JP2008166700A - 半導体素子の微細パターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板の上部に第1のハードマスク層を形成し、第1のハードマスク層の上部に第2のハードマスク層パターンを形成し、第2のハードマスク層パターンの側壁にスペーサを形成し、スペーサと第2のハードマスク層パターンを食刻マスクに第1のハードマスク層を選択食刻して第1のハードマスク層パターンを形成し、第2のハードマスク層パターンと第1のハードマスク層パターンを埋め込む第1の絶縁膜を形成し、第2のハードマスク層パターンと該下部の第1のハードマスク層パターンを選択食刻して第3のハードマスク層パターンを形成し、第1の絶縁膜とスペーサを除去し、第3のハードマスク層パターンを食刻マスクに半導体基板をパターニングして微細パターンを形成する。
【選択図】図1k
Description
半導体基板の上部に第1のハードマスク層を形成する段階と、第1のハードマスク層の上部に第2のハードマスク層パターンを形成する段階と、第2のハードマスク層パターンの側壁にスペーサを形成する段階と、スペーサと第2のハードマスク層パターンを食刻マスクに第1のハードマスク層を選択食刻して第2のハードマスク層パターンの下部に位置する第1のハードマスク層パターンを形成する段階と、第2のハードマスク層パターンと第1のハードマスク層パターンを埋め込む第1の絶縁膜を形成する段階と、第2のハードマスク層パターンと該下部の第1のハードマスク層パターンを選択食刻して第3のハードマスク層パターンを形成する段階と、第1の絶縁膜とスペーサを除去する段階と、第3のハードマスク層パターンを食刻マスクに半導体基板をパターニングして微細パターンを形成する段階とを含むことを特徴とする。
図1a〜図1kは、本発明の一実施形態に係る半導体素子のパターン形成方法を示す図である。被食刻層(図示省略)を備えた半導体基板110の上部に第1のハードマスク層120、第2のハードマスク層130及び第3のハードマスク層140を形成する。第3のハードマスク層140の上部に感光膜(図示省略)を形成する。感光膜をライン/スペースマスク(図示省略)に露光及び現像して感光膜パターン150を形成する。感光膜パターン150を食刻マスクに第3のハードマスク層140を選択食刻して第3のハードマスク層パターン142を形成する。
120 第1のハードマスク層
122 第1のハードマスク層パターン
130 第2のハードマスク層
132 第2のハードマスク層パターン
134 第5のハードマスク層パターン
140 第3のハードマスク層
142 第3のハードマスク層パターン
150 感光膜パターン
160 第1の絶縁膜
162 スペーサ
170 第2の絶縁膜
Claims (16)
- 半導体基板の上部に第1のハードマスク層を形成する段階と、
前記第1のハードマスク層の上部に第2のハードマスク層パターンを形成する段階と、
前記第2のハードマスク層パターンの側壁にスペーサを形成する段階と、
前記スペーサと前記第2のハードマスク層パターンを食刻マスクに前記第1のハードマスク層を選択食刻して前記第2のハードマスク層パターンの下部に位置する第1のハードマスク層パターンを形成する段階と、
前記第2のハードマスク層パターンと前記第1のハードマスク層パターンを埋め込む第1の絶縁膜を形成する段階と、
前記第2のハードマスク層パターンと該下部の前記第1のハードマスク層パターンを選択食刻して第3のハードマスク層パターンを形成する段階と、
前記第1の絶縁膜と前記スペーサを除去する段階と、
前記第3のハードマスク層パターンを食刻マスクに前記半導体基板をパターニングして微細パターンを形成する段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子のパターン形成方法。 - 前記第2のハードマスク層パターンの形成段階は、
前記第1のハードマスク層の上部に第2のハードマスク層を形成する段階と、
前記第2のハードマスク層の上部に感光膜を形成する段階と、
ライン/スペースマスクで前記感光膜を露光及び現像して感光膜パターンを形成する段階と、
前記感光膜パターンを食刻マスクに前記第2のハードマスク層を選択食刻して第2のハードマスク層パターンを形成する段階と、
前記感光膜パターンを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のパターン形成方法。 - 前記感光膜パターンの線幅と隣接した前記感光膜パターンの間に画成されるスペースの線幅の比は1.5:2.5〜0.5:3.5であることを特徴とする請求項2に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記第2のハードマスク層に対する選択食刻工程は、異方性乾式食刻方法で行なわれることを特徴とする請求項2に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記スペーサの形成段階は、
前記第2のハードマスク層パターンを埋め込む第2の絶縁膜を前記半導体基板の上部に形成する段階と、
前記第2の絶縁膜をエッチバック(Etch-back)方法で食刻して前記第2のハードマスク層パターンの側壁に前記スペーサを形成する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のパターン形成方法。 - 前記第2の絶縁膜は、シリコン窒化(Si3N4)膜で形成することを特徴とする請求項5に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記スペーサの水平線幅と前記第2のハードマスク層パターンの水平線幅の比は1:1であることを特徴とする請求項5に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記第1のハードマスク層に対する選択食刻工程は、異方性乾式食刻方法で行なわれることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記第1の絶縁膜の形成段階は、
前記半導体基板の上部に前記第1の絶縁膜を形成して前記第2のハードマスク層パターンと前記第1のハードマスク層パターンを埋め込む段階と、
前記第2のハードマスク層パターンを露出するまで前記第1の絶縁膜を平坦化食刻する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のパターン形成方法。 - 前記平坦化食刻工程はCMP(Chemical Mechanical Polishing)方法で行なわれることを特徴とする請求項9に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記第1の絶縁膜はシリコン窒化(Si3N4)膜で形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記第2のハードマスク層パターンと該下部の前記第1のハードマスク層パターンに対する食刻工程は、異方性乾式食刻方法で行なわれることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記第1の絶縁膜と前記スペーサに対する除去工程は、リン酸(H3PO4)を含む湿式食刻方法で行なわれることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記微細パターンの線幅と前記隣接した微細パターンの間に画成されるスペースパターンの線幅の比は1:1であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記第1のハードマスク層と前記半導体基板の間に画成される界面にバッファ層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子のパターン形成方法。
- 前記バッファ層は、シリコン窒酸化(SiON)膜で形成してリン酸(H3PO4)を含む湿式食刻に対する食刻静止膜に用いることを特徴とする請求項15に記載の半導体素子の微細パターン形成方法。
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