JP2008046460A - ビームスキャナ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持部材に支持された回転軸と、支持部材に固定され、回転軸に突出するように配置された複数の磁極及び凸部を含むヨークと、回転軸に固定された反射鏡と、回転軸のヨーク側を向く側面に固定され、回転軸の径方向に磁化された一対の永久磁石と、磁極に巻かれたコイルとを有し、磁極は中立平面に関し対称に配置されており、凸部は中立平面に関し対称に、かつ、回転軸が中立位置に静止しているとき永久磁石に対向するように配置され、更に、凸部の各々は、隣り合う2つの磁極間に配置され、一対の永久磁石は、回転軸が中立位置に静止しているときに、中立平面に関し対称に配置され、極性が相互に反対向きであり、コイルは、中立平面に関し対称に配置される複数の磁極の回転軸側端部が同一極性に励磁され、かつ、中立平面の一方の側に配置された相互に隣り合う磁極の回転軸側端部が反対極性に励磁されるように巻かれているビームスキャナを提供する。
【選択図】 図4
Description
たとえば、実施例を示す図においては、シャフトが中立位置に静止しているとき、永久磁石が、シャフトの回転方向に関して、相互に隣り合う2つのスロットにまたがるように配置されているが、永久磁石は、相互に隣り合う2つのスロットの間に配置されていてもよい。
8 ステージ
10 加工対象物
12 レーザ発振器
14 レーザビーム
20 第1ガルバノスキャナ
20a 回転ミラー
24 第2ガルバノスキャナ
24a 回転ミラー
30 回転軸
31 第1軸受
32 第2軸受
33 回転ミラー
34 コイル
35 永久磁石
36 ヨーク
37 角度センサ
42 角度センサ
42a スケール
42b エンコーダヘッド
51 ミラー
52 シャフト
53、53a、53b 永久磁石
54a、54b 軸受け
55 ストッパ
61、61a〜d コイル
62 突極形ヨーク
63 ストッパホルダ
64a、64b 軸受けホルダ
65 固定ベース
66a〜d スロット
67a、67b ポール
C 揺動軸
P 仮想平面
Claims (3)
- 支持部材と、
前記支持部材に、回転可能に支持された回転軸と、
前記回転軸の側面の、周方向に関して一部の領域に対向するように配置され、前記支持部材に固定されたヨークであって、該回転軸の側面に対向する面から前記回転軸に向かって突出し、該回転軸の側面との間に間隙を画定し、該回転軸の回転方向に並ぶように配置された複数の磁極、及び、複数の凸部を含むヨークと、
前記回転軸に固定された反射鏡と、
前記回転軸が回転方向に関して中立位置に静止しているとき、前記ヨーク側を向く側面に固定され、回転方向に並ぶように配置され、該回転軸の径方向に磁化された一対の永久磁石と、
前記複数の磁極の各々に巻かれたコイルと
を有し、
前記複数の磁極は、それぞれ前記回転軸の回転中心となる仮想直線を含む中立平面に関して対称の関係になるように配置されており、
前記複数の凸部は、それぞれ前記回転軸の回転中心となる仮想直線を含む中立平面に関して対称の関係になるように、かつ、前記回転軸が回転方向に関して中立位置に静止しているとき、前記永久磁石に対向するように配置され、更に、複数の前記凸部の各々は、回転方向に関して、相互に隣り合う2つの前記磁極の間に配置され、
前記一対の永久磁石は、前記回転軸が中立位置に静止しているときに、前記中立平面に関して相互に対称の関係になるように配置されており、極性が相互に反対向きであり、
前記コイルは、前記中立平面に関して対称の位置に配置される複数の前記磁極の前記回転軸側の端部が同一極性に励磁され、かつ、前記中立平面の一方の側に配置された、相互に隣り合う前記磁極の前記回転軸側の端部が反対極性に励磁されるように巻かれているビームスキャナ。 - 前記回転軸が中立位置に静止しているときに、前記永久磁石が、回転方向に関して、相互に隣り合う2つの前記磁極の間に、または、またがるように配置される請求項1に記載のビームスキャナ。
- 前記複数の磁極のうち1つの磁極が、前記中立平面上に配置されており、該中立平面に関して対称な幾何学的形状を有する請求項1または2に記載のビームスキャナ。
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2006
- 2006-08-18 JP JP2006223126A patent/JP4531022B2/ja not_active Expired - Fee Related
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