JP2008078081A - 電界放出電子源及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電界放出電子源1は、基板2を具備している。基板2には、配線層3が形成されており、配線層3の上には絶縁層4が形成されている。絶縁層4には、複数の貫通孔5が設けられており、これらの貫通孔5内に導電性ビアプラグ6が配設されている。絶縁層4及び導電性ビアプラグ6の上部を覆うようにダイヤモンド層7が形成されている。
【選択図】図1
Description
"NATURE"Vol.437 13 Oct.,2005 P.968
図1に示すように、第1の実施形態に係る電界放出電子源1は、例えば、シリコン、ガラス、金属、セラミック等からなる基板2を具備している。この基板2には、銅等の導体からなる配線層3が形成されており、配線層3の上には絶縁層4が形成されている。絶縁層4には、複数の貫通孔5(ビアホール)が設けられており、これらの貫通孔5内に導電性ビアプラグ6が配設されている。これらの導電性ビアプラグ6は、本実施形態では、カーボンナノチューブ束によって形成されている。そして、絶縁層4及び導電性ビアプラグ6の上部を覆うようにダイヤモンド層7が形成されている。なお、図1において、8は、カーボンナノチューブを形成するための触媒分散層を示している。
図3は、第2の実施形態に係る電界放出電子源の断面構造を示すものである。なお、図3に示す第2の実施の形態にかかる電界放出電子源1aにおいて、上述した第1の実施の形態と同様の部材については、第1の実施の形態と同様の符号を付し、上記の説明を参照することでここでは詳細な説明は省略する。
図4(a)は、第3の実施形態に係る電界放出電子源の断面構造を示すものであり、図4(b)は、図4(a)のA−A線で切った断面である。なお、図4に示す第3の実施の形態にかかる電界放出電子源1bにおいて、上述した第1の実施の形態と同様の部材については、第1の実施の形態と同様の符号を付し、上記の説明を参照することでここでは詳細な説明は省略する。
図5(a)は、第4の実施形態に係る電界放出電子源の断面構造を示すものであり、図5(b)は、図4(a)のB−B線で切った断面である。なお、図5に示す第4の実施の形態にかかる電界放出電子源1cにおいて、上述した第1の実施の形態と同様の部材については、第1の実施の形態と同様の符号を付し、上記の説明を参照することでここでは詳細な説明は省略する。
図6は、第5の実施形態に係る電界放出電子源の断面構造を示すものである。なお、図6に示す第5の実施の形態にかかる電界放出電子源1dにおいて、上述した第1の実施の形態と同様の部材については、第1の実施の形態と同様の符号を付し、上記の説明を参照することでここでは詳細な説明は省略する。
図7(a)は、第6の実施形態に係る電界放出電子源の断面構造を示すものであり、図7(b)は、図7(a)のα方向から見た平面図である。なお、図7に示す第6の実施の形態にかかる電界放出電子源1fにおいて、上述した第1の実施の形態と同様の部材については、第1の実施の形態と同様の符号を付し、上記の説明を参照することでここでは詳細な説明は省略する。
以上のような構成をそなえることで、放出する電子のビームの偏向や整形等を行うことができる。
Claims (7)
- 基板と、
前記基板上に設けられた配線層と、
前記配線層の上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層を貫通して設けられた複数の導電性ビアプラグと、
前記絶縁層及び前記導電性ビアプラグの上に設けられたダイヤモンド薄膜層と
を具備したことを特徴とする電界放出電子源。 - 請求項1記載の電界放出電子源であって、
前記導電性ビアプラグが、バリスティック性の伝導特性を示すカーボンナノチューブによって構成されていることを特徴とする電界放出電子源。 - 請求項2記載の電界放出電子源であって、
前記配線層と前記絶縁層との間に、前記カーボンナノチューブを形成するための触媒分散層が形成されていることを特徴とする電界放出電子源。 - 請求項1乃至3のいずれか1項記載の電界放出電子源であって、
前記ダイヤモンド薄膜層は、0以下の電子親和力特性を備えることを特徴とする電界放出電子源。 - 請求項1乃至4のいずれか1項記載の電界放出電子源であって、
前記絶縁層中に、前記導電性ビアプラグ内の伝導制御用の電界印加用電極を配設したことを特徴とする電界放出電子源。 - 基板上に配線層を形成する工程と、
前記配線層の上に絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層を貫通する貫通孔を形成する工程と、
複数の前記貫通孔内に導電性ビアプラグを形成する工程と、
前記絶縁層及び前記導電性ビアプラグの上にダイヤモンド薄膜層を形成する工程と
を具備したことを特徴とする電界放出電子源の製造方法。 - 請求項6記載の電界放出電子源の製造方法であって、
前記配線層を形成する工程と、前記絶縁層を形成する工程との間に、触媒分散層を形成する工程を具備し、
前記導電性ビアプラグを形成する工程では、前記触媒分散層の上にバリスティック性の伝導特性を示すカーボンナノチューブを形成することを特徴とする電界放出電子源の製造方法。
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