JP2008064694A - 干渉計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空チャンバー113内で被測定物W1 およびTSレンズ107を搭載しているステージ105、106に温調水を流動させる流路110、111を設ける。真空チャンバー113を真空ポンプ117によって減圧する工程で、流路110、111に温調水を供給し、ステージ105、106の温度を制御することで、被測定物W1 およびTSレンズ107の温度低下を抑制する。これにより減圧状態での高精度な測定にもかかわらず高タクトで測定することが可能となる。
【選択図】図1
Description
102 ビームエキスパンダー
103 折り曲げミラー
104 真空窓
105、106 ステージ
107 TSレンズ
110、111 流路
112、212、312 温度制御器
113 真空チャンバー
115 リークバルブ
116 排気バルブ
117 真空ポンプ
118 圧力計
119 温度センサー
210、211 放熱板
1001 レーザ光源
1002 ビームエキスパンダー
1003 偏光ビームスプリッター
1005 参照平面ミラー
1007 真空チャンバー
1008 被測定物
1010 集光レンズ
1012 ストッカー
1018 ワーク交換用サブチャンバー
1020a、1020b ゲートバルブ
Claims (4)
- 真空チャンバーと、前記真空チャンバー内において被測定物の形状を測定するための干渉光学系と、前記真空チャンバーの減圧時に、空気の断熱膨張による前記被測定物の温度低下を抑制するための温調手段と、を有することを特徴とする干渉計測装置。
- 前記温調手段は、断熱膨張により前記被測定物から奪われた熱量を補うための温調水を前記被測定物の近傍に供給する配管手段を有することを特徴とする請求項1記載の干渉計測装置。
- 前記温調手段は、前記被測定物の近傍に配設された放熱部材を有し、前記放熱部材に、断熱膨張により前記被測定物から奪われた熱量を補うのに必要な分の熱量を供給することを特徴とする請求項1記載の干渉計測装置。
- 前記温調手段は、減圧時の断熱膨張により奪われた熱量を供給するために必要な分だけ温度を上昇させた気体を前記真空チャンバー内に供給する機構を有することを特徴とする請求項1記載の干渉計測装置。
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JP2006244980A JP2008064694A (ja) | 2006-09-11 | 2006-09-11 | 干渉計測装置 |
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2006
- 2006-09-11 JP JP2006244980A patent/JP2008064694A/ja active Pending
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