JP2008078408A5 - - Google Patents
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Claims (5)
- 基板の一方面側に設けられた下電極と、前記下電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられた上電極と、を有する圧電素子を備え、
前記下電極が、PtとTiOX(0.1≦x≦2)との合金からなる密度弾性調整層を有し、
前記下電極を厚さ方向に二次イオン質量分析装置(SIMS)により測定した際に、前記密度弾性調整層中でPtイオンが最も弱く検出される部分は、前記密度弾性調整層の厚さ方向中心よりも前記圧電体層側であり、
前記密度弾性調整層の前記基板側の境界で検出されるPtイオンの強度Z1と前記密度弾性調整層中でPtイオンが最も弱く検出される部分でのPtイオンの強度Z2との比Z2/Z1が0.05〜0.3、
前記密度弾性調整層の前記基板側の境界で検出されるTiイオンの強度Z3と前記密度弾性調整層中でPtイオンが最も弱く検出される部分でのTiイオンの強度Z4との比Z4/Z3が0.6〜1.0、
前記密度弾性調整層の前記基板側の境界で検出されるOイオンの強度Z5と前記密度弾性調整層中でPtイオンが最も弱く検出される部分でのOイオンの強度Z6との比Z6/Z5が1.5〜4.0、の範囲内であることを特徴とするアクチュエータ装置。 - 前記密度弾性調整層は、前記基板側よりも前記圧電体層側のヤング率が高いことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ装置。
- 前記下電極が、前記基板側から順に、PtとTiとの合金からなるPt−Ti層と、TiOXとPtとの合金からなる密度弾性調整層と、PtからなるPt層と、IrからなるIr層と、を具備することを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ装置。
- 請求項1〜3の何れか一項に記載のアクチュエータ装置を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項4に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする画像記録装置。
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