JP2008189951A5 - - Google Patents

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また、前記各隔壁から被処理体までのギャップＧ、各吹き出し口から各隔壁上面までの高さＴ、前記各隔壁の厚みＤおよび各蒸着源の中心位置から各隔壁の中心位置までの距離Ｅが、Ｅ＜（Ｇ＋Ｔ）×Ｄ／２Ｇの式で表されるように各隔壁を位置づけることが好ましい。
この条件を式にて表すと次のようになる。
Ｅ＞Ｘ・・・（１）
上式（１）に各隔壁から被処理体までのギャップＧ、各吹き出し口から各隔壁上面までの高さＴ、前記各隔壁の厚みＤの位置関係を当てはめると、Ｅ＜（Ｇ＋Ｔ）×Ｄ／２Ｇの関係が導き出される。
さらに、式（３）を変形すると、
Ｅ＜（Ｇ＋Ｔ）×Ｄ／２Ｇ・・・（４）
となる。

Claims (8)

  1. 蒸着により処理容器内にて被処理体を成膜処理する蒸着装置であって、
    成膜材料を収納し、収納された成膜材料をそれぞれ気化させる複数の蒸着源と、
    前記複数の蒸着源にそれぞれ連結され、吹き出し口を有し、前記複数の蒸着源にて気化された成膜材料を前記吹き出し口からそれぞれ吹き出す複数の吹き出し機構と、
    前記複数の吹き出し機構のうち、隣り合う吹き出し機構の間に配置され、前記隣り合う吹き出し機構をそれぞれ仕切る１または２以上の隔壁とを備え、
    前記１または２以上の隔壁は、
    前記隣り合う吹き出し機構に設けられた吹き出し口から放射状に拡散される成膜材料のうち、各隔壁に遮られずに直進しながら被処理体まで到達した最長飛距離の成膜材料の到達位置が、前記隣り合う吹き出し機構から等距離にある被処理体上の位置よりも前記最長飛距離の成膜材料が吹き出された吹き出し口側に位置し、かつ、前記成膜材料の最長飛距離は、前記成膜材料の平均自由工程よりも短いという２つの条件を満たすように配置される蒸着装置。
  2. 前記複数の吹き出し機構は、
    同一形状を有し、等間隔に平行して配置され、
    前記１または２以上の隔壁は、
    同一形状を有し、前記隣り合う吹き出し機構の間にて前記隣り合う吹き出し機構から等距離の位置に等間隔に平行して配置される請求項１に記載された蒸着装置。
  3. 各隔壁と該各隔壁に隣接する吹き出し機構との互いに対向する面は、
    前記各隔壁の面が前記隣接する吹き出し機構の面より大きい請求項２に記載された蒸着装置。
  4. 前記処理容器内の圧力は、０．０１Ｐａ以下である請求項１に記載された蒸着装置。
  5. 前記各隔壁は、
    前記各隔壁から被処理体までのギャップＧ、各吹き出し口から各隔壁上面までの高さＴ、前記各隔壁の厚みＤおよび各蒸着源の中心位置から前記各隔壁の中心位置までの距離Ｅの関係が、Ｅ＜（Ｇ＋Ｔ）×Ｄ／２Ｇとなるように配置される請求項１に記載された蒸着装置。
  6. 前記蒸着装置は、
    有機ＥＬ成膜材料または有機金属成膜材料を有機材料として被処理体に有機ＥＬ膜または有機金属膜のいずれかを形成する請求項１に記載された蒸着装置。
  7. 蒸着により処理容器内にて被処理体を成膜処理する蒸着方法であって、
    複数の蒸着源に収納された成膜材料をそれぞれ気化させ、
    前記複数の蒸着源にそれぞれ連結された複数の吹き出し機構の吹き出し口から、前記複数の蒸着源にて気化された成膜材料をそれぞれ吹き出させ、
    前記複数の吹き出し機構のうち、隣り合う吹き出し機構の間に設けられ、前記隣り合う吹き出し機構をそれぞれ仕切る１または２以上の隔壁であって、前記隣り合う吹き出し機構に設けられた吹き出し口から放射状に拡散される成膜材料のうち、各隔壁に遮られずに直進しながら被処理体まで到達した最長飛距離の成膜材料の到達位置が、前記隣り合う吹き出し機構から等距離にある被処理体上の位置よりも前記最長飛距離の成膜材料が吹き出された吹き出し口側に位置し、かつ、前記成膜材料の最長飛距離は、前記成膜材料の平均自由工程よりも短いという２つの条件を満たすように配置された前記１または２以上の隔壁により、各吹き出し口から吹き出された成膜材料が各隔壁を超えて隣の吹き出し口側へ飛来することを抑止しながら、気化された成膜材料により被処理体に膜を連続的に形成する蒸着方法。
  8. 前記各隔壁から被処理体までのギャップＧ、各吹き出し口から各隔壁上面までの高さＴ、前記各隔壁の厚みＤおよび各蒸着源の中心位置から前記各隔壁の中心位置までの距離Ｅの関係が、Ｅ＜（Ｇ＋Ｔ）×Ｄ／２Ｇとなるように前記１または２以上の隔壁を配置する請求項７に記載された蒸着方法。
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