JP2007234683A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回路基板1と、その上に搭載された第1および第2の半導体素子2,3と、半導体素子2,3を含む回路基板1の上面を封止した樹脂4とを備えた半導体装置において、回路基板1はその一方の面から他方の面にわたって延びた金属部6を有し、第1の半導体素子2と第2の半導体素子3とは、回路基板1の金属部6に接続する折曲げ部5aを有した金属板5を介して積層される。
【選択図】図1
Description
この種の半導体装置に、図5に示すように、金属が充填された複数のビアホール26を有した回路基板21の第1の面21aに半導体デバイス22および回路素子23を搭載し、第1の面21aを半導体デバイス22および回路素子23と共に樹脂24により封止する構造にあって、多数のビアホール26に接触するように銅板,銅タングステン板などの金属板25を配置し、その金属板25上に前記半導体デバイス22を搭載することで、放熱性を高めたものがある。
回路基板において、金属部に接続した金属接続部が形成され、第1および第2の半導体素子のそれぞれのために形成されたグランドピンが前記金属部または金属接続部に対して接続されていてよい。
本発明の半導体装置の製造方法は、第1の半導体素子の電極上に突起電極を形成する工程と、前記第1の半導体素子を回路基板の上に互いの対応する電極どうし接合して搭載する工程と、前記第1の半導体素子と回路基板との隙間および周辺部にアンダーフィル樹脂を注入する工程と、前記第1の半導体素子の上に金属板を配置し、この金属板に形成されている折曲げ部を前記回路基板の一方の面から他方の面にわたって延びている金属部に接続する工程と、前記金属板の上に第2の半導体素子を搭載する工程と、前記第2の半導体素子の電極と前記回路基板の電極とを金属細線により電気的に接続する工程と、前記第1の半導体素子および第2の半導体素子を含んだ回路基板の上面を樹脂で封止する工程とを有することを特徴とする。
この半導体装置は、多層配線基板である回路基板1(半導体キャリアとも呼ばれる)と、前記回路基板1上に搭載された第1の半導体素子2(以下、単に半導体素子2という)および第2の半導体素子3(以下、単に半導体素子3という)と、前記半導体素子2,半導体素子3を含む回路基板1の上面を封止した樹脂4とを備えている。
図2(a)に示すように、半導体素子2の電極上にAuバンプ(突起電極)10を形成し、この半導体素子2を、図2(b)に示すように、Auバンプ10などに対応するボンディングパッド11と金属部6とが形成された回路基板1上に導電性接着剤13を用いてフリップチップ実装する。そして半導体素子2と回路基板1との間の隙間と周辺部にアンダーフィル材9を注入する。このアンダーフィル材9はAuバンプ10を保護する役割を果たす。
この半導体装置が図1に示した半導体装置と異なるのは、半導体素子2よりもその上に配置される半導体素子3が大きく、半導体素子3のオーバーハング部が金属板5上に載っている点である。
矩形の回路基板1上に、半導体素子2のためのボンディングパッド11が基板各辺に沿うように四角枠状に配列され、ボンディングパッド11よりも外周側に、半導体素子3のためのボンディングパッド14が基板各辺に沿うように四角枠状に配列されている。
以上、図1〜図4を用いて本発明の実施の形態を説明したが、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変形可能である。
2 第1の半導体素子
3 第2の半導体素子
4 樹脂
5 金属板
5a 折曲げ部
6 金属部
7 金属細線
12 ダイボンド材
11,11a ボンディングパッド
14,14a ボンディングパッド
15 Auメッキ部
16 Auメッキ部
Claims (5)
- 回路基板と、前記回路基板上に搭載された第1および第2の半導体素子と、前記第1および第2の半導体素子を含む回路基板の上面を封止した樹脂とを備えた半導体装置において、前記回路基板はその一方の面から他方の面にわたって延びた金属部を有し、前記第1の半導体素子と第2の半導体素子とは、前記回路基板の金属部に接続する折曲げ部を有した金属板を介して積層されている半導体装置。
- 下層の第1の半導体素子よりも上層の第2の半導体素子が大きく、前記第2の半導体素子のオーバーハング部が金属板上に載っている請求項1記載の半導体装置。
- 回路基板において、金属部に接続した金属接続部が形成され、第1および第2の半導体素子のそれぞれのために形成されたグランドピンが前記金属部または金属接続部に対して接続されている請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体素子と第2の半導体素子の少なくとも一方が高周波半導体素子である請求項1記載の半導体装置。
- 第1の半導体素子の電極上に突起電極を形成する工程と、前記第1の半導体素子を回路基板の上に互いの対応する電極どうし接合して搭載する工程と、前記第1の半導体素子と回路基板との隙間および周辺部にアンダーフィル樹脂を注入する工程と、前記第1の半導体素子の上に金属板を配置し、この金属板に形成されている折曲げ部を前記回路基板の一方の面から他方の面にわたって延びている金属部に接続する工程と、前記金属板の上に第2の半導体素子を搭載する工程と、前記第2の半導体素子の電極と前記回路基板の電極とを金属細線により電気的に接続する工程と、前記第1の半導体素子および第2の半導体素子を含んだ回路基板の上面を樹脂で封止する工程とを有する半導体装置の製造方法。
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