JP2008112797A - 化合物半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】電気的特性を維持しつつ接着強度が改善された化合物半導体装置を提供する。
【解決手段】化合物半導体からなる基板と、前記基板の裏面に設けられ、複数の開口部を有する裏面金電極と、を備え、前記複数の開口部はメッシュ状に設けられ、互いに最も近接している前記開口部を結ぶ直線は、前記基板の端面に形成されたへきかい面と非平行であることを特徴とする化合物半導体装置が提供される。
【選択図】図1
【解決手段】化合物半導体からなる基板と、前記基板の裏面に設けられ、複数の開口部を有する裏面金電極と、を備え、前記複数の開口部はメッシュ状に設けられ、互いに最も近接している前記開口部を結ぶ直線は、前記基板の端面に形成されたへきかい面と非平行であることを特徴とする化合物半導体装置が提供される。
【選択図】図1
Description
本発明は、化合物半導体装置に関する。
GaAs、GaNなどの化合物半導体材料の電子移動度はシリコン材料よりも高いので、高周波用途などに用いられ、良好な高周波特性のため例えば携帯電子機器の送受信回路に広く用いられる様になった。携帯電子機器においては、小型化の要求が強く、これを構成する半導体装置にも小型化が要求される。
ところで、トランジスタ、抵抗、MIMキャパシタなどを含む集積回路は半絶縁性基板上に形成されることが多い。この場合、電気的接続のためのボンディングワイヤが多いと、半導体素子チップのサイズが大きくなる。ボンディングワイヤによる接続を減らすためにはバイアホールが有効であり、この構造を実現するには半絶縁性基板の裏面に金(Au)層を設ける。高周波回路を小型化するために集積回路化する場合にも、裏面を金層とするとGND接地配線への自由度の向上、伝送線路構造の形成により設計および構造が簡素化でき、高周波特性も改善できる。
一方、高周波回路が形成されている実装基板の表面にも半田との良好な接着および表面保護のために金層が広く用いられる。半導体素子裏面及び実装基板の金層を、導電性接着剤を用いて接着すると、金層の表面が化学的に安定であるために接着強度が十分ではない場合が生じる。
GaAs基板表面のソースパッドに接続する裏面金(Au)電極を、裏面全体でなくその一部にのみ形成することにより、金メッキ層の剥がれを防止する技術開示例がある(特許文献1)。
特開2001−274174号公報
本発明は、電気的特性を維持しつつ接着強度が改善された化合物半導体装置を提供する。
本発明の一態様によれば、化合物半導体からなる基板と、前記基板の裏面に設けられ、複数の開口部を有する裏面金電極と、を備え、前記複数の開口部はメッシュ状に設けられ、互いに最も近接している前記開口部を結ぶ直線は、前記基板の端面に形成されたへきかい面と非平行であることを特徴とする化合物半導体装置が提供される。
本発明によれば、電気的特性を維持しつつ接着強度が改善された化合物半導体装置が提供される。
以下図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本発明の具体例にかかる化合物半導体装置を表し、同図(a)は模式断面図、同図(b)は模式底面図である。なお、図1(a)は、同図(b)における鎖線AA線に沿った模式断面図である。
GaAsなどの化合物半導体からなる基板10には、例えば、トランジスタ、抵抗、MIM(Metal-Insulator-Metal)キャパシタなどを含む集積回路が形成されている(図示せず)。また、GaAs FET,HEMT(High Electron Mobility Transistor)などのトランジスタが形成されていても良い。GaAsの場合、基板10は半絶縁性である場合が多いが、導電性の基板であっても良いことはもちろんである。
図1は、本発明の具体例にかかる化合物半導体装置を表し、同図(a)は模式断面図、同図(b)は模式底面図である。なお、図1(a)は、同図(b)における鎖線AA線に沿った模式断面図である。
GaAsなどの化合物半導体からなる基板10には、例えば、トランジスタ、抵抗、MIM(Metal-Insulator-Metal)キャパシタなどを含む集積回路が形成されている(図示せず)。また、GaAs FET,HEMT(High Electron Mobility Transistor)などのトランジスタが形成されていても良い。GaAsの場合、基板10は半絶縁性である場合が多いが、導電性の基板であっても良いことはもちろんである。
化合物半導体装置が半絶縁性の基板10の上に形成された場合、電極及び配線層は基板10の表面側にある。それぞれの電極に対応してワイヤボンディングのためのパッド電極などが必要になり、チップサイズが大きくなる。
また、例えば1GHz以上の高周波数においては、接地インダクタンスは高周波特性を低下させるので低減することが好ましい。チップの小型化及び接地インダクタンスの低減には図1のようにバイアホール12を介して基板10の裏面金電極14と基板10の表面配線層16を接続する。また、基板10の表面側に集積回路が形成される場合も、高周波回路の配線の簡素化及び高周波特性の改善に裏面金電極14を用いることが有効である。
裏面金電極14は、例えば電解または無電解金メッキを用いて厚みを5〜15μmとする。なお、基板10を構成する化合物半導体と金層との付着性を改善するために、基板10と金層との間にTi(チタン)、Cr(クロム)、Pt(白金)、Ni(ニッケル)などを設けることもでき、裏面金電極14はこれら金属の単層または積層を含んでも良いものとする。
本具体例において、裏面金電極14には、複数の開口部18が設けられている。本図において開口部18は裏面金電極14に設けられた円形状であるが、形状は円に限定されず、楕円、矩形、あるいはこれらの組み合わせであっても良い。
裏面金電極14を形成する金層は、安定しているので銀ペーストのような導電性接着剤との接着性が十分ではなく、ボイド及び導電性接着剤の厚みの不均一を生じることがある。一方、本具体例において、開口部18において露出している化合物半導体からなる基板10は、金に比較して化学的反応性は高く、導電性接着剤との接着性はより改善される。
また、金メッキの厚みを5〜15μmとすると、開口部18との間に凹凸を生じる。この凹凸は実装基板が有する約10μmの表面凹凸と略同様であり、導電性接着剤の「食いつき」を良好とでき、化合物半導体からなる基板10との機械的強度を、実装基板と導電性接着剤との間と同様に高くできる。
次に、開口部18が延在する方向について説明する。
開口部18は、メッシュ状に交差する直線の交差点に設けられる。互いに最も近接している開口部18の中心を結ぶ直線群L1は、チップの第1の端面20とは非平行とする。また、L1とメッシュ状に交差する直線群L2も、チップの第1の端面20と非平行とする。
開口部18は、メッシュ状に交差する直線の交差点に設けられる。互いに最も近接している開口部18の中心を結ぶ直線群L1は、チップの第1の端面20とは非平行とする。また、L1とメッシュ状に交差する直線群L2も、チップの第1の端面20と非平行とする。
図1の場合、第1の端面20と直線L1との交差角αは約45度とし、直線L1とほぼ直交する直線L2は、第1の端面20との交差角βは約135度とする。基板10がGaAsからなる場合、第1の端面20は、へきかい面とし、例えば(110)面とする。同様に、第2の端面22もへきかい面とできる。
化合物半導体のうちGaAsは、へきかいによる分離が容易である。しかしながら、応力によりへきかいを生じやすく、機械的強度は十分ではない。へきかい面である端面20及び22に平行に開口部18が配置されていると、応力集中によりへきかいによるクラックを生じやすくなり、接合強度が低下する場合がある。
本具体例においては、開口部18は、へきかい面20とは交差角αが45度である直線L1及びへきかい面20とは交差角βが135度である直線L2に沿って配列されている。従って、応力をL1及びL2に沿って逃がすことができ、へきかいを抑制できる。へきかい面が(110)のGaAsの場合、交差角α、βをそれぞれ45または135度とすると、へきかいを抑制する効果が大きい。
本具体例において、チップの接合強度を表すシェアー強度を、裏面全面に金電極が形成された場合と比較して約20%改善できた。一方、開口部18の形成による電気的特性の低下は、高周波においても直流においても生じなかった。本具体例の開口部18は、チップ分離のためにチップ外周部の裏面金電極14をエッチング除去する工程で同時に行うことができ、追加プロセスは不要である。このエッチング溶液としては、王水系、シアン系、沃素系の中から選択することができる。
次に、バイアホール12について説明を補足する。
基板10の厚みは、例えば50〜100μmとする。この場合、50μmより薄いと強度が弱くなりウェーハ工程およびチップ実装工程が困難となる。また、100μmより厚いとバイアホール12を形成するRIE(Reactive Ion Etching)工程が困難となる。
基板10の厚みは、例えば50〜100μmとする。この場合、50μmより薄いと強度が弱くなりウェーハ工程およびチップ実装工程が困難となる。また、100μmより厚いとバイアホール12を形成するRIE(Reactive Ion Etching)工程が困難となる。
バイアホール12の直径は、裏面側で50〜60μm程度とする。チップ裏面及びバイアホール12の内側壁には、メッキなどにより5〜15μm程度の厚みの金層が形成され、表面配線層16と裏面金電極14とを接続する。このバイアホール12により、基板10の表面及び裏面の間でボンディングワイヤなどを用いること無く接地などへの接続が容易にできる。この結果、FETのソース電極の接地、高周波回路の接地などが容易となり、チップの小型化が可能となる。
バイアホール12の位置は半導体集積回路の構成により変わるが、開口部18が二次元的に分散されており、裏面金電極14を連続させることができるので、電気的接続は保たれ高周波及び直流特性を低下させることはない。
図2は、開口部18の第1変形例であり、同図(a)は模式断面図、同図(b)は模式底面図である。図2(a)は、同図(b)の鎖線AA線に沿った模式断面図である。なお、図1と同様の構成要素には同一番号を付して詳細な説明を省略する。
本具体例においては、αが45度をなす直線L1に沿って延在した細長い開口部181と、βが135度をなす直線L2に沿って延在した細長い開口部183と、が交互にメッシュ状直線の交差点に設けられている。このようにすると、αが45度およびβが135度の方向においてシェアー強度を図1に例示される具体例よりも大きくできる。
本具体例においては、αが45度をなす直線L1に沿って延在した細長い開口部181と、βが135度をなす直線L2に沿って延在した細長い開口部183と、が交互にメッシュ状直線の交差点に設けられている。このようにすると、αが45度およびβが135度の方向においてシェアー強度を図1に例示される具体例よりも大きくできる。
図3は、開口部18の形状の第2変形例の模式底面図である。なお、図1と同様の構成要素には同一番号を付して詳細な説明を省略する。開口部18は、正方形としており図1の円形より大きいが、大きさはこれに限定されない。
すなわち、開口部18は電気的特性を維持できる範囲内で大きくすることができる。近接している開口部18の中心を結ぶ直線L1及びL2は、チップの第1の端面20とは非平行とする。図3の場合は第1の端面20と直線L1との交差角αはほぼ45度である。また、直線L1とほぼ直交する直線L2は、第1の端面20との交差角βはほぼ135度である。
以上の具体例及びそれに付随した変形例において、メッシュ状に交差する直線L1及びL2は直交し、L1を構成する直線群の間隔及びL2を構成する直線群の間隔は共に等しくD1とした。しかし、この間隔は、異なっていても良い。図4は、直線群L1の間隔D1が直線群L2の間隔D2より小さい第3変形例の模式底面図である。表面側のレイアウト及びバイアホール12の位置により、このような開口部18の配置が有効となる場合がある。
また、直線L1とへきかい面20とのなす交差角αが45度、直線L2とへきかい面20とのなす交差角βが135度と限定されることはない。図5は、αが45度より大きく、βが135度より小さい第4変形例を表す模式底面図である。また、α+β=180°でなくとも良い。
以上は、GaAsからなる基板10に関して説明した。しかし基板10の材料は、これに限定されず、GaNからなる基板10であっても良い。この場合、基板10の表面側にはInGaAlN系材料からなるHBT(Heterojunction Bipolar Transistor)、FETなどの半導体装置、抵抗、MIMキャパシタなどを含む集積回路が形成される。
InGaAlN系材料は六方晶系であり、直交する2つの端面をともにへきかい面とすることは困難である。従って、図1における第1の端面20をへきかい面とし、第2の端面22はへきかいによらずスクライブにより形成することが多い。
この場合でも、直線L1と第1の端面20との交差角α、直線L2と第1の端面22との交差角をβとし、へきかい面20と非平行とし、へきかいを抑制し接合強度を大きくできる。また、第1及び第2の端面20,22に対してL1及びL2が非平行であるように、図5における交差角α及びβを選択すると接合強度が改善できる。
本具体例及びこれに付随する変形例は、トランジスタ及びこれを含む集積回路の場合であるが、本発明はこれらに限定されない。GaAs、GaNなどからなる基板に形成された半導体発光装置においても同様に適用可能である。
以上、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これら具体例及びこれに付随した変形例に限定されない。化合物半導体装置を構成する基板、裏面金電極、バイアホール、開口部、へきかい面などの形状、材質、サイズなどに関して、当業者が各種設計変更を行ったものであっても、本発明の主旨を逸脱しない限り本発明の範囲に包含される。
1 基板、12 バイアホール、14 裏面金電極、16 表面配線層、18 開口部、20 第1の端面、22 第2の端面、181及び183 開口部
Claims (5)
- 化合物半導体からなる基板と、
前記基板の裏面に設けられ、複数の開口部を有する裏面金電極と、
を備え、
前記複数の開口部はメッシュ状に設けられ、
互いに最も近接している前記開口部を結ぶ直線は、前記基板の端面に形成されたへきかい面と非平行であることを特徴とする化合物半導体装置。 - 前記複数の開口部は、第1の直線に延在した第1の開口部と、前記第1の直線と交差する第2の直線に沿って延在した第2の開口部と、を含むことを特徴とする請求項1記載の化合物半導体装置。
- 前記直線は、前記へきかい面と略45度または135度の交差角をなすことを特徴とする請求項1または2に記載の化合物半導体装置。
- 前記基板の表面に形成された表面配線層をさらに備え、
前記基板には、前記表面から前記裏面まで貫通するバイアホールが形成され、
前記裏面金電極は、前記バイアホールの側壁に延在し、前記表面配線層に接続されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の化合物半導体装置。 - 前記基板は、半絶縁性であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の化合物半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006293871A JP2008112797A (ja) | 2006-10-30 | 2006-10-30 | 化合物半導体装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010003796A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2006
- 2006-10-30 JP JP2006293871A patent/JP2008112797A/ja active Pending
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