JP2008157607A - 層流形クリーンルームの気流供給システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の気流供給システム(2)は、気流通路(32)に対応してクリーンルーム(3)の作業空間(30)の底部に設けられ、孔が設けられている空気環流フロア(20)と、クリーンルーム(3)の外壁(31)に設けられ、外気送風ダクトと通風システム外気空調ボックスが接続され、外部の空気を気流通路(32)に導入する外気導入口(21)と、気流通路(32)に設けられた複数の吸気ユニット(22)と、吸気ユニット(22)のそれぞれに対向してクリーンルーム(3)の作業空間(30)の頂部に設けられ、気流通路(32)に対応して設けられた複数の線形通気路(23)と、線形通気路(23)のそれぞれに対向してクリーンルーム(3)の作業空間(30)の頂部に設けられた複数の濾過モジュール(24)とを備えている。
【選択図】図2B
Description
3 クリーンルーム
20 空気環流フロア
21 外気導入口
22 吸気ユニット
23 線形通気路
24 濾過モジュール
30 作業空間
31 外壁
32 気流通路
Claims (7)
- クリーンルームの作業空間と外壁との間に設けられた気流通路に適用される層流形クリーンルームの気流供給システムにおいて、
前記気流通路に対応して前記クリーンルームの作業空間の底部に設けられ、孔が設けられている空気環流フロアと、
前記クリーンルームの外壁に設けられ、外気送風ダクトと通風システム外気空調ボックスが接続され、外部の空気を前記気流通路に導入する外気導入口と、
前記気流通路に設けられた複数の吸気ユニットと、
前記吸気ユニットのそれぞれに対向して前記クリーンルームの作業空間の頂部に設けられ、前記気流通路に対応して設けられた複数の線形通気路と、
前記線形通気路のそれぞれに対向して前記クリーンルームの作業空間の頂部に設けられた複数の濾過モジュールと、を備えていることを特徴とする層流形クリーンルームの気流供給システム。 - 前記吸気ユニットは、送風ファンであることを特徴とする請求項1に記載の層流形クリーンルームの気流供給システム。
- 前記線形通気路は、送風ダクトから形成されていることを特徴とする請求項1に記載の層流形クリーンルームの気流供給システム。
- 前記複数の濾過モジュールのそれぞれは、複数の濾過ユニットを備えていることを特徴とする請求項1に記載の層流形クリーンルームの気流供給システム。
- 前記濾過ユニットは、フィルタであることを特徴とする請求項4に記載の層流形クリーンルームの気流供給システム。
- 前記フィルタの送風の均一化は、フィルタの抵抗を変更することにより行うことを特徴とする請求項5に記載の層流形クリーンルームの気流供給システム。
- 前記フィルタの送風の均一化は、通気路内部の高さ寸法を変更して通気路内部の圧力を一致させることにより行うことを特徴とする請求項5に記載の層流形クリーンルームの気流供給システム。
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