JP2008034409A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器内の処理室に配置された試料台上に保持された試料をこの処理室内に形成したプラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、前記試料台内に配置され内部に供給された冷媒が蒸発しつつ通流する流路と、この試料台と圧縮機,凝縮機及び膨張弁がこの順に連結されて構成され前記冷媒が循環する冷凍サイクルと、前記膨張弁を通った冷媒が分岐して前記試料台内部の前記流路から前記圧縮機に戻る冷媒と合流する冷媒経路と、前記試料台内部の流路を通り冷凍サイクルを循環する冷媒の量及び前記分岐して前記冷媒経路を流れる冷媒の量を調節する調節器とを備えた。
【選択図】図1
Description
2005−83864号公報(特許文献2)に開示されたものが知られている。
50秒以上の時間を要すると考えられる。
10,30は、分岐して蒸発器において熱交換する冷媒と蒸発器を通らずに流れる冷媒の各々の量を調節する調節器である。
(例えば、冷媒流路102への設置の場合)では、各流路のコンダクタンスが同等とすると、冷媒経路102への流量は0〜50%の制御範囲となる。また、冷媒経路102と冷媒迂回路11とに冷媒の流れを瞬時に切り換えたい場合には、流量弁10または30に電磁弁を使用してもよい。
14c,14dの組み合わせにより、その流れが調節されている。本実施例では、試料台1内には冷媒の流路2は独立して冷媒が内部を流れる2つの流路を備えており、このような流路2に対応して、冷媒を供給する供給路が多元的に構成されている。
2aに供給された冷媒はリング状部分の内部で試料台1内の基材と所定の温度または圧力を維持しつつ熱交換して蒸発する。蒸発して気化した気体および液の混合状態の冷媒は、冷媒入口501と反対側の冷媒出口503を通過して冷媒経路403に流出する。
X1,流量弁10の開度B1,流量弁30の開度C1,気化器12の出力Y1にされ、これらの動作条件は、制御装置104からの指令に応じて変動され、ステップ1中の試料4の温度T1が適正に維持される。
106内の圧縮機5の回転数(圧力)および膨張弁7の開度を変化させておき、冷媒の流量と温度(圧力)とを調節しておく。すなわち、図7に示すように、ステップ2開始前に予め、圧縮機5及び膨張弁7に対して当該処理条件に適合した回転数R2,開度A2となるように指令を発信してこれら動作を調節しておく。このようにして温度,流量が調節された冷媒は、冷凍装置106から流量弁10,30及び気化器12の動作により冷媒迂回路11を通り冷凍装置106に戻り循環する。
104…制御装置、105…冷却水路。
Claims (8)
- 真空容器内の処理室に配置された試料台上に保持された試料をこの処理室内に形成したプラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、
前記試料台内に配置され内部に供給された冷媒が蒸発しつつ通流する流路と、この試料台と圧縮機,凝縮機及び膨張弁がこの順に連結されて構成され前記冷媒が循環する冷凍サイクルと、前記膨張弁を通った冷媒が分岐して前記試料台内部の前記流路から前記圧縮機に戻る冷媒と合流する冷媒経路と、前記試料台内部の流路を通り冷凍サイクルを循環する冷媒の量及び前記分岐して前記冷媒経路を流れる冷媒の量を調節する調節器とを備えたプラズマ処理装置。 - 真空容器内の処理室に配置された試料台上に保持された試料をこの処理室内に形成したプラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、
前記試料台内に配置され内部に供給された冷媒が蒸発しつつ通流する流路と、この試料台と圧縮機,凝縮機及び膨張弁がこの順に連結されて構成された冷凍サイクルを通流する第1の冷媒経路と、前記膨張弁を通った冷媒が前記第1の冷媒経路から分岐して前記試料台内部の流路から前記圧縮機に戻る冷媒と合流する第2の冷媒経路と、前記分岐後の第1及び第2の冷媒経路に流れる冷媒の量を調節する調節器とを備えたプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、前記調節器が前記冷媒が分岐する部分と前記試料台との間の冷媒の経路上または前記分岐した冷媒が合流するまでの冷媒の経路上に配置されたプラズマ処理装置。
- 請求項2に記載のプラズマ処理装置において、前記調節器が前記冷媒が分岐する部分と前記試料台との間の第1の冷媒経路上または前記分岐した冷媒が合流するまでの第2の冷媒の経路上に配置されたプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至4の何れかに記載のプラズマ処理装置において、前記試料の処理中に前記試料の温度を上昇させる前に予め前記膨張弁から流出する冷媒の温度及び流量を前記変更後の試料の温度に合わせた条件に調節し、前記試料の温度の変更の際に前記分岐して流れる冷媒の流量を調節して前記予め調節された条件の前記冷媒を前記試料台に供給するプラズマ処理装置。
- 請求項1乃至4の何れかに記載のプラズマ処理装置において、前記試料の処理中に前記試料の温度を上昇させる前に予め前記圧縮機及び膨張弁の動作を前記変更後の試料の温度に合わせた条件に調節し、前記試料の温度の変更の際に前記分岐して流れる冷媒の流量を調節して前記予め調節された条件で前記圧縮機及び膨張弁を動作させて前記冷媒を前記試料台に供給するプラズマ処理装置。
- 真空容器と、この真空容器内の処理室下部に配置されてその上に試料を保持する試料台とを備え、前記試料表面上ので上下に層をなす複数の膜を前記処理室内に形成したプラズマを用いて処理するプラズマ処理装置であって、
前記試料台内に配置され内部に供給された冷媒が蒸発しつつ通流する流路と、この試料台と圧縮機,凝縮機及び膨張弁がこの順に連結されて構成され前記冷媒が前記膨張弁から前記試料台に向かう経路と前記試料台から前記圧縮機に戻る経路とを有した冷凍サイクルと、前記冷媒が前記試料台に向かう経路から分岐して前記試料台内部の前記流路を迂回して前記圧縮機に戻る経路に合流する迂回経路と、前記試料台内部の流路を通り冷凍サイクルを循環する冷媒の量及び前記分岐して前記冷媒経路を流れる冷媒の量を調節する調節器とを備え、
前記複数の膜のうち上方の膜を処理中に前記下方の膜の処理の条件に合わせて圧縮機及び膨張弁を動作させて前記迂回経路に前記冷媒を通流させつつ前記試料台の前記流路に調節器により調節された冷媒を供給するプラズマ処理装置。 - 請求項5乃至7の何れかに記載のプラズマ処理装置において、前記冷媒の合流部分から前記圧縮機までの冷媒の経路上に冷媒の加熱手段を備えたプラズマ処理装置。
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