JP2008099221A - 音響振動発生素子 - Google Patents

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Abstract

【課題】 外部電極取出し困難、圧電体と絶縁性補強板の位置ズレによりショートする。
【解決手段】 積層圧電体11の表裏面に電極パターン11a(+)、11b(−)と長手方向の両側面に側面電極12a(+)、12b(−)を配設する。絶縁性補強板13の表裏には、貼付される積層圧電体11の電極パターン形状と略同形状の電極パターン13a(+)、13b(−)が形成され、絶縁性補強板13上の圧電体配設領域外に延出する外部取出用の両極パターン14a(+)、14b(−)を配設する。積層圧電体11に配設された側面電極12a(+)、12b(−)により両極パターンのそれぞれの極性を導通する。絶縁性補強板13の外部導通用のパターン14a(+)、14b(−)にスルーホール15を設け、表裏電極を束ね、絶縁性補強板13に設けた電極パターンの内、積層圧電体11との導通部の間を全てレジスト膜16で覆う。圧電体と絶縁性補強板のショートが回避できる。
【選択図】 図7

Description

本発明は、主として長手方向に延びた絶縁性補強板の表裏面に、予め分極された圧電体を、電極を介して電気的に接続が保たれるように接合した音響振動発生素子に関する。
従来、この種の圧電体の構造として、圧電スピーカなどに多い薄手の圧電体と金属板を貼り合わせた構造のモノモルフや、2枚の圧電体を金属板に貼り合わせた構造のバイモルフがある。モノモルフは、圧電体の面内で伸び縮みすると、貼り合わされた金属板の寸法はそのままであるため反りが生ずる。圧電体に加わる電圧により発生する振動や変位を利用するものである。バイモルフは、比較的大き目の変位を得る場合に用い、2枚の圧電体のそれぞれに差動的な電圧を加えると伸縮方向が反対になるため反りが生ずる。これらの圧電体の電極の接続方法として、モノモルフでは一つの電極は圧電体表面から、もう一つの電極は金属板からリード線やバネ接続等によって取り出している。バイモルフの電極をリード線を用いて取り出す場合、上下圧電体の(+)極と金属板の(−)極の3点を最低でも各々半田付け等を行う必要がある。前記金属板の代わりに絶縁性補強板を使用し、電極の取り出しを簡便にした圧電バイモルフが用いられるようになっている。(例えば、特許文献1参照)
特開2001−345491号(第3〜4頁、図1、図2、図3)
上記した特許文献1に開示されている圧電バイモルフの構造は、図9〜図11で示される。図9、図10において、この圧電バイモルフは、ガラスエポキシ等の絶縁性材質による絶縁性補強板20(例えば、ガラスエポキシ基板)の両面に予め対向するように銅箔等による導電性膜21が部分的に成膜され、且つ、対向する導電性膜21の間が半田メッキ処理等で導電処理されたスルーホール22によって電気的に接続されている。前記絶縁性補強板20の対向する導電性膜21の上にそれぞれ重ね合わせるように圧電セラミクス板23を接合して本体部を成し、この本体部に絶縁性補強板20の一端部に設けられた取付け穴24を用いて絶縁物としての負荷物を取付けて支持固定するように構成されている。
前記絶縁性補強板20の両面は、圧電セラミクス板23の両面よりも面積が大きく、絶縁性補強板20は、両面の一端側部分を導電性膜21を設けず露呈させることで負荷物を取付けるための取付け部分20aとし、且つ、両面の他端部分を圧電セラミクス板23の他端側から導電性膜21の一部を露呈した露呈部分21aは、リード線を接続するための接続部分としている。
図11において、前記絶縁性補強板20に接合された圧電セラミクス板23は、接合面に対向する導電性膜21側に位置される内方表面に内部電極25aが設けられ、接合面と反対の外方表面に外部電極25bが設けられている。前記絶縁性補強板20に対して圧電セラミクス板23を接合する際に、絶縁性補強板20の対向する導電性膜21上にそれぞれ圧電セラミクス板23の内部電極25aが重ね合わせるように接着剤としてエポキシ樹脂による接着剤26を介在させて接着し、各部を積層して本体部分を構成する。更に、本体部分から露呈された導電性膜21の露呈部分21aに対し半田付けによりリード線を取り付ける。この圧電バイモルフにおいて、圧電セラミクス板23の内部電極25aに駆動電圧を印加することができるので、外部電極25bを接地した上、この外部電極25bと内部電極25aの何れか一方のもの又はスルーホール22とに正負の駆動電圧を印加すると、圧電セラミクス板23のピエゾ効果により本体部が左右に湾曲し、これに伴って絶縁性補強板20の一端側に取付けられた負荷物を所定の方向に所定の長さで動かすことができる。
解決しようとする問題点として、上記した構造の圧電バイモルフにおいて、圧電体の電極からの電気接続をするのに、2つの圧電体と本体部分から露呈された導電性膜の露呈部分から、合計3本のリード線により半田付けするので、半田付け作業が必要になる。また、圧電体周りの構造が複雑になる。などの問題があった。
本発明は、上述した欠点を解消するもので、その目的は、リード線等を直接圧電体に半田付けすることなく、圧電体の電極の外部への取出しを一層容易にすることができ、圧電体周りの構造を簡素化し、部品点数の削減によりコストダウンを図ると同時に、圧電体と絶縁性補強板の両パターン間に位置ズレによるショートを回避することが可能な音響振動発生素子を提供するものである。
上記目的を達成するために、本発明における音響振動発生素子は、長手方向に延びた絶縁性補強板の表裏面に、予め分極された圧電体を対向配置して電気的に接続が保たれるように接合した音響振動発生素子において、前記圧電体には少なくとも絶縁性補強板と接合する面に、(+)(−)両極パターンを配設し、前記絶縁性補強板には前記圧電体に配設した(+)(−)両極パターンと対応する位置に圧電体と接続する(+)(−)両極パターンと、該(+)(−)両極パターンから連通して絶縁性補強板上の圧電体配設領域外に延出する外部取出用の(+)(−)両極パターンを配設すると共に、前記絶縁性補強板の表裏面に前記圧電体を対向配置して、前記絶縁性補強板と前記圧電体とを電気的導通手段により接続が保たれるように接合したことを特徴とするものである。
また、前記絶縁性補強板と前記圧電体を対向配置して接続する電気的導通手段は、前記絶縁性補強板に形成され導電処理したスルーホールであることを特徴とするものである。
また、前記絶縁性補強板と前記圧電体を対向配置して接続する電気的導通手段は、前記圧電体の長手方向の両側面に配設された側面電極であることを特徴とするものである。
また、前記絶縁性補強板の両面に対向配置する2枚の圧電体は、前記絶縁性補強板との接合面に(+)(−)両極パターンを配設した圧電セラミクスであることを特徴とするものである。
また、前記絶縁性補強板の両面に対向配置する圧電体は、該圧電体の両面に(+)(−)両極パターンを配設した積層型圧電体であることを特徴とするものである。
また、前記絶縁性補強板の外部取出用の両極パターンにスルーホールを設けることにより、前記積層型圧電体の表裏の電極を束ねて外部電極を取り出すように構成したことを特徴とするものである。
また、前記絶縁性補強板に設けた電極パターンの内、前記積層型圧電体との導通部の間を全てレジスト膜で覆ったことを特徴とするものである。
また、前記積層型圧電体は、多層積層型圧電体であって、積層型圧電体の表裏および層間の対向する電極同士を前記積層型圧電体の長手方向の両側面に配設した側面電極で導通接続され、表裏面に外部電極を有し、前記側面電極で複数層の内部電極を1層とびに束ねたことを特徴とするものである。
また、前記絶縁性補強板上の圧電体配設領域外の延出する外部取出用(+)(−)両極パターンに、(+)(−)両極客先接続用リード線を接続したことを特徴とするものである。
本発明の音響振動発生素子は、圧電体周りを簡素化し、リード線等を直接圧電体に半田付けする必要がなくなるので、圧電体周りの機構が薄型化できる。部品点数の削減により、コストの低減が可能になる。また、積層型圧電体の電極形状と貼り合わせの対象となる絶縁性補強板側の電極形状を合わせているので、圧電体と絶縁性補強板の貼り合わせの位置ズレが起きても、組み立て誤差程度であれば、電極がショートすることを防止することができる。また、同じ分極方向の圧電体を絶縁性補強板の表裏に貼り合わせた際、スルーホール電極によって接続された裏面側の圧電体には表面の圧電体と逆電位が掛かるので、容易にバイモルフを製造できる。更に、レジストで覆うことで、平坦度が増し圧電体をより平面に貼ることができる音響振動発生素子を提供するものである。
本発明の音響振動発生素子について、図面に基づいて説明する。
図1〜図4は、本発明の実施例1に係わり、図1、図2において、この音響振動発生素子を構成する絶縁性補強板1は、ガラエポ基板やFPC材等の絶縁性部材よりなり、絶縁性補強板1の片方の同一面(図では上面)には、後述する圧電体に配設した(+)(−)両極パターンと対応する位置に、圧電体と接続する接続用の(+)極パターン1aと、(−)極パターン1bが配設されている。また、該(+)(−)両極パターン1a、1bと導通パターン1c、1dで導通して絶縁性補強板1の圧電体を配設する領域外に延出する外部取出用の(+)極外部取出しパターン1eと、(−)極外部取出しターン1fが配設されている。更に、後述する2枚の圧電体に配設された(+)(−)両極パターンのそれぞれの極性を繋ぐ半田メッキ等で導電処理されたスルーホール2、3が配設されている。
前記絶縁性補強板1の両面に接合する2枚の圧電体4、5には、それぞれ前記絶縁性補強板1と接合する面に(+)極パターン4a、5aと(−)極パターン4b、5bを配設する。該両極パターンの配設位置は、上記したように、絶縁性補強板1に配設した、(+)極パターン1aと(−)極パターン1bに合致するように配設する。前記圧電体4、5は、絶縁性補強板1の面積より小さくなっている。上記した各電極パターンの大きさは任意に設定される。
前記圧電体4、5と絶縁性補強板1との接合は、各(+)(−)両極パターンのそれぞれの極性を繋ぐように位置合わせする。即ち、スルーホール2を介して、圧電体4の(+)極パターン4aと絶縁性補強板1の(+)極パターン1aと、圧電体5の(+)極パターン5aとが繋がるように、同様に、スルーホール3を介して、圧電体4の(−)極パターン4bと絶縁性補強板1の(−)極パターン1bと、圧電体5の(−)極パターン5bとが繋がるように位置合わせする。その後、エポキシ樹脂等の接着剤を使用して接合する。前記圧電体4、5と絶縁性補強板1との接合は、図示しない、ACF(異方性導電膜)あるいはACP(異方性導電ペースト)を混ぜた接着シートにて接続するか、または、絶縁性補強板1に半田ペーストを印刷し、SMD方式(表面実装:リフロー)にて接続しても良い。
前記圧電体4、5と絶縁性補強板1とが電気的に接合された状態で、前記絶縁性補強板1に配設された(+)極外部取出しパターン1eと、(−)極外部取出しターン1fは、圧電体4、5を配設した領域外に配置される。
本実施例1では、絶縁性補強板の両面に対向配置した2枚の圧電体の電気的接続を、スルーホール電極を介して行ったが、絶縁性補強板の外周側面に設ける図示しない端面連絡導電部で電気的接続を行っても良い。
図3及び図4は、本実施例1の音響振動発生素子の外部取出しパターンにリード線を半田付けした状態を示す斜視図である。図3は基本構成を示し、(+)極外部取出しパターン1eに(+)極客先接続用リード線6を半田付けし、(−)極外部取出しパターン1fに(−)極客先接続用リード線7を半田付けする。図4は応用例図を示し、図3の音響振動発生素子に固定子8を付加した固定子付き音響振動発生素子である。
以上、本実施例1で述べた構成の音響振動発生素子の作用・効果について説明する。本実施例1の圧電体と絶縁性補強板の電気的な接続は、それぞれの極性を繋ぐスルーホール電極により行われ、絶縁性補強板上の圧電体配設領域外に外部設置用のパターンを配置することができる。従来の構造では、最低3本(+極2本、−極1本)にリード線が必要であり、その内、+極を1本に束ねる必要があった。そのため更に別のリード線も必要になる。本実施例1の構造では、客先への回路接続は、(+)極と(−)極の2本あればよいので、客先への回路接続用リード線(外部取出しリード線)を絶縁性補強板の2本取付けるだけですむ。圧電体にリード線を半田付けする必要もなく、圧電体からの電極を容易に取出すことができ、圧電体周りの構造が簡素化され、部品点数の削減により、安価な音響振動発生素子を提供することが可能である。
図5〜図8は、本発明の実施例2に係わり、図5は、絶縁性補強板の表裏に貼付する積層型圧電体の表裏に形成された電極図、図6は、絶縁性補強板の表裏に形成された電極図、図7は、絶縁性補強板に積層型圧電体を貼付した電極図、図8は、多層(9層)積層型圧電体の電極図である。
図5において、図5(a)は積層型圧電体の表面の電極パターン、図5(b)は積層型圧電体の側面図、図5(c)は積層型圧電体の裏面の電極パターンを示す。積層型圧電体11において、11aは(+)極パターン、11bは(−)極パターンで、11a(+)及び11b(−)はそれぞれ島状に分離されている。12a(+)極、12b(−)極は前記積層型圧電体11の長手方向の両側面に配設した側面電極で、積層型圧電体11の表裏面の同極の電極パターンを導通接続する。
図6において、絶縁性補強板13は、ガラエポ基板やFPC材等の絶縁性部材よりなり、図6(a)は絶縁性補強板13の表面の電極パターンで、13aは(+)極パターンであり、図5(c)に示す積層型圧電体1の裏面の(+)極パターン11aに対応しパターン形状を合わせている。13bは(−)極パターンで、図5(c)に示す積層型圧電体11の裏面の電極で、(−)極パターン11bに対応しパターン形状を合わせている。図6(b)は絶縁性補強板13の側面図、図6(c)は絶縁性補強板13の裏面の電極パターンで、13aは(+)極パターンで、図5(a)に示す積層型圧電体11の表面の電極で、(+)極パターン11aに対応する。13bは(−)極パターンである。更に、絶縁性補強板13上の前記積層型圧電体11の配設領域外に延出するように、13a(+)極パターンから連通する外部取出用の(+)極パターン14aと、13b(−)極パターンから連通する外部取出用の(−)極パターン14bを配設する。また、該外部取出用の(+)極パターン14a、(−)極パターン14bには、スルーホール15を設けて表裏の電極を束ね容易に外部電極を取り出すことができる。
図6に示すように、前記絶縁性補強板13に設けた電極パターン13a(+)、13b(−)の内、前記積層型圧電体11との導通部の間を全てレジスト膜16で覆うことにより、積層型圧電体11を貼付する面の平面度を増すことができる。上記したように、絶縁性補強板13の表裏面の電極パターン形状は同形状をしていて、積層型圧電体11が絶縁性補強板13に位置ズレなく貼付されるように絶縁性補強板13に電極パターンが配置されている。
図7において、前記絶縁性補強板13の両面に対称構造をした積層型圧電体11をエポキシ樹脂系の接着剤、接着シートあるいはACF等の図示しない接着層を介在して熱圧着などで貼付したものである。前記絶縁性補強板13上の積層型圧電体11の配設領域外に外部取出用の(+)極パターン14a、(−)極パターン14bが延出されている。
図8において、図8(a)は、図5(a)と同様に積層型圧電体11の外部電極(表面)の電極パターンを示し、図8(d)は、図5(c)と同様に積層型圧電体11の外部電極(裏面)の電極パターンを示す。図8(b)は、内部電極(例えば、2、4、6、8層)、図8(c)は、内部電極(例えば、1、3、5、7層)の電極パターンを示す。上記した9層の積層型圧電体11は、両側面に配設された側面電極12a(+)、12b(−)により1層とびに電極を束ねて導通接続されている。
上記した多層(例えば、9層)積層型圧電体11を前記絶縁性補強板13の片面または両面に貼付して音響振動発生素子を構成しても良い。
上述した実施例1と同様に、絶縁性補強板13上の積層型圧電体11の配設領域外に延出された外部取出用の(+)極パターン14a、(−)極パターン14bに、図示しない(+)(−)両極客先接続用リード線を接続しても良い。
以上、本実施例2で述べた構成の音響振動発生素子の作用・効果について説明する。絶縁性補強板に張り合わせる積層型圧電体の電極パターンの形状は、略同じ形状にすることにより、積層型圧電体と絶縁性補強板の貼り合わせの位置ズレが起きても、組み立て誤差程度であれば、電極がショートすることを防止することができる。また、絶縁性補強板上の積層型圧電体の配設領域外に延出された外部導通用の電極パターンにスルーホールを設け表裏面の電極を束ねることができ、容易に外部電極を取り出すことができる。更に、絶縁性補強板に設けた電極パターンの内、積層型圧電体導通部(接点を取る箇所)間を全てレジストで覆うことで、平坦度が増し積層型圧電体をより平面に貼ることができる。など優れた音響振動発生素子を提供することが可能である。
本発明の実施例1に係わる音響振動発生素子の展開斜視図である。 図1の正面図である。 図1の基本構成を示す斜視図である。 図3に固定子を付加した応用例を示す斜視図である。 本発明の実施例2に係わる積層型圧電体の表裏の電極図である。 図5の積層型圧電体を貼付する絶縁性補強板の表裏の電極図である。 図6の絶縁性補強板に図5の積層型圧電体を貼付した電極図である。 多層(9層)積層型圧電体の電極図である。 従来の圧電バイモルフの側面図である。 図9の平面図である。 図9の要部拡大側面図である。
符号の説明
1,13 絶縁性補強板
1a、13a 絶縁性補強板の(+)極パターン
1b、13b 絶縁性補強板の(−)極パターン
1e、14a (+)極外部取出しパターン
1f、14b (−)極外部取出しパターン
2、3、15 スルーホール
4、5、11 圧電体
4a、5a、11a 圧電体の(+)極パターン
4b、5b、11b 圧電体の(−)極パターン
8 固定子
12a、12b 側面電極
16 レジスト

Claims (9)

  1. 長手方向に延びた絶縁性補強板の表裏面に、予め分極された圧電体を対向配置して電気的に接続が保たれるように接合した音響振動発生素子において、前記圧電体には少なくとも絶縁性補強板と接合する面に、(+)(−)両極パターンを配設し、前記絶縁性補強板には前記圧電体に配設した(+)(−)両極パターンと対応する位置に圧電体と接続する(+)(−)両極パターンと、該(+)(−)両極パターンから連通して絶縁性補強板上の圧電体配設領域外に延出する外部取出用の(+)(−)両極パターンを配設すると共に、前記絶縁性補強板の表裏面に前記圧電体を対向配置して、前記絶縁性補強板と前記圧電体とを電気的導通手段により接続が保たれるように接合したことを特徴とする音響振動発生素子。
  2. 前記絶縁性補強板と前記圧電体を対向配置して接続する電気的導通手段は、前記絶縁性補強板に形成され導電処理したスルーホールであることを特徴とする請求項1記載の音響振動発生素子。
  3. 前記絶縁性補強板と前記圧電体を対向配置して接続する電気的導通手段は、前記圧電体の長手方向の両側面に配設された側面電極であることを特徴とする請求項1記載の音響振動発生素子。
  4. 前記絶縁性補強板の両面に対向配置する2枚の圧電体は、前記絶縁性補強板との接合面に(+)(−)両極パターンを配設した圧電セラミクスであることを特徴とする請求項1または2記載の音響振動発生素子。
  5. 前記絶縁性補強板の両面に対向配置する圧電体は、該圧電体の両面に(+)(−)両極パターンを配設した積層型圧電体であることを特徴とする請求項1または3記載の音響振動発生素子。
  6. 前記絶縁性補強板の外部取出用の両極パターンにスルーホールを設けることにより、前記積層型圧電体の表裏の電極を束ねて外部電極を取り出すように構成したことを特徴とする請求項1、3、5の何れか1項記載の音響振動発生素子。
  7. 前記絶縁性補強板に設けた電極パターンの内、前記積層型圧電体との導通部の間を全てレジスト膜で覆ったことを特徴とする請求項1、3、5、6の何れか1項記載の音響振動発生素子。
  8. 前記積層型圧電体は、多層積層型圧電体であって、積層型圧電体の表裏および層間の対向する電極同士を前記積層型圧電体の長手方向の両側面に配設した側面電極で導通接続され、表裏面に外部電極を有し、前記側面電極で複数層の内部電極を1層とびに束ねたことを特徴とする請求項1、3、5、6、7の何れか1項記載の音響振動発生素子。
  9. 前記絶縁性補強板上の圧電体配設領域外の延出する外部取出用(+)(−)両極パターンに、(+)(−)両極客先接続用リード線を接続したことを特徴とする請求項1〜8の何れか1項記載の音響振動発生素子。
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WO2010001520A1 (ja) * 2008-06-30 2010-01-07 スター精密株式会社 圧電型エキサイタおよび圧電型エキサイタユニット
WO2010087470A1 (ja) * 2009-01-27 2010-08-05 太陽誘電株式会社 圧電発音体

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010001520A1 (ja) * 2008-06-30 2010-01-07 スター精密株式会社 圧電型エキサイタおよび圧電型エキサイタユニット
WO2010087470A1 (ja) * 2009-01-27 2010-08-05 太陽誘電株式会社 圧電発音体
US8669690B2 (en) 2009-01-27 2014-03-11 Taiyo Yuden Co., Ltd. Piezolelectric sound-generating device

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