JP2008109181A - 圧電デバイスおよび電子機器 - Google Patents

圧電デバイスおよび電子機器 Download PDF

Info

Publication number
JP2008109181A
JP2008109181A JP2006287255A JP2006287255A JP2008109181A JP 2008109181 A JP2008109181 A JP 2008109181A JP 2006287255 A JP2006287255 A JP 2006287255A JP 2006287255 A JP2006287255 A JP 2006287255A JP 2008109181 A JP2008109181 A JP 2008109181A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
electronic component
piezoelectric
piezoelectric device
wiring pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2006287255A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichi Chiba
誠一 千葉
Yuugo Koyama
裕吾 小山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Miyazaki Epson Corp
Original Assignee
Miyazaki Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Miyazaki Epson Corp filed Critical Miyazaki Epson Corp
Priority to JP2006287255A priority Critical patent/JP2008109181A/ja
Publication of JP2008109181A publication Critical patent/JP2008109181A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

【課題】基板上に設ける配線パターンの引き回しの自由度を向上した圧電デバイス、およ
びこの圧電デバイスを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】圧電デバイス10は、基板12上に電子部品30と圧電振動子40を備えて
いる。基板12は1層構造であり、この上面に配線パターン22が設けてある。そして、
この基板12および配線パターン22の上の少なくとも一部に絶縁膜26が設けてある。
また電子部品30は、この非能動面を基板12側に向けて、絶縁膜26上に配設してある
。これにより電子部品30の下側に配線パターン22を引き回すことができ、この引き回
しの自由度が向上する。また圧電振動子40は、導電性の接続部材38を介して基板12
上に配設してある。
【選択図】図1

Description

本発明は、圧電デバイスおよび電子機器に関するものである。
圧電デバイスには、圧電振動子と電子部品をパッケージの内部に搭載したものがある。
このような圧電デバイスでは、圧電振動子と電子部品を導通するための配線パターンや、
外面に設けた外部端子と電子部品を導通するための配線パターン等をパッケージに設ける
必要がある。そして電子部品は、パッケージに設けた凹陥部の底面に配設してあるが、こ
の電子部品の下側に前記配線パターンを引き回すと、電子部品と配線パターンがショート
してしまう等の不具合が生じて、圧電デバイスが正常に動作しないおそれがある。このた
め従来の圧電デバイスでは、パッケージの底面を形成する基板を積層構造にし、この積層
した基板の間に配線パターンを設けて、前述した不具合が生じないようにしている。
なお積層基板の間に配線パターンを設ける構成の圧電デバイスについて開示したものに
は、特許文献1がある。
特開2003−347846号公報
圧電デバイスは、複数の基板を積層してパッケージの底面を形成すると、厚くなってし
まう。この基板の1枚当たりの厚さは50〜60μm程度なので、積層基板を得るために
基板を1枚重ねる毎に50〜60μmずつ厚くなってしまう。そして圧電デバイスを使用
するユーザは、電子機器の限られた空間に様々な電子デバイスを搭載しなければならない
ので、この電子デバイスの小型化を要求している。しかし前述したように圧電デバイスは
高さが大きくなってしまうので、この要求に応えることができない。
また基板を積層すると、基板1枚毎のコストや、基板を積層する加工工程のコスト等が
必要になるので、圧電デバイスの製造コストが高くなってしまう。
また1層の基板で圧電デバイスを形成した場合は、電子部品を迂回して(電子部品が搭
載される領域の外側に)全ての配線パターンを引き回さなければならず、圧電デバイスの
平面サイズが大きくなってしまう。
本発明は、基板上に設ける配線パターンの引き回しの自由度を向上した圧電デバイスを
提供することを目的とする。また本発明は、この圧電デバイスを用いた電子機器を提供す
ることを目的とする。
本発明に係る圧電デバイスは、配線パターンが形成された基板と、基板の一方の面に配
置された電子部品と、圧電振動片と、圧電振動片を内部に収容するとともに振動子端子が
裏面に形成されたパッケージと、を備えた圧電振動子と、基板の一方の面に配置され、圧
電振動子の裏面と基板の一方の面との間に所定の間隔を設けて圧電振動子と基板とを接続
する複数の接続部材と、を有する圧電デバイスであって、基板の一方の面上であって、電
子部品を搭載する領域に、配線パターンが形成され、電子部品を搭載する領域内に存在す
る配線パターンを被覆するように、基板の一方の面の少なくとも電子部品を搭載する領域
に、絶縁膜が形成されていることを特徴としている。電子部品と基板との間に絶縁膜を設
けたので、電子部品の下方における基板の一方の面上に配線パターンを引き回しても、配
線パターンと電子部品がショートすることがない。よって配線パターンの引き回しの自由
度を向上でき、配線パターンが電子部品を迂回する必要が無くなるので、基板の平面サイ
ズを小さくできる。
前述した基板は1枚の絶縁基板であり、基板の一方の面に形成された配線パターンを、
基板の他方の面に設けたことを特徴としている。基板の一方の面の電子部品を搭載する領
域にも配線パターンを引き回すことができるので、基板を積層する必要がなくなる。よっ
て圧電デバイスを薄型化でき、これの製造コストを低減できる。
本発明に係る圧電デバイスは、基板の一方の面にワイヤボンディング用電極が形成され
、電子部品の能動面にワイヤボンディング用パッドが形成され、ワイヤボンディング用電
極とワイヤボンディング用パッドとを導通するワイヤを設け、ワイヤが接合しているワイ
ヤボンディング用電極に導通した配線パターンを電子部品の下方に配設したことを特徴と
している。このワイヤボンディング用電極は、絶縁膜から露出している。これによりワイ
ヤボンディング用電極に接続する配線パターンを電子部品の下方に引き回すことができる
ので、この引き回しの自由度を向上できる。またワイヤボンディング用電極を配置する位
置の自由度も向上できる。
また前述した基板は、電子部品を搭載する領域に、基板の一方の面と他方の面とを貫通
する導通部が形成されており、基板の一方の面に配設した配線パターンと他方の面に配設
した外部端子とを導通部を介して接続したことを特徴としている。この導通部は、一方の
面の部分が絶縁膜に覆われている。これにより導通部に接続する配線パターンを電子部品
の下方に引き回すことができるので、この引き回しの自由度を向上できる。また導通部を
配置する位置の自由度も向上できる。
また前述した基板は、電子部品を搭載する領域にシールド電極が形成されており、基板
の他方の面に設けたグランド電位となる外部端子とシールド電極とが電気的に接続されて
いることを特徴としている。このシールド電極は、絶縁膜に覆われている。これによりシ
ールド効果を得ることができ、外部から加わる電磁波ノイズ等の悪影響を受けるのを防止
できる。またシールド電極は、絶縁膜によって覆われているので、電子部品の下方に引き
回されている配線パターンや導通部とショートするのを防止できる。
また前述した接続部材が球形の金属ボールであり、基板の接続部材を配置する領域の周
囲に、絶縁膜が形成されていることを特徴としている。基板上の接続部材が配置される領
域の周囲の絶縁膜が、球形の接続部材の転がりを防止できるので、接続部材の位置が安定
する。よって基板と圧電振動子の振動子端子との間の接続の信頼性が向上する。
また前述した基板の一方の面、電子部品および圧電振動子は、樹脂モールド材で覆われ
ていることを特徴としている。これにより圧電振動子および電子部品は、樹脂モールド材
で覆われているので、外部から加わる衝撃等から圧電振動子等を保護することができ、圧
電デバイスの信頼性を向上できる。
前述した圧電振動子のパッケージは、圧電振動片が搭載されたパッケージベースと、パ
ッケージベースに接合されたリッドであり、基板の一方の面、電子部品および圧電振動子
のパッケージベースは、樹脂モールド材で覆われていることを特徴としている。これによ
りリッドの表面を除き、圧電振動子の周囲が樹脂モールド材で覆われるとともに、電子部
品の周囲や基板の一方の面も樹脂モールド材で覆われるので、樹脂モールド材による保護
効果が得られる。また圧電デバイスの外部にリッドの表面が露出しているので、リッドに
付されたマーキングを外部から確認することができる。
本発明に係る電子機器は、前述した圧電デバイスを搭載したことを特徴としている。こ
れにより電子機器は、電子デバイスを搭載する空間が限られていても、前述した圧電デバ
イスは平面方向および高さ方向が小型化してあるので、この圧電デバイスを搭載すること
ができる。また圧電デバイスは1層の基板を利用して低コストになっているから、電子機
器の価格を低くできる。
以下に、本発明に係る圧電デバイスおよび電子機器の実施形態について説明する。以下
の実施形態で説明する圧電デバイスは、配線パターンを備えた基板の上に電子部品と圧電
振動子とを配設した構成である。
まず第1の実施形態について説明する。図1は第1の実施形態に係る圧電デバイスの断
面図である。図2は基板の平面図である。図3は第1の実施形態に係る圧電デバイスの平
面図である。なお図1(A)は、図3のA−A線に対応した断面図を示し、図1(B)は
、図3のB−B線に対応した断面図を示し、図1(C)は圧電振動子の裏面を示している
。また図3は、圧電振動子、樹脂モールド材および接続部材を取り除いた形態を示してい
る。
圧電デバイス10は絶縁性の基板12を1枚有しており、この基板12の他方の面に複
数の外部端子14が設けてある。また基板12の一方の面には、ワイヤボンディング用電
極16、接続部材配置用電極18およびシールド電極20が配設してある。ワイヤボンデ
ィング用電極16は、電子部品30を搭載したときに、この電子部品30と導通するため
のワイヤ36が接合される電極である。またワイヤボンディング用電極16は、この電子
部品30の周囲に配置されるように、基板12上に配設してある。
接続部材配置用電極18は、基板12上に圧電振動子40を搭載するための接続部材3
8が配設される電極であり、少なくとも2つ設けられている。そして本実施形態では、接
続部材配置用電極18を4つ設けてある。これにより圧電振動子40を4箇所で支えるこ
とができるので、安定して搭載される。そして接続部材配置用電極18は、4つあるうち
の少なくとも2つがワイヤボンディング用電極16と1対1に配線パターン(図示せず)
を介して導通している。
シールド電極20は、基板12の中央部に設けてあり、電子部品30を搭載したときに
、この電子部品30の下方に位置するように配置してある。すなわちシールド電極20は
、電子部品30が配設される領域に対応して設けてある。このシールド電極20は、配線
パターン22およびワイヤボンディング用電極16を介して、グランド電位となる外部端
子(グランド端子)と導通している。なおシールド電極20と導通するワイヤボンディン
グ用電極16は、入力用および出力用となる接続部材配置用電極18に導通していない。
このシールド電極20を設けることにより、電子部品30から放射される電磁波ノイズや
、圧電デバイス10の外部から加わる電磁波ノイズの影響を無くすことができる。
そしてワイヤボンディング用電極16の一部は、基板12上を引き回された配線パター
ン22を介して導通部24と接続している(図2参照)。この導通部24は、基板12を
貫通して設けられており、基板12の他方の面に設けた外部端子14と直接に導通してい
る(図1(B)参照)。すなわち導通部24は、外部端子14の領域内に設けられている
。この導通部24は、例えばビアホール等であればよい。これによりワイヤボンディング
用電極16の一部は、配線パターン22および導通部24を介して外部端子14と1対1
に導通している。
なお配線パターン22は、他の配線パターン22や、導通に関係のないワイヤボンディ
ング用電極16、接続部材配置用電極18およびシールド電極20とショートしてなく、
基板12の一方の面を適宜自由に引き回してある。
そして図1や図3に示すように、接続部材配置用電極18やワイヤボンディング用電極
16を除いて、基板12、配線パターン22、シールド電極20および導通部24の上に
絶縁膜26を設けている。絶縁膜26は、本実施形態の場合、基板12の一方の面に液体
状のレジスト液を塗布して、前記一方の面全体にほぼ均一の厚みの絶縁膜を形成した後、
後述のワイヤボンディング用電極16および接続部材を配置する領域(接続部材配置領域
28)に対応する領域を、化学エッチングで取り除いて形成されている。これにより基板
12単体での絶縁性が保証される。なお絶縁膜26の厚さは、5〜20μm程度である。
そして電子部品30は、絶縁膜26上に配設している。電子部品30は、例えば接着剤
やテープ等の接合材34を用いて固着してある。この接合材34は、非導電性であるのが
好ましい。また電子部品30は、圧電振動子40に電気信号を供給して、発振・増幅させ
る回路(発振回路)を備えていれば良く、集積回路(IC)チップになっている。この電
子部品30の能動面には、ワイヤボンディング用パッド32が設けてある。そして電子部
品30は、能動面を上方に向け、非能動面を基板12側に向けて、搭載してある。この基
板12に搭載された電子部品30の周囲には、ワイヤボンディング用電極16が配設して
あるので、ワイヤボンディング用パッド32とワイヤボンディング用電極16にワイヤ3
6を接合してこれらを導通している。なお電子部品30は、絶縁膜26の上に配設してあ
るので、この電子部品30の下方に配設してある配線パターン22や導通部24、シール
ド電極20とが直接に接触することがない。
接続部材38は、接続部材配置用電極18の上に配設してある。接続部材38は、導電
性を有するものであり、例えば球形の金属ボールであればよい。より詳細には、接続部材
38は、銅ボールまたは樹脂ボール等で形成されるコアを半田メッキした半田ボールであ
ってもよい。このように接続部材38を2重構造とすることにより、前記コアがスペーサ
としての役割を果し、接続部材38の上に配設される圧電振動子40の基板12からの高
さが一定に保たれるとともに、接続部材配置用電極18と圧電振動子40の電気的および
機械的な接続が確保される。なお接続部材38の最も高い部分は、ワイヤ36の最も高い
部分よりも上方にある。
次に、図4(A)および図4(B)の接続部材配置領域28の周囲に設けた絶縁膜26
について説明する。図4(A)は、接続部材配置用電極18の一部に、絶縁膜26が被覆
されている形態であり、図4(B)は、接続部材配置用電極18と絶縁膜26との間に一
定の間隔が設けられている形態である。接続部材38が球形の金属ボールである場合は、
製造工程中に接続部材が転がりやすく、位置が安定しない。しかしながら本実施形態では
、図4(A)または図4(B)のように、接続部材配置領域28を除いて絶縁膜26を所
定の厚みで形成してあるため、この接続部材配置領域28の周囲の絶縁膜26が、接続部
材38の転がりを防止し、接続部材38の位置が安定する。これにより、接続部材38の
位置が安定せず、基板12の接続部材配置用電極18上に配置されなかったり、樹脂モー
ルド材58から露出してしまうことを防止できる。結果として、基板12の接続部材配置
用電極18と圧電振動子40の振動子端子52a〜52dとの間の電気的および機械的な
接続の信頼性が向上する。なお、接続部材配置領域28は、接続部材38の直径とほぼ同
じ直径か、直径よりも僅かに大きい直径の円の領域であればよい。具体的には、接続部材
配置領域28は、接続部材38の直径の約1〜1.5倍の直径を有する円の領域とするこ
とが好ましい。また、基板12の一方の面から絶縁膜26の上端までの高さt1は、接続
部材配置用電極18の厚みt2より厚ければよく、接続部材38の直径が0.15〜0.
30mmの場合、t1−t2が約0.005mm以上とすれば、前述の転がり防止の効果
を得ることができ、また、t1−t2が約0.03mm以下であれば、また絶縁膜26の
形成工程の容易さの観点から良い。
圧電振動子40は、図1(B)に示すように、パッケージ44と圧電振動片42を有し
ている。このパッケージ44は、凹陥部48を備えたパッケージベース46と、このパッ
ケージベース46の上面に接合したリッド56とを備えている。そしてリッド56を設け
ることにより、凹陥部48の内部を気密封止している。パッケージベース46は、その底
面(凹陥部48の底面)にマウント電極50を備えるとともに、図1(C)に示すように
、裏面の角部に配置された4つの振動子端子52a〜52dを備えている。その4つの振
動子端子のうち、振動子端子52aはマウント電極50aと導通しており、振動子端子5
2bはマウント電極50bと導通している。なお図1(B)では、一対のマウント電極5
0a,50bのうち、マウント電極50aのみを示し、50bは図示していない。このマ
ウント電極50a,50bの上に導電性接着剤54がそれぞれ設けてあり、この導電性接
着剤54によって圧電振動片42を電気的および機械的に接続している。結果として、圧
電振動片42に形成してある一対の励振電極(不図示)が、マウント電極50a,50b
にそれぞれ電気的に接続される。この圧電振動片42は、ATカットされた圧電基板等を
用いた圧電振動片、音叉型圧電振動片、弾性表面波素子片等であればよい。
そして圧電振動子40の振動子端子52と接続部材38を接合することにより、圧電振
動子40が接続部材38の上に配設される。これにより圧電デバイス10は、電子部品3
0と圧電振動子40を2階建てにした構造になり、また圧電振動子40と電子部品30が
接続部材38、配線パターン22およびワイヤ36を介して導通する。なお圧電振動子4
0の裏面とワイヤ36は接触していない。
そして図1に示すように、圧電振動子40や電子部品30の周囲を樹脂モールド材58
で覆っている。なお、この場合、リッド56の上面は、樹脂モールド材58で覆われてい
ない。すなわち圧電デバイス10は、基板12の一方の面、電子部品30および圧電振動
子40を構成するパッケージベース46を樹脂モールド材58で覆っている。これにより
圧電振動子40の周囲が、リッド56の表面を除き樹脂モールド材58で覆われているの
で、圧電振動子40のリッド56のマーキングを外部から確認できるとともに、圧電振動
子40、電子部品30、接続部材38およびワイヤ36が外部からの衝撃等から保護され
、圧電デバイス10の信頼性が向上する。
以上説明したように、圧電デバイス10は、接続部材配置用電極18およびワイヤボン
ディング用電極16を除いて、基板12上に絶縁膜26を設けたので、電子部品30の下
方に配線パターン22を引き回しても、配線パターン22と電子部品30がショートする
ことがない。よって配線パターン22を電子部品30の下方に引き回すことができるので
、この引き回しの自由度を向上でき、基板12の平面サイズを小さくできる。また圧電デ
バイス10を1層の基板12で形成できるので、この圧電デバイス10を薄型化でき、製
造コストを低減できる。
また電子部品30の下方にシールド電極20を設けることができるので、シールド効果
を得ることができる。また配線パターン22の引き回しの自由度が向上することにより、
ワイヤボンディング用電極16を配置する位置の自由度が向上する。また絶縁膜26は、
導通部24を覆うことができるので、電子部品30の下方における基板12の他方の面に
外部端子14を設けることができ、導通部24を配置する位置の自由度も向上する。これ
により配線パターン22を引き回す自由度が向上する。なお本実施形態では、図2に示す
ように、外部端子14を6つ設けているが、そのうちの2つを調整端子にすることができ
る。この調整端子は、電子部品30に様々なデータを書き込むときに使用する。
なお前述した電子部品30は、前記発振回路の他にも、電圧制御回路や温度補償回路、
プログラムすることにより任意の出力周波数を設定できる回路、圧電振動子40から出力
された周波数信号から年月日等のディジタルデータを作り出力する回路、ジャイロセンサ
用の駆動・検出回路等を備えることもできる。これにより圧電デバイス10は、圧電発振
器、電圧制御機能や温度補償機能を備えた圧電発振器、リアルタイムクロック装置または
ジャイロセンサ等になる。
また前述した絶縁膜26は基板12上に設けているが、電子部品30の非能動面に設け
てあってもよい。
また前述した圧電デバイス10は、電子部品30や圧電振動子40を樹脂モールド材5
8で覆った構成であるが、凹陥部を有するパッケージベースに電子部品30や圧電振動片
42を搭載し、このパッケージベース上にリッドを接合して凹陥部を気密封止した構成で
あってもよい。この場合、このパッケージベースの底板(凹陥部の底面)が、前述した基
板12や絶縁膜26と同様の構成になっていればよい。
次に、第2の実施形態について説明する。この第2の実施形態では、第1の実施形態に
係る圧電デバイスの変形例について説明する。そして第2の実施形態では、圧電デバイス
に用いる絶縁膜の構成が第1の実施形態と異なっているので、この絶縁膜の構成について
主に説明し、第1の実施形態と同様の構成部分の説明を省略または簡略する。
図5は第2の実施形態に係る圧電デバイスの断面図である。図6は第2の実施形態に係
る基板等の説明図である。ここで図6(A)は基板の平面図であり、図6(B)は絶縁膜
を設けた基板の平面図であり、図6(C)は圧電デバイスの平面図である。なお図6(C
)では、圧電振動子、樹脂モールド材および接続部材を取り除いた形態を示している。ま
た図5は、図6(A)の破線C−Cの部分に対応した断面図である。
第2の実施形態に係る圧電デバイス60は、第1の実施形態と同じ基板12を用いてい
る。この基板12の一方の面に設ける絶縁膜62は、電子部品30が配置される箇所に対
応して設けてある。すなわち絶縁膜62は、図6(A)に示すように、基板12上におけ
る電子部品30を搭載する領域64(一点鎖線で示す領域)に設けてあるとともに、電子
部品30の平面サイズよりも少し大きくした領域66(二点鎖線で示す領域)にも設けて
ある。そして基板12の一部に絶縁膜62を設けると、図6(B)に示す形態となる。こ
の絶縁膜62は、第1の実施形態と同様に、例えばレジスト膜等であればよい。この絶縁
膜62により、前述した電子部品30を搭載する領域内にある配線パターン22や導通部
24が覆われるので、基板12単体での絶縁性が保証される。
そして電子部品30は、絶縁膜62の上に配設してある。この電子部品30は、第1の
実施形態と同様に、ワイヤボンディング用パッド32を設けた能動面を上方に向け、非能
動面を基板12側に向けている。このワイヤボンディング用パッド32とワイヤボンディ
ング用電極16がワイヤ36によって導通している。また接続部材配置用電極18の上に
接続部材38(図5,6には図示せず)を設け、この接続部材38上に圧電振動子40を
配設して、電子部品30と圧電振動子40を2階建て構造にしている。そして圧電振動子
40や電子部品30の周囲が樹脂モールド材58で覆われている。
このように、基板12の少なくとも一部(少なくとも基板12と電子部品30との間)
に絶縁膜26を設けた構成の圧電デバイス60であっても、第1の実施形態と同様の効果
を得ることができる。また圧電デバイス60は、圧電振動子40の全体を樹脂モールド材
58で覆っているので、樹脂モールド材58による内部に搭載した部品等の保護効果が顕
著に得られる。この場合、圧電振動子40のリッド56が樹脂モールド材58で覆われて
しまうので、発振器の周波数等を表すマーキングは、樹脂モールド材58の表面に行えば
よい。
次に、第3の実施形態について説明する。この第3の実施形態では、第1,2の実施形
態で説明した圧電デバイス10,60を搭載した電子機器について説明する。なお、この
圧電デバイス10,60を搭載する電子機器には様々なものがあるが、第3の実施形態で
はその一例として、ディジタル式携帯電話について説明する。
図7はディジタル式携帯電話の概略構成図である。ディジタル式携帯電話100は、送
受信信号の送信部102および受信部104等を有し、この送信部102および受信部1
04に、これらを制御する中央演算装置(CPU)106が接続している。またCPU1
06は、送受信信号の変調および復調の他に表示部や情報入力のための操作キー等からな
る情報の入出力部108や、RAM,ROM等からなるメモリ110の制御を行っている
。このためCPU106には、圧電発振器112が取付けられ、この圧電発振器112か
ら出力されるクロック信号を利用している。またCPU106は温度補償型圧電発振器1
14と接続しており、この温度補償型圧電発振器114は送信部102と受信部104と
に接続している。これによりCPU106からの基本クロックが、環境温度が変化した場
合に変動しても、温度補償型圧電発振器114により修正されて、送信部102および受
信部104に与えられるようになっている。そして圧電発振器112や温度補償型圧電発
振器114に、前述した圧電デバイス10,60を利用できる。
そしてディジタル式携帯電話100は、近年小型化されているので電子デバイスを搭載
する空間が限られているが、前述した圧電デバイス10,60は平面方向および高さ方向
が小型化されているので、この圧電デバイス10,60を前記空間に搭載することができ
る。
第1の実施形態に係る圧電デバイスの断面図であり、図1(A)は図3のA−A線に対応した断面図であり、図1(B)は図3のB−B線に対応した断面図であり、図1(C)は圧電振動子の裏面を示す図である。 基板の平面図である。 第1の実施形態に係る圧電デバイスの平面図である。 接続部材配置領域の部分を拡大した断面図である。 第2の実施形態に係る圧電デバイスの断面図である。 第2の実施形態に係る基板等の説明図である。 ディジタル式携帯電話の概略構成図である。
符号の説明
10,60…圧電デバイス、12…基板、14…外部端子、16…ワイヤボンディング用
電極、20…シールド電極、22…配線パターン、24…導通部、26,62…絶縁膜、
30…電子部品、32…ワイヤボンディング用パッド、36…ワイヤ、38…接続部材、
40…圧電振動子、58…樹脂モールド材。

Claims (9)

  1. 配線パターンが形成された基板と、
    前記基板の一方の面に配置された電子部品と、
    圧電振動片と、前記圧電振動片を内部に収容するとともに振動子端子が裏面に形成され
    たパッケージと、を備えた圧電振動子と、
    前記基板の前記一方の面に配置され、前記圧電振動子の前記裏面と前記基板の前記一方
    の面との間に所定の間隔を設けて前記圧電振動子と前記基板とを接続する複数の接続部材
    と、
    を有する圧電デバイスであって、
    前記基板の前記一方の面上であって、前記電子部品を搭載する領域に、前記配線パター
    ンが形成され、
    前記電子部品を搭載する領域内に存在する前記配線パターンを被覆するように、前記基
    板の前記一方の面の少なくとも前記電子部品を搭載する領域に、絶縁膜が形成されている
    ことを特徴とする圧電デバイス。
  2. 前記基板は1枚の絶縁基板であり、前記基板の前記一方の面に形成された前記配線パタ
    ーンと導通した外部端子を、前記基板の他方の面に設けたことを特徴とする請求項1に記
    載の圧電デバイス。
  3. 前記基板の前記一方の面にワイヤボンディング用電極が形成され、
    前記電子部品の能動面にワイヤボンディング用パッドが形成され、
    前記ワイヤボンディング用電極と前記ワイヤボンディング用パッドとを導通するワイヤ
    を設け、
    前記ワイヤが接合している前記ワイヤボンディング用電極に導通した前記配線パターン
    を、前記電子部品を搭載する領域に配設した、
    ことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電デバイス。
  4. 前記基板は、前記電子部品を搭載する領域に、前記基板の前記一方の面と他方の面とを
    貫通する導通部が形成されており、前記基板の前記一方の面に配設した前記配線パターン
    と前記他方の面に配設した外部端子とを前記導通部を介して接続したことを特徴とする請
    求項1ないし3のいずれかに記載の圧電デバイス。
  5. 前記基板は、前記電子部品を搭載する領域にシールド電極が形成されており、
    前記基板の他方の面に設けたグランド電位となる外部端子と前記シールド電極とが電気
    的に接続されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の圧電デバイス
  6. 前記接続部材が球形の金属ボールであり、
    前記基板の前記接続部材を配置する領域の周囲に、前記絶縁膜が形成されていることを
    特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の圧電デバイス。
  7. 前記基板の一方の面、前記電子部品および前記圧電振動子は、樹脂モールド材で覆われ
    ていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の圧電デバイス。
  8. 前記圧電振動子のパッケージは、前記圧電振動片が搭載されたパッケージベースと、前
    記パッケージベースに接合されたリッドであり、
    前記基板の一方の面、前記電子部品および前記圧電振動子の前記パッケージベースは、
    樹脂モールド材で覆われていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の圧
    電デバイス。
  9. 請求項1ないし8のいずれかに記載の圧電デバイスを搭載したことを特徴とする電子機
    器。
JP2006287255A 2006-10-23 2006-10-23 圧電デバイスおよび電子機器 Withdrawn JP2008109181A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006287255A JP2008109181A (ja) 2006-10-23 2006-10-23 圧電デバイスおよび電子機器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006287255A JP2008109181A (ja) 2006-10-23 2006-10-23 圧電デバイスおよび電子機器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008109181A true JP2008109181A (ja) 2008-05-08

Family

ID=39442217

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006287255A Withdrawn JP2008109181A (ja) 2006-10-23 2006-10-23 圧電デバイスおよび電子機器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008109181A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010087928A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Citizen Finetech Miyota Co Ltd 圧電デバイス

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010087928A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Citizen Finetech Miyota Co Ltd 圧電デバイス

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5115258B2 (ja) 圧電デバイスおよび電子機器
JP4947191B2 (ja) マイクロフォン
US9041476B2 (en) Crystal controlled oscillator
JP3843983B2 (ja) 圧電振動子
JP2011254192A (ja) 半導体装置及びマイクロフォン
JP2009213061A (ja) 発振器および電子機器
JP4741385B2 (ja) 構造体
JP4947238B2 (ja) マイクロフォン
JP5121534B2 (ja) 表面実装用の水晶発振器
JP4724518B2 (ja) 圧電発振器
JP5157315B2 (ja) 圧電デバイスの製造方法、圧電デバイスおよび電子機器
JP2007150759A (ja) 圧電振動子収納用パッケージおよび圧電振動装置
JP2008109181A (ja) 圧電デバイスおよび電子機器
JP2006080180A (ja) 電子部品、圧電発振器および電子機器
JP2007043462A (ja) 圧電発振器および電子機器
JP5071035B2 (ja) 圧電デバイス
JP2008104095A (ja) 圧電振動子、圧電デバイスおよび電子機器
JP2011182017A (ja) モジュール
JP4645393B2 (ja) 表面実装型圧電発振器、及び電子部品ユニット
JP2009218783A (ja) 圧電デバイス
JP2007067135A (ja) ランドパターン形状を有する基板とそこに実装する圧電部品
JP2007067173A (ja) 電子部品
JP4986529B2 (ja) 水晶発振器
JP2008141417A (ja) 圧電発振器
JP2006067552A (ja) 圧電発振器の製造方法、圧電発振器および電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20100105