JP2008218557A - 半導体デバイスの製造方法および製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸素流量制御部7は、設定時間中に発光強度モニター部5,6から出力されてくるCFxラジカルとSiFxラジカルの発光強度の差分の単位時間当たりの変化率を算出し、この変化率が所定の閾値を超えることが一定回数連続して起きた場合には「エッチストップが発生する」と判断し、酸素流量を増加させる。増加後も設定時間終了まで継続して上記の変化率を算出し、この変化率が前記閾値を超えることが一定時間全く起こらなかった場合に「エッチストップは回避された」と判断して、酸素流量を元に戻す。このような動作を設定時間中繰り返す。
【選択図】図3
Description
「サンプル構造」
基本構成は図1に示した通りであるが、エッチングマスク3にはPoly-Si(厚み500nm)を適用した。被エッチング膜2にはΦ200mmウェハにてプラズマTEOSのSiO2を使用した。
上記サンプルを加工するエッチング装置には、市販の平行平板型RIE装置を用いた。エッチングのレシピは、C5F8/Ar/O2=25/700/30 sccm(反応室に導入する各種ガスの流量)、反応室内の圧力=20mTorr、高周波電力(上部電極/下部電極)= 1800W/1750W(Stage温度=40℃) とした。
上記サンプルにおける正常なエッチングでは、図2(a)に示した発光波形変化を示した。このとき、図中の時間Aが186秒、時間Bが190秒であった。
上記サンプルのコンタクトエッチングでは、(1)O2流量=25sccm、(2)Stage温度=60℃ に変えた場合にエッチストップが発生した。図4(a)(b)は、これらの場合における発光波形変化を示している。
次に、上記のエッチストップが発生する条件と同じ条件で、本発明を適用した場合のデータを示す。図5(a)(b)には、(1)O2流量=25sccmと、(2)Stage温度=60℃ の場合において前述した制御系を適用したときの発光波形変化を示している。
2 被エッチング膜
3 エッチングマスク
4 プラズマ処理装置のチャンバ
5 第一の発光強度モニター部
6 第二の発光強度モニター部
7 酸素流量制御部
Claims (6)
- プラズマ処理装置でウェハ上の膜にエッチングを行う半導体デバイスの製造方法において、エッチング中に、プラズマ中の第一の波長成分と第二の波長成分の発光強度の差分の変化をモニターし、その差分の単位時間当たりの変化量が所定の閾値を超えることが一定回数連続した場合は前記プラズマ処理装置に導入する酸素流量を増やし、前記所定の閾値を超えることが見られなくなった場合は前記酸素流量を元に戻す、ことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
- 前記変化量が所定の閾値を超えるかどうかの判定をエッチング中における所定の設定時間内で行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記第一の波長成分が発光波長260nmのCFxラジカルであり、前記第二の波長成分が発光波長440nmのSiFxラジカルであることを特徴とする請求項2または3に記載の半導体デバイスの製造方法。
- ウェハ上の膜にエッチングを行うための反応室と、
該反応室に生成されたプラズマ中の第一の波長成分の発光強度の変化をモニターする第一の発光強度モニター部と、
該反応室に生成されたプラズマ中の第二の波長成分の発光強度の変化をモニターする第二の発光強度モニター部と、
前記第一および第二の発光強度モニター部の出力に基づいて前記反応室へ導入される酸素流量を制御する酸素流量制御部と、を有し、
前記酸素流量制御部は、エッチング中に、前記第一および第二の発光強度モニター部から夫々出力されてくる発光強度の差分の単位時間当たりの変化率を算出し、この変化率が所定の閾値を超えることが一定回数連続して起きた場合には酸素流量を増加し、その後も継続して前記変化率を算出し、この変化率が前記所定の閾値を超えることが一定時間全く起こらなかった場合には酸素流量を元に戻すことを特徴とする半導体デバイスの製造装置。 - 前記変化率が所定の閾値を超えるかどうかの判定はエッチング中における所定の設定時間内で行われることを特徴とする請求項4に記載の半導体デバイスの製造装置。
- 前記第一の波長成分が発光波長260nmのCFxラジカルであり、前記第二の波長成分が発光波長440nmのSiFxラジカルであることを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体デバイスの製造装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007051407A JP5568209B2 (ja) | 2007-03-01 | 2007-03-01 | 半導体デバイスの製造方法および製造装置 |
US12/073,177 US8877079B2 (en) | 2007-03-01 | 2008-02-29 | Method and apparatus for manufacturing a semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007051407A JP5568209B2 (ja) | 2007-03-01 | 2007-03-01 | 半導体デバイスの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008218557A true JP2008218557A (ja) | 2008-09-18 |
JP5568209B2 JP5568209B2 (ja) | 2014-08-06 |
Family
ID=39763110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007051407A Expired - Fee Related JP5568209B2 (ja) | 2007-03-01 | 2007-03-01 | 半導体デバイスの製造方法および製造装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8877079B2 (ja) |
JP (1) | JP5568209B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020026400A1 (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | 株式会社Fuji | 大気圧プラズマ発生装置 |
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JP2003232678A (ja) * | 2002-02-08 | 2003-08-22 | Olympus Optical Co Ltd | 光強度測定装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6635185B2 (en) * | 1997-12-31 | 2003-10-21 | Alliedsignal Inc. | Method of etching and cleaning using fluorinated carbonyl compounds |
JP4673457B2 (ja) | 1998-12-28 | 2011-04-20 | 東京エレクトロンAt株式会社 | プラズマ処理方法 |
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US7547635B2 (en) * | 2002-06-14 | 2009-06-16 | Lam Research Corporation | Process for etching dielectric films with improved resist and/or etch profile characteristics |
-
2007
- 2007-03-01 JP JP2007051407A patent/JP5568209B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-02-29 US US12/073,177 patent/US8877079B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5568209B2 (ja) | 2014-08-06 |
US20080227225A1 (en) | 2008-09-18 |
US8877079B2 (en) | 2014-11-04 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A711 | Notification of change in applicant |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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