JP2008149656A

JP2008149656A - Vacuum lamination device and vacuum lamination method

Info

Publication number: JP2008149656A
Application number: JP2006342453A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Yokoyama; 康弘横山
Original assignee: Fuji Electric Systems Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 2006-12-20
Filing date: 2006-12-20
Publication date: 2008-07-03
Anticipated expiration: 2026-12-20
Also published as: JP4946420B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum lamination device and a vacuum lamination method which can connect the vacuum lamination device to a vacuum pump while the positioning lag of the vacuum lamination device to the vacuum pump is mitigated. <P>SOLUTION: In the exhaust port 1b of the vacuum lamination device, a check valve 1d for preventing air from flowing into a venthole through the exhaust port 1b is mounted, and the tip of the exhaust port 1b is constituted in a spherical shape. Particularly, the vacuum lamination device, the vacuum lamination method are suitable by applying them to the vacuum lamination method of a solar cell module. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は真空ラミネート装置および真空ラミネート方法に関し、特に、太陽電池モジュールの真空ラミネート方法に適用して好適なものである。 The present invention relates to a vacuum laminating apparatus and a vacuum laminating method, and is particularly suitable when applied to a vacuum laminating method for a solar cell module.

大気汚染や二酸化炭素の増大による地球温暖化の対策として、石油などの化石燃料に代わるエネルギー源として太陽電池が注目されている。ここで、太陽電池を屋根などに設置して使用する場合、量産性やコストなどの点から、アモルファスシリコン太陽電池が有望視されている。
そして、アモルファスシリコン太陽電池を屋根などに設置して使用する場合、耐水性や耐候性を持たせるために、アモルファスシリコン太陽電池の表面を透明な保護フィルムでラミネートすることが行われている。 As a countermeasure against global warming due to air pollution and an increase in carbon dioxide, solar cells are attracting attention as an energy source to replace fossil fuels such as oil. Here, when a solar cell is used on a roof or the like, an amorphous silicon solar cell is considered promising in terms of mass productivity and cost.
And when installing and using an amorphous silicon solar cell on a roof etc., in order to give water resistance and a weather resistance, laminating | stacking the surface of an amorphous silicon solar cell with a transparent protective film is performed.

また、例えば、特許文献１には、流れ作業により一貫した生産ラインで連続的に被ラミネート体をラミネートするとともに、被ラミネート体を簡単に効率よく大量に生産することができ、スループットの高い製造ラインを構築できるようにするために、ダイアフラムによって被ラミネート体を加熱圧着するラミネート装置を、ラミネート工程中に搬送手段によって移動する方法が開示されている。
特開平１１−２２７１４５号公報 In addition, for example, in Patent Document 1, a laminated body is continuously laminated on a production line that is consistent by a flow operation, and the laminated body can be easily and efficiently produced in large quantities, and a high-throughput production line. In order to make it possible to construct a laminate, a method is disclosed in which a laminating apparatus that heat-presses a laminate by a diaphragm is moved by a conveying means during the laminating process.
JP-A-11-227145

しかしながら、被ラミネート体をラミネートするためには、真空ラミネート装置を真空引きする必要があり、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続するための位置合わせに手間がかかるという問題があった。
そこで、本発明の目的は、真空ラミネート装置と真空ポンプとの位置合わせずれを緩和しつつ、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続することが可能な真空ラミネート装置および真空ラミネート方法を提供することである。 However, in order to laminate the object to be laminated, it is necessary to evacuate the vacuum laminating apparatus, and there is a problem that it takes time to align the position for connecting the vacuum laminating apparatus to the vacuum pump.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a vacuum laminating apparatus and a vacuum laminating method capable of connecting the vacuum laminating apparatus to the vacuum pump while mitigating misalignment between the vacuum laminating apparatus and the vacuum pump. .

上述した課題を解決するために、請求項１記載の真空ラミネート装置によれば、被ラミネート体が配置される底板と、前記被ラミネート体が配置された底板上を覆う封止用シートと、前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、前記通気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, according to the vacuum laminating apparatus according to claim 1, a bottom plate on which a laminate is disposed, a sealing sheet covering a bottom plate on which the laminate is disposed, A frame body disposed around the bottom plate and provided with a vent hole for exhausting between the sealing sheet and the bottom plate; and a spherical exhaust port connected to the vent port and having a spherical end. Features.

また、請求項２記載の真空ラミネート装置によれば、保護フィルムを介してシート状の光起電力素子が配置される底板と、前記保護フィルム下に配置され、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材と、前記光起電力素子が配置された底板上を覆う封止用シートと、前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、前記通気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする。 Further, according to the vacuum laminating apparatus according to claim 2, the bottom plate on which the sheet-like photovoltaic element is disposed via the protective film, and the sheet which is disposed under the protective film and has an uneven shape on the surface. And a sealing sheet that covers the bottom plate on which the photovoltaic elements are disposed, and a vent that is disposed around the bottom plate and exhausts between the sealing sheet and the bottom plate. And an exhaust port having a spherical tip connected to the vent hole.

また、請求項３記載の真空ラミネート装置によれば、保護フィルムを介してシート状の光起電力素子が配置される底板と、前記光起電力素子が配置された底板上を覆う封止用シートと、前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、前記保護フィルム下に配置されるようにして前記底板上に固定された金属メッシュと、前記排気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする。 Further, according to the vacuum laminating apparatus according to claim 3, a bottom plate on which the sheet-like photovoltaic element is arranged via a protective film, and a sealing sheet covering the bottom plate on which the photovoltaic element is arranged And a frame disposed around the bottom plate and provided with a vent for exhausting between the sealing sheet and the bottom plate, and fixed on the bottom plate so as to be disposed under the protective film It is characterized by comprising a metal mesh and an exhaust port connected to the exhaust port and having a spherical tip.

また、請求項４記載の真空ラミネート装置によれば、前後にスライド可能に保持されるとともに、任意の方向に傾くことができるように保持された状態で前記排気口を接続可能な漏斗状の受け部材をさらに備えることを特徴とする。
また、請求項５記載の真空ラミネート方法によれば、被ラミネート体を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、前記被ラミネート体を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記被ラミネート体を一体化する工程とを備えることを特徴とする。 In addition, according to the vacuum laminating apparatus according to claim 4, the funnel-shaped receptacle that can be connected to the exhaust port while being held so as to be slidable back and forth and tilted in an arbitrary direction. The apparatus further includes a member.
Further, according to the vacuum laminating method of claim 5, the step of arranging the object to be laminated on the bottom plate of the vacuum laminating apparatus, the step of arranging the sealing sheet covering the object to be laminated on the bottom plate, A step of exhausting the space between the sealing sheet and the bottom plate through a spherical exhaust port provided at the front end of the vacuum laminating apparatus, and a space between the sealing sheet and the bottom plate was exhausted And a step of integrating the object to be laminated by performing heat treatment in a state.

また、請求項６記載の真空ラミネート方法によれば、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを、前記光起電力素子の光入射面が前記シート状部材側に向くようにして、前記シート状部材上に順次配置する工程と、前記底板上に順次配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを一体化するとともに、前記シート状部材の凹凸を前記第１の保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする。 According to the vacuum laminating method of claim 6, a step of arranging a sheet-like member having a concavo-convex shape on the surface thereof on the bottom plate of the vacuum laminating apparatus, a first protective film, a first adhesive sheet, Sequentially arranging the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the second protective film on the sheet-like member such that the light incident surface of the photovoltaic element faces the sheet-like member side; The first protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the sealing sheet covering the second protective film, which are sequentially disposed on the bottom plate, are disposed on the bottom plate. A step of evacuating between the sealing sheet and the bottom plate through a spherical exhaust port having a tip provided in the vacuum laminating apparatus; and between the sealing sheet and the bottom plate Heat treatment in the exhausted state By performing the integration of the first protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the second protective film, the unevenness of the sheet-like member is made the first And a step of transferring to the surface of the protective film.

また、請求項７記載の真空ラミネート方法によれば、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを、前記光起電力素子の光入射面が前記シート状部材側に向くようにして、前記シート状部材上に順次配置する工程と、前記底板上に順次配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、前記封止用シートにて底板上が覆われた真空ラミネート装置を排気槽に搬送する工程と、前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を真空ポンプに接続することにより、前記封止用シートと前記底板との間を前記排気槽内で排気する工程と、前記封止用シートと前記底板との間が排気された後に前記排気口から前記真空ポンプを切り離し、前記封止用シートと前記底板との間が排気された真空ラミネート装置を加熱槽に搬送する工程と、前記封止用シートと前記底板との間が排気された真空ラミネート装置を前記加熱槽内で熱処理することにより、前記第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを一体化するとともに、前記シート状部材の凹凸を前記第１の保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする。 According to the vacuum laminating method of claim 7, a step of arranging a sheet-like member having a concavo-convex shape on the surface thereof on a bottom plate of the vacuum laminating apparatus, a first protective film, a first adhesive sheet, Sequentially arranging the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the second protective film on the sheet-like member such that the light incident surface of the photovoltaic element faces the sheet-like member side; The first protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the sealing sheet covering the second protective film, which are sequentially disposed on the bottom plate, are disposed on the bottom plate. A step of conveying a vacuum laminating apparatus whose bottom plate is covered with the sealing sheet to an exhaust tank, and connecting an exhaust port having a spherical tip to the vacuum pump provided in the vacuum laminating apparatus. By A step of evacuating the sealing sheet and the bottom plate in the exhaust tank; and after the space between the sealing sheet and the bottom plate is exhausted, the vacuum pump is disconnected from the exhaust port, and the sealing is performed. A step of conveying the vacuum laminating apparatus in which the space between the stop sheet and the bottom plate is evacuated to a heating tank, and a heat treatment in the heating tank in the vacuum laminating apparatus in which the space between the sealing sheet and the bottom plate is evacuated. By doing so, the first protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the second protective film are integrated, and the unevenness of the sheet-like member is made uniform. And a step of transferring to the surface of the protective film.

また、請求項８記載の真空ラミネート方法によれば、金属メッシュが表面に固定された真空ラミネート装置の底板上に、保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を順次配置する工程と、前記底板上に順次配置された保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、前記封止用シートと前記底板との間の排気状態を前記逆止弁にて維持しながら、前記真空ラミネート装置の底板上に配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを搬送する工程と、前記搬送された保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を熱処理にて一体化するとともに、前記金属メッシュの凹凸を前記保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする。 According to the vacuum laminating method of claim 8, the protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet and the bottom plate of the vacuum laminating apparatus having the metal mesh fixed to the surface, A step of sequentially arranging the steel plates, and a protective film, a first adhesive sheet, a photovoltaic element, a second adhesive sheet, and a sealing sheet covering the steel plates are sequentially arranged on the bottom plate. A step of evacuating the space between the sealing sheet and the bottom plate through a spherical exhaust port, and a step provided between the sealing sheet and the bottom plate. While maintaining the exhaust state with the check valve, the first protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the second disposed on the bottom plate of the vacuum laminator. Protective film The transporting step, the transported protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the steel plate are integrated by heat treatment, and the unevenness of the metal mesh is integrated on the surface of the protective film. And a step of transferring to the recording medium.

また、請求項９記載の真空ラミネート方法によれば、被ラミネート体を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、前記被ラミネート体を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を、前後にスライド可能に保持されるとともに、任意の方向に傾くことができるように保持された漏斗状の受け部材を介して真空ポンプに接続する工程と、先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記被ラミネート体を一体化する工程とを備えることを特徴とする。 Further, according to the vacuum laminating method of claim 9, the step of arranging the object to be laminated on the bottom plate of the vacuum laminating apparatus, the step of arranging the sealing sheet covering the object to be laminated on the bottom plate, A vacuum pump is provided via a funnel-shaped receiving member which is held so that the tip provided in the vacuum laminating device can be slid forward and backward, and can be tilted in any direction. In a state where the space between the sealing sheet and the bottom plate is evacuated, the step of exhausting the space between the sealing sheet and the bottom plate through the exhaust port having a spherical tip. And a step of integrating the object to be laminated by performing a heat treatment.

以上説明したように、本発明によれば、真空ラミネート装置の排気口の先端を球面状にすることにより、真空ラミネート装置と真空ポンプとの位置がずれている場合においても、漏斗状に形成された受け側に排気口を挿入することができ、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続するための位置合わせにかかる手間を軽減することが可能となることから、真空ラミネート体の生産効率を向上させることができる。 As described above, according to the present invention, the tip of the exhaust port of the vacuum laminating apparatus is formed into a spherical shape, so that even when the positions of the vacuum laminating apparatus and the vacuum pump are shifted, the funnel shape is formed. The exhaust port can be inserted on the receiving side, and the labor required for alignment for connecting the vacuum laminating device to the vacuum pump can be reduced, thereby improving the production efficiency of the vacuum laminating body. Can do.

以下、本発明の実施形態に係る真空ラミネート装置について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る真空ラミネート装置の概略構成を示す斜視図、図２は、本発明の一実施形態に係る太陽電池モジュールの真空ラミネート方法を示す断面図である。
図１および図２において、真空ラミネート装置には底板１が設けられ、底板１の周囲には、通気口１ｃが形成された枠体１ａが設けられている。そして、枠体１ａには、通気口１ｃに接続された排気口１ｂが形成されている。なお、底板１および枠体１ａの材質としては、耐熱性や剛性などの点からステンレスや鉄やアルミニウムなどの金属を使用することが好ましく、特に、成形性、溶接性および耐蝕性の点からステンレスを用いるのがよい。また、底板１および枠体１ａの厚みは、必要最小限の剛性を確保した上で低熱容量化や軽量化などの点を考慮すると、例えば、０．８〜２．０ｍｍの範囲内に設定するのがよい。 Hereinafter, a vacuum laminating apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a vacuum laminating apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing a vacuum laminating method of a solar cell module according to an embodiment of the present invention.
1 and 2, the vacuum laminator is provided with a bottom plate 1, and around the bottom plate 1, a frame body 1 a having a vent 1 c is provided. The frame body 1a has an exhaust port 1b connected to the vent port 1c. As the material of the bottom plate 1 and the frame 1a, it is preferable to use a metal such as stainless steel, iron or aluminum from the viewpoint of heat resistance and rigidity, and particularly stainless steel from the viewpoint of formability, weldability and corrosion resistance. Should be used. In addition, the thickness of the bottom plate 1 and the frame 1a is set within a range of, for example, 0.8 to 2.0 mm in consideration of a reduction in heat capacity and weight reduction while ensuring a necessary minimum rigidity. It is good.

ここで、枠体１ａは、金属板を矩形状に折り曲げることにより形成することができ、底板１との間で枠体１ａの内周側に隙間が空くようにして、枠体１ａの外周側を電気抵抗溶接などの方法にて底板１に接合することにより、通気口１ｃが形成された枠体１ａを底板１に固定することができる。さらに、接合部をシリコンシーラントなどで封止することにより、枠体１ａの周囲に排気室を構成することができる。また、排気口１ｂには、排気口１ｂを介して通気口１ｃに空気が流れ込むのを防止する逆止弁１ｄが取り付けられ、排気口１ｂの先端は球面状に構成されている。 Here, the frame body 1a can be formed by bending a metal plate into a rectangular shape, and a gap is formed on the inner circumferential side of the frame body 1a with the bottom plate 1 so that the outer circumferential side of the frame body 1a. Is joined to the bottom plate 1 by a method such as electric resistance welding, so that the frame body 1a in which the vent holes 1c are formed can be fixed to the bottom plate 1. Further, the exhaust chamber can be formed around the frame 1a by sealing the joint with a silicon sealant or the like. The exhaust port 1b is provided with a check valve 1d for preventing air from flowing into the vent 1c through the exhaust port 1b, and the tip of the exhaust port 1b is formed in a spherical shape.

そして、底板１上には、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材２が配置されている。なお、シート状部材２としては、例えば、金属製メッシュやエンボスシートなどを用いることができる。
ここで、シート状部材２として金属製メッシュを用いた場合、枠体１ａの内周部と底板１との間に端部が挟み込まれるようにして底板１上に配置することができる。そして、金属製メッシュは、位置ずれが発生しないように底板１に固定することができ、金属製メッシュを底板１に固定する方法としては、電気抵抗溶接の他、粘着テープやネジ止めなどの方法を用いるようにしてもよい。 On the bottom plate 1, a sheet-like member 2 having an uneven shape on the surface is disposed. As the sheet-like member 2, for example, a metal mesh or an embossed sheet can be used.
Here, when a metal mesh is used as the sheet-like member 2, the sheet-like member 2 can be disposed on the bottom plate 1 so that the end portion is sandwiched between the inner peripheral portion of the frame body 1 a and the bottom plate 1. The metal mesh can be fixed to the bottom plate 1 so as not to be displaced. Methods for fixing the metal mesh to the bottom plate 1 include methods such as electric resistance welding, adhesive tape, and screwing. May be used.

なお、金属製メッシュは、その表面の凹凸のピッチが０．３〜０．８ｍｍ、高低差が０．２〜０．６ｍｍの範囲となるように構成することが好ましい。また、金属製メッシュの材質としては、成形性、溶接性および耐蝕性の点からステンレスを用いるのがよく、特に、底板１と同じ材質を用いることが好ましい。
そして、太陽電池モジュールの真空ラミネート法にて製造する場合、図２（ａ）に示すように、シート状部材２が配置された真空ラミネート装置の底板１上に、保護フィルム１５、接着シート１４、シート状の光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を順次配置する。ここで、光起電力素子１３の光入射側表面が保護フィルム１５にて完全に覆われるようにするとともに、接着シート１２、１４がシート状部材２上にはみ出さないようにするために、光起電力素子１３の外形のサイズは接着シート１２、１４の外形のサイズよりも小さくするとともに、保護フィルム１５の外形のサイズは接着シート１２、１４の外形のサイズよりも大きくすることが好ましい。また、保護フィルム１５としては、透明性、耐候性、接着性、耐熱性および耐衝撃性などの点から、ＥＴＦＥ（エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体）フィルム、接着シート１２、１４としては、ＥＶＡ（エチレン−酢酸ビニル共重合体）フィルムを用いることが好ましい。また、保護フィルム１５の厚みは、機械的強度およびコストなどの点から、２０〜２００μｍの範囲内に設定することが好ましい。 In addition, it is preferable to comprise a metal mesh so that the pitch of the unevenness | corrugation of the surface may be set to the range of 0.3-0.8 mm, and a height difference may be 0.2-0.6 mm. As the material for the metal mesh, stainless steel is preferably used from the viewpoint of formability, weldability, and corrosion resistance, and the same material as that of the bottom plate 1 is particularly preferable.
And when manufacturing by the vacuum laminating method of a solar cell module, as shown to Fig.2 (a), on the bottom plate 1 of the vacuum laminating apparatus by which the sheet-like member 2 is arrange | positioned, the protective film 15, the adhesive sheet 14, The sheet-like photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 are sequentially arranged. Here, in order to make the light incident side surface of the photovoltaic element 13 completely covered with the protective film 15 and to prevent the adhesive sheets 12 and 14 from protruding on the sheet-like member 2, The outer size of the electromotive force element 13 is preferably smaller than the outer size of the adhesive sheets 12 and 14, and the outer size of the protective film 15 is preferably larger than the outer size of the adhesive sheets 12 and 14. The protective film 15 is ETFE (ethylene-tetrafluoroethylene copolymer) film, and the adhesive sheets 12 and 14 are EVA in terms of transparency, weather resistance, adhesiveness, heat resistance and impact resistance. It is preferable to use an (ethylene-vinyl acetate copolymer) film. Moreover, it is preferable to set the thickness of the protective film 15 in the range of 20-200 micrometers from points, such as mechanical strength and cost.

また、光起電力素子１３は、背面電極層２１が裏面に形成されたフィルム基板２２上に、裏面電極層２３、反射防止層２４、光電変換層２５および透明電極層２６を順次積層して構成することができる。なお、背面電極層２１および裏面電極層２３としては、例えば、Ａｇ／Ａｌ積層構造、フィルム基板２２としては、例えば、ポリイミドやポリエチレンなどの樹脂フィルム、反射防止層２４としては、例えば、ＺｎＯ、光電変換層２５としては、例えば、アモルファスシリコンからなるｐｉｎ構造、透明電極層２６としては、例えば、ＩＴＯを用いることができる。また、光電変換層２５の厚みは、例えば、１μｍ程度、フィルム基板２２の厚みは、例えば、５０μｍ程度とすることができる。 The photovoltaic element 13 is configured by sequentially laminating a back electrode layer 23, an antireflection layer 24, a photoelectric conversion layer 25, and a transparent electrode layer 26 on a film substrate 22 having a back electrode layer 21 formed on the back surface. can do. The back electrode layer 21 and the back electrode layer 23 are, for example, an Ag / Al laminated structure, the film substrate 22 is, for example, a resin film such as polyimide or polyethylene, and the antireflection layer 24 is, for example, ZnO, photoelectric As the conversion layer 25, for example, a pin structure made of amorphous silicon can be used. As the transparent electrode layer 26, for example, ITO can be used. Moreover, the thickness of the photoelectric converting layer 25 can be about 1 micrometer, for example, and the thickness of the film substrate 22 can be about 50 micrometers, for example.

そして、底板１上に順次配置された保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１が完全に覆われるようにして封止用シート４を底板１上に配置する。なお、封止用シート４の材質としては、耐熱性、柔軟性および気密性などの点からシリコン樹脂を用いることが好ましい。また、封止用シート４を底板１上に配置する場合、封止用シート４と鋼板１１との間にエンボスシート３を介在させるようにしてもよい。また、封止用シート４を底板１上に配置する場合、枠体１ａの内側に封止用シート４が収まるように配置することが好ましい。 And the sheet | seat 4 for sealing is arrange | positioned on the baseplate 1 so that the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 arrange | positioned sequentially on the baseplate 1 may be covered completely. . In addition, as a material of the sheet | seat 4 for sealing, it is preferable to use a silicon resin from points, such as heat resistance, a softness | flexibility, and airtightness. When the sealing sheet 4 is disposed on the bottom plate 1, the embossed sheet 3 may be interposed between the sealing sheet 4 and the steel plate 11. Moreover, when arrange | positioning the sheet | seat 4 for sealing on the baseplate 1, it is preferable to arrange | position so that the sheet | seat 4 for sealing may be settled inside the frame 1a.

そして、封止用シート４が底板１上に配置された真空ラミネート装置を恒温槽に設置し、排気口１ｂに真空ポンプを接続することにより、排気口１ｂを介して通気口１ｃを排気する。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂの先端を球面状にすることにより、真空ラミネート装置と真空ポンプとの位置がずれている場合においても、漏斗状に形成された受け側に排気口１ｂを挿入することができ、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続するための位置合わせにかかる手間を軽減することが可能となることから、太陽電池モジュールの生産効率を向上させることができる。 Then, a vacuum laminating apparatus in which the sealing sheet 4 is disposed on the bottom plate 1 is installed in a thermostatic chamber, and a vacuum pump is connected to the exhaust port 1b, whereby the vent port 1c is exhausted through the exhaust port 1b. Here, by forming the tip of the exhaust port 1b of the vacuum laminating apparatus into a spherical shape, the exhaust port 1b is provided on the receiving side formed in a funnel shape even when the positions of the vacuum laminating apparatus and the vacuum pump are shifted. Since it can be inserted and the labor required for alignment for connecting the vacuum laminating apparatus to the vacuum pump can be reduced, the production efficiency of the solar cell module can be improved.

そして、通気口１ｃが排気されると、底板１と枠体１ａの内周側との間の隙間を介して、封止用シート４と底板１との間が排気され、封止用シート４が底板１側に押し付けられることで、図２（ｂ）に示すように、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１が密着する。ここで、底板１上にシート状部材２を配置することで、封止用シート４が底板１側に押し付けられた場合においても、真空ラミネート装置の底板１上に脱気を促すような通気層を確保することができ、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の間に存在する気泡を排出することができる。 Then, when the vent 1c is exhausted, the space between the sealing sheet 4 and the bottom plate 1 is exhausted through the gap between the bottom plate 1 and the inner peripheral side of the frame 1a, and the sealing sheet 4 As shown in FIG. 2B, the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 are in close contact with each other. Here, by disposing the sheet-like member 2 on the bottom plate 1, even when the sealing sheet 4 is pressed against the bottom plate 1 side, a ventilation layer that promotes deaeration on the bottom plate 1 of the vacuum laminator. Can be ensured, and bubbles existing between the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 can be discharged.

そして、封止用シート４と底板１との間が排気されると、排気口１ｂから真空ポンプを切り離すことができる。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂに逆止弁１ｄを設けることにより、封止用シート４と底板１との間を排気した後に排気口１ｂを真空ポンプから切り離した場合においても、封止用シート４と底板１との間の排気状態を維持することが可能となり、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の密着状態を維持することができる。 When the space between the sealing sheet 4 and the bottom plate 1 is exhausted, the vacuum pump can be disconnected from the exhaust port 1b. Here, by providing a check valve 1d at the exhaust port 1b of the vacuum laminating apparatus, sealing is performed even when the exhaust port 1b is disconnected from the vacuum pump after exhausting between the sealing sheet 4 and the bottom plate 1. The exhaust state between the sheet 4 for use and the bottom plate 1 can be maintained, and the adhesion state of the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 can be maintained.

そして、排気口１ｂから真空ポンプを切り離すと、接着シート１２、１４が硬化する温度（例えば、１５０℃）まで昇温させ、接着シート１２、１４の硬化処理（例えば、３０分間）を行うことにより、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を一体化し、太陽電池モジュールを製造することができる。
ここで、真空ラミネート装置の底板１上にシート状部材２を配置した状態で、封止用シート４と底板１との間を排気しながら熱処理を行うことにより、保護フィルム１５、接着シート１４、シート状の光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を一体化するとともに、シート状部材２の凹凸を保護フィルム１５の表面に転写することができる。 When the vacuum pump is disconnected from the exhaust port 1b, the temperature is raised to a temperature at which the adhesive sheets 12 and 14 are cured (for example, 150 ° C.), and the adhesive sheets 12 and 14 are cured (for example, 30 minutes). The protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12 and the steel plate 11 can be integrated to manufacture a solar cell module.
Here, in a state where the sheet-like member 2 is disposed on the bottom plate 1 of the vacuum laminating apparatus, heat treatment is performed while exhausting between the sealing sheet 4 and the bottom plate 1, so that the protective film 15, the adhesive sheet 14, While integrating the sheet-like photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12 and the steel plate 11, the unevenness of the sheet-like member 2 can be transferred to the surface of the protective film 15.

このため、光起電力素子の光入射側表面を真空ラミネート装置の底板１側に向けた場合においても、真空ラミネート装置の底板１の表面に凹凸を直接形成することなく、真空ラミネート装置の底板１上に脱気を促すような通気層を確保した上で、保護フィルム１５の表面に凹凸を形成することが可能となる。
この結果、太陽電池モジュールを大面積化した場合においても、真空ラミネート装置のコストアップを抑制しつつ、太陽電池モジュールを構成する積層部材の間に気泡が残存するのを防止することが可能となるとともに、保護フィルム１５の表面に凹凸を形成することが可能となることから、製造工程の煩雑化を抑制しつつ、光起電力素子の変換効率を向上させることが可能となるとともに、太陽電池モジュールの耐水性や耐候性を確保することができる。 For this reason, even when the light incident side surface of the photovoltaic element faces the bottom plate 1 side of the vacuum laminating apparatus, the bottom plate 1 of the vacuum laminating apparatus is not formed directly on the surface of the bottom plate 1 of the vacuum laminating apparatus. It is possible to form irregularities on the surface of the protective film 15 while ensuring a ventilation layer that promotes deaeration.
As a result, even when the area of the solar cell module is increased, it is possible to prevent bubbles from remaining between the laminated members constituting the solar cell module while suppressing an increase in the cost of the vacuum laminating apparatus. In addition, since it becomes possible to form irregularities on the surface of the protective film 15, it is possible to improve the conversion efficiency of the photovoltaic element while suppressing the complication of the manufacturing process, and the solar cell module. The water resistance and weather resistance of can be ensured.

図３は、本発明の一実施形態に係る太陽電池モジュールの真空ラミネート工程を示す断面図である。
図３において、封止用シート４が底板１上に配置された真空ラミネート装置を、ローダ３１にて排気槽３２に搬送する。そして、真空ラミネート装置が排気槽３２に搬送されると、その真空ラミネート装置の排気口１ｂに真空ポンプを接続し、排気口１ｂを介して通気口１ｃを排気することで、封止用シート４と底板１との間を排気し、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を密着させる。 FIG. 3 is a cross-sectional view showing a vacuum laminating process of the solar cell module according to one embodiment of the present invention.
In FIG. 3, the vacuum laminating apparatus in which the sealing sheet 4 is disposed on the bottom plate 1 is conveyed to the exhaust tank 32 by the loader 31. And when a vacuum laminating apparatus is conveyed to the exhaust tank 32, a vacuum pump is connected to the exhaust port 1b of the vacuum laminating apparatus, and the vent hole 1c is exhausted through the exhaust port 1b, whereby the sealing sheet 4 And the bottom plate 1 are exhausted, and the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 are brought into close contact with each other.

そして、封止用シート４と底板１との間が排気されると、排気口１ｂから真空ポンプを切り離し、その真空ラミネート装置を排気槽３２から加熱槽３３に搬送する。そして、排気された真空ラミネート装置が加熱槽３３に搬送されると、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の熱処理を行うことにより、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を一体化する。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂに逆止弁１ｄを設けることにより、排気口１ｂを真空ポンプから切り離した場合においても、封止用シート４と底板１との間の排気状態を維持することが可能となり、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を密着させながら、熱処理を行うことができる。 When the space between the sealing sheet 4 and the bottom plate 1 is exhausted, the vacuum pump is disconnected from the exhaust port 1b, and the vacuum laminating apparatus is conveyed from the exhaust tank 32 to the heating tank 33. And when the evacuated vacuum laminating apparatus is conveyed to the heating tank 33, the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 are subjected to heat treatment, whereby the protective film 15, the adhesive The sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 are integrated. Here, by providing the check valve 1d at the exhaust port 1b of the vacuum laminating apparatus, the exhaust state between the sealing sheet 4 and the bottom plate 1 is maintained even when the exhaust port 1b is disconnected from the vacuum pump. Thus, the heat treatment can be performed while the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 are brought into close contact with each other.

そして、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の熱処理が完了すると、その真空ラミネート装置を加熱槽３３から冷却槽３４に搬送する。そして、熱処理後の真空ラミネート装置が冷却槽３４に搬送されると、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１の冷却を行う。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂに逆止弁１ｄを設けることにより、排気口１ｂを真空ポンプから切り離した場合においても、封止用シート４と底板１との間の排気状態を維持することが可能となり、保護フィルム１５、接着シート１４、光起電力素子１３、接着シート１２および鋼板１１を密着させながら、冷却処理を行うことができる。
なお、排気槽３２、加熱槽３３およびは複数段に渡って真空ラミネート装置をそれぞれ配置することができ、複数の太陽電池モジュールの真空ラミネート処理を一括して行うことができる。 When the heat treatment of the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 is completed, the vacuum laminating apparatus is transferred from the heating tank 33 to the cooling tank 34. And when the vacuum laminating apparatus after heat processing is conveyed to the cooling tank 34, the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 are cooled. Here, by providing the check valve 1d at the exhaust port 1b of the vacuum laminating apparatus, the exhaust state between the sealing sheet 4 and the bottom plate 1 is maintained even when the exhaust port 1b is disconnected from the vacuum pump. Thus, the cooling process can be performed while the protective film 15, the adhesive sheet 14, the photovoltaic element 13, the adhesive sheet 12, and the steel plate 11 are brought into close contact with each other.
In addition, the exhaust tank 32 and the heating tank 33 can each arrange | position a vacuum laminating apparatus over several steps, and can perform the vacuum laminating process of a several solar cell module collectively.

図４は、本発明の一実施形態に係る真空ポンプの受け側の概略構成を示す断面図である。
図４において、真空ポンプの受け側には、真空ラミネート装置の排気口１ｂを接続する受け部材４２が設けられ、受け部材４２の先端には排気口１ｂを受ける受け面４５が形成されている。ここで、排気口１ｂの先端１ｅが受け面４５の中心からずれた場合にも、排気口１ｂを受けることができるように漏斗状に構成されるとともに、シール性を確保するために、ゴムなどの弾性部材で構成することができる。 FIG. 4 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the receiving side of the vacuum pump according to one embodiment of the present invention.
4, a receiving member 42 for connecting the exhaust port 1b of the vacuum laminating apparatus is provided on the receiving side of the vacuum pump, and a receiving surface 45 for receiving the exhaust port 1b is formed at the tip of the receiving member 42. Here, even when the front end 1e of the exhaust port 1b deviates from the center of the receiving surface 45, the exhaust port 1b is configured in a funnel shape so as to receive the exhaust port 1b, and in order to ensure sealing performance, rubber or the like The elastic member can be used.

そして、受け部材４２は、バネ４３に挿入された軸部材４４を介して支持部材４１にて支持されている。ここで、軸部材４４には、支持部材４１および受け部材４２に対して遊びが設けられ、受け部材４２は前後にスライド可能に保持されるとともに、任意の方向に傾くことができるように保持されている。
そして、排気口１ｂの先端１ｅを受け部材４２の受け面４５に押し当てることにより、真空ラミネート装置の排気口１ｂを真空ポンプに接続することができる。ここで、真空ラミネート装置の排気口１ｂの先端１ｅを球面状にすることにより、真空ラミネート装置と真空ポンプとの位置がずれている場合においても、受け部材４２の受け面４５に排気口１ｂを挿入することができ、真空ラミネート装置を真空ポンプに接続するための位置合わせにかかる手間を軽減することが可能となる。 The receiving member 42 is supported by the support member 41 via a shaft member 44 inserted into the spring 43. Here, the shaft member 44 is provided with play with respect to the support member 41 and the receiving member 42, and the receiving member 42 is slidably held back and forth and is held so that it can tilt in an arbitrary direction. ing.
And the exhaust port 1b of a vacuum laminating apparatus can be connected to a vacuum pump by pressing the front-end | tip 1e of the exhaust port 1b against the receiving surface 45 of the member 42. FIG. Here, by forming the tip 1e of the exhaust port 1b of the vacuum laminating apparatus into a spherical shape, the exhaust port 1b is provided on the receiving surface 45 of the receiving member 42 even when the positions of the vacuum laminating apparatus and the vacuum pump are shifted. It can be inserted, and it is possible to reduce the labor for positioning for connecting the vacuum laminating apparatus to the vacuum pump.

図５（ａ）は、本発明の一実施形態に係る真空ラミネート装置にて製造された太陽電池モジュールの概略構成を示す斜視図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ´線で切断した太陽電池モジュールの概略構成を示す断面図である。
図５において、鋼板１１上には、接着シート１２を介して光起電力素子１３が接着され、光起電力素子１３上には、接着シート１４を介して保護フィルム１５が接着されている。そして、保護フィルム１５の表面には、光起電力素子１３に入射する太陽光を乱反射させる凹凸部１６が形成されている。 Fig.5 (a) is a perspective view which shows schematic structure of the solar cell module manufactured with the vacuum laminating apparatus which concerns on one Embodiment of this invention, FIG.5 (b) is BB of Fig.5 (a). It is sectional drawing which shows schematic structure of the solar cell module cut | disconnected by 'line.
In FIG. 5, a photovoltaic element 13 is bonded onto a steel plate 11 via an adhesive sheet 12, and a protective film 15 is bonded onto the photovoltaic element 13 via an adhesive sheet 14. And the uneven | corrugated | grooved part 16 which irregularly reflects the sunlight which injects into the photovoltaic element 13 is formed in the surface of the protective film 15. FIG.

これにより、表面に凹凸が形成された保護フィルム１５にて光起電力素子１３の光入射側表面を覆うことが可能となり、光起電力素子１３の光入射側で全反射が起こることを防止して、太陽電池の変換効率を向上させることが可能となるとともに、太陽電池モジュールの耐水性や耐候性を確保することができる。また、光起電力素子１３を鋼板１１上に一体化することにより、フィルム上の光起電力素子１３を屋根などに強固に設置することが可能となり、風雨などによって光起電力素子１３が破損したり脱落したりすることを防止することができる。 Thereby, it becomes possible to cover the light incident side surface of the photovoltaic element 13 with the protective film 15 having irregularities formed on the surface, thereby preventing total reflection from occurring on the light incident side of the photovoltaic element 13. Thus, the conversion efficiency of the solar cell can be improved, and the water resistance and weather resistance of the solar cell module can be ensured. Further, by integrating the photovoltaic element 13 on the steel plate 11, the photovoltaic element 13 on the film can be firmly installed on a roof or the like, and the photovoltaic element 13 is damaged by wind and rain. Can be prevented from falling off.

本発明の一実施形態に係る真空ラミネート装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing a schematic structure of a vacuum laminating device concerning one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る太陽電池モジュールの真空ラミネート方法を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the vacuum lamination method of the solar cell module which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る太陽電池モジュールの真空ラミネート工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the vacuum lamination process of the solar cell module which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る真空ポンプの受け側の概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of the receiving side of the vacuum pump which concerns on one Embodiment of this invention. 図５（ａ）は、本発明の一実施形態に係る真空ラミネート装置にて製造された太陽電池モジュールの概略構成を示す斜視図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ´線で切断した太陽電池モジュールの概略構成を示す断面図である。Fig.5 (a) is a perspective view which shows schematic structure of the solar cell module manufactured with the vacuum laminating apparatus which concerns on one Embodiment of this invention, FIG.5 (b) is BB of Fig.5 (a). It is sectional drawing which shows schematic structure of the solar cell module cut | disconnected by 'line.

符号の説明Explanation of symbols

１底板
１ａ枠体
１ｂ排気口
１ｃ通気口
１ｄ逆止弁
１ｅ先端
２シート状部材
３エンボスシート
４封止用シート
１１鋼板
１２、１４接着シート
１３光起電力素子
１５保護フィルム
１６凹凸部
２１背面電極層
２２フィルム基板
２３裏面電極層
２４反射防止層
２５光電変換層
２６透明電極層
３１ローダ
３２排気槽
３３加熱槽
３４冷却槽
３５アンローダ
４１支持部材
４２受け部材
４３バネ
４４軸部材
４５受け面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Bottom plate 1a Frame 1b Exhaust port 1c Vent 1d Check valve 1e Tip 2 Sheet-like member 3 Embossed sheet 4 Sealing sheet 11 Steel plate 12, 14 Adhesive sheet 13 Photovoltaic element 15 Protective film 16 Uneven portion 21 Back electrode Layer 22 Film substrate 23 Back electrode layer 24 Antireflection layer 25 Photoelectric conversion layer 26 Transparent electrode layer 31 Loader 32 Exhaust tank 33 Heating tank 34 Cooling tank 35 Unloader 41 Support member 42 Receiving member 43 Spring 44 Shaft member 45 Receiving surface

Claims

被ラミネート体が配置される底板と、
前記被ラミネート体が配置された底板上を覆う封止用シートと、
前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、
前記通気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする真空ラミネート装置。 A bottom plate on which a laminate is disposed;
A sealing sheet covering the bottom plate on which the laminate is disposed;
A frame provided around the bottom plate and provided with a vent for exhausting between the sealing sheet and the bottom plate;
A vacuum laminating apparatus connected to the vent and having a spherical exhaust port at the tip.

保護フィルムを介してシート状の光起電力素子が配置される底板と、
前記保護フィルム下に配置され、凹凸形状が表面に設けられたシート状部材と、
前記光起電力素子が配置された底板上を覆う封止用シートと、
前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、
前記通気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする真空ラミネート装置。 A bottom plate on which a sheet-like photovoltaic element is disposed via a protective film;
A sheet-like member disposed under the protective film and provided with an uneven shape on the surface;
A sealing sheet covering the bottom plate on which the photovoltaic elements are disposed;
A frame provided around the bottom plate and provided with a vent for exhausting between the sealing sheet and the bottom plate;
A vacuum laminating apparatus connected to the vent and having a spherical exhaust port at the tip.

保護フィルムを介してシート状の光起電力素子が配置される底板と、
前記光起電力素子が配置された底板上を覆う封止用シートと、
前記底板の周囲に配置され、前記封止用シートと前記底板との間を排気する通気口が設けられた枠体と、
前記保護フィルム下に配置されるようにして前記底板上に固定された金属メッシュと、
前記排気口に接続され、先端が球面状の排気口とを備えることを特徴とする真空ラミネート装置。 A bottom plate on which a sheet-like photovoltaic element is disposed via a protective film;
A sealing sheet covering the bottom plate on which the photovoltaic elements are disposed;
A frame provided around the bottom plate and provided with a vent for exhausting between the sealing sheet and the bottom plate;
A metal mesh fixed on the bottom plate so as to be disposed under the protective film;
A vacuum laminating apparatus, comprising: an exhaust port connected to the exhaust port and having a spherical tip.

前後にスライド可能に保持されるとともに、任意の方向に傾くことができるように保持された状態で前記排気口を接続可能な漏斗状の受け部材をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の真空ラミネート装置。 4. A funnel-shaped receiving member that can be connected to the exhaust port while being held so as to be slidable back and forth and tilted in an arbitrary direction. The vacuum laminating apparatus of any one of these.

被ラミネート体を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、
前記被ラミネート体を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、
前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、
前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記被ラミネート体を一体化する工程とを備えることを特徴とする真空ラミネート方法。 Placing the object to be laminated on the bottom plate of the vacuum laminator;
Placing a sealing sheet covering the laminate to be laminated on the bottom plate;
Exhausting the space between the sealing sheet and the bottom plate through a spherical exhaust port at the tip provided in the vacuum laminator;
A vacuum laminating method comprising: a step of integrating the object to be laminated by performing a heat treatment in a state where the space between the sealing sheet and the bottom plate is exhausted.

凹凸形状が表面に設けられたシート状部材を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、
第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを、前記光起電力素子の光入射面が前記シート状部材側に向くようにして、前記シート状部材上に順次配置する工程と、
前記底板上に順次配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、
前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、
前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを一体化するとともに、前記シート状部材の凹凸を前記第１の保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする真空ラミネート方法。 A step of arranging a sheet-like member having a concavo-convex shape on the surface thereof on the bottom plate of the vacuum laminator;
The first protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the second protective film are arranged so that the light incident surface of the photovoltaic element faces the sheet-like member side. , Sequentially placing on the sheet-like member;
The process of arrange | positioning the sheet | seat for sealing which covers the 1st protective film, the 1st adhesive sheet, the photovoltaic element, the 2nd adhesive sheet, and the 2nd protective film which were sequentially arrange | positioned on the said base plate on the said base plate. When,
Exhausting the space between the sealing sheet and the bottom plate through a spherical exhaust port at the tip provided in the vacuum laminator;
By performing heat treatment in a state where the space between the sealing sheet and the bottom plate is exhausted, the first protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the second A vacuum laminating method comprising: integrating a protective film; and transferring the unevenness of the sheet-like member to the surface of the first protective film.

凹凸形状が表面に設けられたシート状部材を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、
第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを、前記光起電力素子の光入射面が前記シート状部材側に向くようにして、前記シート状部材上に順次配置する工程と、
前記底板上に順次配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、
前記封止用シートにて底板上が覆われた真空ラミネート装置を排気槽に搬送する工程と、
前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を真空ポンプに接続することにより、前記封止用シートと前記底板との間を前記排気槽内で排気する工程と、
前記封止用シートと前記底板との間が排気された後に前記排気口から前記真空ポンプを切り離し、前記封止用シートと前記底板との間が排気された真空ラミネート装置を加熱槽に搬送する工程と、
前記封止用シートと前記底板との間が排気された真空ラミネート装置を前記加熱槽内で熱処理することにより、前記第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを一体化するとともに、前記シート状部材の凹凸を前記第１の保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする真空ラミネート方法。 A step of arranging a sheet-like member having a concavo-convex shape on the surface thereof on the bottom plate of the vacuum laminator;
The first protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the second protective film are arranged so that the light incident surface of the photovoltaic element faces the sheet-like member side. , Sequentially placing on the sheet-like member;
The process of arrange | positioning the sheet | seat for sealing which covers the 1st protective film, the 1st adhesive sheet, the photovoltaic element, the 2nd adhesive sheet, and the 2nd protective film which were sequentially arrange | positioned on the said base plate on the said base plate. When,
Transporting the vacuum laminating apparatus whose bottom plate is covered with the sealing sheet to an exhaust tank;
A step of exhausting the space between the sealing sheet and the bottom plate in the exhaust tank by connecting an exhaust port having a spherical end connected to the vacuum laminator to the vacuum pump;
After the space between the sealing sheet and the bottom plate is exhausted, the vacuum pump is disconnected from the exhaust port, and the vacuum laminating apparatus where the space between the sealing sheet and the bottom plate is exhausted is conveyed to a heating tank. Process,
The first protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic device, the second, by heat-treating the vacuum laminating apparatus in which the space between the sealing sheet and the bottom plate is evacuated in the heating tank. A vacuum laminating method comprising: integrating the adhesive sheet and the second protective film, and transferring the irregularities of the sheet-like member to the surface of the first protective film.

金属メッシュが表面に固定された真空ラミネート装置の底板上に、保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を順次配置する工程と、
前記底板上に順次配置された保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、
前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、
前記封止用シートと前記底板との間の排気状態を前記逆止弁にて維持しながら、前記真空ラミネート装置の底板上に配置された第１の保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび第２の保護フィルムを搬送する工程と、
前記搬送された保護フィルム、第１の接着シート、光起電力素子、第２の接着シートおよび鋼板を熱処理にて一体化するとともに、前記金属メッシュの凹凸を前記保護フィルムの表面に転写する工程とを備えることを特徴とする真空ラミネート方法。 A step of sequentially arranging a protective film, a first adhesive sheet, a photovoltaic element, a second adhesive sheet, and a steel plate on a bottom plate of a vacuum laminating apparatus having a metal mesh fixed to the surface;
Arranging a protective sheet, a first adhesive sheet, a photovoltaic element, a second adhesive sheet, and a sealing sheet covering the steel plate, which are sequentially arranged on the bottom plate, on the bottom plate;
Exhausting the space between the sealing sheet and the bottom plate through a spherical exhaust port at the tip provided in the vacuum laminator;
While maintaining the exhaust state between the sealing sheet and the bottom plate with the check valve, the first protective film, the first adhesive sheet, and the photovoltaic device disposed on the bottom plate of the vacuum laminating apparatus. Conveying the power element, the second adhesive sheet and the second protective film;
Integrating the transported protective film, the first adhesive sheet, the photovoltaic element, the second adhesive sheet, and the steel plate by heat treatment, and transferring the irregularities of the metal mesh to the surface of the protective film; A vacuum laminating method comprising:

被ラミネート体を真空ラミネート装置の底板上に配置する工程と、
前記被ラミネート体を覆う封止用シートを前記底板上に配置する工程と、
前記真空ラミネート装置に設けられた先端が球面状の排気口を、前後にスライド可能に保持されるとともに、任意の方向に傾くことができるように保持された漏斗状の受け部材を介して真空ポンプに接続する工程と、
先端が球面状の排気口を介して前記封止用シートと前記底板との間を排気する工程と、
前記封止用シートと前記底板との間が排気された状態で熱処理を行うことにより、前記被ラミネート体を一体化する工程とを備えることを特徴とする真空ラミネート方法。 Placing the object to be laminated on the bottom plate of the vacuum laminator;
Placing a sealing sheet covering the laminate to be laminated on the bottom plate;
A vacuum pump is provided via a funnel-shaped receiving member which is held so that the tip provided in the vacuum laminating device can be slid forward and backward, and can be tilted in any direction. Connecting to
Exhausting the space between the sealing sheet and the bottom plate through a spherical exhaust port at the tip;
A vacuum laminating method comprising: a step of integrating the object to be laminated by performing a heat treatment in a state where the space between the sealing sheet and the bottom plate is exhausted.