JP2008135791A - 密閉容器の蓋開閉システムに用いられるパージ用パイプユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FIMS内部における開口部10の上部にカーテンノズルを配置して、該開口面を閉鎖する不活性ガスからなるガスカーテンを形成する。同時にカーテンノズルについて開口部10が存在する側と逆の側に当該側に存在する空間とカーテンノズルの周囲空間とを略分離するカバーを配置し、不活性ガスにより形成されるガスカーテンに対する周囲空間からの気体の巻き込みを低減する。
【選択図】図3
Description
Claims (5)
- 被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器が載置される載置台と、
前記載置台に隣接して前記開口と正対する略方形状の開口部と、
前記蓋を保持可能であると共に前記開口部を閉止可能であり、前記蓋を保持して前記開口部を開放することにより前記開口と前記開口部とを連通させるドアと、を有する前記蓋の開閉システムに用いられるパージ用パイプユニットであって、
前記開口部において前記載置台が配置される側とは異なる側の前記開口部における前記略矩形上の開口部の一辺である第1の辺の外側に配置されて前記第1の辺の対辺である第2の辺に向かって不活性ガスを略線状に放出可能なノズル開口を有するカーテンノズルと、
前記カーテンノズルの少なくとも一部を覆い前記カーテンノズルの前記ノズル開口の周囲のガスが前記カーテンノズルから放出される前記不活性ガスの流れに巻き込まれることを防止するカバーと、を有することを特徴とするパージ用パイプユニット。 - 前記略矩形上の開口部の前記第1及び第2の辺とは異なる辺各々に平行に配置され、前記収容容器内部に向かう方向に不活性ガスを噴出可能なノズル開口が設けられている一対の管状ノズルから構成される不活性ガス供給ノズルを更に有することを特徴とする請求項1に記載のパージ用パイプユニット。
- 前記カバーは、前記略矩形上の開口部の前記第1及び第2の辺とは異なる辺各々の外側に配置されて、前記開口部に関し前記載置台が配置される側とは反対側において、前記カーテンノズルから放出されるガス流の領域空間を画成する一対の板状体を更に含むことを特徴とする請求項1または2に記載のパージ用パイプユニット。
- 前記カーテンノズルよりも前記収容容器内部側に配置されて前記カーテンノズルから放出される不活性ガス流に向かうガス流成分を有することなく前記収容容器内部に向かう方向に不活性ガスを噴出可能な不活性ガス供給ノズルを更に有することを特徴とする請求項1乃至3何れか一項に記載のパージ用パイプユニット。
- 前記カバーは、前記カーテンノズルにおいて前記不活性ガスを放出する前記カーテンノズルのノズル開口の周囲空間を規定し且つ前記不活性化ガスの放出方向に開口していることを特徴とする請求項1乃至4いずれか一項に記載のパージ用パイプユニット。
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