JP2008039435A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 枠電極15内に離隔して設けられた一対の固定電極11、12と、上記一対の固定電極間で加速度に応じて変位し得るようにされ、上記各固定電極との間の静電容量を変化させる質量体13Aを有する可動電極13と、上記質量体に対向して配設され上記枠電極に固定された自己診断用電極14とを備えた構成とする。
【選択図】図1
Description
そして、可動電極13の変位により生ずる上記C1、C2の静電容量の変化を信号処理ASIC部20のセンサ出力として確認することにより正常動作の確認あるいは異常を検出する。
以下、この発明の実施の形態1を図にもとづいて説明する。図1は、実施の形態1によるセンサチップ部10の構成を示す平面図である。信号処理ASIC部20は図5と同様であるため説明を省略する。また、図1において、図6と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。図6と異なる点は、自己診断用電極14の端子形成部14Bと結合部14Cを省略し、対向電極14Aを枠電極15側に延長して枠電極15と一体化した点である。
次に、この発明の実施の形態2を図にもとづいて説明する。図2は、実施の形態2によるセンサチップ部10の構成を示すもので、(a)はシールドを装着した状態を示す平面図、(b)は上記シールドを取り除いた状態を示す平面図、(c)は(a)(b)のB−B線における断面図である。これらの図において、図1と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
自己診断時には、実施の形態1と同様、可動電極13と枠電極15との間に所定の電圧を印加する。実施の形態2ではこの場合、シールド18Aと可動電極13との間にも所定の電圧が印加されることになり、静電気力が作用して質量体13Aに影響を及ぼすことになるが、図2(a)(b)において上下方向に印加される加速度による変動量に比べて無視できるほど微小なものであるため、実際上はほとんど影響しない。
次に、この発明の実施の形態3を図にもとづいて説明する。図3は、実施の形態3による加速度センサの回路構成を示すブロック図で、(a)は通常の加速度センサとしての動作状態を示し、(b)は自己診断時の状態を示す。これらの図において、図5と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
次に、この発明の実施の形態4を図にもとづいて説明する。図4は、実施の形態4による加速度センサの回路構成を示すブロック図で、(a)は通常の加速度センサとしての動作状態を示し、(b)は第2の固定電極と可動電極とで形成されるコンデンサC2を診断対象とする状態を示し、(c)は第1の固定電極と可動電極とで形成されるコンデンサC1を診断対象とする状態を示す。これらの図において、図5と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
そのため、第2の固定電極12は自己診断回路27から所定の電圧が印加されて自己診断電極として作用し、可動電極13の質量体13Aを変位させてコンデンサC1を変化させる。
Claims (4)
- 枠電極内に離隔して設けられた一対の固定電極と、上記一対の固定電極間で加速度に応じて変位し得るようにされ、上記各固定電極との間の静電容量を変化させる質量体を有する可動電極と、上記質量体に対向して配設され上記枠電極に固定された自己診断用電極とを備えた加速度センサ。
- 上記枠電極に装着され、上記枠電極に接続されたシールドを設けたことを特徴とする請求項1記載の加速度センサ。
- 一対の固定電極と、上記各固定電極間に配設され、加速度に応じて変位することにより上記各固定電極との間の静電容量を変化させる可動電極とを有するセンサチップ部と、上記静電容量の変化を電圧に変換して加速度を検出する信号処理回路と、自己診断時に上記固定電極の一方に所定の電圧を印加する自己診断回路と、上記自己診断回路による電圧印加時に上記可動電極と上記信号処理回路との間に接続される自己診断用コンデンサとを備えたことを特徴とする加速度センサ。
- 一対の固定電極と、上記各固定電極間に配設され、加速度に応じて変位することにより上記各固定電極との間の静電容量を変化させる可動電極とを有するセンサチップ部と、上記静電容量の変化を電圧に変換して加速度を検出する信号処理回路と、一方の固定電極と上記可動電極とによって形成されるコンデンサの自己診断時に他方の固定電極に所定の電圧を印加する自己診断回路と、上記自己診断回路による電圧印加時に上記可動電極と上記信号処理回路との間に接続される自己診断用コンデンサと、他方の固定電極と上記可動電極とによって形成されるコンデンサの自己診断時に一方の固定電極に所定の電圧を印加する別の自己診断回路と、上記別の自己診断回路による電圧印加時に上記可動電極と上記信号処理回路との間に接続される別の自己診断用コンデンサとを備えたことを特徴とする加速度センサ。
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