CN108119951A - 无尘装置及其无尘化方法 - Google Patents

Abstract

一无尘装置及其无尘化方法，其中所述无尘装置包括一送风单元；一无尘单元和一抽风单元；其中所述送风单元为所述无尘单元送入过滤气体，所述抽风单元在预定方向隔离地释放所述无尘单元的气体，使得所述无尘单元中的气体按预定方向流动，从而提高所述无尘单元气体置换效率，以提供良好的无尘环境。

Description

无尘装置及其无尘化方法

技术领域

本发明涉及一无尘装置及其无尘化方法，其适于微粉尘敏感的生产行业，比如电子行业、日用化妆品行业、食品行业、印刷包装行业、光学光电行业、化学行业、生物制药行业、医疗器械行业等。

背景技术

随着现代科学技术的不断发展，人们对生产物件精度及其质量的有着越来越严格的要求。在一些行业，比如光学电子行业，对于元器件在每道生产制作过程中的精度以及品质管控尤为严格，其中品质管控中就包括微尘量控制这一项，需要将微尘控制在一定范围内。

总体来说，在需要提供无尘环境的工业生产中，微尘产生的来源主要有三个方面：

第一，无尘环境需要的是空气中杂质含量较少，但同时需要空气流通，并不是真空环境，而通常的空气中都携带一定量的微尘，因此进入的气流携带微尘是使得无尘环境中带微尘的原因之一，也是源头部分。

第二，在带有微尘无尘环境中，空气自由流动，容易停留至其中的设备或者产品上，在不能及时清理时，产生微尘的累积。而设备中一些设备属于需要运动的设备，比如提升台，而这些设备在运动会使得灰尘再次混杂于环境空气中。

第三，在无尘环境中的空气流通过程中，传统的方式都是空气自然流出。这里，一方面和外部的空气的隔离性较差，另一方面环境中空气属于自由流动的状态，并没有任何的引导作用，因此其中空气并不容易流出，容易形成涡流，整体上空气置换的效率极低。

第四，无尘环境中，其中一部分的微尘来源于进入的产品携带的。比如产品本身表面的微尘，环无尘环境空气流动的过程中，进入环境中，而较低的空气流动效率，使得这些微尘也不易出去，大部分始终在环境中循环流动。

综上，需要从无尘环境的气流进入、气体流动以及气体流出整个来提高对环境的微尘控制，从而提高无尘化质量，为产品提供优质的工作环境。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一无尘装置及其无尘化方法，其通过引导气流流向，提高环境中气体置换效率，减少环境中微尘的积累，减少气体涡流。

本发明的一个目的在于提供一无尘装置及其无尘化方法，其通过过滤送入的气体来控制进入气体的微尘。

本发明的一个目的在于提供一无尘装置及其无尘化方法，其中通过抽取换进中的空气来提高气体流出速度，同时防止外部空气进入。

本发明的一个目的在于提供一无尘装置及其无尘化方法，其中所述无尘装置中包括一送风单元、一检测单元和一抽风单元，所述送风单元为所述检测单元送入过滤后的气体，所述抽风单元将所述检测单元的气体抽取，使得检测单元中的气体不会随意流动，而是朝着预定的方向流出。

本发明的一个目的在于提供一无尘装置及其无尘化方法，其中所述检测单元是一封闭环境，以便于隔离外部气体，提供无尘环境。

本发明的一个目的在于提供一无尘装置及其无尘化方法，其中所述检测单元包括一检测部件，所述检测部件为运动部件，所述检测部件上施加防尘材料，使得所述检测部件在运动的过程中，表面的灰尘不会自由自动，而始终停留在所述检测部件上。

本发明的一个目的在于提供一无尘装置及其无尘化方法，其中在所述检测单元设置一引导板，使得气流柔性地引导至抽风单元，并且进一步隔离外部空气，防止空气倒流至所述检测单元。

本发明的一个目的在于提供无尘装置及其无尘化方法，其中所述抽风单元具有一气流引导室，使得带有微尘的气流汇集于其中而被引导出。

为了实现本发明的以上至少一目的，本发明的一方面提供一无尘装置，其包括一无尘装置，其包括：一送风单元；一无尘单元和一抽风单元；其中所述送风单元为所述无尘单元送入过滤气体，所述抽风单元在预定方向隔离地释放所述无尘单元的气体，使得所述无尘单元中的气体按预定方向流动。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述送风单元包括一风机和一过滤器，所述风机吸入外部气体，所述过滤器过滤吸入的气体，并向所述无尘单元释放。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述送风单元为一FFU。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述无尘单元具有一无尘室以及包括一引导板，所述引导板具有至少一引导孔，所述引导板气体连通地隔离所述无尘室和所述抽风单元，以使得所述气体由所述无尘室被引导至所述抽风单元。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述抽风单元具有一气流引导室，通过所述引导孔连通于所述无尘室，以使得所述无尘室内的气体被引导至所述气流引导室汇聚。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述抽风单元包括一抽风机构，将所述气流引导室内的气体抽离。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述抽风机构为至少一风扇。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述送风单元的送入气体方向和所述抽风单元排出气体的方向一致。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述无尘室为一封闭腔体，气体连通于所述送风单元。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述无尘单元包括至少一工作部件，被设置于所述无尘室，用于配合一产品的工作，所述工作部件表面带有一防尘介质，防止灰尘的自由移动。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述防尘介质为油脂。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述无尘单元包括至少一工作线路，配合所述工作部件的工作，所述工作线路布置为防止摩擦而引起的灰尘自由移动。

根据一些实施例，所述的无尘装置包括一控制单元，所述控制单元控制所述工作部件的工作，所述抽风单元和所述控制单元协调配置，以便于通过所述抽风单元的气体流动散失所述控制单元的热量。

根据一些实施例，所述的无尘装置中所述工作部件为一运动部件。

本发明的另一方面提供一无尘化方法，其包括步骤：

(A)从一方向向一无尘单元输送清洁气体；和

(B)从所述无尘单元另一方向引导所述无尘单元内的气体离开所述无尘单元。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述步骤(A)中通过过滤的方式获取清洁气体。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述步骤(A)中通过一送风单元的一风机吸入外部气体，通过所述送风单元的一过滤器过滤吸入的气体，为所述无尘单元输送清洁气体。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述步骤(B)包括步骤：

(B1)引导所述无尘单元的气体至一抽风单元；和

(B2)排出所述抽风单元的气体。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述步骤(B1)中，通过至少一引导孔，引导所述无尘单元气体至所述抽风单元的一气流引导室。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述步骤(B2)中，同一一抽风机构排出所述抽风单元的所述气流引导室内的气体。

根据一些实施例，所述的无尘化方法包括步骤：通过所述气流引导室内的气体散失一控制单元的热量。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述抽风机构为至少一风扇。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述无尘单元具有一无尘室，用于为一产品提供无尘环境。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述无尘单元包括一工作部件，被设置于所述工作室，所述工作部件表面带有一防尘介质，防止灰尘的自由移动。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述无尘介质为油脂。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述工作部件为运动部件。

根据一些实施例，所述的无尘化方法中所述无尘单元气体输入方向和引导离开方向一致，以使得气体按预定流向流动。

附图说明

图1是根据本发明的一个优选实施例的无尘装置的框图示意图。

图2是根据本发明的上述优选实施例的无尘装置的一种实施方式立体示意图。

图3是根据本发明的上述优选实施例的无尘装置的实施方式的气流引导示意图。

图4A，4B是根据本发明的上述优选实施例的无尘装置的实施方式的送风单元示意图。

图5是根据本发明的上述优选实施例的无尘装置的实施方式的无尘单元的引导板示意图。

图6是根据本发明的上述优选实施例的无尘装置的实施方式的抽风单元部件示意图。

图7是根据本发明的上述优选实施例的无尘方法框图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。

本领域技术人员应理解的是，在本发明的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本发明的限制。

在电子行业、日用化妆品行业、食品行业、印刷包装行业、光学光电行业、化学行业、生物制药行业、医疗器械行业等众多行业中，在一些工业生产过程中，对微尘比较敏感，因此需要提供的无尘的环境，比如无尘装置，为产品建立一个封闭的无尘环境，供产品的检测或生产。而本发明旨在于提供一种无尘装置100及其无尘化方法，为不同领域的无尘化要求提供一解决方案，从无尘环境中气体的进入至流动以及流出整个过程，引导气体流动方向，为无尘环境送入清洁的气体，且引导气流从另一方向流出，减少在无尘环境中的涡流，提高气体的置换效率，通过流出的气体带走无尘环境中的微尘，提高无尘化效果；另一方面，在无尘装置中，规范线路布局，减少线路之间的摩擦，减少微尘的堆积；此外，运动部件上施加防尘介质，使得灰尘停留在运动部件，而不会混入无尘环境的气流中，从从而多个方面入手来减小无尘环境中的微尘量，尤其是减少流动气体中的微尘含量，从而在不同的领域、为不同产品提供良好的检测或生产环境。

值得一提的是，本发明的无尘装置及其无尘化方法中的“无尘”并不是一种绝对化描述，而只是说明微尘的含量较低的情况，或者说明达到环境微尘含量标准的情况，本领域的技术人员应当理解的是，本发明在这方面并不限制。

参照图1，根据本发明的一个优选实施例的无尘装置100被阐释，所述无尘装置100包括一送风单元10、一无尘单元20和一抽风单元30。

所述无尘单元20用于提供一无尘环境，以供产品的检测或生产。所述送风单元10向所述无尘单元20送入清洁气体，比如经过过滤后的空气，以便于保证所述无尘单元20的无尘环境中气体流通。所述抽风单元30引导所述无尘单元20中的气体流出。

换句话说，在检测或生产一产品的过程中，可以将所述产品放置于所述无尘单元20中，为所述产品提供无尘环境，而在这个过程中，通过所述送风单元10向所述无尘单元20送入清洁的气体，推动所述无尘单元20的无尘环境中的气体流动，且带走所述无尘环境中残留的微尘，比如由产品表面携带至所述无尘环境中的微尘、无尘环境中的部件表面残留的微尘等，进一步，通过所述抽风单元30，引导所述无尘单元20中的气体向预定方向流动至外部，而不会或较少在无尘环境中自由流动，比如形成涡流，从而使得微尘及时被带出，减少残留在所述无尘单元20的所述无尘环境中，从而为所述产品提供良好的无尘环境。

进一步，在一些实施例中，所述抽风单元30的气流引导方向和所述送风单元10的气体送入方向一致，从而使得气体线性地流动，提高气体流动速率，且减少气体在所述无尘单元20中产生涡流。比如，使得所述抽风单元30和所述送风单元10位于所无尘单元20的同一方向的两端。当然，在其他实施例中，所述抽风单元30和所述送风单元10可以分别位于所述无尘单元20的不同方向，本领域的技术人员应当理解的是，本发明在这方面并不限制。

参照图2至图7，本发明的上述优选实施里的无尘装置100的一种具体实施方式被阐释。所述无尘装置100包括一送风单元10、一无尘单元20和一抽风单元30。所述无尘单元20用于提供无尘的工作环境。所述送风单元10为所述无尘单元20送入清洁气体，所述抽风单元30引导所述无尘单元20中的气体流出。

进一步，所述送风单元10气体连通于所述无尘单元20，所述抽风单元30气体连通于所述无尘单元20。在一种实施方式中，所述无尘单元20位于所述无尘单元20的上方，所述抽风单元30位于所述无尘单元20的下方，从而使得所述送风单元10的气体送入方向和所述无尘单元20的气体流出方向一致，提高气体流通速率，减少涡流。

进一步，参照图4A，4B，所述送风单元10包括一风机11和一过滤器12，所述风机11将外部气体吸入内部，并且在所述过滤器12的作用下过滤气体，使其成为清洁气体进入所述无尘单元20。

在一些实施例中，所述风机11和所述过滤器12可以构成一FFU(Fan FilterUnit，风机过滤单元)。所述风机11可以提供多个档位，来提供不同气体吸入速度，比如设置高、中、低三档，可以根据不同的需求来选择吸入的气体速度大小。所述过滤器12将进入的气体经过多级过滤，将气体过滤为清洁气体，并在整个出风面以0.45M/S±20％的风速匀速送出，为工作内腔，即所述无尘单元20提供源源不断的清洁气体。

进一步，参照图2，图3，所述无尘单元20具有一无尘室21，用于提供无尘工作环境。所述无尘室21可以为一封闭腔体，以便于提供无尘的工作环境，防止外部空气直接进入所述无尘单元20。

所述无尘单元20还可以包括一工作部件22，所述工作部件22用于配合所述产品的工作，比如所述产品的检测或生产、制造。优选地，所述工作部件22表面带有一防尘介质25，用于防止灰尘的移动。所述防尘介质25具有微尘附着功能，所述防尘介质25举例地但不限于油脂。特别地，在一些实施方式中，所述工作部件22可以是一运动部件。由于所述运动设备表面具有所述防尘介质25，所以当所述运动部件产生运动时，其表面的微尘不会自由移动，且微尘飘落至所述运动部件时，由于所述防尘介质25附着功能，使其不易离开，从而减少所述无尘室21内自由移动的微尘含量。

进一步，所述无尘单元20还包括一些工作线路23，所述工作线路23配合所述工作部件22和所述产品的工作。所述工作线路23按预定布局设置，避免工作线路23之间的摩擦，从而减少微尘的产生以及减少由于所述无尘环境中温度的升高而增加的微尘流动速度。

所述无尘单元20还包括一引导板24，所述引导板24气体连通地分隔所述无尘单元20和所述抽风单元30。

参照图3，图6，所述抽风单元30具有一气流引导室31以及包括至少一抽风机构32。所述抽风机构32引导所述气流引导室31内的气流流动至外部。

所述无尘单元20的所述引导板24具有至少一引导孔241，连通所述无尘单元20的所述无尘室21和所述抽风单元30的所述气流引导室31，从而使得所述无尘室21中的带微尘气体被引导至所述气流引导室31，并且进一步通过所述抽风机11构将所洪水气流引导室31内的气体排出，并防止外部空气倒流进入所述无尘室21。

在本发明的这个实施例中，所述无尘装置100的所述抽风单体30设置两所述抽风结构32，分别被设置于两个方向，比如一个和所述送风单元10气流一致的方向，另一个和所述送风单元10气流方向垂直的方向，从而增大气流出口，使得所述抽风单元30的所述气流引导室31内的气体更快速地排出。当然，在本发明的其他实施例中，所述抽风单元30还可以设置更多所述抽风机构32，或者只在某一方向设置所述抽风结构，比如和所述送风单元10气流方向一致的方向，本发明在这个方面并不限制。

在一些实施例中，参照图5，所以引导板24具有多个引导孔241，按预定布局排布。

值得一提的是，所述引导板24和所述引导孔241的结构和形状可以安装需求进行设计，比如设置不同大小、线性的方孔或者根据其中所述无尘单元20中所述工作部件22需求来设置，本发明在这方面并不限制。

通过所述引导孔241的引导作用，使得气体柔性地进入所述气流引导室31，一方面引导气体流向，另一方面将所述无尘室21内的气体和所述气流引导室31内的气体相对隔离，防止所述气流引导室31内的气体再次返回所述无尘室21。

优选地，所述抽风机构32可以被实施为至少一风扇。比如在所述抽风单元30的底部设置四个均匀分布的所述风扇，从而均匀、快速地排出所述气流引导室31内汇集的气体。所述风扇的位置和数量可以根据需要设置，并发明在这方面并不限制。

值得一提的是，所述抽风单元30将所述无尘单元20和外部气体相隔离，并且引导气体向外排放，从而防止外部空气回流进入所述无尘室21。

参照图2，图3，所述无尘装置100还可以包括一控制单元40，控制所述工作部件22的工作。在一实施例中，所述抽风单元30与所述控制单元40协调配置，从而可以提高所述控制单元40的热量的散失。更具体地，所述控制单元40的安装腔室和所述气流引导室31气体连通，从而当所述抽风单元的所述气流引导室内气体流动时，带走所述控制单元30产生的热量。

值得一提的是，附图中所示无尘装置100的具体结构仅在示意应用本发明的无尘原理的所述无尘装置100可以被实施的一种方式，而在其他实施例中，所述无尘装置100可以被实施为其他形状和结构，所述无尘装置100的具体结构可以根据应用的领域以及生产、检测需求来设计，本领域的技术人员应当理解的是，本发明在这方面并不限制。

在所述无尘装置100工作的过程中，通过所述送风单元10的所述风机11吸入外部气体，外部气体通过所述送风单元10的所述过滤器12进行净化，为所述无尘单元20提供风速均匀的清洁气体，所述清洁气体进入所述无尘室21，推动所述无尘室21内的原有的带微尘气体流动，所述带微尘的气体穿过所述引导板24的所述引导孔241，被引导至所述抽风单元30的所述气流引导室31，带微尘的气体在所述气流引导室31汇聚成为浑浊空气，进一步，浑浊空气通过所述抽风机11构被排出所述无尘装置100，依次方式类推，所述无尘装置100气流形成一循环***，源源不断补充清洁气体，排出污浊气体，从而达到无尘标准，为所述产品提供良好的无尘环境。

进一步，在一些实施方式中，可以在所述抽风单元30的气流出口可以设置引导通道，从而将排出的浑浊气体释放至预定的装置或环境中，或者可以设置净化装置，使得所述浑浊气体被净化后释放至周围环境中，减少对环境的二次污染。

在本发明的一些实施例中，所述无尘装置100的各部件，比如所述送分单元、所述无尘单元20和所述抽风单元30可以采用无尘材质制造，从而进一步提高所述无尘装置100可以达到的无尘等级。

根据本发明的上述实施例，参照图7，本发明提供一无尘化方法1000，其包括步骤：

1100：从一方向向一无尘单元20输送清洁气体；和

1200：从所述无尘单元20的另一方向引导所述无尘单元20内的气体离开所述无尘单元20。

其中步骤1100中的清洁气体可以通过过滤的方式获得，比如通过由一风机11和一过滤器12构成的送风单元10输送清洁气体，如FFU，所述风机11吸入外部气体，而后通过所述过滤器12过滤所述风机11吸入的气体得到清洁气体，并且将清洁气体输送至所述无尘单元20，以便于为所述无尘单元20提供源源不断的清洁气体。

进一步地，所述无尘单元20可以包括至少一工作部件22，被设置于所述无尘室21内，以便于提供一产品的工作。向所述工作部件22施加一防尘介质25，以防止灰尘在所述无尘室21内的自由移动。

所述无尘单元20还可以包括一工作线路23，其中所述工作线路23按预定布局排布，防止所述工作线路23之间的摩擦，以便于减少产生灰尘以及引起灰尘的自由移动。

其中所述步骤1200中，所述无尘单元20可以是一具有一无尘室21的一封闭单元，所述无尘室21气体连通于所述无尘单元20。

其中所述步骤1200可以包括步骤：

1201：引导所述无尘单元20的气体至一抽风单元30；

1202：排出所述抽风单元30的气体。

其中所述步骤1201中，通过带有至少一引导孔241的一引导板24隔离所述无尘单元20和所述抽风单元30，以便于隔离地引导气体进入所述抽风单元30。通过所述引导孔241将所述无尘室21中的气体引导至所述抽风单元30的一气流引导室31，使得置换后的气体在所述抽风单元30汇聚。

其中所述步骤1202中，通过一抽风机11构来排出所述气流引导室31内的气体。优选地，所述抽风机11构可以为至少一风扇。通过所述抽风单元30排出所述无尘单元20内的气体，并且隔离所述无尘单元20，防止外部气体倒流进入所述无尘单元20。

优选地，所述步骤1200中，所述无尘单元20的气体输送方向和引导离开方向一致，从而气体线性地流动，提高流通效率，减少涡流。

进一步地，所述抽风单元30与一控制单元40协调布置，从而通过所述抽风单元30内的气体散失所述控制单元40的热量。在一些实施例中，可以使得所述气流引导室31内的气体穿过所述控制单元40，从而在气体流动的过程中，带走所述控制单元40的热量。

本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的目的已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。

Claims (27)

1.一无尘装置，其特征在于，包括：

一送风单元；

一无尘单元；和

一抽风单元；其中所述送风单元为所述无尘单元送入过滤气体，所述抽风单元在预定方向隔离地释放所述无尘单元的气体，使得所述无尘单元中的气体按预定方向流动。

2.根据权利要求1所述的无尘装置，其中所述送风单元包括一风机和一过滤器，所述风机吸入外部气体，所述过滤器过滤吸入的气体，并向所述无尘单元释放。

3.根据权利要求1所述的无尘装置，其中所述送风单元为一FFU。

4.根据权利要求1所述的无尘装置，其中所述无尘单元具有一无尘室以及包括一引导板，所述引导板具有至少一引导孔，所述引导板气体连通地隔离所述无尘室和所述抽风单元，以使得所述气体由所述无尘室被引导至所述抽风单元。

5.根据权利要求4所述的无尘装置，其中所述抽风单元具有一气流引导室，通过所述引导孔连通于所述无尘室，以使得所述无尘室内的气体被引导至所述气流引导室汇聚。

6.根据权利要求5所述的无尘装置，其中所述抽风单元包括一抽风机构，将所述气流引导室内的气体抽离。

7.根据权利要求6所述的无尘装置，其中所述抽风机构为至少一风扇。

8.根据权利要求1至7任一所述的无尘装置，其中所述送风单元的送入气体方向和所述抽风单元排出气体的方向一致。

9.根据权利要求1至7任一所述的无尘装置，其中所述无尘室为一封闭腔体，气体连通于所述送风单元。

10.根据权利要求1至7任一所述的无尘装置，其中所述无尘单元包括至少一工作部件，被设置于所述无尘室，用于配合一产品的工作，所述工作部件表面带有一防尘介质，防止灰尘的自由移动。

11.根据权利要求10所述的无尘装置，其中所述防尘介质为油脂。

12.根据权利要求10所述的无尘装置，其中所述无尘单元包括至少一工作线路，配合所述工作部件的工作，所述工作线路布置为防止摩擦而引起的灰尘自由移动。

13.根据权利要求10所述的无尘装置，其中所述无尘装置包括一控制单元，所述控制单元控制所述工作部件的工作，所述抽风单元和所述控制单元协调配置，以便于通过所述抽风单元的气体流动散失所述控制单元的热量。

14.根据权利要求10所述的无尘装置，其中所述工作部件为一运动部件。

15.一无尘化方法，其特征在于，包括步骤：

(A)从一方向向一无尘单元输送清洁气体；和

(B)从所述无尘单元另一方向引导所述无尘单元内的气体离开所述无尘单元。

16.根据权利要求15所述的无尘化方法，其中所述步骤(A)中通过过滤的方式获取清洁气体。

17.根据权利要求15所述的无尘化方法，其中所述步骤(A)中通过一送风单元的一风机吸入外部气体，通过所述送风单元的一过滤器过滤吸入的气体，为所述无尘单元输送清洁气体。

18.根据权利要求15所述的无尘化方法，其中所述步骤(B)包括步骤：

(B1)引导所述无尘单元的气体至一抽风单元；和

(B2)排出所述抽风单元的气体。

19.根据权利要求18所述的无尘化方法，其中所述步骤(B1)中，通过至少一引导孔，引导所述无尘单元气体至所述抽风单元的一气流引导室。

20.根据权利要求19至所述的无尘化方法，其中所述步骤(B2)中，同一一抽风机构排出所述抽风单元的所述气流引导室内的气体。

21.根据权利要求20所述的无尘化方法，其中包括步骤：通过所述气流引导室内的气体散失一控制单元的热量。

22.根据权利要求20所述的无尘化方法，其中所述抽风机构为至少一风扇。

23.根据权利要求15至22任一所述的无尘化方法，其中所述无尘单元具有一无尘室，用于为一产品提供无尘环境。

24.根据权利要求23所述的无尘化方法，其中所述无尘单元包括一工作部件，被设置于所述工作室，所述工作部件表面带有一防尘介质，防止灰尘的自由移动。

25.根据权利要求24所述的无尘化方法，其中所述无尘介质为油脂。

26.根据权利要求24所述的无尘化方法，其中所述工作部件为运动部件。

27.根据权利要求15至22任一所述的无尘化方法，其中所述无尘单元气体输入方向和引导离开方向一致，以使得气体按预定流向流动。