JP2008076242A - 目視マクロ検査装置、基板検査システム、基板処理システム、目視マクロ検査方法 - Google Patents
目視マクロ検査装置、基板検査システム、基板処理システム、目視マクロ検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008076242A JP2008076242A JP2006256077A JP2006256077A JP2008076242A JP 2008076242 A JP2008076242 A JP 2008076242A JP 2006256077 A JP2006256077 A JP 2006256077A JP 2006256077 A JP2006256077 A JP 2006256077A JP 2008076242 A JP2008076242 A JP 2008076242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- macro
- substrate
- visual
- inspection
- macro inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
【解決手段】基板搬送システム110を介して自動マクロ検査装置130や目視マクロ検査装置140と接続され、基板カセット300を介して基板200の授受を行う目視マクロ検査装置140において、基板受け払いシステム112に到来した基板カセット300のカセットID201に基づいて、収容された基板200のマクロ画像203をマクロ画像表示部143に表示して、目視検査員に目視検査が必要なマクロ画像203を選択させ、選択されたマクロ画像203に対応する基板200のみを基板カセット300から目視マクロ検査ステージ141aに取り寄せて目視検査を行う。基板カセット300内の基板200の全てを検査する必要がなく、また欠陥205を含む基板200が看過されることもない。
【選択図】 図2
Description
複数の前記基板のマクロ画像を外部から取得して表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含む目視マクロ検査装置を提供する。
自動マクロ検査装置で取得された前記基板のマクロ画像および/または自動検査結果を検索する検索手段と、
前記検索手段によって得られた前記マクロ画像および/または自動検査結果を表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含む目視マクロ検査装置を提供する。
前記マクロ画像および/または自動検査結果の検索結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置に搬送させる搬送制御部と、
を含む基板検査システムを提供する。
前記基板のマクロ画像の撮影および自動マクロ検査を実行する自動マクロ検査装置と、
目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置と、
前記マクロ画像および/または前記自動マクロ検査の検査結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置の前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に搬送させる搬送制御部と、
を含む基板処理システムを提供する。
複数の前記基板のマクロ画像をユーザに提示する第1ステップと、
前記ユーザによって選択された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に取り寄せる第2ステップと、
を含む目視マクロ検査方法を提供する。
図1は、本発明の第1実施の形態である目視マクロ検査装置140の構成の一例を示す概念図であり、図2は、本実施の形態の目視マクロ検査装置140を含む基板処理システム100の構成の一例を示す概念図である。
基板200は、所定の枚数を単位として基板カセット300に収納された状態で、個々の基板処理装置120や、自動マクロ検査装置130、目視マクロ検査装置140の間を搬送され、基板受け払いシステム112を介して各装置の内部に取り込まれる。
個々の基板200には基板ID202が付与されて識別され、当該基板200を収納する個々の基板カセット300にはカセットID201が付与されて識別される。
カセット受け台112aは、カセット搬送路111から到来した基板カセット300や、処理済みの基板200が収納され、払い出しを待つ基板カセット300が載置される。
たとえば、自動マクロ検査装置130は、図示しないラインセンサ等によって、基板200の全体を走査することで、マクロ画像203を撮影するとともに、マクロ画像203と、予め登録されている欠陥の辞書パターンとを比較することで、基板200における欠陥の有無を判別し、マクロ画像203とともに自動判定結果204として出力する。
図3は、本実施の形態におけるマクロ画像記憶装置131に格納されるマクロ画像データベース132の一例を示す概念図である。
マクロ画像記憶装置131は、自動マクロ検査装置130の内部に設けられていてもよいし、別に画像サーバとして自動マクロ検査装置130の外部に設けられていてもよい。
目視マクロ検査ステージ141aは、載置された基板200を照明光に対して三次元的に任意の角度で傾動させることが可能である。
また、搬送制御部144は、基板搬送ロボット112bの動作の制御により、カセット受け台112aに載置された基板カセット300と、目視マクロ検査ステージ141aとの間における個々の基板200の搬送動作を制御する。
基板処理装置120において、所定の処理が行われた基板200は、必要に応じて、基板カセット300に収納されて自動マクロ検査装置130に移動し、全数に対して、自動マクロ検査装置130におけるマクロ画像203の撮影および当該マクロ画像203に基づく自動マクロ検査が実施され、得られたマクロ画像203および自動判定結果204の情報は、カセットID201、基板ID202等の情報とともにマクロ画像記憶装置131のマクロ画像データベース132に格納される。
図5は、本実施の形態の目視マクロ検査装置140における作用の一例を示すフローチャートである。
目視検査員はこのマクロ画像により基板200の欠陥205を確認し、目視検査が必要な基板200をマクロ画像表示部143におけるマウスポインタ143aにより指定して選択することができる。
このように、本実施の形態の目視マクロ検査装置140の場合には、基板受け払いシステム112に基板カセット300が到着した時点で、当該基板カセット300に収納された全ての基板200に関するマクロ画像203および自動判定結果204をマクロ画像表示部143に出力して、目視検査員に閲覧させ、目視検査員が事前に基板200の欠陥を確認し、目視検査が必要な基板200のみを装置内の目視マクロ検査ステージ141aへ取り寄せることができるため、基板カセット300に収納された全ての基板200を、欠陥205の有無に関係なく全て目視マクロ検査ステージ141aに取り込んで目視検査を行う場合に比較して、基板受け払いシステム112と目視マクロ検査ステージ141aとの間における基板200の無駄な搬送時間が発生せず、目視マクロ検査の作業時間の短縮を実現できる。
なお、上述の第1実施の形態と共通する部分の説明は割愛し、異なる部分を説明する。
図6は、本発明の第2実施の形態である目視マクロ検査装置140の構成の一例を示す概念図である。図7は、第2実施の形態におけるマクロ画像表示部143のマクロ画像表示・検索画面の表示例を示す説明図である。図8は、本第2実施の形態の作用の一例を示すフローチャートである。
この場合、マクロ画像検索部145は、たとえば、基板情報として入力欄143dに入力されたカセットID201に基づいてマクロ画像データベース132を検索することにより、当該基板カセット300に収容されている全ての基板200に対応したマクロ画像203と自動判定結果204をマクロ画像表示部143に表示させることができる。
あるいは、入力欄は特に図示しないが、工程番号206の指定を、上述の検索条件として単独に用いたり、上述の各種検索条件と併用することもできる。
以下、本第2実施の形態の作用の一例について説明する。
このように、本第2実施の形態では、基板カセット300を、外部から目視マクロ検査装置140の基板受け払いシステム112まで搬送することなく、任意の基板200のマクロ画像203を目視マクロ検査装置140の操作者が確認して、目視検査が必要か否かを判断できるため、目視検査が不要な場合は、外部から目視マクロ検査装置140の基板受け払いシステム112への基板カセット300の搬送時間も削減でき、大幅な目視マクロ検査の作業時間の短縮を実現することができる。
このようにすることにより、マクロ欠陥と同様に検査時間の短縮と欠陥が存在する基板200の次工程への流出防止を実現できる。
110 基板搬送システム
111 カセット搬送路
112 基板受け払いシステム
112a カセット受け台
112b 基板搬送ロボット
113 カセットステーション
120 基板処理装置
130 自動マクロ検査装置
131 マクロ画像記憶装置
132 マクロ画像データベース
140 目視マクロ検査装置
141 マクロ検査部
141a 目視マクロ検査ステージ
142 目視検査制御部
143 マクロ画像表示部
143−1 マクロ画像表示画面
143−2 検索画面
143a マウスポインタ
143b 目視検査完了ボタン
143c カセット検査完了ボタン
143d 入力欄
143e 検索ボタン
144 搬送制御部
145 マクロ画像検索部
146 情報ネットワーク
200 基板
201 カセットID
202 基板ID
203 マクロ画像
204 自動判定結果
205 欠陥
206 工程番号
300 基板カセット
Claims (9)
- 外部から目視マクロ検査ステージ上に到来する基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置であって、
複数の前記基板のマクロ画像を外部から取得して表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含むことを特徴とする目視マクロ検査装置。 - 請求項1記載の目視マクロ検査装置において、
前記基板は所定の単位でカセットに収納された状態で、前記目視マクロ検査装置に接続される受け払い部に到来し、
前記搬送制御部は、前記受け払い部に到来した前記カセットの識別情報を前記画像表示手段に伝達し、
前記画像表示手段は、前記識別情報に基づいて、前記カセットに収納されている複数の前記基板の前記マクロ画像をユーザに提示し、前記ユーザが選択した画像に対応する前記基板を前記カセットから前記目視マクロ検査ステージ上に搬送するように前記搬送制御部に指示することを特徴とする目視マクロ検査装置。 - 請求項1記載の目視マクロ検査装置において、
前記マクロ画像は、自動マクロ検査装置にて撮影されたマクロ画像であり、前記マクロ画像には、前記自動マクロ検査装置における自動判定結果が随伴し、
前記画像表示手段は、前記マクロ画像とともに当該マクロ画像の前記自動判定結果を表示することを特徴とする目視マクロ検査装置。 - 請求項1記載の目視マクロ検査装置において、
前記基板は、フラットパネルディスプレイ基板であることを特徴とする目視マクロ検査装置。 - 外部から目視マクロ検査ステージ上に到来する基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置であって、
自動マクロ検査装置で取得された前記基板のマクロ画像および/または自動検査結果を検索する検索手段と、
前記検索手段によって得られた前記マクロ画像および/または自動検査結果を表示する画像表示手段と、
前記画像表示手段において指定された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に搬送する搬送制御部と、
を含むことを特徴とする目視マクロ検査装置。 - 自動マクロ検査装置で取得された基板のマクロ画像および/または自動検査結果を検索する検索手段と、
前記マクロ画像および/または自動検査結果の検索結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置に搬送させる搬送制御部と、
を含むことを特徴とする基板検査システム。 - 基板に対して所望の処理を行う少なくとも一つの基板処理装置と、
前記基板のマクロ画像の撮影および自動マクロ検査を実行する自動マクロ検査装置と、
目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査装置と、
前記マクロ画像および/または前記自動マクロ検査の検査結果に基づいて目視マクロ検査が必要と判断された前記基板を目視マクロ検査装置の前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に搬送させる搬送制御部と、
を含むことを特徴とする基板処理システム。 - 目視マクロ検査ステージ上に到来する前記基板に光を照射して表面の欠陥を目視で検出する目視マクロ検査方法であって、
複数の前記基板のマクロ画像をユーザに提示する第1ステップと、
前記ユーザによって選択された前記マクロ画像に対応した前記基板を、外部から前記目視マクロ検査ステージ上に選択的に取り寄せる第2ステップと、
を含むことを特徴とする目視マクロ検査方法。 - 請求項8記載の目視マクロ検査方法において、
前記第2ステップでは、前記目視マクロ検査ステージの近傍にカセットに収容されて到来した複数の前記基板の中の一つを、前記カセットから取り出して前記目視マクロ検査ステージ上に搬送することを特徴とする目視マクロ検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006256077A JP2008076242A (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | 目視マクロ検査装置、基板検査システム、基板処理システム、目視マクロ検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006256077A JP2008076242A (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | 目視マクロ検査装置、基板検査システム、基板処理システム、目視マクロ検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008076242A true JP2008076242A (ja) | 2008-04-03 |
JP2008076242A5 JP2008076242A5 (ja) | 2009-11-05 |
Family
ID=39348466
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006256077A Pending JP2008076242A (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | 目視マクロ検査装置、基板検査システム、基板処理システム、目視マクロ検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008076242A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10246704A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Nippon Steel Corp | 半導体ウェハ検査方法及び半導体ウェハ検査装置 |
JP2000097871A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Hitachi Ltd | レビュー装置 |
WO2001041068A1 (fr) * | 1999-11-29 | 2001-06-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Systeme de detection de defaut |
JP2002257734A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-11 | Toray Ind Inc | 目視検査支援システム及びこれを用いた表示デバイスの製造方法 |
JP2002323458A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-11-08 | Hitachi Ltd | 電子回路パターンの欠陥検査管理システム,電子回路パターンの欠陥検査システム及び装置 |
JP2003090802A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査システム |
-
2006
- 2006-09-21 JP JP2006256077A patent/JP2008076242A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10246704A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-09-14 | Nippon Steel Corp | 半導体ウェハ検査方法及び半導体ウェハ検査装置 |
JP2000097871A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Hitachi Ltd | レビュー装置 |
WO2001041068A1 (fr) * | 1999-11-29 | 2001-06-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Systeme de detection de defaut |
JP2002323458A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-11-08 | Hitachi Ltd | 電子回路パターンの欠陥検査管理システム,電子回路パターンの欠陥検査システム及び装置 |
JP2002257734A (ja) * | 2001-02-27 | 2002-09-11 | Toray Ind Inc | 目視検査支援システム及びこれを用いた表示デバイスの製造方法 |
JP2003090802A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査システム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108627457B (zh) | 自动光学检测***及其操作方法 | |
JP3518596B2 (ja) | ソフトバッグ総合検査システム | |
JP4699873B2 (ja) | 欠陥データ処理及びレビュー装置 | |
KR20010101550A (ko) | 결함검사데이터처리시스템 | |
KR100882252B1 (ko) | 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법 | |
JPS62173731A (ja) | 被検査物の表面検査装置 | |
JP2008064595A (ja) | 基板検査装置 | |
JP2010271055A (ja) | 目視検査装置と目視検査方法 | |
JP2010048789A (ja) | プローブの研磨方法、プローブ研磨用プログラム及びプローブ装置 | |
JP2010014436A (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
JP2002277412A (ja) | 検査画面の表示方法及び基板検査システム | |
JP5273926B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
US11682113B2 (en) | Multi-camera visual inspection appliance and method of use | |
JP2006173589A (ja) | データ処理装置,検査作業支援システム、およびデータ処理方法 | |
JP2008130966A (ja) | 欠陥レビュー方法および装置 | |
JP2002267615A (ja) | 欠陥検出方法及びその装置 | |
JP2001305075A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2008186879A (ja) | 基板検査方法 | |
JP2008076242A (ja) | 目視マクロ検査装置、基板検査システム、基板処理システム、目視マクロ検査方法 | |
CN110646432A (zh) | 玻璃裂纹检查***及方法 | |
JP2008147443A (ja) | 工程管理システム及び工程管理方法 | |
JP2007187630A (ja) | パターンの欠陥検出方法およびパターンの欠陥検出装置 | |
JP4374381B2 (ja) | 検査支援システム,データ処理装置、およびデータ処理方法 | |
JP2011029324A (ja) | レシピ更新方法およびレシピ更新システム | |
KR20040069853A (ko) | 반도체 웨이퍼 검사장비 및 검사방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090917 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090917 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110729 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110809 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111213 |