、（株）ネオス製）等を挙げることができる。

前記シリコーン系界面活性剤としては、市販品として、商品名で、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＤＣ７ＰＡ、同ＳＨ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同ＳＨ２９ＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、同ＳＨ−１９０、同ＳＨ−１９３、同ＳＺ−６０３２、同ＳＦ−８４２８、同ＤＣ−５７、同ＤＣ−１９０（以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）、ＴＳＦ−４４４０、同−４３００、同−４４４５、同−４４４６、同−４４６０、同−４４５２（以上、ＧＥ東芝シリコーン（株）製）等を挙げることができる。

さらに、前記以外の界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル；ポリオキシエチレンｎ−オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンｎ−ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレート等のポリオキシエチレンジアルキルエステル等のノニオン系界面活性剤や、市販品として、商品名で、例えば、ＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、ポリフローＮｏ．５７、同Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）等を挙げることができる。
前記界面活性剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
界面活性剤の配合量は、〔Ａ〕重合体１００重量部に対して、好ましくは５重量部以下、さらに好ましくは２重量部以下である。界面活性剤の配合量が５重量部を超えると、塗布時に膜荒れを生じやすくなる傾向がある。

前記保存安定剤としては、例えば、硫黄、キノン類、ヒドロキノン類、ポリオキシ化合物、アミン、ニトロニトロソ化合物等を挙げることができ、より具体的には、４−メトキシフェノール、Ｎ−ニトロソ−Ｎ−フェニルヒドロキシルアミンアルミニウム等を挙げることができる。
これらの保存安定剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
保存安定剤の配合量は、〔Ａ〕重合体１００重量部に対して、好ましくは３重量部以下、さらに好ましくは０．００１〜０．５重量部である。保存安定剤の配合量が３重量部を超えると、感度が低下してパターン形状が損なわれるおそれがある。
前記耐熱性向上剤としては、例えば、Ｎ−（アルコキシメチル）グリコールウリル化合物、Ｎ−（アルコキシメチル）メラミン化合物挙げることができる。

前記Ｎ−（アルコキシメチル）グリコールウリル化合物としては、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（メトキシメチル）グリコールウリル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（エトキシメチル）グリコールウリル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（ｎ−プロポキシメチル）グリコールウリル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（ｉ−プロポキシメチル）グリコールウリル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（ｎ−ブトキシメチル）グリコールウリル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（ｔ−ブトキシメチル）グリコールウリル等を挙げることができる。
これらのＮ−（アルコキシメチル）グリコールウリル化合物のうち、特にＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（メトキシメチル）グリコールウリルが好ましい。

また、前記Ｎ−（アルコキシメチル）メラミン化合物としては、例えば、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（メトキシメチル）メラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（エトキシメチル）メラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（ｎ−プロポキシメチル）メラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（ｉ−プロポキシメチル）メラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（ｎ−ブトキシメチル）メラミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（ｔ−ブトキシメチル）メラミン等を挙げることができる。
これらのＮ−（アルコキシメチル）メラミン化合物のうち、特にＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’，Ｎ’’，Ｎ’’−ヘキサ（メトキシメチル）メラミンが好ましく、その市販品としては、商品名で、例えば、ニカラックＮ−２７０２、同ＭＷ−３０Ｍ（以上 三和ケミカル（株）製）等を挙げることができる。

前記耐熱性向上剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
耐熱性向上剤の配合量は、〔Ａ〕重合体１００重量部に対して、好ましくは３０重量部以下、さらに好ましくは２０重量部以下である。耐熱性向上剤の配合量が３０重量部を超えると、感放射線性樹脂組成物の保存安定性が低下する傾向がある。
本発明の感放射線性樹脂組成物は、適当な溶剤に溶解した組成物溶液として使用に供することが好ましい。

前記溶剤としては、感放射線性樹脂組成物を構成する各成分を均一に溶解し、各成分と反応せず、適度の揮発性を有するものが用いられるが、各成分の溶解能、各成分との反応性および塗膜形成の容易性の観点から、アルコール類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールアルキルエーテル、アルコキシプロピオン酸アルキル、酢酸エステル等が好ましく、特に、ベンジルアルコール、２−フェニルエタノール、３−フェニル−１−プロパノール、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、酢酸３−メトキシブチル、酢酸２−メトキシエチル等が好ましい。
前記溶剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明においては、さらに、前記溶剤と共に、高沸点溶剤を併用することもできる。
前記高沸点溶剤としては、例えば、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアニリド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジ−ｎ−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等を挙げることができる。

これらの高沸点溶剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
また、前記のように調製された組成物溶液は、好ましくは孔径０．５μｍ程度のミリポアフィルタ等を用いてろ過して、使用に供することもできる。
本発明の感放射線性樹脂組成物は、特に、液晶表示素子用スペーサーの形成に極めて好適に使用することができる。

スペーサーの形成方法
次に、本発明の感放射線性樹脂組成物を用いて本発明のスペーサーを形成する方法について説明する。

本発明のスペーサーを形成する方法は、少なくとも以下の工程を以下に記載の順序で含むものである。
（イ）本発明の感放射線性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程、
（ロ）該被膜の少なくとも一部に露光する工程、
（ハ）露光後の該被膜を現像する工程、および
（ニ）現像後の該被膜を加熱する工程。

以下、これらの各工程について順次説明する。

−（イ）工程−
透明基板の一面に透明導電膜を形成し、該透明導電膜の上に、感放射線性樹脂組成物を、好ましくは組成物溶液として塗布したのち、塗布面を加熱（プレベーク）することにより、被膜を形成する。
スペーサーの形成に用いられる透明基板としては、例えば、ガラス基板、樹脂基板等を挙げることができ、より具体的には、ソーダライムガラス、無アルカリガラス等のガラス基板；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、ポリイミド等のプラスチックからなる樹脂基板を挙げることができる。
透明基板の一面に設けられる透明導電膜としては、酸化スズ（ＳｎＯ_２)からなるＮＥＳＡ膜（米国ＰＰＧ社登録商標）、酸化インジウム−酸化スズ（Ｉｎ_２Ｏ_３−ＳｎＯ_２)からなるＩＴＯ膜等を用いることができる。

組成物溶液の塗布方法としては、本発明の感光性樹脂組成物の被膜を形成する方法としては、例えば（１）塗布法、（２）ドライフィルム法によることができる。
組成物溶液の塗布法としては、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法（スピンコート法）、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット塗布法などの適宜の方法を採用することができ、特にスピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。

また、本発明の感光性樹脂組成物の被膜を形成する際に、（２）ドライフィルム法を採用する場合、該ドライフィルムは、ベースフィルム、好ましくは可とう性のベースフィルム上に、本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性層を積層してなるもの（以下、「感光性ドライフィルム」という）である。
上記感光性ドライフィルムは、ベースフィルム上に、本発明の感光性樹脂組成物を好ましくは液状組成物として塗布したのち乾燥することにより、感光性層を積層して形成することができる。感光性ドライフィルムのベースフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂のフィルムを使用することができる。ベースフィルムの厚さは、１５〜１２５μｍの範囲が適当である。得られる感光性層の厚さは、１〜３０μｍの程度が好ましい。

また、感光性ドライフィルムは、未使用時に、その感光性層上にさらにカバーフィルムを積層して保存することもできる。このカバーフィルムは、未使用時には剥がれず、使用時には容易に剥がすことができるように、適度な離型性を有する必要がある。このような条件を満たすカバーフィルムとしては、例えば、ＰＥＴフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルムなどの合成樹脂フィルムの表面にシリコーン系離型剤を塗布または焼き付けフィルムを使用することができる。カバーフィルムの厚さは、通常、２５μｍ程度で十分である。
また、プレベークの条件は、各成分の種類、配合割合などによっても異なるが、好ましくは７０〜１２０℃で１〜１５分程度である。

−（ロ）工程−
次いで、形成された被膜の少なくとも一部に露光する。この場合、被膜の一部に露光する際には、例えば、所定のパターンを有するフォトマスクを介して露光する。
露光に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等を使用できるが、波長が１９０〜４５０ｎｍの範囲にある放射線が好ましく、特に３６５ｎｍの紫外線を含む放射線が好ましい。
露光量は、露光される放射線の波長３６５ｎｍにおける強度を、照度計（ＯＡＩ ｍｏｄｅｌ ３５６ 、ＯＡＩ Ｏｐｔｉｃａｌ Ａｓｓｏｃｉａｔｅｓ Ｉｎｃ．製）により測定した値として、好ましくは１００〜１０，０００Ｊ／ｍ^２、より好ましくは１，５００〜３，０００Ｊ／ｍ^２である。

−（ハ）工程−
次いで、露光後の被膜を現像することにより、不要な部分を除去して、所定のパターンを形成する。

現像に使用される現像液としては、アルカリ現像液が好ましく、その例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア等の無機アルカリ；エチルアミン、ｎ−プロピルアミン等の脂肪族１級アミン；ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン等の脂肪族２級アミン；トリメチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン等の脂肪族３級アミン；ピロール、ピペリジン、Ｎ−メチルピペリジン、Ｎ−メチルピロリジン、１,８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］−５−ノネン等の脂環族３級アミン；ピリジン、コリジン、ルチジン、キノリン等の芳香族３級アミン；エタノールジメチルアミン、メチルジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアルカノールアミン；テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の４級アンモニウム塩等のアルカリ性化合物の水溶液を挙げることができる。

また、前記アルカリ性化合物の水溶液には、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
現像方法としては、液盛り法、ディッピング法、シャワー法等のいずれでもよく、現像時間は、通常、１０〜１８０秒間程度である。
現像後、例えば流水洗浄を３０〜９０秒間行ったのち、例えば圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによって、所望のパターンが形成される。

−（二）工程−
次いで、得られたパターンを、例えばホットプレート、オーブン等の加熱装置により、所定温度、例えば１００〜２３０℃で、所定時間、例えばホットプレート上では５〜３０分間、オーブン中では３０〜１８０分間、加熱（ポストベーク）をすることにより、所定のスペーサーを得ることができる。
スペーサーの形成に使用される従来の感放射線性樹脂組成物は、１８０〜２００℃程度以上の温度で加熱処理を行わないと、得られるスペーサーが十分な性能を発揮できなかったが、本発明の感放射線性樹脂組成物では、加熱温度を従来より低温とすることができ、その結果、樹脂基板の黄変や変形をきたすことなく、圧縮強度、液晶配向時のラビング耐性、透明基板との密着性等の諸性能に優れるスペーサーを形成することができる。

液晶表示素子
本発明の液晶表示素子は、前記のようにして形成された本発明のスペーサーを具備するものである。
本発明の液晶素子の構造としては、特に限定されるものではないが、例えば、図１に示すように、透明基板上にカラーフィルター層とスペーサーを形成し、液晶層を介して配置される２つの配向膜、対向する透明電極、対向する透明基板等を有する構造を挙げることができる。また図１に示すように、必要に応じて、偏光板や、カラーフィルター層上に保護膜を形成してもよい。
また、図２に示すように、透明基板上にカラーフィルター層とスペーサーを形成し、配向膜および液晶層を介して、薄膜トランジスター（ＴＦＴ）アレイと対向させることによって、ＴＮ−ＴＦＴ型の液晶表示素子とすることもできる。この場合も、必要に応じて、偏光板や、カラーフィルター層上に保護膜を形成してもよい。

以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。ここで、部および％は重量基準である。

重合体合成例１
冷却管と撹拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）４．０重量部およびジエチレングリコールメチルエチルエーテル２４５重量部を仕込み、引き続いてメタクリル酸１８重量部、メタクリル酸グリシジル３８重量部、スチレン５重量部およびメタクリル酸トリシクロ［５．２．１．０^２,６］デカン−８−イル３４重量部を仕込んで、窒素置換したのち、緩やかに攪拌しつつ、１,３−ブタジエンを５重量部添加し、得られた溶液の温度を７０℃に上昇させ、この温度を４時間保持して重合させて、〔Ａ〕共重合体を含む樹脂溶液を得た。この樹脂溶液の固形分濃度は２９．３重量％であり、得られた共重合体について、ＭｗをＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー） ＧＰＣ−１０１（商品名、昭和電工（株）製）を用いて測定したところ、２０，０００であった。
この共重合体を〔Ａ−１〕とする。

重合体合成例２
冷却管と撹拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）４．０重量部、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル２４５重量部を仕込み、引き続いてメタクリル酸１８重量部、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート３８重量部、スチレン５重量部およびメタクリル酸トリシクロ［５．２．１．０^２,６］デカン−８−イル３４重量部を仕込んで、窒素置換したのち、緩やかに攪拌しつつ、１,３−ブタジエンを５重量部添加し、得られた溶液の温度を７０℃に上昇させ、この温度を４.２時間保持して重合させて、〔Ａ−２〕共重合体を含む樹脂溶液を得た。この樹脂溶液の固形分濃度は２９．３重量％であり、得られた共重合体〔Ａ−２〕について、ＭｗをＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー） ＧＰＣ−１０１（商品名、昭和電工（株）製）を用いて測定したところ、１８，０００あった。

重合体合成例３
冷却管と撹拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル ７重量部およびジエチレングリコールメチルエチルエーテル２４５重量部を仕込み、引き続いてメタクリル酸１８重量部、ベンジルメタクリレート３８重量部、スチレン５重量部およびメタクリル酸トリシクロ［５．２．１．０^２,６］デカン−８−イル３４重量部を仕込んで、窒素置換したのち、緩やかに攪拌しつつ、１,３−ブタジエンを５重量部添加し、得られた溶液の温度を７０℃に上昇させ、この温度を４.２時間保持して重合させて、〔Ａ−３〕共重合体を含む樹脂溶液を得た。この樹脂溶液の固形分濃度は２９．３重量％であり、得られた共重合体〔Ａ−３〕について、ＭｗをＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー） ＧＰＣ−１０１（商品名、昭和電工（株）製）を用いて測定したところ、１８，０００であった。

シロキサンオリゴマー［Ｄ］の合成例１
５００ｍＬの三つ口フラスコにテトラメトキシシラン３０．４ｇおよび３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン４７．２ｇをとり、プロピレングリコールメチルエーテル１００ｇを加えて溶解させ、得られた混合溶液をマグネチックスターラにより撹拌しながら６０℃に加温した。これに、１重量％のシュウ酸を含んだ８．６ｇのイオン交換水を１時間かけて連続的に添加した。そして、６０℃で４時間反応させた後、得られた反応液を室温まで冷却した。その後、反応副生成物であるアルコール分を反応液から減圧留去した。この重合体［Ｄ−１］の重量平均分子量は１，４００であった。

シロキサンオリゴマー［Ｄ］の合成例２
５００ｍＬの三つ口フラスコにジフェニルジメトキシシラン４８．８ｇおよび２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン４９．２ｇをとり、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート１００ｇを加えて溶解させ、得られた混合溶液をマグネチックスターラにより撹拌しながら６０℃に加温した。これに、１重量％のシュウ酸を含んだ８．６ｇのイオン交換水を１時間かけて連続的に添加した。そして、６０℃で４時間反応させた後、得られた反応液を室温まで冷却した。その後、反応副生成物であるアルコール分を反応液から減圧留去した。この重合体［Ｄ−２］の重量平均分子量は２，０００であった。

シロキサンオリゴマー［Ｄ］の合成例３
５００ｍＬの三つ口フラスコにフェニルトリメトキシシラン３９．６ｇおよび（３−エチルオキセタン−３−イル）プロピルトリエトキシシラン６４．０ｇをとり、メチルイソブチルケトン１００ｇを加えて溶解させ、得られた混合溶液をマグネチックスターラにより撹拌しながら６０℃に加温した。これに、１重量％のシュウ酸を含んだ８．６ｇのイオン交換水を１時間かけて連続的に添加した。そして、６０℃で４時間反応させた後、得られた反応液を室温まで冷却した。その後、反応副生成物であるアルコール分を反応液から減圧留去した。この重合体［Ｄ−３］の重量平均分子量は１，６００であった。

シロキサンオリゴマー［Ｄ］の合成例４
５００ｍＬの三つ口フラスコにメチルトリメトキシシラン２７．２ｇおよび３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン３９．２ｇをとり、プロピレングリコールメチルエーテル１００ｇを加えて溶解させ、得られた混合溶液をマグネチックスターラにより撹拌しながら６０℃に加温した。これに、１重量％のシュウ酸を含んだ８．６ｇのイオン交換水を１時間かけて連続的に添加した。そして、６０℃で４時間反応させた後、得られた反応液を室温まで冷却した。その後、反応副生成物であるアルコール分を反応液から減圧留去した。この重合体［Ｄ−４］の重量平均分子量は１，９００であった。

実施例１
組成物溶液の調製
〔Ａ〕成分として、合成例１で得た〔Ａ〕共重合体溶液を重合体（Ａ−１）として１００部、〔Ｂ〕成分として、ジペンタエリストールヘキサアクリレート（商品名ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ、日本化薬（株）製）６０部と多官能ウレタンアクリレート系化合物を含有する市販品（商品名ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ−４０Ｈ）６０部、〔Ｃ〕成分として、１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート（商品名ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸ０２、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）５部、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール ５部、２−メルカプトベンゾチアゾール２．５部、〔Ｄ〕成分として、重合体［Ｄ−１］を５部、界面活性剤として、ＦＴＸ−２１８（商品名、（株）ネオス製）０．２部、保存安定剤として、４−メトキフェノール０．５部を混合し、固形分濃度が３３％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びジエチレングリコールエチルメチルエーテルの混合溶媒に溶解したのち、孔径０．２μｍのメンブレンフィルタでろ過して、組成物溶液を調製した。
表１において、重合体以外の各成分は、下記のとおりである。

〔Ｂ〕成分
Ｂ−１：ジペンタエリストールヘキサアクリレート（商品名ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ）
Ｂ−２：多官能ウレタンアクリレート系化合物を含有する市販品（商品名ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ−４０Ｈ）
Ｂ−３：ω―カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート（商品名アロニックス Ｍ−５３００（東亜合成（株）製）
Ｂ−４：ω―カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート（商品名アロニックス Ｍ−５３００（東亜合成（株）製）
Ｂ−５：１，９−ノナンジアクリレート（商品名ライトアクリレート１，９−ＮＤＡ（共栄社（株）製）

〔Ｃ〕成分
Ｃ−１：１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート（商品名ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸ０２、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）
Ｃ−２：１−〔９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート
Ｃ−３：２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン（商品名イルガキュア９０７、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）
Ｃ−４：２−（４−メチルベンゾイル）−２−（ジメチルアミノ）−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン（商品名イルガキュア３７９、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）
Ｃ−５：２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール
Ｃ−６：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
Ｃ−７：２−メルカプトベンゾチアゾール

〔Ｅ〕成分
Ｅ−１：多官能ノボラック型エポキシ樹脂（商品名 ジャパンエポキシレジン（株）製、 エピコート１５２）

〔Ｆ〕成分
Ｆ−１：γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
実施例２〜実施例１２、比較例１〜３は、実施例１と同様にして組成物溶液を調製した。結果を表１に示す。

スペーサーの形成
実施例１〜実施例１３、比較例１〜３は、スピンナーを用いて基板に塗布し、スペーサーを形成した。以下にその詳細を示す。
無アルカリガラス基板上にスピンナーを用いて、前記組成物溶液を塗布したのち、９０℃のホットプレート上で９０ｓ間プレベークして、膜厚３．０μｍの被膜を形成した。
次いで、得られた被膜に、８〜３０μｍ丸の残しパターンのフォトマスクを介して露光した。その後、水酸化カリウム０．０５重量％水溶液により、２５℃で６０秒間現像したのち、純水で１分間洗浄し、さらに２２０℃のオーブン中で３０分間加熱することにより、スペーサーを形成した。
また、実施例１４、比較例４は、ドライフィルム法にてスペーサーを形成した。その詳細を以下に示す。

実施例１４
感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１４）をドライフィルム法で塗膜を作成した以外は、実施例１〜１３と同様にして、パターン状薄膜を形成して評価した。各成分を表１に示す。なお、露光工程前にベースフィルムの剥離除去を行った。評価結果を表２に示す。また、下記の転写性の評価結果も表２に示す。
ドライフィルムの作成および転写は以下のごとく行った。
厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に、アプリケーターを用いて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１４）を塗布し、塗膜を１００℃で５分間加熱し、厚さ４μｍの感放射線性ドライフィルム（Ｊ−１）を作製した。次に、ガラス基板の表面に、感放射線性転写層の表面が当接されるように感放射線性転写ドライフィルムを重ね合わせ、熱圧着法で感放射線性ドライフィルム（Ｊ−１）をガラス基板に転写した。

−ドライフィルムのガラス基板への転写性の評価−
感放射線性ドライフィルムをガラス基板上に熱圧着法にて転写した際、ドライフィルムがガラス基板上に均一に転写できた場合を「○」、部分的にベースフィルム上にドライフィルムが残ったり、ガラス基板にドライフィルムが密着しなかったりするなど、ガラス基板上にドライフィルムを均一に転写できなかった場合を「×」とした。

比較例４
実施例１４において、感放射線性樹脂組成物の液状組成物（Ｓ−１４）に代えて感放射線性樹脂組成物の液状組成物（ｓ−４）を用いる以外は、実施例１４と同様にして、感放射線性ドライフィルム（Ｊ−２）を作製後、パターン状薄膜を形成して評価した。各成分を表１に示す。評価結果を表２に示す。また、転写性の評価結果も表２に示す。

次いで、下記の要領で各種評価を行った。評価結果を、表２に示す。

（１）感度の評価
スペーサーの形成と同様にして、スペーサーを形成したとき、ポストベーク後の残膜率（ポストベーク後の膜厚×１００／露光後膜厚）が９０％以上になる露光量を感度とした。この露光量が１，５００Ｊ／ｍ^２以下のとき、感度が良好といえる。
（２)密着性の評価
スペーサーの形成と同様にして基板上に成膜を形成し、マスクを介して露光しなかった以外は、上記のようにして形成した。成膜した基板をプレッシャークッカー試験（１２０℃、湿度１００％、４時間）で行った後、ＪＩＳ Ｋ−５４００−１９９０の８．５．３付着性碁盤目テープ法により保護膜の密着性（ＳｉＯ_２に対する密着性）を評価した。碁盤目１００個中、残った碁盤目の数を表２に示した。９０個以上であると密着性が良好と言える。
（３)汚染物（昇華物）の有無のヘイズ値による評価
スピンナーを用いて上記組成物を、ＳｉＯ_２ディップガラス基板上にポストベーク後膜厚が２．０μｍになるように塗布した後、プレベークする基板の１〜２ｃｍ上にガラスウエハーをセットして、ホットプレート上で８０℃、５分間プレベークすることによって昇華物をガラスウエハー上に付着させた。その後、ヘイズメーターを用いて昇華物の付着した基板のヘイズ値を測定することにより昇華物の有無を評価した。昇華物が多い（アウトガスが多い）場合、ヘイズ値は高く（ヘイズ値＞１）観測され、昇華物が無い（アウトガスが無い）場合にはヘイズ値は０に近い値を示す。
（４）剥離液耐性の評価
スペーサーを形成した基板を配向膜剥離液（製品名：ＴＳ−２０４、三洋化成（株）製）に５０℃で３０分浸漬し、さらに２１０℃１５分加熱後に膜厚変化を測定した。加熱後の膜厚×１００／初期膜厚により評価を行った。配向膜剥離液浸漬前後で膜厚に変化が９５％以上なら配向膜剥離液耐性が良好であると言える。結果を表２に示す。

液晶表示素子の構造を説明するための一例の模式図である。 液晶表示素子の構造を説明するための他の例の模式図である。

Claims (6)

1. ［Ａ］ （ａ１）不飽和カルボン酸および／または不飽和カルボン酸無水物と、（ａ２）他の不飽和化合物との共重合体、
   ［Ｂ］重合性不飽和化合物、
   ［Ｃ］光重合開始剤、ならびに
   ［Ｄ］オキシラニル基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基およびスチリル基の群から選ばれる少なくとも１種の官能基を含有するシロキサンオリゴマー
   を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
2. 上記［Ｄ］成分が、下記式（１）および下記式（２）のそれぞれで表されるアルコキシシランを共加水分解して得られたシロキサンオリゴマーである請求項１に記載の感放射線性樹脂組成物。
   Ｓｉ（Ｒ^１）_ｌ（Ｒ^２）_ｍ（ＯＲ^３）_ｎ （１）
   （ここでＲ^１はオキシラニル基、オキセタニル基、エピスルフィド基、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、メルカプト基、イソシアネート基、アミノ基、ウレイド基またはスチリル基を含有する置換基を表し、Ｒ^２、Ｒ^３は同一でも異なっていてもよく、それぞれ１価の有機基であり、ｌ、ｎはそれぞれ１〜３の整数であり、ｍは０〜２の整数である。但し、ｌ＋ｍ＋ｎ＝４である。）
   Ｓｉ（Ｒ^４）_ｘ（ＯＲ^５）_４−ｘ （２）
   （ここでＲ^４、Ｒ^５は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子または１価の有機基でありそして、ｘは０〜３の整数である。）
3. 液晶表示素子用スペーサーの形成に用いられる請求項１または２に記載の感放射線性樹脂組成物。
4. 請求項１または２に記載の感放射線性樹脂組成物から形成されてなる液晶表示素子用スペーサー。
5. 少なくとも以下の工程を以下に記載の順序で含むことを特徴とする液晶表示素子用スペーサーの形成方法。
   （イ）請求項１に記載の感放射線性樹脂組成物の被膜を基板上に形成する工程、
   （ロ）該被膜の少なくとも一部に露光する工程、
   （ハ）露光後の該被膜を現像する工程、および
   （ニ）現像後の該被膜を加熱する工程。
6. 請求項４に記載のスペーサーを具備する液晶表示素子。

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