JP2008090999A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板と、基板上に形成された軟磁性下地層と、軟磁性下地層上に形成され、規則的なパターンを有する組織層と、組織層のパターンに沿って誘導された偏析によって形成されて規則的なグラニュラー構造をなす磁性体グレーンと磁性体グレーンを隔離させる非磁性体境界とを有する記録層と、を備えることを特徴とする磁気記録媒体である。これにより、記録層に対するエッチング加工なしに規則的なグラニュラー構造を形成して記録密度を大幅に向上させうる。
【選択図】図1A
Description
110 軟磁性下地層
120 中間層
120a 突出部
120b トレンチ
140 組織層
160 記録層
161 磁性体グレーン
162 非磁性体境界
Claims (26)
- 基板と、
前記基板上に形成された軟磁性下地層と、
前記軟磁性下地層上に形成され、規則的なパターンを有する組織層と、
前記組織層のパターンに沿って形成されて規則的なグラニュラー構造をなす磁性体グレーンと前記磁性体グレーンを隔離させる非磁性体境界とを有する記録層と、を備えることを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記軟磁性下地層は、突出部と前記突出部の間のトレンチとで形成された規則的なパターンを有し、
前記組織層は、前記軟磁性下地層の突出部とトレンチとにそれぞれ対応する突出部及びトレンチが形成された規則的なパターンを有することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。 - 前記軟磁性下地層と前記組織層との間に介在され、突出部と前記突出部の間のトレンチで形成された規則的なパターンを有する中間層をさらに備え、
前記組織層は、前記中間層の突出部とトレンチにそれぞれ対応する突出部及びトレンチが形成された規則的なパターンを有することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。 - 前記中間層は、非磁性の金属、酸化物、窒化物または高分子化合物で形成されていることを特徴とする請求項3に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性体グレーンは、前記組織層の突出部で結晶成長していて、前記非磁性体境界は、前記パターンのトレンチで結晶成長して前記磁性体グレーンを取り囲んでいることを特徴とする請求項2ないし4のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記組織層は、Ru、MgO、Ptのうち少なくとも何れか一つの物質を含むことを特徴とする請求項1ないし4のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性体グレーンは、垂直磁気異方性を有することを特徴とする請求項1ないし4のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体
- 前記磁性体グレーンは、Co系またはFe系磁性体合金で形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記磁性体グレーンは、CoPt、FePt、CoPd、FePd、CoCrPtからなるグループから選択された少なくとも何れか一つの物質で形成されていることを特徴とする請求項8に記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性体境界は、非磁性の酸化物または窒化物で形成されていることを特徴とする請求項1ないし4のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性体境界は、SiO2、TiO2、ZrO2、SiNからなるグループから選択された少なくとも何れか一つの物質で形成されていることを特徴とする請求項10に記載の磁気記録媒体。
- 基板上に軟磁性下地層と、組織層と、記録層とが順次に積層された磁気記録媒体の製造方法において、
前記組織層に隔離された突出部と前記隔離された突出部を取り囲むトレンチとで形成された規則的なパターンを形成する工程と、
前記組織層の隔離された突出部に対応する磁性体グレーンと前記トレンチに対応する非磁性体境界との規則的なグラニュラー構造を有する記録層を形成する工程と、を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記組織層に規則的なパターンを形成する工程は、
前記軟磁性下地層に中間層を形成する工程と、
前記中間層にパターンを形成する工程と、
前記中間層上に組織層を成長させて、前記中間層のパターンに対応するパターンを有する組織層を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項12に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記中間層にパターンを形成する工程は、
前記中間層上にインプリント用レジンを塗布する工程と、
前記レジンにパターンを転写する工程と、
前記パターンが転写されたレジンをマスクとして前記中間層をエッチングする工程と、
前記レジンを除去する工程と、を含むことを特徴とする請求項13に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記中間層にパターンを形成する工程は、
前記軟磁性下地層上にインプリント用レジンを塗布する工程と、
前記レジンにパターンを転写する工程と、
前記パターンが転写されたレジン上に中間層を蒸着する工程と、
リフトオフを利用して中間層にパターンを形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項13に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記中間層は、非磁性の金属、酸化物、窒化物、高分子のうち何れか一つであることを特徴とする請求項14または15に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記中間層にパターンを形成する工程は、
前記軟磁性下地層上にインプリント用レジンを塗布する工程と、
前記レジンにパターンを転写する工程と、
前記パターンが形成されたレジンを硬化させて中間層を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項13に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記レジンは、
有機シリコン系高分子化合物で形成されることを特徴とする請求項17に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記組織層に規則的なパターンを形成する方法は、
前記軟磁性下地層にパターンを形成する工程と、
前記軟磁性下地層上に組織層を成長させて、前記軟磁性下地層のパターンに対応するパターンを有する組織層を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項12に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記軟磁性下地層にパターンを形成する工程は、
前記軟磁性下地層上にインプリント用レジンを塗布する工程と、
前記レジンにパターンを転写する工程と、
前記レジンに転写されたパターンをマスクとして、前記軟磁性下地層をエッチングする工程と、
前記レジンを除去する工程と、を含むことを特徴とする請求項19に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記レジンにパターンを転写する工程は、
熱インプリントまたは紫外線インプリントを利用することを特徴とする請求項14、15、17及び20のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 前記組織層は、Ru、MgO、Ptのうち少なくとも何れか一つの物質を含むことを特徴とする請求項12ないし20のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記記録層の磁性体グレーンは、Co系またはFe系磁性体合金であることを特徴とする請求項12ないし20のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記磁性体グレーンは、CoPt、FePt、CoPd、FePd、CoCrPtからなるグループから選択された少なくとも何れか一つの物質であることを特徴とする請求項12ないし20のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記記録層の非磁性体境界は、非磁性の酸化物または窒化物であることを特徴とする請求項12ないし20のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記非磁性体境界は、SiO2、TiO2、ZrO2、SiNからなるグループから選択された少なくとも何れか一つの物質であることを特徴とする請求項12ないし20のうち何れか1項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
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