JP2008096139A - 角速度センサ及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る角速度センサは、アーム部12A,12Bの励振方向を、圧電機能層15A,15Bの膜面と垂直な方向(z軸方向)とするとともに、角速度の検出方向を圧電機能層15A,15Bの膜面と平行な方向(x軸方向)とすることで、アーム部12A,12Bの動作方向が検出方向よりも安定した振動モードを実現し、外乱により振動モードを励振方向から検出方向へ遷移しにくくしている。これにより、外乱に強い角速度センサを構成でき、高精度な出力特性を安定して得ることができるようになる。
【選択図】図3
Description
図1は本発明の第1の実施形態による音叉型の角速度センサ10の概略構成を示す底面図である。本実施形態の角速度センサ10は、基部11と、この基部11から一体的にほぼ同一方向(y軸方向)へ延出された2本のアーム部12A,12Bとを備えている。これら基部11及びアーム部12A,12Bは、シリコンウエハなどの圧電特性を有さない単結晶基板から所定形状に切り出され、一表面に、後述する圧電機能層や各種リード配線部が形成されることによって、角速度センサ10を構成している。
図7は、本発明の第2の実施形態を示している。なお、図において上述の第1の実施形態と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
本発明に係る角速度センサは、基部及び各アーム部が同一シリコン基板で形成され、個片単位で切り出されて作製される。また、圧電膜や各種電極膜は薄膜製造技術が用いられ、パターニングはフォトリソグラフィ技術を用いて実施される。従って、本発明に係る角速度センサにおいては、作製上の加工バラツキなどを原因として、複数のアーム部間で振動形態が異なってしまい、所期の振動特性が得られなくなる場合がある。以下、アーム部の振動方向の補正方法について説明する
図9及び図10は、本発明の第4の実施形態を示している。なお、図において上述の第1の実施形態と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図11A,Bは、本発明の第5の実施形態を示している。本実施形態では、アーム部12の振動方向の補正を、アーム部12に対する外形加工によって行うようにしている。
Claims (10)
- 基部と、
前記基部から一体的にほぼ同一方向へ延出された複数本のアーム部と、
前記アーム部の一表面に形成された圧電膜と、
前記圧電膜の上にそれぞれ形成された励振用の駆動電極及び角速度検出用の検出電極とを備えた角速度センサであって、
前記駆動電極は、前記アーム部を前記一表面と垂直な方向に励振し、
前記検出電極は、前記アーム部の前記一表面と平行な方向への振動を検出する
ことを特徴とする角速度センサ。 - 前記駆動電極及び前記検出電極は、前記アーム部の延在方向とその配列方向に対してそれぞれ直交する方向に法線をもつ当該アーム部のそれぞれの一表面上に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。 - 前記検出電極は、前記圧電膜の上に、前記駆動電極を挟むようにして一対形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。 - 前記検出電極は、前記圧電膜の上に、前記一対の駆動電極に挟まれるようにして形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。 - 前記一対の駆動電極は、相互に電極長が異なっている
ことを特徴とする請求項4に記載の角速度センサ。 - 基部から一体的にほぼ同一方向へ延出された複数本のアーム部の一表面に、圧電膜を介して励振用の駆動電極と角速度検出用の検出電極がそれぞれ形成された角速度センサの駆動方法であって、
前記駆動電極へ駆動信号を入力することによって前記アーム部を前記一表面と垂直な方向に励振するとともに、
前記アーム部の前記一表面と平行な方向への振動を角速度信号として前記検出電極で検出する
ことを特徴とする角速度センサの駆動方法。 - 前記駆動電極は、前記検出電極を挟んで一対配置されており、
前記一対の駆動電極の各々に入力する駆動信号の大きさを当該一対の駆動電極間で異ならせることによって、前記各アーム部の振動方向を補正する
ことを特徴とする請求項6に記載の角速度センサの駆動方法。 - 前記駆動電極は、前記検出電極を挟んで一対配置されており、
前記一対の駆動電極の電極長を相互に異ならせることによって、前記アーム部の振動方向を補正する
ことを特徴とする請求項6に記載の角速度センサの駆動方法。 - 前記アーム部に外形加工を施すことによって、前記アーム部の振動方向を補正する
ことを特徴とする請求項6に記載の角速度センサの駆動方法。 - 前記アーム部の外形加工にレーザー加工法を用いる
ことを特徴とする請求項9に記載の角速度センサの駆動方法。
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JP2006274881A JP2008096139A (ja) | 2006-10-06 | 2006-10-06 | 角速度センサ及びその駆動方法 |
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JP2006274881A Pending JP2008096139A (ja) | 2006-10-06 | 2006-10-06 | 角速度センサ及びその駆動方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103033175A (zh) * | 2011-09-29 | 2013-04-10 | 精工爱普生株式会社 | 传感器元件及其制造方法、传感器装置以及电子设备 |
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JPH0438513U (ja) * | 1990-07-30 | 1992-03-31 | ||
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JP2006023186A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびその製造方法 |
-
2006
- 2006-10-06 JP JP2006274881A patent/JP2008096139A/ja active Pending
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