JP2008198691A - 窒化物半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】電流コラプスを抑制することができる窒化物半導体装置を提供する。
【解決手段】サファイア基板11上に、バッファ層(GaN)12、チャネル層(GaN)13、キャリア供給層(n−AlGaN)14、ショットキ層(AlGaN)15を順次積層し、そのショットキ層15の上に、キャップ層(GaN)16を積層する。キャップ層16は、(004)面におけるX線回折ロッキングカーブの半値幅が4000秒〜12000秒の角度範囲内に含まれる多結晶構造とする。このキャップ層16により、当該キャップ層16の表面準位にトラップされる電子若しくは表面準位密度を低減させる。
【選択図】図1
【解決手段】サファイア基板11上に、バッファ層(GaN)12、チャネル層(GaN)13、キャリア供給層(n−AlGaN)14、ショットキ層(AlGaN)15を順次積層し、そのショットキ層15の上に、キャップ層(GaN)16を積層する。キャップ層16は、(004)面におけるX線回折ロッキングカーブの半値幅が4000秒〜12000秒の角度範囲内に含まれる多結晶構造とする。このキャップ層16により、当該キャップ層16の表面準位にトラップされる電子若しくは表面準位密度を低減させる。
【選択図】図1
Description
本発明は、能動層にIII−V族窒化物半導体を用いた窒化物半導体装置に係り、特に高電子移動度トランジスタ(HEMT:High Electron Mobility Transistor)や電界効果トランジスタ(FET:Field Effect Transistor)等に用いられその表面に保護膜を備えた窒化物半導体装置に関するものである。
図6は、III−V族窒化物半導体を用いた従来の窒化物半導体装置の断面図を示している。図6に示す窒化物半導体装置は、いわゆるHEMT構造を示しており、サファイア基板からなる基板21上に、ノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるバッファ層22、ノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるチャネル層23、n型の窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるキャリア供給層24、ノンドープの窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるショットキ層25が、順次積層した構造となっており、チャネル層23とキャリア供給層24との間のへテロ接合界面近傍に、ポテンシャル井戸からなる電子移動度が極めて大きな2次元電子ガス層が形成される。このような構造の窒化物半導体装置では、ショットキ層25にショットキ接触するゲート電極27(制御電極)に印加する電圧を制御することにより、ソース電極28とドレイン電極29との間を流れるキャリア(2次元電子ガス)を制御できる。
この種の窒化物半導体装置は、上記構造の他、例えば特許文献1に開示されているような様々な構造が提案されている。
特開平10−335637号公報
しかしながら、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)層や窒化ガリウム(GaN)層などの窒化物半導体層上にゲート電極を形成した半導体装置においては、当該の窒化物半導体層の表面準位にトラップされた電子により、表面のポテンシャルが揺らぐことにより、高いドレイン電圧での準静的動作時(RF信号やパルス信号等の小信号での線型動作時)に、ドレイン電流が減少する現象(以下、電流コラプスという)が生じるという問題があった。
本発明の目的は、表面保護膜を備えることにより、電流コラプスを抑制できるようにした窒化物半導体装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本願請求項1に係る発明の窒化物半導体装置は、ガリウム、アルミニウム、ホウ素、およびインジウムからなる群の内の少なくとも1つからなるIII族元素と、窒素、リン、および砒素からなる群の内の少なくとも窒素を含むV族元素で構成されたIII−V族窒化物半導体層からなる窒化物半導体装置において、基板上に積層した前記III−V族窒化物半導体層からなる第1の窒化物半導体層と、該第1の窒化物半導体層の上に積層したアルミニウムを含まない前記III−V族窒化物半導体層からなる第2の窒化物半導体層と、該第2の窒化物半導体層にショットキ接触する制御電極とを備え、前記第2の窒化物半導体層は、(004)面におけるX線回折ロッキングカーブの半値幅が4000秒〜12000秒の角度範囲に含まれる多結晶構造であることを特徴とする。
請求項2に係る発明の窒化物半導体装置は、ガリウム、アルミニウム、ホウ素、およびインジウムからなる群の内の少なくとも1つからなるIII族元素と、窒素、リン、および砒素からなる群の内の少なくとも窒素を含むV族元素で構成されたIII−V族窒化物半導体層からなる窒化物半導体装置において、基板上に積層した前記III−V族窒化物半導体層からなる第1の窒化物半導体層と、該第1の窒化物半導体層の上に積層したアルミニウムを含まない前記III−V族窒化物半導体層からなる第2の窒化物半導体層と、該第2の窒化物半導体層に形成された凹部から前記第1の窒化物半導体層にショットキ接触する制御電極とを備え、前記第2の窒化物半導体層は、(004)面におけるX線回折ロッキングカーブの半値幅が4000秒〜12000秒の角度範囲に含まれる多結晶構造であることを特徴とする。
請求項3に係る発明は、請求項1又は2に記載の窒化物半導体装置において、前記第2の窒化物半導体層にオーミック接触するソース電極およびドレイン電極を、前記制御電極を挟むように配置したことを特徴とする。
請求項2に係る発明の窒化物半導体装置は、ガリウム、アルミニウム、ホウ素、およびインジウムからなる群の内の少なくとも1つからなるIII族元素と、窒素、リン、および砒素からなる群の内の少なくとも窒素を含むV族元素で構成されたIII−V族窒化物半導体層からなる窒化物半導体装置において、基板上に積層した前記III−V族窒化物半導体層からなる第1の窒化物半導体層と、該第1の窒化物半導体層の上に積層したアルミニウムを含まない前記III−V族窒化物半導体層からなる第2の窒化物半導体層と、該第2の窒化物半導体層に形成された凹部から前記第1の窒化物半導体層にショットキ接触する制御電極とを備え、前記第2の窒化物半導体層は、(004)面におけるX線回折ロッキングカーブの半値幅が4000秒〜12000秒の角度範囲に含まれる多結晶構造であることを特徴とする。
請求項3に係る発明は、請求項1又は2に記載の窒化物半導体装置において、前記第2の窒化物半導体層にオーミック接触するソース電極およびドレイン電極を、前記制御電極を挟むように配置したことを特徴とする。
本発明の窒化物半導体装置によれば、X線回折で得られるロッキングカーブの半値幅で規定(4000秒〜12000秒の角度範囲)された多結晶構造の第2の窒化物半導体層を表面保護膜とすることで、当該表面保護膜の表面準位にトラップされる電子若しくは表面準位密度を低減させることができ、高いドレイン電圧での準静的動作時であっても、電流コラプス現象が抑制され、高周波特性が改善される。
また、本発明の窒化物半導体装置によれば、通常の窒化物半導体装置の製造工程における通常の成膜条件(成膜温度、V/III比、成長速度等)の制御により、前記多結晶構造の第2の窒化物半導体層を形成することができるため、製造工程の制御性が良く、特性の優れた窒化物半導体装置を歩留まり良く製造することができる。
また、本発明の窒化物半導体装置によれば、通常の窒化物半導体装置の製造工程における通常の成膜条件(成膜温度、V/III比、成長速度等)の制御により、前記多結晶構造の第2の窒化物半導体層を形成することができるため、製造工程の制御性が良く、特性の優れた窒化物半導体装置を歩留まり良く製造することができる。
以下、本発明の窒化物半導体装置について、III−V族窒化物半導体装置であるHEMTを例にとり、詳細に説明する。
<第1の実施例>
図1は本発明の第1の実施例のIII−V族窒化物半導体装置であるHEMTの断面図を示している。本実施例の窒化物半導体装置は、図1に示すように、サファイアからなる基板11上に、厚さ30nm程度のノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるバッファ層12、後述するキャリア供給層のエネルギーギャップより小さいエネルギーギャップを持ち厚さ2μmのノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるチャネル層13、当該チャネル層13との界面にキャリアとなる2次元電子ガス層を形成する厚さ15nmのn型の窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるキャリア供給層14、厚さ3nmのノンドープの窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるショットキ層15、表面保護膜となる厚さ10nmのノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるキャップ層16を、順次積層形成している。
図1は本発明の第1の実施例のIII−V族窒化物半導体装置であるHEMTの断面図を示している。本実施例の窒化物半導体装置は、図1に示すように、サファイアからなる基板11上に、厚さ30nm程度のノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるバッファ層12、後述するキャリア供給層のエネルギーギャップより小さいエネルギーギャップを持ち厚さ2μmのノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるチャネル層13、当該チャネル層13との界面にキャリアとなる2次元電子ガス層を形成する厚さ15nmのn型の窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるキャリア供給層14、厚さ3nmのノンドープの窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるショットキ層15、表面保護膜となる厚さ10nmのノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるキャップ層16を、順次積層形成している。
バッファ層12、チャネル層13、キャリア供給層14およびショットキ層15は、請求項の第1の窒化物半導体層を構成し、キャップ層16は請求項の第2の窒化物半導体層を構成する。
キャップ層16上のゲート電極形成予定領域には、ニッケル(Ni)を下地層とするニッケル(Ni)/金(Au)の積層体からなるゲート電極17が形成され、キャップ層16との間にショットキ接触が形成されている。また、キャップ層16上のソース電極およびドレイン電極形成予定領域には、チタン(Ti)を下地層とするチタン(Ti)/アルミニウム(Al)/チタン(Ti)/金(Au)の積層体からなるソース電極18およびドレイン電極19が形成され、それぞれ、キャップ層16との間にはオーミック接触が形成されている。このオーミック接触は、非常に低抵抗接触が実現されている。
表面保護膜となるキャップ層16は、MOCVD(有機金属化学的気相堆積)法、MBE(電子線エピタキシャル)法等を用いて、成長温度、成長速度、V/III比などの成膜条件を調整することにより、その結晶性(結晶構造)を調整することができる。
図1で説明したショットキー層15上に形成すべきキャップ層16は、その厚みが10nm程度の薄膜であるので直接評価することが困難なため、ここでは、サファイア基板のC面に、1μmの厚膜を、上記した各種成膜条件で成膜して、その結晶性を評価する。
図2に、MOCVD法でサファイア基板のC面(六方晶体のc軸に垂直な面)に1μmの窒化ガリウム(GaN)を各種成膜条件で成膜したときの(004)面のX線回折でのロッキングカーブを示す。図2の縦軸はX線回折強度、横軸はX線の入射角度である。ロッキングカーブは、入射X線の方向と検出器とを固定し、厚膜を形成したサファイア基板のみを回転して測定したものであり、得られた特性カーブのピーク幅が、面方位の揺らぎの度合い(モザイク度)に比例する。つまり、ピーク幅が大きいほど、結晶性が悪いことを示す。
そこで、このピーク幅を半値幅(FWHM:ピーク値の半値の角度幅)で表す。図2において、特性Aの厚膜は半値幅が600秒、特性Bの厚膜は2100秒、特性Cの厚膜は4000秒、特性Dの厚膜は12000秒、特性Eの厚膜は12000秒以上である。特性Aの厚膜は単結晶となるが、特性B〜Dの厚膜は多結晶、特性Eの厚膜は非晶質(アモルファス)となる。
図3A、図3Bに、図1に示した構造の窒化物半導体装置であるHEMTのDC測定およびパルス測定によるドレイン電流−電圧特性を示す。パルス測定では、パルス幅10ms、パルス周期100ms、Duty10%のパルスを印加した。なお、ここでは、複数のゲート電圧について記載した。
この図3A、図3Bは、図1の窒化半導体装置の窒化ガリウム(GaN)のキャップ層16を、図2における特性採取時と同じ成膜条件でショットキー層15上に成膜した複数の半値幅(FWHM)のものについて実験したものであり、その半値幅は、600秒、2100秒、4000秒、12000秒である。キャップ層16の半値幅が600秒および2100秒の場合の(a)、(b)では、ドレイン電流がDC測定時に比べてパルス測定で減少しており、電流コラプスにより特性が劣化していることがわかる。これに対し、半値幅が4000秒および12000秒の場合の(c)、(d)では、DC測定とパルス測定でのドレイン電流はほぼ同じ特性を示しており、電流コラプスが抑制されていることがわかる。
図3A、図3Bのドレイン電流−電圧特性において、ドレイン電圧10Vにおける最大ドレイン電流のパルス測定とDC測定の電流比と半値幅との相関を図4に示す。半値幅が4000秒以上、12000秒以下の角度範囲を満足する成膜条件でキャップ層16を形成した場合には、95%以上の電流が保持されており、この半値幅を満足するキャップ層16を使用することにより、電流コラプスを抑制する効果が非常に大きくなることがわかる。
以上から、図1のキャップ層16としては、半値幅が4000秒以上、12000秒以下の角度範囲内に含まれる特性カーブを呈する多結晶構造からなる薄膜を、III−V族窒化物膜となる成膜条件で10nm程度の膜厚で成膜することが望ましい。調整可能な成長条件としては、成長温度、V/III比、成長速度等がある。成長温度の場合は、他の膜(13〜15)の成膜時の温度(単結晶を形成させる温度である1000℃程度前後)よりも低く、例えば、成長温度を600℃、550℃、500℃と下げていくことにより、半値幅は、2100秒、4000秒、12000秒と大きくなる。なお、V/III比を下げる、あるいは成長速度を高くすることでも、半値幅を大きくすることができる。
<第2実施例>
図5は本発明の第2の実施例のIII−V族窒化物半導体装置であるHEMTの断面函を示している。この窒化物半導体装置は、図5に示すように、サファイアからなる基板11上に、厚さ30nm程度のノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるバッファ層12、後述するキャリア供給層のエネルギーギャップより小さいエネルギーギャップを持ち厚さ2μmのノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるチャネル層13、当該チャネル層13との界面にキャリアとなる2次元電子ガス層を形成する厚さ15nmのn型の窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるキャリア供給層14、厚さ3nmのノンドープの窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるショットキ層15、厚さ10nmの表面保護膜となるノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるキャップ層16を、順次積層形成している。
図5は本発明の第2の実施例のIII−V族窒化物半導体装置であるHEMTの断面函を示している。この窒化物半導体装置は、図5に示すように、サファイアからなる基板11上に、厚さ30nm程度のノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるバッファ層12、後述するキャリア供給層のエネルギーギャップより小さいエネルギーギャップを持ち厚さ2μmのノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるチャネル層13、当該チャネル層13との界面にキャリアとなる2次元電子ガス層を形成する厚さ15nmのn型の窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるキャリア供給層14、厚さ3nmのノンドープの窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)からなるショットキ層15、厚さ10nmの表面保護膜となるノンドープの窒化ガリウム(GaN)からなるキャップ層16を、順次積層形成している。
本実施例では、キャップ層16のゲート電極形成領域をエッチング除去して凹部を形成し、その凹部において表面に露出したショットキ層15上に、チタン(Ti)を下地層とするチタン(Ti)/白金(Pt)/金(Au)の積層体あるいはニッケル(Ni)を下地層とするニッケル(Ni)/金(Au)の積層体等からなるゲート電極17Aを形成し、ショットキ層15との間にショットキ接触を形成している。キャップ層16上には、そのキャップ層16に対してオーミック接触するチタン(Ti)を下地層とするチタン(Ti)/アルミニウム(Al)/チタン(Ti)/金(Au)からなるソース電極18A、ドレイン電極19Aを形成している。
表面保護膜としてのキャップ層16は、第1の実施例と同様に、(004)面のX線回折でのロッキングカーブの半値幅(FWHM)が4000秒以上、12000秒以下の角度範囲内に含まれる多結晶構造のIII−V族窒化物半導体層となる成膜条件で10nm程度の膜厚で成膜されている。本実施例で示したIII−V族窒化物半導体装置においても、第1の実施例と同様に電流コラブスを抑制することができる。
<その他の実施例>
なお、以上説明した第1および第2の実施例において、窒化ガリウム(GaN)のキャップ層16をノンドープとしたが、結晶性を制御するために、鉄(Fe)、マグネシウム(Mg)、炭素(C)等を添加してもよい。また、III−V族窒化物半導体のIII族元素としては、ガリウム(Ga)、アルミニウム(Al)、硼素(B)、インジウム(In)からなる群の内の少なくとも1つを含むものを使用することができ、V族元素としては、窒素(N)、リン(P)、砒素(As)からなる群の内の少なくとも窒素を含む1以上の元素を使用する。キャップ層16にはアルミニウムは含ませない。
なお、以上説明した第1および第2の実施例において、窒化ガリウム(GaN)のキャップ層16をノンドープとしたが、結晶性を制御するために、鉄(Fe)、マグネシウム(Mg)、炭素(C)等を添加してもよい。また、III−V族窒化物半導体のIII族元素としては、ガリウム(Ga)、アルミニウム(Al)、硼素(B)、インジウム(In)からなる群の内の少なくとも1つを含むものを使用することができ、V族元素としては、窒素(N)、リン(P)、砒素(As)からなる群の内の少なくとも窒素を含む1以上の元素を使用する。キャップ層16にはアルミニウムは含ませない。
また、HEMT構造の窒化物半導体層の代わりに、不純物が添加された窒化物半導体層を能動層(チャネル層)とし、その上に上述のキャップ層が形成された構造のFET構造とすることもできる。
11:サファイア基板、12:バッファ層、13:チャネル層、14:キャリア供給層、15:ショットキ層、16:キャップ層、17,17A:ゲート電極、18,18A:ソース電極、19,19A:ドレイン電極
21:サファイア基板、22:バッファ層、23:チャネル層、24:キャリア供給層、25:ショットキ層、27:ゲート電極、28:ソース電極、29:ドレイン電極
21:サファイア基板、22:バッファ層、23:チャネル層、24:キャリア供給層、25:ショットキ層、27:ゲート電極、28:ソース電極、29:ドレイン電極
Claims (3)
- ガリウム、アルミニウム、ホウ素、およびインジウムからなる群の内の少なくとも1つからなるIII族元素と、窒素、リン、および砒素からなる群の内の少なくとも窒素を含むV族元素で構成されたIII−V族窒化物半導体層からなる窒化物半導体装置において、
基板上に積層した前記III−V族窒化物半導体層からなる第1の窒化物半導体層と、該第1の窒化物半導体層の上に積層したアルミニウムを含まない前記III−V族窒化物半導体層からなる第2の窒化物半導体層と、該第2の窒化物半導体層にショットキ接触する制御電極とを備え、
前記第2の窒化物半導体層は、(004)面におけるX線回折ロッキングカーブの半値幅が4000秒〜12000秒の角度範囲に含まれる多結晶構造であることを特徴とする窒化物半導体装置。 - ガリウム、アルミニウム、ホウ素、およびインジウムからなる群の内の少なくとも1つからなるIII族元素と、窒素、リン、および砒素からなる群の内の少なくとも窒素を含むV族元素で構成されたIII−V族窒化物半導体層からなる窒化物半導体装置において、
基板上に積層した前記III−V族窒化物半導体層からなる第1の窒化物半導体層と、該第1の窒化物半導体層の上に積層したアルミニウムを含まない前記III−V族窒化物半導体層からなる第2の窒化物半導体層と、該第2の窒化物半導体層に形成された凹部から前記第1の窒化物半導体層にショットキ接触する制御電極とを備え、
前記第2の窒化物半導体層は、(004)面におけるX線回折ロッキングカーブの半値幅が4000秒〜12000秒の角度範囲に含まれる多結晶構造であることを特徴とする窒化物半導体装置。 - 請求項1又は2に記載の窒化物半導体装置において、
前記第2の窒化物半導体層にオーミック接触するソース電極およびドレイン電極を、前記制御電極を挟むように配置したことを特徴とする窒化物半導体装置。
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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