JP2008177620A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008177620A JP2008177620A JP2008103676A JP2008103676A JP2008177620A JP 2008177620 A JP2008177620 A JP 2008177620A JP 2008103676 A JP2008103676 A JP 2008103676A JP 2008103676 A JP2008103676 A JP 2008103676A JP 2008177620 A JP2008177620 A JP 2008177620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type region
- type
- charge transfer
- transfer path
- photodiode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
【課題】 少ない工程数かつ低い製造コストで製造することができる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】 n型領域内に設けられるp型不純物濃度が5×1018/cm3 以上であるソース及びドレイン並びにゲートを含むpチャネルMOSトランジスタと、p型領域及び前記p型領域内に形成されたn型領域を有するフォトダイオードと、電荷を転送するための前記p型領域内に形成されたn型領域からなる電荷転送路と、前記フォトダイオードから前記電荷転送路へ電荷を読み出すために前記フォトダイオードのn型領域と前記電荷転送路のn型領域との間の前記p型領域の上に絶縁膜を介して設けられるトランスファゲートとを同一半導体基板上に有する固体撮像装置を提供する。
【選択図】 図8
【解決手段】 n型領域内に設けられるp型不純物濃度が5×1018/cm3 以上であるソース及びドレイン並びにゲートを含むpチャネルMOSトランジスタと、p型領域及び前記p型領域内に形成されたn型領域を有するフォトダイオードと、電荷を転送するための前記p型領域内に形成されたn型領域からなる電荷転送路と、前記フォトダイオードから前記電荷転送路へ電荷を読み出すために前記フォトダイオードのn型領域と前記電荷転送路のn型領域との間の前記p型領域の上に絶縁膜を介して設けられるトランスファゲートとを同一半導体基板上に有する固体撮像装置を提供する。
【選択図】 図8
Description
本発明は、固体撮像装置に関し、特にフォトダイオード、電荷転送路及びトランジスタを含む固体撮像装置に関する。
固体撮像装置は、フォトダイオード、電荷転送路及びアンプを有する。フォトダイオードは、入射した光を電荷(電子)に変換する。電荷転送路は、電荷結合素子(CCD)により構成され、フォトダイオードにより光電変換された電荷(電子)を転送する。アンプは、nチャネルMOSトランジスタを有し、電荷転送路により転送された電荷量を増幅して、電圧値として外部に出力する。上記のフォトダイオード、電荷転送路及びアンプは同一半導体チップ上に形成される。
上記の電荷転送路は、電子を扱うユニポーラデバイスである。アンプ内のnチャネルMOSトランジスタも、電子を扱うユニポーラデバイスである。電荷転送路及びnチャネルMOSトランジスタは、共に、電子を扱うユニポーラデバイスであり、構成上の共通点が多い。その両者を同一半導体チップ上に形成することは、比較的容易である。
それに対し、ホール(正孔)を扱うユニポーラp型MOSトランジスタは、電荷転送路及びnチャネルMOSトランジスタとは構成上の共通点が少なく、同一半導体チップ上に形成することは比較的困難である。
CMOSは低消費電力等の利点を有するため、例えば電荷転送路の制御回路にCMOSを使用したいとの要求がある。しかし、上記の理由により、固体撮像装置を構成する半導体チップ上にCMOSを形成することは困難である。CMOSを形成すると、工程数が増加し、製造コストが増加する。
また、仮に上記の固体撮像装置を構成する半導体チップとは別の半導体チップ上に、CMOSを含む制御回路を形成した場合にも、製造コストが増加する。さらに、これら2つの半導体チップを別のパッケージにして製造する場合にも、製造コストが増加する。
本発明の目的は、少ない工程数かつ低い製造コストで製造することができる固体撮像装置を提供することである。
本発明の一観点によれば、n型領域内に設けられるp型不純物濃度が5×1018/cm3 以上であるソース及びドレイン並びにゲートを含むpチャネルMOSトランジスタと、p型領域及び前記p型領域内に形成されたn型領域を有するフォトダイオードと、電荷を転送するための前記p型領域内に形成されたn型領域からなる電荷転送路と、前記フォトダイオードから前記電荷転送路へ電荷を読み出すために前記フォトダイオードのn型領域と前記電荷転送路のn型領域との間の前記p型領域の上に絶縁膜を介して設けられるトランスファゲートとを同一半導体基板上に有する固体撮像装置が提供される。
本発明によれば、固体撮像装置を形成する半導体基板上にpチャネルMOSトランジスタを形成することができる。
図1は、本発明の実施例による固体撮像装置を構成する半導体チップ1の平面図である。
半導体チップ1は、フォトダイオード(光電変換素子)2、垂直電荷転送路(VCCD)3、トランスファゲート(読出ゲート)4、水平電荷転送路(HCCD)6、出力アンプ7及び制御部8を有する。
フォトダイオード2は、2次元行列状に配置され、受光した光を電荷に変換して蓄積する。フォトダイオード2の左隣には、トランスファゲート4を介して垂直電荷転送路3が設けられる。トランスファゲート4は、フォトダイオード2内の電荷を垂直電荷転送路3に読み出す。
垂直電荷転送路3は、電荷結合素子により構成され、フォトダイオード2から読み出された電荷を上から下方向(垂直方向)に転送する。水平電荷転送路6は、電荷結合素子により構成され、垂直電荷転送路3から転送された電荷を1行単位で受け取り、右から左方向(水平方向)に転送する。
出力アンプ7は、nチャネルMOSトランジスタを含み、水平電荷転送路6から転送された電荷量に対応する電圧を出力する。この電圧値は、画素値に相当する。フォトダイオード2は、画素に相当する。フォトダイオード2を2次元行列状に配列することにより、2次元画像の信号を得ることができる。
制御部8は、CMOSを含み、フォトダイオード2から垂直電荷転送路3に電荷を読み出すためのトランスファゲート4の制御、垂直電荷転送路3の制御、水平電荷転送路6の制御、及び/又はフォトダイオード1内の電荷をクリアするための制御を行う。
図2(A)は上記の制御部8内に構成されるCMOS回路図であり、図2(B)はそのCMOS回路を形成する半導体基板の断面図である。
制御部8は、例えばインバータとして機能するCMOS回路を有する。CMOS回路は、pチャネルMOSトランジスタTr1及びnチャネルMOSトランジスタTr2を有する。トランジスタTr1は、ゲートG1、ソースS1及びドレインD1を有する。トランジスタTr2は、ゲートG2、ソースS2及びドレインD2を有する。
トランジスタTr1のゲートG1とトランジスタTr2のゲートG2は、共に入力電圧Vinを入力するための入力端子に接続される。トランジスタTr1のドレインD1とトランジスタTr2のドレインD2は、共に出力電圧Voutを出力するための出力端子に接続される。トランジスタTr1のソースS1は、正電位Vddの端子に接続される。トランジスタTr2のソースS2は、グランドGNDの端子に接続される。
入力電圧Vinがローレベル(例えば0V)のときには、pチャネルMOSトランジスタTr1がオン、nチャネルMOSトランジスタTr2がオフになる。その結果、出力電圧Voutは正電位Vddになる。
一方、入力電圧Vinがハイレベル(例えば5V)のときには、pチャネルMOSトランジスタTr1がオフ、nチャネルMOSトランジスタTr2がオンになる。その結果、出力電圧VoutはグランドGNDになる。
出力電圧Voutは、入力電圧Vinを論理反転した電圧である。入力電圧Vinがローレベルであってもハイレベルであっても、トランジスタTr1とTr2は必ず一方がオンして他方がオフするので、消費電力を低減することができる。
図2(B)において、CMOS回路は、n- 型シリコン(半導体)基板11上に形成される。p型ウエル12は、基板11の表面に形成される。n- 型ウエル13は、p型ウエル12の表面に形成される。
トランジスタTr2のソースS2及びドレインD2は、n+ 型領域であり、p型ウエル12の左側の表面に形成される。トランジスタTr1のソースS1及びドレインD1は、p+ 型領域であり、n- 型ウエル13の表面に形成される。
シリコン基板の表面には、ソースS1,S2及びドレインD1,D2が露出するように、絶縁膜14及び絶縁層15が形成される。ゲートG1,G2は、ゲート絶縁膜14上に形成される。ソースS1,S2とドレインD1,D2とゲートG1,G2は、それぞれ上記の信号端子に接続される。
次に、図3〜図8を参照しながら、上記の固体撮像装置の製造方法を説明する。図3(A)、図4(A)、図5(A)、図6(A)、図7(A)及び図8(A)は、図2(B)に示すpチャネルMOSトランジスタTr1部分の基板断面図である。図3(B)、図4(B)、図5(B)、図6(B)、図7(B)及び図8(B)は、図1に示すIIIB−IIIB線に沿った画素部PIXの基板断面図である。画素部PIXは、1画素に相当するフォトダイオード2、トランスファゲート4及び垂直電荷転送路3を含む。
まず、図3(A)及び(B)に示すように、n- 型シリコン(半導体)基板11の表面にp型ウエル12を形成する。次に、図3(B)に示す画素部PIXにおいて、p型ウエル12内にp型領域からなるチャネルストップ21及び22を形成する。
次に、図4(A)及び(B)に示すように、フォトリソグラフィにより基板上にレジストパターン24を形成し、そのレジストパターン24をマスクとして第1のn型不純物(リン)イオン25をイオン注入する。続いて、同じレジストパターン24をマスクとして、第2のn型不純物(砒素)イオン25’をイオン注入する。これら2回のイオン注入条件は、例えば、ドーズ量が1×1012〜1×1013/cm2 であり、加速エネルギが100〜200keVである。
図4(A)に示すトランジスタTr1の領域では、n型領域からなるチャネルストップ23aが形成され、図4(B)に示す画素部PIXの領域では、n型領域からなる垂直電荷転送路23bが形成される。垂直電荷転送路23bは、その下側及び左側にチャネルストップ21及び22が形成される。その後、レジストパターン24を除去する。
上記の2回のイオン注入により、トランジスタTr1のチャネルストップ23a及び画素部PIXの垂直電荷転送路23bは、不純物濃度分布が2段形状になる。
図9は、チャネルストップ23a及び垂直電荷転送路23bの濃度分布を示すグラフである。横軸は基板の深さを示し、縦軸は不純物濃度を示す。濃度分布は、分布41a及び41bの2段形状になる。濃度分布41aは、第1回目のイオン注入により注入されたリン(P)の濃度であり、濃度分布41bは、第2回目のイオン注入により注入された砒素(As)の濃度である。砒素は、リンよりも原子量が大きいので、同一加速エネルギで打ち込まれた時の砒素の濃度分布41bはリンの濃度分布41aよりも基板の浅い位置に形成される。
この濃度分布は、垂直電荷転送路23b(図4(B))において効果がある。砒素の濃度分布41bを形成することにより、垂直電荷転送路23bは電荷の蓄積容量及び転送容量が向上する。また、リンの濃度分布41aを形成することにより、垂直電荷転送路23bは電荷の転送効率が向上する。
なお、2回のイオン注入は、濃度分布41aと41bのうちいずれを先に形成してもよい。
トランジスタTr1のチャネルストップ23aでは、必ずしも濃度分布を2段に形成する必要はないが、チャネルストップ23aと垂直電荷転送路23bとを同一工程で同時に形成することができる利点は大きい。
次に、図5(A)及び(B)に示すように、フォトリソグラフィにより基板上にレジストパターン27を形成し、そのレジストパターン27をマスクとして第1のn型不純物(例えばリン)イオン28を基板の深い領域にイオン注入する。このイオン注入条件は、例えば、ドーズ量が1×1012〜1×1013/cm2 であり、加速エネルギが400keV以上である。
続いて、同じレジストパターン27をマスクとして、第2のn型不純物(例えばリン)イオン28’を基板の浅い領域にイオン注入する。このイオン注入条件は、例えば、ドーズ量が1×1011〜5×1011/cm2 であり、加速エネルギが30〜150keVである。
図5(A)に示すトランジスタTr1の領域では、p型ウエル12の表面にn- 型ウエル26aが形成される。n- 型ウエル26aは、2つのチャネルストップ23bを覆うように形成される。
図5(B)に示す画素部PIXの領域では、フォトダイオードを形成するためのn- 型領域26bが形成される。n- 型領域26bは、左の垂直電荷転送路23bとの間にp型ウエル12が残存し、右の垂直電荷転送路23bとの間にチャネルストップ22が存在する。その後、レジストパターン27を除去する。
上記の2回のイオン注入により、トランジスタTr1のn- 型ウエル26a及び画素部PIXのn- 型領域26bは、不純物濃度分布が2段形状になる。
図10は、n- 型ウエル26a及びn- 型領域26bの濃度分布を示すグラフである。横軸は基板の深さを示し、縦軸は不純物濃度を示す。濃度分布は、分布42a及び42bの2段形状になる。濃度分布42aは、第1回目のイオン注入により高エネルギで注入されたリン(P)の濃度であり基板の深い位置に形成される。濃度分布42bは、第2回目のイオン注入により低エネルギで注入されたリン(P)の濃度であり、基板の浅い位置に形成される。2回のイオン注入を行うことにより、表面から深い位置まで連続するn型領域が形成される。
濃度分布42aは、トランジスタTr1のn- 型ウエル26a及び画素部PIXのn- 型領域26bの深さを規定する。通常、画素部PIXのn- 型領域26bの深さは、トランジスタTr1のn- 型ウエル26aのものよりも浅い。ここでは、トランジスタTr1の動作を優先させる。すなわち、トランジスタTr1のn- 型ウエル26aにとっては適切な深さであり、画素部PIXのn- 型領域26bにとっては少し深すぎる。画素部PIXのn- 型領域26bを深くしたので、画素部PIXは全体的に深めに形成される。
公知の固体撮像装置におけるn- 型領域26bは加速エネルギが400keV未満の1回のイオン注入で形成される。本実施例によれば、トランジスタTr1との整合性を考慮して、400keV以上の加速エネルギでイオン注入することにより、画素部PIXのn- 型領域26bを形成する。
濃度分布42bは、トランジスタTr1のしきい電圧Vthを調整するためのものである。画素部PIXでは、濃度分布42bは不要である。画素部PIXの濃度分布42bは、後にp型不純物をイオン注入することにより打ち消される。
上記のイオン注入工程により、トランジスタTr1のn- 型ウエル26aと画素部PIXのn- 型領域26bとを同時に形成することができる。
次に、図6(A)及び(B)に示すように、基板表面にゲート絶縁膜29を形成する。例えば、基板を熱酸化することにより、ゲート絶縁膜(シリコン酸化膜)29を形成する。ゲート絶縁膜29は、トランジスタTr1では10〜20nmが好ましく、画素部PIXでは70〜80nmが好ましい。この両者で共通に使用するゲート絶縁膜29は、10〜100nmであり、70〜80nmが好ましい。
ゲート絶縁膜は、シリコン酸化膜の他、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜とシリコン酸化窒化膜の三層構造でもよい。
この工程により、トランジスタTr1及び画素部PIXのゲート絶縁膜29を同時に形成することができる。
次に、化学気相堆積(CVD)法によりゲート絶縁膜29上に多結晶シリコン層を堆積し、フォトリソグラフィ及びエッチングによりその多結晶シリコン層をパターニングする。図6(A)に示すトランジスタTr1の領域ではゲート電極30aが形成され、図6(B)に示す画素部PIXの領域ではトランスファゲート電極30bが形成される。トランスファゲート電極30bは、n- 型領域26bとその左の垂直電荷転送路23bとの間のp型ウエル12及びその隣の垂直電荷転送路23bの上方を覆うように形成される。
トランジスタTr1のゲート電極30aは比較的薄く、画素部PIXのトランスファゲート電極30bは比較的厚く形成することが好ましいが、ゲート電極30a及びトランスファゲート電極30bを同一工程で形成するため、ゲート電極30a及び30bの厚さは300〜400nmが好ましい。
次に、図7(A)及び(B)に示すように、フォトリソグラフィにより基板上にレジストパターン32を形成し、レジストパターン32とゲート電極30a,30bをマスクとしてp型不純物(ボロン)33をイオン注入する。イオン注入条件は、例えば、ドーズ量が1×1014/cm2 以上、加速エネルギが約30keVである。
図7(A)に示すトランジスタTr1の領域では、レジストパターン32及びゲート電極30aをマスクとして、p+ 型領域であるソース領域31a及びドレイン領域31aが形成される。ゲート電極30aは、ソース領域31aとドレイン領域31aとの間のn- 型ウエル26aの上方を覆う。ソース領域31a及びドレイン領域31aは、ゲート電極30aに対してセルフアラインで形成される。
図7(B)に示す画素部PIXの領域では、トランスファゲート電極30bをマスクとして、n- 型領域26bの表面の一部にp+ 型表面シールド領域31bが形成される。n- 型領域26bの表面の他の一部では、n- 型領域26bがゲート絶縁膜29を介してその上のトランスファゲート電極30bに隣接する。これにより、n- 型領域26b(フォトダイオード)から垂直電荷転送路23bへ電荷を読み出すための電圧を低くすることができる。p+ 型表面シールド領域31bは、トランスファゲート電極30bに対してセルフアラインで形成される。その後、レジストパターン32を除去する。
上記のイオン注入により、トランジスタTr1のソース/ドレイン領域31aと画素部PIXのp+ 型表面シールド領域31bとを同時に形成することができる。
上記のように、画素部PIXのn- 型領域26bは、図10に示す2段の濃度分布42a及び42bを有する。n- 型領域26bの表面に存在するn型不純物は、上記のp+ 型表面シールド領域31bを形成するためのp型不純物の注入により補償される。その結果、図10のn型不純物濃度分布42bは打ち消され、n- 型領域26bは実質的に1段形状に修正され、フォトダイオードとしての機能を向上させる。
トランジスタのソース及びドレインとして機能させるために必要なドーズ量を調べた結果、ソース及びドレインのドーズ量を1×1014/cm2 以上にしなければならないことがわかった。
n型不純物濃度分布42bを打ち消して画素部PIXのp+ 型表面シールド領域31bを形成することを考慮して、p+ 型表面シールド領域31bを形成するために注入するp型不純物のドーズ量を決める必要がある。イオン注入するp型不純物のドーズ量に比べて、p+ 型表面シールド領域31bのp型不純物濃度は低くなる。例えば、ドーズ量を1×1014/cm2 以上にすると、p型不純物濃度が5×1018/cm3 以上になる。
公知のトランジスタは、ソース及びドレイン領域のp型不純物濃度が1×1018〜2×1018/cm3 であるので、本実施例によるトランジスタTr1のソース領域31a及びドレイン領域31aのp型不純物濃度は比較的高い。
上記のイオン注入条件を採用することにより、画素部PIXにおけるn- 型領域26b及びp+ 型表面シールド領域31bの不純物濃度を最適化することができ、トランジスタTr1におけるn- 型ウエル26a及びソース/ドレイン領域31aの不純物濃度を最適化することができる。
次に、図8(A)に示すように、トランジスタTr1の領域では、CVD法により基板表面上に絶縁膜(シリコン酸化膜)を形成し、フォトリソグラフィ及びエッチングによりその絶縁膜をパターニングする。基板表面上には所定パターンのゲート絶縁膜29及び絶縁膜34が形成される。ゲート絶縁膜29及び絶縁膜34の開口部には、ソース領域31a(S1)及びドレイン領域31a(D1)が露出する。次に、CVD法、フォトリソグラフィ及びエッチングにより、ソース領域31a(S1)とゲート電極30a(G1)とドレイン領域31a(D1)上に所定パターンの導電層35を形成する。
図8(B)に示すように、画素部PIXの領域では、トランスファゲート電極30bの表面に開口部を有する絶縁膜36を形成する。その開口部を介して、トランスファゲート30b上に所定パターンの導電層37を形成する。
次に、画素部PIXの動作を説明する。フォトダイオード2は、p型ウエル12とn- 型領域26bとの間のpn接合により形成される。フォトダイオード2に光38が入射すると、フォトダイオード2は電荷を生成して蓄積する。具体的には、n- 型領域26bに電子が蓄積される。
導電層37を介してトランスファゲート電極30bに所定の正電位を印加すると、ゲート絶縁膜29を介してトランスファゲート電極30bの下に位置するp型ウエル12の表面が反転し、チャネルが形成される。n- 型領域26b内の電子は、p型ウエル12表面の反転領域を介して、左の垂直電荷転送路23bに読み出される。垂直電荷転送路23bは、図1の垂直電荷転送路3に相当する。
p+ 型表面シールド領域31bは、n- 型領域26bの表面に形成される。このp+ 型表面シールド領域31bがなくても、フォトダイオード2は機能する。p+ 型表面シールド領域31bがないフォトダイオードを不完全空乏化フォトダイオードと呼び、p+ 型表面シールド領域31bがあるフォトダイオードを完全空乏化フォトダイオードと呼ぶ。次に、p+ 型表面シールド領域31bを設けることの効果を説明する。
ゲート絶縁膜29とフォトダイオード2との間の界面では、ダングリングボンドや格子ミスマッチが生じ、その界面にジェネレーションリコンビネーションセンタ(GRセンタ)が発生する。GRセンタでは、電子−正孔(ホール)対の生成/再結合が生じる。
不完全空乏化ダイオードでは、p+ 型表面シールド領域31bがないため、GRセンタで発生した電荷がノイズとして悪影響を与える。その結果、フォトダイオード2に光を照射しなくても電荷が発生し、暗電流が大きくなる。
完全空乏化ダイオードでは、p+ 型表面シールド領域31bが設けられる。p+ 型表面シールド領域31bはフォトダイオード2の表面をシールドする。すなわち、上記のGRセンタで発生した電荷は、p+ 型表面シールド領域31b内でリコンビネーションして消滅する。その結果、フォトダイオード2の暗電流を極めて小さくすることができる。
図2(B)に示すCMOSのうちpチャネルMOSトランジスタTr1は、上記の方法により形成することができる。nチャネルMOSトランジスタTr2は、公知の方法により、画素部PIXと共に同一半導体基板上に形成することができる。例えば、トランジスタTr2のゲート電極G1は、画素部PIXのトランスファゲート電極30bと同一工程で形成することができる。
以上のように、同一半導体基板上に、画素部PIXとpチャネルMOSトランジスタTr1とnチャネルMOSトランジスタTr2を形成することができる。仮に単純にpチャネルMOSトランジスタTr1の工程を追加すると、図8(A)において、少なくともn- 型ウエル26aとソース/ドレイン領域31aとチャンネルストップ23aを形成するための工程が増える。
本実施例によれば、トランジスタTr1と画素部PIXとの間において以下の5箇所を共通の工程で形成するので、工程数が減り、製造コストを低減することができる。
トランジスタTr1 画素部PIX
(1)チャネルストップ領域23a 垂直電荷転送路23b
(図4(A)) (図4(B))
(2)n- 型ウエル26a n- 型領域26b
(図5(A)) (図5(B))
(3)ゲート絶縁膜29 ゲート絶縁膜29
(図6(A)) (図6(B))
(4)ゲート電極30a トランスファゲート電極30b
(図6(A)) (図6(B))
(5)ソース/ドレイン領域31a p+ 型表面シールド領域31b
(図7(A)) (図7(B))
また、pチャネルMOSトランジスタを含まない固体撮像装置の製造工程数を増加させることなく、画素部PIX及びCMOSを同一基板上に製造することができる。また、工程数を少なくすることにより、半導体チップの歩留りを向上させることができる。
(1)チャネルストップ領域23a 垂直電荷転送路23b
(図4(A)) (図4(B))
(2)n- 型ウエル26a n- 型領域26b
(図5(A)) (図5(B))
(3)ゲート絶縁膜29 ゲート絶縁膜29
(図6(A)) (図6(B))
(4)ゲート電極30a トランスファゲート電極30b
(図6(A)) (図6(B))
(5)ソース/ドレイン領域31a p+ 型表面シールド領域31b
(図7(A)) (図7(B))
また、pチャネルMOSトランジスタを含まない固体撮像装置の製造工程数を増加させることなく、画素部PIX及びCMOSを同一基板上に製造することができる。また、工程数を少なくすることにより、半導体チップの歩留りを向上させることができる。
また、固体撮像装置の半導体チップ上にCMOSを形成することができるので、固体撮像装置の制御又は信号処理のための回路の統合を行い易くなる。
トランジスタTr1と画素部PIXは、本来、不純物濃度及び膜厚が異なるので、トランジスタTr1及び画素部PIXの工程を単に共通化しただけでは、トランジスタTr1及び/又は画素部PIXが実用的な動作をしない。本実施例によれば、トランジスタTr1及び画素部PIXが共に適切な動作を行うことができる製造条件を与えることができる。
図11は、図1に示す固体撮像装置に代わる他の固体撮像装置を構成する半導体チップ1の平面図である。
半導体チップ1は、フォトダイオード(光電変換素子)2、垂直電荷転送路(VCCD)3、トランスファゲート(読出ゲート)4、チャネル位置変換部5、水平電荷転送路(HCCD)6、出力アンプ7及び制御部8を有する。
フォトダイオード2は、2次元行列状に配置され、受光した光を電荷に変換して蓄積する。図中、「R」、「G」、「B」と記載されたフォトダイオード2は、それぞれ赤色、緑色、青色のフィルタで覆われており、赤色、緑色、青色の画素信号を生成して蓄積する。
各フォトダイオード2の列の左右両隣には、それぞれ垂直電荷転送路3が設けられる。トランスファゲート4は、フォトダイオード2内の電荷を垂直電荷転送路3に読み出す。緑色のフォトダイオード2内の電荷は、左側の垂直電荷転送路3に読み出される。赤色及び青色のフォトダイオード2内の電荷は、右側の垂直電荷転送路3に読み出される。
垂直電荷転送路3は、電荷結合素子により構成され、フォトダイオード2から読み出された電荷を上から下方向(垂直方向)に転送する。
チャネル位置変換部5は、垂直電荷転送路3上のチャネル位置を変換して水平電荷転送路6に接続する。垂直電荷転送路3上の電荷は、水平電荷転送路6上で水平方向に同一間隔で並ぶように水平電荷転送路6に転送される。
水平電荷転送路6は、電荷結合素子により構成され、垂直電荷転送路3からチャネル位置変換部5を介して転送された電荷を1行単位で受け取り、右から左方向(水平方向)に転送する。
出力アンプ7は、nチャネルMOSトランジスタを含み、水平電荷転送路6から転送された電荷量に対応する電圧を出力する。この電圧値は、画素値に相当する。フォトダイオード2は、画素に相当する。フォトダイオード2を2次元行列状に配列することにより、2次元画像の信号を得ることができる。
フォトダイオード2の左右両隣の垂直電荷転送路3上の電荷を同一のタイミングで水平電荷転送路6に転送することができる。すなわち、緑色画素信号及び赤色画素信号を水平電荷転送路6上で同時に転送して出力することができる。また、緑色画素信号及び青色画素信号を水平電荷転送路6上で同時に転送して出力することができる。
緑色のフォトダイオード2内の電荷は、その左隣に位置する垂直電荷転送路3に読み出されて転送される。青色及び赤色のフォトダイオード2内の電荷は、その右隣に位置する垂直電荷転送路3に読み出されて転送される。各色毎に同一方向に電荷が読み出されるので、各色特性は全固体撮像装置領域にわたり均一になる。
垂直方向ピッチWvは、垂直方向に隣接する2個のフォトダイオードを1単位としたときの隣接単位間の垂直方向の配列ピッチである。水平方向ピッチWhは、フォトダイオード間の水平方向の配列ピッチである。垂直方向ピッチWvと水平方向ピッチWhとは、互いにほぼ等しく設定されている。
一般に、画像の解像度を決定する輝度信号は、緑信号を主とし、赤信号と青信号を従としてそれらを加重加算して生成される。垂直方向に隣接する2個のフォトダイオードの組が撮像サンプリング単位とされる。全ての撮像サンプリング単位は、必ず緑色のフォトダイオードを含み、緑色と赤色あるいは緑色と青色のフォトダイオードが交互に対を成して配置される。撮像サンプリング単位には、垂直方向に色が異なる2個のフォトダイオードが配置されるので、画像の解像度を向上させることができる。
制御部8は、CMOSを含み、フォトダイオード2から垂直電荷転送路3に電荷を読み出すためのトランスファゲート4の制御、垂直電荷転送路3の制御、水平電荷転送路6の制御、及び/又はフォトダイオード1内の電荷をクリアするための制御を行う。
この半導体チップ1についても、上記の製造方法により製造することができる。
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
1 半導体チップ
2 フォトダイオード
3 垂直電荷転送路
4 トランスファゲート
5 チャネル位置変換部
6 水平電荷転送路
7 出力アンプ
8 制御部
11 n- 型半導体基板
12 p型ウエル
13 n- 型ウエル
14 絶縁膜
15 絶縁層
21,22 チャネルストップ
23a チャネルストップ
23b 垂直電荷転送路
24 レジストパターン
25 第1のn型不純物
25’ 第2のn型不純物
26a n- 型ウエル
26b n- 型領域
27 レジストパターン
28 第1のn型不純物
28’ 第2のn型不純物
29 ゲート絶縁膜
30a ゲート
30b トランスファゲート
31a ソース及びドレイン領域
31b p+ 型表面シールド領域
32 レジストパターン
33 p型不純物
34 絶縁層
35 導電層
36 絶縁膜
37 導電層
38 光
41a 第1のn型不純物濃度分布
41b 第2のn型不純物濃度分布
42a 第1のn型不純物濃度分布
42b 第2のn型不純物濃度分布
G1,G2 ゲート
S1,S2 ソース
D1,D2 ドレイン
Tr1 pチャネルMOSトランジスタ
Tr2 nチャネルMOSトランジスタ
PIX 画素部
2 フォトダイオード
3 垂直電荷転送路
4 トランスファゲート
5 チャネル位置変換部
6 水平電荷転送路
7 出力アンプ
8 制御部
11 n- 型半導体基板
12 p型ウエル
13 n- 型ウエル
14 絶縁膜
15 絶縁層
21,22 チャネルストップ
23a チャネルストップ
23b 垂直電荷転送路
24 レジストパターン
25 第1のn型不純物
25’ 第2のn型不純物
26a n- 型ウエル
26b n- 型領域
27 レジストパターン
28 第1のn型不純物
28’ 第2のn型不純物
29 ゲート絶縁膜
30a ゲート
30b トランスファゲート
31a ソース及びドレイン領域
31b p+ 型表面シールド領域
32 レジストパターン
33 p型不純物
34 絶縁層
35 導電層
36 絶縁膜
37 導電層
38 光
41a 第1のn型不純物濃度分布
41b 第2のn型不純物濃度分布
42a 第1のn型不純物濃度分布
42b 第2のn型不純物濃度分布
G1,G2 ゲート
S1,S2 ソース
D1,D2 ドレイン
Tr1 pチャネルMOSトランジスタ
Tr2 nチャネルMOSトランジスタ
PIX 画素部
Claims (1)
- n型領域内に設けられるp型不純物濃度が5×1018/cm3 以上であるソース及びドレイン並びにゲートを含むpチャネルMOSトランジスタと、
p型領域及び前記p型領域内に形成されたn型領域を有するフォトダイオードと、
電荷を転送するための前記p型領域内に形成されたn型領域からなる電荷転送路と、
前記フォトダイオードから前記電荷転送路へ電荷を読み出すために前記フォトダイオードのn型領域と前記電荷転送路のn型領域との間の前記p型領域の上に絶縁膜を介して設けられるトランスファゲートと
を同一半導体基板上に有する固体撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008103676A JP2008177620A (ja) | 2008-04-11 | 2008-04-11 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008103676A JP2008177620A (ja) | 2008-04-11 | 2008-04-11 | 固体撮像装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10366866A Division JP2000196059A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008177620A true JP2008177620A (ja) | 2008-07-31 |
Family
ID=39704345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008103676A Pending JP2008177620A (ja) | 2008-04-11 | 2008-04-11 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008177620A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022118032A (ja) * | 2011-07-15 | 2022-08-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0324759A (ja) * | 1989-06-22 | 1991-02-01 | Toshiba Corp | 半導体集積回路とその製造方法 |
JPH03152939A (ja) * | 1989-11-09 | 1991-06-28 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
JPH05103272A (ja) * | 1991-10-07 | 1993-04-23 | Hitachi Ltd | Ccd型固体撮像素子 |
JPH05251680A (ja) * | 1992-03-06 | 1993-09-28 | Sharp Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
JPH06326928A (ja) * | 1993-05-18 | 1994-11-25 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法 |
-
2008
- 2008-04-11 JP JP2008103676A patent/JP2008177620A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0324759A (ja) * | 1989-06-22 | 1991-02-01 | Toshiba Corp | 半導体集積回路とその製造方法 |
JPH03152939A (ja) * | 1989-11-09 | 1991-06-28 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
JPH05103272A (ja) * | 1991-10-07 | 1993-04-23 | Hitachi Ltd | Ccd型固体撮像素子 |
JPH05251680A (ja) * | 1992-03-06 | 1993-09-28 | Sharp Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
JPH06326928A (ja) * | 1993-05-18 | 1994-11-25 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022118032A (ja) * | 2011-07-15 | 2022-08-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP7371167B2 (ja) | 2011-07-15 | 2023-10-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6541080B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
TWI419312B (zh) | 固態成像器件,其製造方法,和電子裝置 | |
US6184055B1 (en) | CMOS image sensor with equivalent potential diode and method for fabricating the same | |
US7855407B2 (en) | CMOS image sensor and method for manufacturing the same | |
US7795655B2 (en) | Solid-state imaging device and electronic device | |
KR100725367B1 (ko) | 이미지 센서 및 그 제조방법 | |
KR100746222B1 (ko) | 이미지 센서의 제조방법들 | |
KR100703987B1 (ko) | 이미지 센서의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 이미지 센서 | |
US9773825B2 (en) | Solid-state imaging device and method of manufacturing the device | |
US20070069238A1 (en) | Solid-state image pickup device and method for producing the same | |
KR20110010058A (ko) | 고체 촬상 장치와 그 제조 방법, 및 전자기기 | |
JP5487798B2 (ja) | 固体撮像装置、電子機器および固体撮像装置の製造方法 | |
JP2011253963A (ja) | 固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子、撮像装置 | |
US20210351223A1 (en) | Solid-state image sensor | |
KR100720534B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 | |
US20080157138A1 (en) | Cmos image sensor and method for fabricating the same | |
US6472699B1 (en) | Photoelectric transducer and manufacturing method of the same | |
JP2008177620A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2005302836A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
KR20060127474A (ko) | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 | |
JP2000196059A (ja) | 固体撮像装置及びその製造方法 | |
US20080048221A1 (en) | Image sensor and manufacturing method thereof | |
KR100731065B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서 | |
KR100922930B1 (ko) | 이미지 센서 및 이미지 센서의 제조 방법 | |
JP2007123680A (ja) | 固体撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111115 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111201 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120313 |