JP2008103725A - 可撓性フィルム、並びにこれを用いた半導体パッケージ及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体パッケージ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体パッケージ200は、半導体チップ130と、半導体チップ130がマウントされるフィルム基板領域と、前記フィルム基板領域から複数に分岐されて延長され、複数のサブフィルムワイヤー110−1、・・・、110−13で構成されたフィルムワイヤー領域を備える可撓性フィルム110と、前記フィルム基板領域において可撓性フィルム110の外面に配置される複数の外部接続端子160と、可撓性フィルム110の内部に挿入され、前記フィルム基板領域に配置されて、複数の外部接続端子160のうちのいずれか一つに電気的に接続される第1パッドと、前記フィルムワイヤー領域に配置されて、半導体チップ130に電気的に接続される第2パッドと、を各々有する複数の導電性パターンと、を含んでいる。
【選択図】図2D
【解決手段】半導体パッケージ200は、半導体チップ130と、半導体チップ130がマウントされるフィルム基板領域と、前記フィルム基板領域から複数に分岐されて延長され、複数のサブフィルムワイヤー110−1、・・・、110−13で構成されたフィルムワイヤー領域を備える可撓性フィルム110と、前記フィルム基板領域において可撓性フィルム110の外面に配置される複数の外部接続端子160と、可撓性フィルム110の内部に挿入され、前記フィルム基板領域に配置されて、複数の外部接続端子160のうちのいずれか一つに電気的に接続される第1パッドと、前記フィルムワイヤー領域に配置されて、半導体チップ130に電気的に接続される第2パッドと、を各々有する複数の導電性パターンと、を含んでいる。
【選択図】図2D
Description
本発明は、可撓性フィルム、これを用いた半導体パッケージ及びその製造方法に関し、特に、基板とワイヤーの機能を有する可撓性フィルムを用いた半導体パッケージ及びその製造方法に関する。
一般的に、半導体パッケージは、半導体チップと基板とが接着され、ボンディングワイヤーにより半導体チップが基板に電気的に接続され、絶縁体により、ボンディングワイヤー及び半導体チップが外部の水分や汚染から保護される構造を有している。
上記半導体パッケージは、基板に付着されたソルダーボールアレイをさらに有する。ソルダーボールは、外部との入出力端子として機能する。半導体チップをボンディングワイヤーに電気的に接続させるパッドは、半導体チップのエッジまたはセンターに設けられる。
図1は、従来の技術による半導体パッケージを示す断面図である。図1に示すように、従来のチップオンボード(COB)タイプの半導体パッケージ10は、基板11上に第1半導体チップ13が付着される。第1半導体チップ13の活性面13aには複数のパッド14が形成され、基板11の上面11aにも複数のパッド12が形成される。複数のパッド12、14が複数のボンディングワイヤー17により互いに接続されることによって、基板11と第1半導体チップ13とが電気的に接続される。選択的に、第1半導体チップ13上に第2半導体チップ15を積層することができる。第2半導体チップ15の活性面15aには複数のパッド16が形成され、複数のパッド16は、複数のパッド12と複数のボンディングワイヤー19とにより電気的に接続される。
ところが、従来の半導体パッケージ10の基板11は、剛体基板(rigid substrate)であって、その厚さを薄くするとしても、工程上または実際の使用上、第1半導体チップ13及び第2半導体チップ15と基板11との熱膨張係数の不一致(CTE mismatch)により、第1半導体チップ13及び第2半導体チップ15と基板11とが曲がる現象が発生する。第1半導体チップ13及び第2半導体チップ15と基板11とが曲がる現象は、半導体パッケージ10の組立工程時または実際の使用時に多様な不良を引き起こす。その上、従来では、基板11と第1半導体チップ13及び第2半導体チップ15との電気的接続は、ボンディングワイヤー17、19により実現されている。しかしながら、ボンディングワイヤー17、19の数が極めて多いか、またはボンディングワイヤー17、19間の間隔が極めて微細な場合、工程上、たとえばモールディング工程においてボンディングワイヤー17、19が互いに接触されるワイヤスイープ(wire sweeping)によるシートト(short)不良が起きやすいという問題点がある。
また、従来では、第1半導体チップ13及び第2半導体チップ15を積層する場合、ボンディングワイヤー17が第2半導体チップ15の非活性面15bに接触する領域20が生じ得る。このような接触領域20は、半導体パッケージ10の機能の不良を引き起こすという問題点がある。この問題を解決するために、第1半導体チップ13及び第2半導体チップ15間の間隔d、すなわちボンドライン厚(Bond Line Thickness)を大きく形成して、ボンディングワイヤー17と第2半導体チップ13との間の接触を防止している。しかしながら、第1半導体チップ13及び第2半導体チップ15間の間隔dを大きくする場合、半導体パッケージ10の薄型化の実現に大きな障害となっている。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、信頼性を向上させることができる、フィルム化の実現が容易な可撓性フィルム、これを用いた半導体パッケージ及びその製造方法を提供することにある。
上記の目的を達成すべく、本発明は、可撓性フィルムを基板とボンディングワイヤーとして用いることを特徴とする。
上記の特徴を実現し得る本発明の実施の形態による可撓性フィルムは、半導体チップがマウントされる基板として機能する第1領域と、前記第1領域から延長され、複数に分けられた部分を含む第2領域と、前記第1領域側に伸張された第1端部と、前記第2領域側に伸張され、複数の導電性パターンを含む第2端部と、を含み、前記第1端部は外部接続端子と電気的に接続され、前記第2端部は前記半導体チップと電気的に接続されることを特徴とする可撓性フィルム。 本実施の形態の可撓性フィルムにおいて、前記複数の導電性パターンを取り囲み、上面と下面とが備えられた絶縁性薄膜をさらに含み、前記半導体チップは、前記絶縁性薄膜の上面にマウントされ、前記外部接続端子は、前記絶縁性薄膜の下面に付着される。
本実施の形態の可撓性フィルムにおいて、前記第1端部は、前記第1領域に配置され、前記外部接続端子が電気的に接続する第1パッドであり、前記第2端部は、前記第2領域に配置され、前記半導体チップに電気的に接続する第2パッドである。
本実施の形態の可撓性フィルムにおいて、前記複数の導電性パターン各々は、前記第1領域側に伸張され、前記第1端部を有する第1サブパターンと、前記第1サブパターンから延び、前記第2領域側に伸張された、かつ前記第2端部を有する第2サブパターンと、を含む。
本実施の形態の可撓性フィルムにおいて、前記複数の導電性パターン各々は、前記第1領域側に伸張され、前記第1端部を有する第1サブパターンと、前記第1サブパターンから複数に分岐されて延び、前記第2領域側に伸張された、かつ前記第2端部を各々有する複数の第2サブパターンと、を含む。
本実施の形態の可撓性フィルムにおいて、前記第2領域の複数に分けられた部分は、その長さが同一であるか、または異なる。
上記の特徴を実現し得る本発明の実施の形態による半導体パッケージは、半導体チップと、前記半導体チップがマウントされるフィルム基板領域と、前記フィルム基板領域から複数に分岐されて延び、複数のサブフィルムワイヤーで構成されたフィルムワイヤー領域を備える可撓性フィルムと、前記フィルム基板領域において前記可撓性フィルムの外面に配置される複数の外部接続端子と、前記可撓性フィルムの内部に挿入され、前記フィルム基板領域に配置されて、前記複数の外部接続端子のうちのいずれか一つに電気的に接続する第1パッドと、前記フィルムワイヤー領域に配置されて、前記半導体チップに電気的に接続する第2パッドと、を各々有する複数の導電性パターンと、を含むことを特徴とする。
本実施の形態の半導体パッケージにおいて、前記可撓性フィルムは、前記複数の導電性パターンの上下に各々配置された絶縁性上部膜と絶縁性下部膜とを含み、前記上部膜の上面には、前記半導体チップがマウントされ、前記下部膜の下面には、前記複数の外部接続端子が付着される。
本実施の形態の半導体パッケージにおいて、前記複数の導電性パターン各々は、前記フィルム基板領域側に伸張された第1サブパターンと、前記第1サブパターンから延び、前記フィルムワイヤー領域側に伸張された第2サブパターンと、を含む。前記第1サブパターンの端部は、前記第1パッドを構成し、前記第2サブパターンの端部は、第2パッドを構成する。
本実施の形態の半導体パッケージにおいて、前記半導体チップは、前記フィルム基板領域上にマウントされる第1半導体チップと、前記第1半導体チップ上に積層される第2半導体チップとを含み、前記複数のサブフィルムワイヤーは、前記第1半導体チップに電気的に接続する第1サブフィルムワイヤーと、前記第2半導体チップに電気的に接続する第2サブフィルムワイヤーと、を含む。
本実施の形態の半導体パッケージにおいて、前記複数の導電性パターン各々は、前記フィルム基板領域側に伸張された第1サブパターンと、前記第1サブパターンから延び、前記第1及び第2サブフィルムワイヤーのうちのいずれか一側へ伸張された第2サブパターンと、を含む。
本実施の形態の半導体パッケージにおいて、前記複数の導電性パターン各々は、前記フィルム基板領域側に伸張された第1サブパターンと、前記第1サブパターンから延び、前記第1及び第2サブフィルムワイヤーの両側に分岐されて伸張された複数の第2サブパターンと、を含む。
本実施の形態の半導体パッケージにおいて、前記第1及び第2サブフィルムワイヤー各々に電気的に接続した第1及び第2半導体チップは、外部接続端子を共有する。
本実施の形態の半導体パッケージにおいて、前記第1サブフィルムワイヤーは、前記第2サブフィルムワイヤーに比べて長さが短い。
上記の特徴を実現し得る本発明の実施の形態による半導体パッケージの製造方法は、フィルム基板領域と、前記フィルム基板領域から複数に分岐されて延びた複数のサブフィルムワイヤーで構成されたフィルムワイヤー領域と、を備える可撓性フィルムを提供するステップと、前記可撓性フィルムの上面に半導体チップをマウントするステップと、前記複数のサブフィルムワイヤーを前記半導体チップに電気的に接続させるステップと、前記可撓性フィルムの下面に複数の外部接続端子を付着させるステップと、を含む。
本実施の形態の半導体パッケージの製造方法において、前記可撓性フィルムは、導電性パターンが絶縁性膜により取り囲まれ、前記フィルム基板領域には、前記導電性パターンの一部で構成された複数の下部パッドが形成され、前記複数のサブフィルムワイヤー各々には、前記導電性パターンの一部で構成された上部パッドが形成される。
本実施の形態の半導体パッケージの製造方法において、前記複数のサブフィルムワイヤーを前記半導体チップに電気的に接続させるステップは、前記上部パッドを前記半導体チップの活性面に電気的に接続させるステップを含む。
本実施の形態の半導体パッケージの製造方法において、前記可撓性フィルムの上面に半導体チップをマウントするステップは、第1接着剤を媒介にして、第1半導体チップの非活性面を前記フィルム基板領域上に付着させて、前記第1半導体チップをマウントするステップと、第2接着剤を媒介にして、第2半導体チップの非活性面を前記第1半導体チップの活性面上に付着させて、前記第2半導体チップをマウントするステップと、を含む。
本実施の形態の半導体パッケージの製造方法において、前記複数のサブフィルムワイヤーを前記半導体チップに電気的に接続させるステップは、前記複数のサブフィルムワイヤーのうちの一部を前記第1半導体チップの活性面に電気的に接続させるステップと、前記複数のサブフィルムワイヤーのうちの一部を前記第2半導体チップの活性面に電気的に接続させるステップと、を含む。
本実施の形態の半導体パッケージの製造方法において、前記第1半導体チップに電気的に接続したサブフィルムワイヤーは、前記第2半導体チップに電気的に接続したサブフィルムワイヤーと外部接続端子とを共有する。
本実施の形態の半導体パッケージの製造方法において、前記第1半導体チップに電気的に接続したサブフィルムワイヤーは、前記第2半導体チップに電気的に接続したサブフィルムワイヤーに比べて、長さが短い。
本発明によれば、電気的接続を有する可撓性フィルムが基板とワイヤーとの機能を有し、さらに、熱膨張係数差による曲げ現象及び界面応力が最小になる。この結果、ワイヤスイープ問題が解決されることにより、電気的特性を向上させることができる。
また、複数のチップをスタックする際、半導体チップの背面との接触問題が無く、薄いボンドライン厚(BLT)の形成が可能である。なお、製造コストと減少させ、製造工程を簡略化することができる。
以下、本発明による可撓性フィルム、半導体パッケージ及びその製造方法を添付した図面を参照して詳細に説明する。なお、図面において、同じ参照符号は、同じ構成要素を示している。
図2A〜図2Cは、本発明の一実施の形態による半導体パッケージを示す工程別断面図であり、図2Dは、本発明の実施の形態による半導体パッケージを示す斜視図である。
図2Aに示すように、半導体チップ130とフィルム110とを用意する。半導体チップ130は、回路パターンと複数のチップパッド132とが形成された活性面130aと、活性面130aの反対面である非活性面130bとを有する。
複数のチップパッド132は、半導体チップ130のエッジに形成されているが、設計によって半導体チップ130のセンターに形成され得る。フィルム110は、基板とボンディングワイヤーとの機能を有するものであって、曲がり易い可撓性(flexible)フィルムである。フィルム110は、半導体チップ130が付着される上面110aと、その反対面である下面110bとを有する。フィルム110の上面110aには、半導体チップ130のパッド132と、直接電気的に接続するパッドとして機能する上部パッド114aとが配置され、フィルム110の下面110bには、外部接続端子が付着される下部パッド114bが配置される。上部パッド114aおよび下部パッド114bは、後述のように、一つの導電性パターンの一部である。
図3Aは、本発明の一実施の形態による可撓性フィルムを示す平面図であり、図3Bは、図3AのI−I線に沿う断面図である。
図3A及び図3Bに示すように、フィルム110は、絶縁性下部膜112と絶縁性上部膜116とが積層され、下部膜112と上部膜116との間に導電性パターン114が挿入された、その厚さtが略200μm以下の極めて薄い可撓性薄膜である。そして、フィルム110は、半導体チップがマウントされる基板として機能する領域、いわゆるフィルム基板領域Aと、半導体チップのパッドに接続されてボンディングワイヤーとして機能する領域、いわゆるフィルムワイヤー領域Bとに区分されることができる。
上部膜116の上面は、フィルム110の上面110aと画定され、下部膜112の下面は、フィルム110の下面110bと画定される。
下部膜112と上部膜116は、一例としてソルダレジスト及びその他絶縁性ポリマーで構成される。導電性パターン114は、一例として銅や金のような金属で構成されて、電気的回路として機能する。金属パターン114は、フィルム基板領域A側に伸張された第1サブパターン114−1と、第1サブパターン114−1から延び、フィルムワイヤー領域B側に伸張される第2サブパターン114−2とに区分され得る。第1サブパターン114−1の端部は、フィルム基板領域Aに配置されて、外部接続端子が付着される下部パッド114bに接続され、第2サブパターン114−2の端部は、フィルムワイヤー領域Bに配置されて、半導体チップのパッド(図2Aの132)に接続する上部パッド114aに接続される。
上部膜116の側部の端部116aは、下部膜112の側部の端部112aの位置まで延びていない。したがって、上部パッド114aの上面には上部膜116が形成されないから、上部パッド114aは外部に露出する。フィルムワイヤー領域Bは、上部パッド114aを有するフィルムワイヤー110−nを有する。フィルムワイヤー110−nは、複数のサブフィルムワイヤー110−1、110−2・・・、110−12、110−13で構成される。
また、図2Aに示すように、チップダイアタッチ(Chip Die Attach)工程として、半導体チップ130の非活性面130bがフィルム110の上面110aと対向するように、接着剤120を媒介にしてフィルム110上に接着される。より具体的には、フィルム基板領域A上に半導体チップ130をマウントする。すなわち、フィルム110上に半導体チップ130がマウントされる、いわゆるチップオンフィルム(COF)構造で形成する。接着剤120には、液状タイプの接着剤及びフィルムタイプの接着剤などすべての接着剤を含む。
図2Bに示すように、チップフィルムワイヤーリング工程として、フィルムワイヤー領域Bのフィルムワイヤー110−nを曲げて上部パッド114aをチップパッド132に接触させることにより、半導体チップ130をフィルム110に電気的に接続させる。上部パッド114aとチップパッド132との接続は、周知のように、接着剤を利用する方法、たとえば異方性導電フィルム(ACF)や非導電性ペースト(NCP)などを用いることができる。
上部パッド114aとチップパッド132とを接続するための方法として、周知の金属接合(Metalurgical bonding)法、たとえばウルトラソニック(ultra sonic)、サーモソニック(thermo−sonic)、サーモコンプレッシブサーモソニック(thermo−compressive−thermosonic)、ソルダリング(soldering)法など、様々な方法を選択することができる。
図2Cに示すように、ソルダーボールアタッチ工程として、下部パッド114bに外部接続端子の一例としてソルダーボール160を周知の方法を用いて複数付着させる。これにより、半導体パッケージ100、いわゆるモノスタックパッケージが実現される。
図2Dに示すように、フィルム110は、半導体チップ130がマウントされる基板として機能し、またフィルム110の一部である複数のサブフィルムワイヤー110−1、・・・、110−13は、半導体チップ130とフィルム110とを電気的に接続させるボンディングワイヤーとして機能していることが分かる。
上述の一連のステップを利用して形成された半導体パッケージ100は、可撓性フィルム110が基板として機能する。したがって、半導体チップ130が剛体であっても、基板であるフィルム110は可撓性であるから、熱膨張係数差によって発生する半導体チップ130とフィルム110とが曲がる現象がなくなるか、または最小になる。その上、絶縁性上部膜112、絶縁性下部膜116により取り囲まれた金属パターン114をボンディングワイヤーとして用いるので、金属パターン114間の接触が発生しないため、従来のようなワイヤスイープ現象は発生しない。さらに、極めて薄いフィルム110を基板及びボンディングワイヤーとして使用するので、半導体パッケージ100の全体厚が極めて薄くなる。
図4A〜図4Eは、本発明の一実施の形態による半導体パッケージの製造方法を示す工程別断面図であり、図4Fは、本発明の一実施の形態による半導体パッケージを示す斜視図である。
図4Aを参照すれば、第1チップダイアタッチ工程として、半導体チップ130の非活性面130bがフィルム110の上面110aと対向するように、接着剤120を媒介にして、フィルム110上に半導体チップ130(以下、第1半導体チップと略す)をマウントする。フィルム110、接着剤120及び第1半導体チップ130についての説明は、図2A、図3A及び図3Bを参照して説明したとおりである。
例外的に、図3Aを再度参照すれば、一例として、フィルムワイヤー110−nの中で、奇数番目のサブフィルムワイヤー110−1、110−3、・・・、110−11、110−13は、フィルム110と第1半導体チップ(図4Dの130)を電気的に接続させるボンディングワイヤーとして用いられ、偶数番目のサブフィルムワイヤー110−2、110−4、・・・、110−10、110−12は、第1半導体チップ(図4Dの130)上に積層される第2半導体チップ(図4Dの150)とフィルム110とを電気的に接続させるボンディングワイヤーとして用いられる。
図4Bに示すように、第1チップフィルムワイヤーリング工程として、フィルムワイヤー110−nの中で偶数番目のサブフィルムワイヤー110−2、110−4、・・・、110−12を除いた奇数番目のサブフィルムワイヤー110−1、110−3、・・・、110−13を曲げて、上述の周知の方法を用いて、第1半導体チップ130のチップパッド132と上部パッド114aとを互いに接触させる。これにより、第1半導体チップ130とフィルム110とは、電気的に接続される。
図4Cに示すように、第2チップダイアタッチ工程として、接着剤140を媒介にして、第1半導体チップ130の活性面130a上に第2半導体チップ150をマウントする。第2半導体チップ150は、活性面150aと非活性面150bとを有し、活性面150aには、複数のチップパッド152が配列される。接着剤140には、液状タイプの接着剤及びフィルムタイプの接着剤などは、上述のようにすべての接着剤を含む。
第1半導体チップ130と第2半導体チップ150との間の間隔d、すなわちボンドライン厚(BLT)は、極めて薄いサブフィルムワイヤー110−1、110−3、・・・、110−13を使用するため、極めて薄くすることができるという長所がある。特に、第1半導体チップ130と第2半導体チップ150との間の間隔dを極めて薄くするとしても、図3Bから分かるように、金属パターン114は、絶縁性の上下部膜112、116により取り囲まれているので、第2半導体チップ150の非活性面150bと金属パターン114との接触はしない。したがって、薄いボンドライン厚でより多くの半導体チップの積層が可能である。
図4Dに示すように、第2チップフィルムワイヤーリング工程として、偶数番目のサブフィルムワイヤー110−2、110−4、・・・、110−12を曲げて、上述の周知の方法を用いて、第2半導体チップ150のチップパッド152と上部パッド114aとを互いに接触させる。これにより、第2半導体チップ150とフィルム110とは電気的に接続される。
図4Eに示すように、ソルダーボールアタッチ工程として、下部パッド114bに外部接続端子の一例として、周知の方法を用いてソルダーボール160を複数付着させる。これにより、半導体パッケージ200、いわゆるデュアルスタックパッケージが実現される。
図4Fに示すように、フィルム110は、半導体パッケージ200において基板として機能しており、フィルム110の一部である奇数番目のサブフィルムワイヤー110−1、・・・、110−13は、第1半導体チップ130とフィルム110とを電気的に接続させるボンディングワイヤーとして機能し、偶数番目のサブフィルムワイヤー110−2、・・・、110−12は、第2半導体チップ150とフィルム110とを電気的に接続させるボンディングワイヤーとして機能していることが分かる。
図5A及び図5Bは、本発明の一実施の形態による可撓性フィルムの一部を示す平面図である。
図5Aに示すように、フィルム110の中で奇数番目のサブフィルムワイヤー110−1、110−3、・・・、110−13の長さL1と偶数番目のサブフィルムワイヤー110−2、110−4、・・・、110−12の長さL2が同じ場合も、図4Eから分かるように、半導体パッケージ200の外側に奇数番目のサブフィルムワイヤー110−1、110−3、・・・、110−13が偶数番目のサブフィルムワイヤー110−2、110−4、・・・、110−12に比べて、所定の長さ(M)だけ突出される。余分の長さ(M)を除去すれば、半導体パッケージ200の幅を減らして短小化を実現するのに役立つので、図5Bのように、奇数番目のサブフィルムワイヤー110−1、110−3、・・・、110−13の長さL1を偶数番目のサブフィルムワイヤー110−2、110−4、・・・、110−12の長さL2に比べて短くすることができる。
図6は、本発明の他の実施の形態による可撓性フィルムを示す平面図である。
図6に示すように、本発明の他の実施の形態のフィルム210は、図3A及び図3Bに示すフィルム110のように、絶縁性下部膜212と絶縁性上部膜216とが積層され、上下部膜212、216の間に導電性パターン214が介在された可撓性フィルムである。フィルム210は、基板として機能するフィルム基板領域Aとボンディングワイヤーとして機能するフィルムワイヤー領域Bとに区分される。導電性パターン214は、フィルム基板領域A側に伸張された第1サブパターン214−1と、第1サブパターン214−1から分岐されて延び、フィルムワイヤー領域B側に伸張される第2サブパターン214−2と第3サブパターン214−3とで構成される。第1サブパターン214−1の端部は、フィルム基板領域Aに配置されて、外部接続端子(図4Fの160)が付着される下部パッド214bに接続される。第2及び第3サブパターン214−2、214−3のそれぞれの端部は、フィルムワイヤー領域Bに配置されて、半導体チップ(図4Eの130、150)のそれぞれに接続する上部パッド214a、214a’に接続される。すなわち、本フィルム210は、2個の上部パッド214a、214a’が一つの下部パッド214bから伸張された形態であるから、たとえデュアルスタックパッケージにおいて上下部の半導体チップが一つの外部接続端子を共有する場合の使用に適している。
一例として、奇数番目のサブフィルムワイヤー210−1、210−3、・・・、210−11、210−13は、下部半導体チップ(図4Fの130)に接続され、偶数番目のサブフィルムワイヤー210−2、210−4、・・・、210−10、210−12は、上部半導体チップ(図4Fの150)に接続される。奇数番目のサブフィルムワイヤー210−1、210−3、・・・、210−11、210−13の中で第1サブフィルムワイヤー210−1は、下部半導体チップ(図4Fの130)に電気的に接続するサブフィルムワイヤー210−1aと、上部半導体チップ(図4Fの140)に電気的に接続するサブフィルムワイヤー210−1bとで構成される。すなわち、第1サブフィルムワイヤー210−1は、2個の半導体チップの両側に接続され、2個の半導体チップは、第1サブフィルムワイヤー210−1に接続した一つの外部接続端子を共有するものである。
図5A及び図5Bに示すように、下部半導体チップに接続するサブフィルムワイヤー210−1aの長さは、上部半導体チップに接続するサブフィルムワイヤー210−1bの長さと同一または短いことができる。以上の第1サブフィルムワイヤー210−1に関する説明は、他の奇数番目のサブフィルムワイヤー210−3、・・・、210−11、210−13にも同様に適用される。
偶数番目のサブフィルムワイヤー210−2、210−4、・・・、210−10、210−12の中で第2サブフィルムワイヤー210−2は、下部半導体チップ(図4Fの130)に電気的に接続するサブフィルムワイヤー210−2aと、上部半導体チップ(図4Fの150)に電気的に接続するサブフィルムワイヤー210−2bとで構成される。第2サブフィルムワイヤー210−2は、2個の半導体チップの両側に接続され、2個の半導体チップは、第2サブフィルムワイヤー210−2に接続した一つの外部接続端子を共有する。図5A及び図5Bのように、下部半導体チップに接続するサブフィルムワイヤー210−2aの長さは、上部半導体チップに接続するサブフィルムワイヤー210−2bの長さと同一または短いことができる。以上の第2サブフィルムワイヤー210−2に関する説明は、他の偶数番目のサブフィルムワイヤー210−4、・・・、210−10、210−12にも同様に適用される。
上述した実施の形態は、本発明を単に例示する目的のために開示されたものであり、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、様々な置換、変形、及び変更が可能であり、このような置換、変更などは、本発明の技術的範囲に属するものである。
本発明は、半導体パッケージに関する技術分野に有用である。
100、200 半導体パッケージ、
110 可撓性フィルム、
110a フィルムの上面、
110b フィルムの下面、
110−n フィルムワイヤー、
110−1、・・・、110−13 サブフィルムワイヤー、
112 絶縁性下部膜、
114 導電性パターン、
114a 上部パッド、
114b 下部パッド、
116 上部膜、
120、140 接着剤、
130、150 半導体チップ、
130a、150a 活性面、
130b、150b 非活性面、
132、152 チップパッド、
160 ソルダーボール。
110 可撓性フィルム、
110a フィルムの上面、
110b フィルムの下面、
110−n フィルムワイヤー、
110−1、・・・、110−13 サブフィルムワイヤー、
112 絶縁性下部膜、
114 導電性パターン、
114a 上部パッド、
114b 下部パッド、
116 上部膜、
120、140 接着剤、
130、150 半導体チップ、
130a、150a 活性面、
130b、150b 非活性面、
132、152 チップパッド、
160 ソルダーボール。
Claims (21)
- 半導体チップがマウントされる基板として機能する第1領域と、
前記第1領域から延長され、複数に分けられた部分を含む第2領域と、
前記第1領域側に伸張された第1端部と、
前記第2領域側に伸張され、複数の導電性パターンを含む第2端部と、を含み、
前記第1端部は外部接続端子と電気的に接続され、前記第2端部は前記半導体チップと電気的に接続されることを特徴とする可撓性フィルム。 - 前記複数の導電性パターンを取り囲み、上面と下面とが備えられた絶縁性薄膜をさらに含み、
前記半導体チップは、前記絶縁性薄膜の上面にマウントされ、前記外部接続端子は、前記絶縁性薄膜の下面に付着されることを特徴とする請求項1に記載の可撓性フィルム。 - 前記第1端部は、前記第1領域に配置され、前記外部接続端子に電気的に接続される第1パッドであり、
前記第2端部は、前記第2領域に配置され、前記半導体チップに電気的に接続される第2パッドであることを特徴とする請求項2に記載の可撓性フィルム。 - 前記複数の導電性パターン各々は、
前記第1領域側に伸張され、前記第1端部を有する第1サブパターンと、
前記第1サブパターンから延長され、前記第2領域側に伸張され、かつ前記第2端部を有する第2サブパターンと、
を含むことを特徴とする請求項2に記載の可撓性フィルム。 - 前記複数の導電性パターン各々は、
前記第1領域側に伸張され、前記第1端部を有する第1サブパターンと、
前記第1サブパターンから複数に分岐されて延長され、前記第2領域側に伸張され、かつ前記第2端部を各々有する複数の第2サブパターンと、
を含むことを特徴とする請求項2に記載の可撓性フィルム。 - 前記第2領域の複数に分けられた部分は、前記半導体チップに接続する複数のフィルムワイヤーであり、前記複数のフィルムワイヤーは、その長さが同一であるか、または異なることを特徴とする請求項1に記載の可撓性フィルム。
- 半導体チップと、
前記半導体チップがマウントされるフィルム基板領域と、
前記フィルム基板領域から複数に分岐されて延長され、複数のサブフィルムワイヤーで構成されたフィルムワイヤー領域を備える可撓性フィルムと、
前記フィルム基板領域において前記可撓性フィルムの外面に配置される複数の外部接続端子と、
前記可撓性フィルムの内部に挿入され、前記フィルム基板領域に配置されて、前記複数の外部接続端子のうちのいずれか一つに電気的に接続される第1パッドと、前記フィルムワイヤー領域に配置されて、前記半導体チップに電気的に接続される第2パッドと、を各々有する複数の導電性パターンと、
を含むことを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記可撓性フィルムは、
前記複数の導電性パターンの上下に各々配置された絶縁性上部膜と絶縁性下部膜とをさらに含み、前記絶縁性上部膜の上面には前記半導体チップがマウントされ、前記絶縁性下部膜の下面には前記複数の外部接続端子が付着されることを特徴とする請求項7に記載の半導体パッケージ。 - 前記複数の導電性パターン各々は、
前記フィルム基板領域側に伸張された第1サブパターンと、
前記第1サブパターンから延長され、前記フィルムワイヤー領域側に伸張された第2サブパターンと、
を含むことを特徴とする請求項8に記載の半導体パッケージ。 - 前記半導体チップは、前記フィルム基板領域上にマウントされる第1半導体チップとおよび前記第1半導体チップ上に積層される第2半導体チップを含み、
前記複数のサブフィルムワイヤーは、前記第1半導体チップに電気的に接続される第1サブフィルムワイヤーと、前記第2半導体チップに電気的に接続する第2サブフィルムワイヤーと、を含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体パッケージ。 - 前記複数の導電性パターン各々は、
前記フィルム基板領域側に伸張された第1サブパターンと、
前記第1サブパターンから延長され、前記第1サブフィルムワイヤー及び前記第2サブフィルムワイヤーのうちのいずれか一側へ伸張された第2サブパターンと、
を含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体パッケージ。 - 前記複数の導電性パターン各々は、
前記フィルム基板領域側に伸張された第1サブパターンと、
前記第1サブパターンから延び、前記第1サブフィルムワイヤー及び前記第2サブフィルムワイヤーの両側に分岐されて伸張された複数の第2サブパターンと、
を含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体パッケージ。 - 前記第1半導体チップ及び前記第2半導体チップは、前記複数の外部接続端子のうちの何れかの1つを共有することを特徴とする請求項12に記載の半導体パッケージ。
- 前記第1サブフィルムワイヤーの長さは、前記第2サブフィルムワイヤーの長さよりも短いことを特徴とする請求項12に記載の半導体パッケージ。
- フィルム基板領域と、前記フィルム基板領域から複数に分岐されて延長された複数のサブフィルムワイヤーで構成されたフィルムワイヤー領域と、を備える可撓性フィルムを提供するステップと、
前記可撓性フィルムの上面に半導体チップをマウントするステップと、
前記複数のサブフィルムワイヤーを前記半導体チップに電気的に接続させるステップと、
前記可撓性フィルムの下面に複数の外部接続端子を付着させるステップと、
を含むことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 前記可撓性フィルムは、
導電性パターンが絶縁性膜により取り囲まれ、前記フィルム基板領域には、前記導電性パターンの一部で構成された複数の下部パッドが形成され、前記複数のサブフィルムワイヤー各々には、前記導電性パターンの一部で構成された上部パッドが形成されたことを特徴とする請求項15に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 前記複数のサブフィルムワイヤーを前記半導体チップに電気的に接続させるステップは、
前記上部パッドを前記半導体チップの活性面に電気的に接続させるステップを含むことを特徴とする請求項16に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 可撓性フィルムの上面に半導体チップをマウントするステップは、
第1接着剤を媒介にして、第1半導体チップの非活性面を前記フィルム基板領域上に付着させて、前記第1半導体チップをマウントするステップと、
第2接着剤を媒介にして、第2半導体チップの非活性面を前記第1半導体チップの活性面上に付着させて、前記第2半導体チップをマウントするステップと、
を含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 前記複数のサブフィルムワイヤーを前記半導体チップに電気的に接続させるステップは、
前記複数のサブフィルムワイヤーのうちの一部を前記第1半導体チップの活性面に電気的に接続させるステップと、
前記複数のサブフィルムワイヤーのうちの一部を前記第2半導体チップの活性面に電気的に接続させるステップと、
を含むことを特徴とする請求項18に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 前記第1半導体チップに電気的に接続したサブフィルムワイヤーは、前記第2半導体チップに電気的に接続したサブフィルムワイヤーと前記複数の外部接続端子の中に何れかの1つを共有することを特徴とする請求項19に記載の半導体パッケージの製造方法。
- 前記第1半導体チップに電気的に接続したサブフィルムワイヤーの長さは、前記第2半導体チップに電気的に接続したサブフィルムワイヤーの長さによりも長さが短いことを特徴とする請求項20に記載の半導体パッケージの製造方法。
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