JP2008039882A - 光学顕微鏡及び観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の第1の態様にかかる光学顕微鏡は、レーザ光源11と、レーザ光源11からの光ビームを集光して試料20に照射する対物レンズ16と、試料20に入射した光ビームにより発生した光、又は試料20で反射した反射光が入射し、入射位置に応じた位相差を与える偏光制御素子13と、対物レンズ16よりも低いNAを有し、偏光制御素子13を通過した光を集光するレンズ33と、共焦点光学系を介してレンズ33で集光された光を検出する検出器35と、を備えるものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであり、様々な観点からの解析、分析を容易にすることができるレーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
さらに、X方向を向いた分子からの蛍光が、偏光制御素子13を透過すると、アジマス偏光となる。このアジマス偏光のビームを低NAのレンズ33で集光した場合も同様に、焦点での光強度が小さくなる。この場合、蛍光のほとんどが通過できずに、遮光される。すなわち、試料20の焦点からの蛍光のほとんどは、ピンホール34aを通過できない。従って、検出器35に受光される光量が弱くなり、検出信号が弱くなる。
本実施の形態にかかる光学顕微鏡200は、実施の形態1と同様に、落射照明方式のレーザ共焦点顕微鏡である。従って、実施の形態1と重複する構成については、説明を省略する。本実施の形態にかかる光学顕微鏡200では、図14に示すように、実施の形態1と異なり、偏光制御素子13がビームスプリッタ17とピンホールフィルタ34の間に配置されている。この場合、レーザ光源11から試料20に入射する光が偏光制御素子13に入射しない。従って、レーザ光源11とビームスプリッタ17の間に、入射側偏光制御素子43が配置されている。この入射側偏光制御素子43は、偏光制御素子13と同じ構成を有している。従って、直線偏光が入射側偏光制御素子43を通過するとラジアル偏光になり、ラジアル偏光が入射側偏光制御素子43を通過すると直線偏光になる。
本実施の形態にかかる光学顕微鏡300は、実施の形態1、2と同様に、レーザ共焦点顕微鏡であるが、図15に示すように、実施の形態1、2と異なり、透過照明方式の顕微鏡である。ここで、レーザ光源11から試料20までの構成は、実施の形態2とほぼ同様であるため説明を省略する。レーザ光源11からのレーザ光は、ビームエキスパンダ12によりビーム径が拡大される。そして、入射側偏光制御素子43を通過して対物レンズ16で入射する。このとき、対物レンズ16で集光されたレーザ光は、ラジアル偏光になっている。また、回転機構44によって、入射側偏光制御素子43が入射側偏光板45に切換えられる。この場合、直線偏光のレーザ光が試料20に入射する。なお、本実施の形態にかかる光学顕微鏡300は透過照明方式であるため、ビームスプリッタ17が設けられていない。
15 偏光板、16 対物レンズ、17 ビームスプリッタ、
20 試料、21 XYステージ、
33 レンズ、34 ピンホールフィルタ、34a ピンホール、35 検出器、
36 コンデンサレンズ、37 ダイクロイックフィルタ、
43 入射側偏光制御素子、44 回転機構、45 偏光板、
51 PBS、52 ミラー、53 位相板
Claims (17)
- 光源と、
前記光源からの光ビームを集光して試料に照射する対物レンズと、
前記試料に入射した光ビームにより発生した光、又は前記試料で反射した反射光が入射し、入射位置に応じた位相差を与える偏光制御素子と、
前記対物レンズよりも低いNAを有し、前記偏光制御素子を通過した光を集光するレンズと、
共焦点光学系を介して前記レンズで集光された光を検出する光検出器と、を備える光学顕微鏡。 - 前記偏光制御素子を光路上から取り除き、特定の偏光方向の光のみを透過する偏光子を光路中に挿入する切換手段をさらに備える請求項1に記載の光学顕微鏡。
- 前記光路中に挿入される偏光子の吸収軸、又は反射軸を異なる角度に切換えることができることを特徴とする請求項2に記載の光学顕微鏡。
- 前記光源と前記対物レンズの間に配置され、前記光源から前記試料に入射する入射光と、前記試料から前記対物レンズの方向に出射された出射光とを分離するビームスプリッタをさらに備え、
前記偏光制御素子が、前記ビームスプリッタと前記対物レンズとの間に配置されている請求項1乃至3のいずれかに記載の光学顕微鏡。 - 前記光源と前記対物レンズの間に配置され、前記光源から前記試料に入射する入射光と、前記試料から前記対物レンズの方向に出射された出射光とを分離するビームスプリッタをさらに備え、
前記偏光制御素子が、前記ビームスプリッタと前記検出器との間に配置されている請求項1乃至3のいずれかに記載の光学顕微鏡。 - 前記ビームスプリッタと前記光源との間に配置され、入射位置に応じた位相差を与える入射側偏光制御素子をさらに備える請求項5に記載の光学顕微鏡。
- 前記入射側偏光制御素子を光路上から取り除き、特定の偏光方向のみの光を透過する入射側偏光子を前記ビームスプリッタと前記光源との間に挿入する切換手段をさらに備える請求項6に記載の光学顕微鏡。
- 前記入射側偏光制御素子を光路上から取り除き、1/2波長板を前記ビームスプリッタと前記光源との間に挿入する切換手段をさらに備える請求項6に記載の光学顕微鏡。
- 前記偏光制御素子が、前記試料の前記対物レンズが配置された側と反対側に配置され、
前記試料で発生した光が前記試料を透過し、前記偏光制御素子に入射することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光学顕微鏡。 - 前記光源と前記対物レンズとの間に配置され、入射位置に応じた位相差を与える入射側偏光制御素子をさらに備える請求項9に記載の光学顕微鏡。
- 前記入射側偏光制御素子を光路上から取り除き、特定の偏光方向の光のみを透過する入射側偏光子を前記光源と前記対物レンズとの間に挿入する切換手段をさらに備える請求項10に記載の光学顕微鏡。
- 前記光路中に挿入される入射側偏光子の吸収軸、又は反射軸を異なる角度に切換えることができることを特徴とする請求項7又は11に記載の光学顕微鏡。
- 前記入射側偏光制御素子を光路上から取り除き、1/2波長板を前記光源と前記対物レンズとの間に挿入する切換手段をさらに備える請求項9に記載の光学顕微鏡。
- 前記光源と前記入射側偏光制御素子との間に、特定の偏光方向の光のみを透過する光源側偏光子が配置されている請求項6、又は10に記載の光学顕微鏡。
- 前記入射側偏光制御素子に入射する光ビームが直線偏光であることを特徴とする請求項6乃至14のいずれかに記載の光学顕微鏡。
- 前記試料で発生する光が、ラマン散乱光、コヒーレントアンチストークスラマン散乱光、コヒーレントストークスラマン散乱光、第2高調波、蛍光、第3高調波、蛍光、2光子蛍光、又は和周波であることを特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載の光学顕微鏡。
- 光ビームを対物レンズによって、試料に集光して照射するステップと、
前記試料に入射した光ビームにより発生した光、又は前記試料からの反射光に対して、入射位置に応じた位相差を与えるステップと、
前記入射位置に応じた位相差を与えられた光を、前記対物レンズよりも低いNAのレンズで集光するステップと、
前記低いNAのレンズで集光された光を、共焦点光学系を介して検出するステップとを備える観察方法。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009222625A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
JP2009294486A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Tohoku Univ | 顕微鏡 |
JP2010192791A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置 |
WO2011052248A1 (en) * | 2009-11-02 | 2011-05-05 | Olympus Corporation | Beam splitter apparatus, light source apparatus, and scanning observation apparatus |
US8730574B2 (en) | 2009-12-03 | 2014-05-20 | Olympus Corporation | Microscope system |
JP2015125084A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | セイコーエプソン株式会社 | 蛍光観察装置、及び光学部材 |
WO2015111145A1 (ja) * | 2014-01-22 | 2015-07-30 | 日立マクセル株式会社 | 光源装置およびこれを用いた映像表示装置 |
US9182581B2 (en) | 2010-02-26 | 2015-11-10 | Japan Science And Technology Agency | Microscope apparatus, optical pickup apparatus and light irradiation apparatus |
US9257141B2 (en) | 2010-02-26 | 2016-02-09 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Polarization conversion element |
US9310318B2 (en) | 2014-03-25 | 2016-04-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Defect inspection method and defect inspection device |
JP2018072075A (ja) * | 2016-10-26 | 2018-05-10 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 偏光イメージ取得装置、パターン検査装置、偏光イメージ取得方法、及びパターン検査方法 |
JP7479179B2 (ja) | 2020-04-07 | 2024-05-08 | 株式会社タムロン | 光学系、眼底検査装置、眼底撮像装置、及び眼底検査システム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0289016A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-29 | Nikon Corp | 走査型顕微鏡 |
JPH07167793A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-07-04 | Hitachi Ltd | 位相差半導体検査装置および半導体装置の製造方法 |
JPH07318862A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-08 | Hitachi Ltd | 光記録媒体における波面収差の低減方法および光ヘッドおよび光ディスク装置 |
JPH08271792A (ja) * | 1995-04-04 | 1996-10-18 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学顕微鏡 |
JP2005099662A (ja) * | 2002-12-27 | 2005-04-14 | Olympus Corp | 共焦点顕微鏡 |
-
2006
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0289016A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-29 | Nikon Corp | 走査型顕微鏡 |
JPH07167793A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-07-04 | Hitachi Ltd | 位相差半導体検査装置および半導体装置の製造方法 |
JPH07318862A (ja) * | 1994-05-20 | 1995-12-08 | Hitachi Ltd | 光記録媒体における波面収差の低減方法および光ヘッドおよび光ディスク装置 |
JPH08271792A (ja) * | 1995-04-04 | 1996-10-18 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型光学顕微鏡 |
JP2005099662A (ja) * | 2002-12-27 | 2005-04-14 | Olympus Corp | 共焦点顕微鏡 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009222625A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
JP2009294486A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Tohoku Univ | 顕微鏡 |
JP2010192791A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置 |
WO2011052248A1 (en) * | 2009-11-02 | 2011-05-05 | Olympus Corporation | Beam splitter apparatus, light source apparatus, and scanning observation apparatus |
CN102597845A (zh) * | 2009-11-02 | 2012-07-18 | 奥林巴斯株式会社 | 分束器装置、光源装置和扫描观测装置 |
US8730574B2 (en) | 2009-12-03 | 2014-05-20 | Olympus Corporation | Microscope system |
US9257141B2 (en) | 2010-02-26 | 2016-02-09 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Polarization conversion element |
US9182581B2 (en) | 2010-02-26 | 2015-11-10 | Japan Science And Technology Agency | Microscope apparatus, optical pickup apparatus and light irradiation apparatus |
JP2015125084A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | セイコーエプソン株式会社 | 蛍光観察装置、及び光学部材 |
WO2015111145A1 (ja) * | 2014-01-22 | 2015-07-30 | 日立マクセル株式会社 | 光源装置およびこれを用いた映像表示装置 |
JPWO2015111145A1 (ja) * | 2014-01-22 | 2017-03-23 | 日立マクセル株式会社 | 光源装置およびこれを用いた映像表示装置 |
US9310318B2 (en) | 2014-03-25 | 2016-04-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Defect inspection method and defect inspection device |
JP2018072075A (ja) * | 2016-10-26 | 2018-05-10 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 偏光イメージ取得装置、パターン検査装置、偏光イメージ取得方法、及びパターン検査方法 |
JP7479179B2 (ja) | 2020-04-07 | 2024-05-08 | 株式会社タムロン | 光学系、眼底検査装置、眼底撮像装置、及び眼底検査システム |
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