JP2001124386A

JP2001124386A - クリーンルーム

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Publication number: JP2001124386A
Application number: JP30388499A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Ishiguro; 武石黒; Toshitami Ro; 俊民呂; Mikio Takahashi; 幹雄高橋; Fumio Soeda; 二三男添田; Manabu Takashi; 学高志; Sunao Kobayashi; 直小林; Hisashi Aihara; 永相原
Original assignee: Takenaka Komuten Co Ltd
Current assignee: Takenaka Komuten Co Ltd
Priority date: 1999-10-26
Filing date: 1999-10-26
Publication date: 2001-05-11
Anticipated expiration: 2019-10-26
Also published as: JP3561191B2

Abstract

(57)【要約】【課題】広いクリーンルーム内で、発塵、発熱の分布
があったり、その分布が変動したりしても、清浄度、温
度分布を均一に制御することが可能で、小型空調機によ
る循環風量で足りるクリーンルームを提供することを課
題とする。【解決手段】ドライコイル９２により、空気の温度
を、例えば露点温度に達しない程度にまで下げる。この
空気の温度は従来に比べて低く、クリーンゾーンユニッ
ト５８のファン７２によりフィルタ７０を経由して、ク
リーンエリアの各エリアへ個別に吹き出される。所定エ
リア内の製造装置等の発熱負荷が所定外エリアに比べて
少ない場合、所定エリアのエリア毎に設けられた短絡送
風手段によりエリア内の空気を個別エリア用チャンバに
還流させて送ることができる。これにより、所定エリア
では、クリーンゾーンユニット５８から送風される清浄
な空気の温度が所定外エリアに比べて高く、従来に比べ
て少ない循環風量でクリーンエリア内の温度分布を均一
にすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の製造、
組立て等に適切な環境を提供するクリーンルームに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子部品の製造・組立作業を行う
ために、空気をファンで循環して、浮遊粒子フィルタで
除去するクリーンルームが知られている。クリーンルー
ムの空気循環方式によって、一方向流クリーンルーム
（層流クリーンルーム）と非一方向流クリーンルーム
（乱流クリーンルーム）とに大別されるが、通常、清浄
度クラス１０００程度にして、それほど高度な清浄度レ
ベルを要しない場合は、循環回数が少ない非一方向流ク
リーンルームが一般的に用いられている。なお、要求さ
れる清浄度等の要求度合いに応じて非一方向流クリーン
エリア（非層流クリーンエリア）と一方向流クリーンエ
リア（層流クリーンエリア）とが併設されたものもあ
る。

【０００３】クリーンルームでは、安定した清浄度と温
度とを維持できることが要求される。電子部品を組立等
して製造する際、製造装置や作業者（オペレータ）から
の発熱や発塵が生じるため、クリーンルームに設けられ
た空調機は、クリーンルームの所定位置に設置された温
度センサで冷却コイル内の冷水流量を制御して冷風を供
給する。循環させる風量は、最大の発塵量を想定した上
で、フィルタの除塵効率と必要な清浄度とによって決定
される。

【０００４】以下、例を挙げ、添付図面を用いて従来の
クリーンルームを説明する。図４は、従来の非一方向流
クリーンルームの一例を示す正面図である。このような
クリーンルーム１０の空調設備は一般に以下のような構
成とされている。すなわち、天井パネル３２の吹出口に
載せられた高性能フィルタ１２と、高性能フィルタ１２
を囲むフィルタボックス１４と、循環する空気をフィル
タボックス１４に供給するダクト１６とを有し、フィル
タボックス１４へ循環した空気を高性能フィルタ１２を
通じて清浄な空気として非一方向流クリーンエリア１８
へ吹出す。

【０００５】非一方向流クリーンエリア１８の側壁の下
部には吸込口２０が形成され、吸込口２０の下流側には
空調機２２が設けられており、空調機２２内にはドライ
コイル（冷却コイル）２４及びその下流側に循環ファン
３０が設けられている。ドライコイル２４には、冷媒
（例えば冷水）の循環量を調節する調節バルブ２６が設
けられている。なお、非一方向流クリーンエリア１８の
吸込口の近くには温度センサ２８が設置されている。

【０００６】ドライコイル２４で冷却された空気は、循
環ファン３０により、空調機２２の下流側に接続してい
るダクト１６から分岐されてフィルタボックス１４へ供
給される。

【０００７】このように、空気を強制的に循環させるに
は、空調機２２内又は空調機２２とダクト１６との間に
大型又は中型の循環ファン３０を設けるか、又は、高性
能フィルタ１２とその上に設けられたファン（図示せ
ず）とが一体になった、いわゆるファンフィルタユニッ
ト（図示せず）を天井パネル３２に設ける必要がある。

【０００８】ところで、クリーンエリアでは、平面的な
観点で、製造装置の配置によっては発塵及び発熱の分布
が生じ、この分布は製造装置の稼動状況によって変動す
る。このため、クリーンルーム内の清浄度分布や温度分
布は、この負荷変動の影響を受けて変化する。

【０００９】また、クリーンルーム１０では、クリーン
エリア全体の発塵量と循環させる空気の風量とに基づい
て清浄度を設定している。このため、発塵量の少ないエ
リアでは循環させる風量（以下、循環風量という）が過
剰になり、発塵量の多いエリアでは所定の清浄度を確保
できないという事態が生じる。この対策として、要求さ
れる清浄度がクリーンエリア内で一様でない場合、一般
に、空調機を系統分けすると共に、クリーンエリア内を
間仕切りにより区画して複数のエリアを形成し、高い清
浄度が要求されるエリアには循環風量を多くしている。
しかし、循環風量が多いと、ファンを回転させるモータ
の寸法が大きくなるので、クリーンルームの有効面積、
すなわち、クリーンエリアの面積が相対的に小さくな
り、しかも経済的でない。

【００１０】更に、熱負荷の小さい区域では、クリーン
度を維持するために必要な吹き出し風量でそのまま吹き
出すと、室温が下がりすぎるという事態が生じる。この
対策としては、ドライコイル２４による空気の冷却温度
を上げる以外に特にない。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事実を考
慮して、広いクリーンルーム内で、発塵、発熱の分布が
あったり、その分布が変動したりしても、清浄度、温度
分布を均一に制御することが可能で、小型空調機による
循環風量で足りるクリーンルームを提供することを課題
とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明で
は、クリーンエリアの天井の吹出口に設けられた清浄手
段と、クリーンエリアの吸込口から空気を排出して前記
清浄手段へ空気を循環させる循環手段と、クリーンエリ
アの吸込口から前記循環手段へ排出された空気を所定の
温湿度に空調する空調手段と、を有するクリーンルーム
において、前記空調手段で空調する空気の温度を、前記
クリーンエリアの熱負荷処理可能な温度にまで下げる空
調制御手段と、前記清浄手段の上流側にそれぞれ設けら
れ、前記循環手段により送風された空気を前記清浄手段
を経由させてクリーンエリアの各エリアに個別に吹き出
す個別エリア用送風手段と、エリア内の空気の一部を前
記個別エリア用送風手段に還流させる短絡送風手段と、
を有することを特徴とする。

【００１３】空調制御手段では、空気の温度を、例えば
露点温度に達しない程度にまで下げる。この空気の温度
は従来に比べて低く、個別エリア用送風手段により清浄
手段を経由して、クリーンエリアの各エリアへ個別に吹
き出される。

【００１４】ここで、所定エリア内の製造装置等の発熱
負荷が所定外エリアに比べて少ない場合、例えば所定エ
リアのエリア毎に設けられた短絡送風手段によりエリア
内の空気を個別エリア用チャンバに還流させて送ること
ができる。これにより、所定エリアでは、個別エリア用
送風手段から送風される清浄な空気の温度が所定外エリ
アに比べて高く、従来に比べて少ない循環風量でクリー
ンエリア内の温度分布を均一にすることができる。

【００１５】請求項２に記載の発明は、前記個別エリア
用送風手段が、前記清浄手段の上流側に設けられた個別
エリア用チャンバと、前記個別エリア用チャンバに設け
られたファンと、で構成されたことを特徴とする。

【００１６】個別エリア用チャンバ内はクリーンエリア
に対して負圧であるので、短絡送風手段によりクリーン
エリアから還流された空気は、循環手段により個別エリ
ア用チャンバ内に送風された空気と混合して温度が調整
されてファンにより各エリアへ吹き出される。

【００１７】請求項３に記載の発明は、前記循環手段に
より送風された空気の前記個別エリア用チャンバへの流
入量を制御する風量制御手段を有し、かつ、前記短絡送
風手段を前記各エリアに設けて各エリアの空気を前記個
別エリア用チャンバに送ることを特徴とする。

【００１８】これにより、各エリアの発熱負荷が変動し
ても、この変動に応じて、循環手段による搬送空気と短
絡送風手段による搬送空気との混合比を風量制御手段で
調節することにより温度調整し、クリーンエリア内の温
度を一様に維持することが可能になる。

【００１９】請求項４に記載の発明は、前記短絡送風手
段が、前記各エリアに空気導入口を有して前記個別エリ
ア用チャンバに連通する連通路であることを特徴とす
る。

【００２０】請求項５に記載の発明は、前記天井の吹出
口外縁から天井と略平行に張出し、前記空気導入口近傍
との間に空気流入路を形成する風向板を設けたことを特
徴とする。

【００２１】これにより、天井の吹出口から出た空気が
空気導入口を通じて直接個別エリア用チャンバに送風さ
れることを防止できるので、効率良く温度制御できる。
また、天井に滞留する浮遊粒子や熱を少なくすることが
できる。

【００２２】請求項６に記載の発明は、前記風量制御手
段が、前記個別エリア用チャンバの上流側に設けられた
開度可変バルブであることを特徴とする。

【００２３】これにより、ファンのように回転数を制御
する必要がなく、構造がシンプルなので、制御機構を簡
略化できる。

【００２４】請求項７に記載の発明は、前記短絡送風手
段が、各エリアと前記個別エリア用チャンバとを接続す
るダクトと、前記ダクト内の通過風量を調節する風量制
御手段と、で構成されたことを特徴とする。

【００２５】これにより、各エリアの発熱負荷が変動し
ても、この変動に応じて、循環手段による搬送空気とダ
クト経由による搬送空気との混合比を風量制御手段で調
節することにより温度調整し、クリーンエリア内の温度
を一様に維持することが可能になる。

【００２６】請求項８に記載の発明は、前記風量制御手
段が、開度可変バルブであることを特徴とする。

【００２７】請求項９に記載の発明は、前記風量制御手
段が、前記各エリア内に設けられた温度センサと、前記
温度センサの検出結果に基づき、前記開度可変バルブの
開度を制御する開度制御手段と、を有することを特徴と
する。

【００２８】この構成は、熱負荷変動の大きいエリアで
も、精度良く温度制御できる。

【００２９】

【発明の実施の形態】第１形態に係るクリーンルームを
説明する。

【００３０】図１に示すように、クリーンルーム４０
は、非一方向流クリーンエリア４２（以下、クリーンエ
リア４２という）を有しており、クリーンエリア４２の
床に配設された格子パネル５０は、図示しない支持サポ
ートで支持され、これにより、床スラブ５２との間が床
下チャンバ５４とされている。

【００３１】また、クリーンエリア４２を形成する天井
パネル５６の上には、クリーンゾーンユニット５８が設
けられている（図１、図２参照）。クリーンゾーンユニ
ット５８は、一定の間隔で、例えば約３０平方メートル
につき１台の割合で配設されている。更に、天井パネル
５６の上方に、クリーンゾーンユニット５８へ空気を供
給するダクト６６が設けられている。ダクト６６から分
岐した枝管６８は、クリーンゾーンユニット５８の下流
側（例えば上壁）に接続されている。また、クリーンゾ
ーンユニット５８内には、除塵のためのフィルタ７０
と、ダクト６６から供給された空気をフィルタ７０を経
由してクリーンエリア４２に吹き出すファン７２とが設
けられている。

【００３２】床下チャンバ５４とダクト６６とは、それ
ぞれ、クリーンエリア４２を形成している側壁８０とク
リーンルーム４０の壁部８２との間に構成された空調機
８４につながっており、クリーンエリア４２から排出さ
れた空気が床下チャンバ５４、空調機８４、ダクト６６
の順に循環される構成である。これにより、製造装置付
近の鉛直気流を確保し、浮遊粒子の周辺拡散を防止して
いる。

【００３３】空調機８４には、フィルタ７０を通過させ
て外気を導入する外気導入部９０が設けられている。ま
た、空調機８４内の上流側には、冷却用のドライコイル
９２が設けられている。ドライコイル９２は、温度セン
サ９４からの信号によりコントローラ９６で制御され、
製造エリアにより熱負荷密度が大きく異なるクリーンエ
リア４２の熱負荷処理を可能とするために、ドライコイ
ル９２の出口側の空気の温度を１５℃程度に冷却する。
この温度は、空調機８４内で結露しない温度であり、空
調機８４内の露点温度に比べて１℃から２℃程度高い温
度である。

【００３４】更に、ドライコイル９２の下流側には、従
来の循環ファン３０（図４参照）に比べて容量の小さい
循環ファン１００が設けられており、循環ファンはコン
パクト化されている。循環ファン１００は、風量センサ
（図示せず）、及び、ダクト６６内に設けられた圧力セ
ンサ１０２で検出された検出結果に基づき、コントロー
ラ１０４で回転数が制御されつつ、清浄に必要な風量を
ダクト６６へ送る。

【００３５】一方、クリーンゾーンユニット５８は、図
２に示すように、外フレーム１１０と内フレーム１１２
とでボックス化されており、外フレーム１１０と内フレ
ーム１１２との間が、クリーンゾーンユニット５８の設
けられたエリアの空気が還流される連通路１１４となっ
ている。この連通路１１４へは、パンチングフェイス１
１６を介してクリーンエリア４２へ供給された清浄な空
気が、床下チャンバ５４、空調機８４、ダクト６６を循
環することなくダイレクトにクリーンゾーンユニット５
８へ還気されるので、空気循環経路を短縮することがで
き、空気抵抗を低減することができる。

【００３６】また、クリーンゾーンユニット５８からク
リーンエリア４２へ供給された清浄空気が連通路１１４
へショートサーキットすることを防止するため、連通路
１１４の空気導入口１１８を覆うように、パンチングフ
ェイス１１６の外縁から天井パネル５６に沿って水平パ
ネル（気流制御板）１２０が張り出している。これによ
り、天井パネル５６に沿った吸い込みの気流を形成する
ことができ、浮遊粒子の量、及び、熱の滞留しているゾ
ーンを低減させることができる。

【００３７】更に、枝管６８には、枝管６８内を通過す
る風量を可変にする開度可変バルブ１２６が設けられて
いる。また、天井パネル５６の下面側には温度センサ１
２８が配置されており、温度センサ１２８からの検出信
号がコントローラ７４へ送信され、開度可変バルブ１２
６の開度が調整される。

【００３８】以下、クリーンルーム４０の作用について
具体的に述べる。

【００３９】ドライコイル９２によって例えば１５℃に
冷却された空気が、ダクト６６を経由して各クリーンゾ
ーンユニットに配分される。このとき、各クリーンゾー
ンユニットに１個配設した温度センサ１２８により、開
度可変バルブ１２６の開度（以下、ＶＡＶ開度という）
を制御して、冷風をクリーンゾーンユニットに必要量だ
け送風する。

【００４０】すなわち、クリーンエリア４２のうち熱負
荷の大きいエリア４２Ａでは、温度センサ１２８からの
信号を受けたコントローラ７４が、開度可変バルブ１２
６の開度を大きくし、ダクト６６からクリーンゾーンユ
ニット５８及びフィルタ７０を経由してエリア４２Ａに
吹き出される冷風量が比較的多くなる。

【００４１】クリーンエリア４２のうち熱負荷の小さい
エリア４２Ｂでは、コントローラ７４が開度可変バルブ
１２６の開度を小さくし、エリア４２Ｂに吹き出される
冷風量が比較的小さくなる。この結果、空気導入口１１
８から連通路１１４、ファン７２、フィルタ７０を順次
経由して、すなわちエリア４２Ｂからクリーンゾーンユ
ニット５８にショートサーキットして天井の吹出口から
吹き出される空気量が多くなる。

【００４２】これにより、熱負荷の大きいエリア４２Ａ
への空気の循環回数を、従来に比べて大幅に、例えば５
０〜６０％程度に低減することができ、かつ、熱負荷の
小さいエリア４２Ｂでは、クリーンゾーンユニット５８
からの吹き出し量を充分に維持しつつエリア４２Ｂの冷
え過ぎを防止することができる。すなわち、従来に比べ
て非常に低温の冷風をダクト６６に送風することができ
るので、ダクト６６への送風量を大きく減らすことがで
き、従って、循環ファン１００の駆動に必要なファン動
力を大幅に低減することができる。

【００４３】また、製造レイアウトの変更や熱負荷の増
減に容易に対応することができ、その際、空気の循環風
量を増やすことなく熱負荷の処理とクリーン度の維持と
を併せて実施することが可能になる。

【００４４】クリーンゾーンユニット５８のファン７２
にもインバータを取り付けてもよい。これにより、製造
装置のレイアウト変更など必要な清浄度に応じて回転数
を任意に設定することができ、また、従来のように間仕
切りしなくても済む。

【００４５】次に、第２形態に係るクリーンルーム１５
０を説明する。

【００４６】図３に示すように、クリーンルーム１５０
は、クリーンルーム４０のダクト６６に代えて天井プレ
ナムチャンバ１５２を、また、クリーンゾーンユニット
５８に代えてクリーンゾーンユニット１５４を備えてお
り、冷却された空気は空調機８４から天井プレナムチャ
ンバ１５２へ循環される。第２形態では、第１形態と同
じものには同じ符号を付してその説明を省略する。

【００４７】クリーンルーム１５０では、非一方向流ク
リーンエリア１６０（以下、クリーンエリア１６０とい
う）内の空気を天井パネル５６側からクリーンゾーンユ
ニット１５４の吸込口側に送風するダクト１６２が設け
られている。すなわち、ダクト１６２の空気導入口１６
４は天井パネル５６側に形成され、ダクト１６２の空気
導出口１７０は、クリーンゾーンユニット１５４内のフ
ァン７２上流側に形成されている。ダクト１６２の中に
は、ダクト内を通過する風量を調節する開度可変バルブ
１７２が設けられている。開度可変バルブとしては、例
えばＶＡＶ（変風量ユニット）又は電動ダンパである。
また、天井パネル５６の下面側に配置された温度センサ
１２８からの検出信号がコントローラ７４へ送信され、
開度可変バルブ１７２の開度が調整される。

【００４８】天井プレナムチャンバ１５２はクリーンエ
リア１６０に対し、通常、３から５mmAq程度負圧にな
る。従って、クリーンエリア１６０の空気はクリーンゾ
ーンユニット１５４に導入されてユニット内の空気と混
合する。

【００４９】クリーンルーム１５０では、空調機８４を
通じて天井プレナムチャンバ１５２へ戻る空気の温度
を、クリーンエリア１６０で設定された室温よりも８〜
１０℃程度低い温度にまで冷却する。この温度差は、従
来に比べて２倍近く大きい。クリーンエリア１６０に
は、清浄にされた冷気がクリーンゾーンユニット１５４
から吹出す。

【００５０】これにより、従来のようにクリーン度維持
のために循環風量を多くすることなく、熱負荷が大きい
エリア１６０Ａ内の空気の一部をクリーンゾーンユニッ
ト１５４の吸い込み側にショートサーキットさせ、天井
プレナムチャンバ１５２からクリーンゾーンユニット１
５４に供給される低温の空気と混合して吹き出し温度を
調整することが可能になる。このため、空気の循環風量
を従来に比べて大きく低減すること、例えば５０％程度
低減することができ、熱負荷処理及びクリーン度維持の
両者を経済的に実現することができる。

【００５１】クリーンエリア１６０のうち熱負荷が大き
いエリア１６０Ａでは、コントローラ７４により開度可
変バルブ１７２の開度が小さくされ、エリア１６０Ａか
らクリーンゾーンユニット１５４内に導入される空気量
が少なく、天井から吹き出される空気の温度は比較的低
い。

【００５２】クリーンエリア１６０のうち熱負荷の小さ
いエリア１６０Ｂでは、コントローラ７４により開度可
変バルブ１７２の開度が大きくされ、エリア１６０Ｂか
らクリーンゾーンユニット１５４内に導入される空気量
が多く、天井から吹き出される空気の温度は比較的高
い。

【００５３】また、クリーンエリア１６０のうち熱負荷
変動が大きいエリアでは、温度センサ１２８の検出結果
に基づき、ファン７２を駆動する電動機の回転数をイン
バータ又は直流モータにより制御し、ダクト１６２内を
通過する風量を、熱負荷によって決まる最大量からクリ
ーン度維持によって決まる最小量までの範囲内で変動さ
せることにより、天井からの空気の吹き出し温度を調整
して室温を所定範囲内に維持する。

【００５４】これにより、各エリアの温度を、製造装置
の発熱分布によらず均一に維持できる。

【００５５】なお、クリーンエリア１６０のうち熱負荷
変動が小さいエリアでは、開度可変バルブ１７２とし
て、オリフィス、ダンパ又はベーンを設けてこれを手動
により調整しても、クリーンエリア１６０の温度を所定
範囲内に維持することが可能である。

【００５６】クリーンエリア１６０の隣に壁等で区画さ
れた非一方向流クリーンエリアが併設されていてもよ
い。この非一方向流クリーンルーム内で熱負荷の大小が
異なるエリアが混在している場合、熱負荷の大きいエリ
アと小さいエリアとを垂れ壁等で区分けすることによ
り、上述したことと同様の作用、効果を奏することがで
きる。

【００５７】また、循環ファン１００を設けないことも
可能である。この場合、クリーンゾーンユニット１５４
の吸い込み側は、クリーンエリア１６０に対して通常７
から１０mmAq程度負圧になる。

【００５８】また、クリーンゾーンユニット１５４に
は、ファンフィルタとファンとが一体になったファンフ
ィルタユニット（ＦＦＵ）を設けてもよい。この場合、
従来に比べてＦＦＵの設置台数を低減でき、しかも、Ｆ
ＦＵのファン回転に必要な動力を小さくすることができ
る。

【００５９】なお、クリーンゾーンユニット１５４の吹
出口に、第１形態と同様の配慮で水平パネル（気流制御
板）を設けてもよい。

【００６０】

【発明の効果】本発明は上記構成としたので、クリーン
エリア内の各エリアの熱負荷に応じて、そのエリア内の
空気の一部を天井から直接クリーンゾーンユニット内に
吸引することができる。これにより、クリーンエリアの
温度を均一に維持するとともに、クリーンルエリア全体
の空気を循環させる空調機のコンパクト化、運転に必要
な動力の低減化を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１形態に係るクリーンルームの正面図であ
る。

【図２】図１の拡大図である。

【図３】第２形態に係るクリーンルームの部分正面拡大
図である。

【図４】従来のクリーンルームの正面図である。

【符号の説明】

１２高性能フィルタ（清浄手段）１４フィルタボックス（循環手段）１６ダクト（循環手段）１８非一方向流クリーンエリア（クリーンエリア）２０吸込口２４ドライコイル（空調手段、冷却コイル）２６調節バルブ（空調手段）３０循環ファン（循環手段）３２天井パネル（天井）４２非一方向流クリーンエリア（クリーンエリア）４２Ａエリア４２Ｂエリア５０格子パネル（吸込口）５６天井パネル（天井）５８クリーンゾーンユニット（個別エリア用チャン
バ）６６ダクト（循環手段）６８枝管（循環手段）７０フィルタ（清浄手段）７２ファン（循環手段）７４コントローラ（開度制御手段）９２ドライコイル（空調制御手段、冷却コイル）９４温度センサ１００循環ファン（循環手段）１１４連通路（短絡送風手段、連通路）１１６パンチングフェイス（吹出口）１１８空気導入口１２０水平パネル（風向板）１２６開度可変バルブ１５２天井プレナムチャンバ（循環手段）１５４クリーンゾーンユニット（個別エリア用チャン
バ）１６０非一方向流クリーンエリア（クリーンエリア）１６０Ａエリア１６０Ｂエリア１６２ダクト（短絡送風手段、連通路）１６４空気導入口１７２開度可変バルブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者高橋幹雄千葉県印西市大塚１丁目５番地１株式会社竹中工務店技術研究所内 (72)発明者添田二三男東京都中央区銀座８丁目21番１号株式会社竹中工務店東京本店内 (72)発明者高志学東京都中央区銀座８丁目21番１号株式会社竹中工務店東京本店内 (72)発明者小林直東京都中央区銀座８丁目21番１号株式会社竹中工務店東京本店内 (72)発明者相原永東京都中央区銀座８丁目21番１号株式会社竹中工務店東京本店内Ｆターム(参考） 3L053 BB01 BB04 BB10 3L056 BD02 BE01 BF04 3L058 BD01 BE02 BF01 BF06 BG01 BG03 BG04 3L060 AA08 CC02 DD02 EE21 EE24

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】クリーンエリアの天井の吹出口に設けら
れた清浄手段と、クリーンエリアの吸込口から空気を排
出して前記清浄手段へ空気を循環させる循環手段と、ク
リーンエリアの吸込口から前記循環手段へ排出された空
気を所定の温湿度に空調する空調手段と、を有するクリ
ーンルームにおいて、前記空調手段で空調する空気の温度を、前記クリーンエ
リアの熱負荷処理可能な温度にまで下げる空調制御手段
と、前記清浄手段の上流側にそれぞれ設けられ、前記循環手
段により送風された空気を前記清浄手段を経由させてク
リーンエリアの各エリアに個別に吹き出す個別エリア用
送風手段と、エリア内の空気の一部を前記個別エリア用送風手段に還
流させる短絡送風手段と、を有することを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】前記個別エリア用送風手段が、前記清浄
手段の上流側に設けられた個別エリア用チャンバと、前
記個別エリア用チャンバに設けられたファンと、で構成
されたことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルー
ム。
【請求項３】前記循環手段により送風された空気の前
記個別エリア用チャンバへの流入量を制御する風量制御
手段を有し、かつ、前記短絡送風手段を前記各エリアに
設けて各エリアの空気を前記個別エリア用チャンバに送
ることを特徴とする請求項２に記載のクリーンルーム。
【請求項４】前記短絡送風手段が、前記各エリアに空
気導入口を有して前記個別エリア用チャンバに連通する
連通路であることを特徴とする請求項２又は請求項３に
記載のクリーンルーム。
【請求項５】前記天井の吹出口外縁から天井と略平行
に張出し、前記空気導入口近傍との間に空気流入路を形
成する風向板を設けたことを特徴とする請求項４に記載
のクリーンルーム。
【請求項６】前記風量制御手段が、前記個別エリア用
チャンバの上流側に設けられた開度可変バルブであるこ
とを特徴とする請求項２〜請求項５の何れかに記載のク
リーンルーム。
【請求項７】前記短絡送風手段が、各エリアと前記個
別エリア用チャンバとを接続するダクトと、前記ダクト
内の通過風量を調節する風量制御手段と、で構成された
ことを特徴とする請求項２に記載のクリーンルーム。
【請求項８】前記風量制御手段が、開度可変バルブで
あることを特徴とする請求項７に記載のクリーンルー
ム。
【請求項９】前記風量制御手段が、前記各エリア内に
設けられた温度センサと、前記温度センサの検出結果に
基づき、前記開度可変バルブの開度を制御する開度制御
手段と、を有することを特徴とする請求項６又は請求項
８に記載のクリーンルーム。