JP2008032734A - Linear member protecting device and electronic component testing device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体集積回路素子などの各種電子部品(以下、代表的にICデバイスとも称する。)のテストを行う電子部品試験装置において、エア、電力或いは電気信号等を供給するために、ピックアンドプレース装置等において移動部分に追従して移動するチューブやケーブル等の線条体を保護するための線条体保護装置に関する。 The present invention relates to an electronic component testing apparatus for testing various electronic components such as semiconductor integrated circuit elements (hereinafter also referred to as IC devices), in order to supply air, electric power, electric signals, etc. The present invention relates to a wire body protection device for protecting a wire body such as a tube or a cable that moves following a moving part in a place device or the like.
ICデバイスの製造過程では、電子部品試験装置を用いてICデバイスの性能や機能の試験が行われる。この電子部品試験装置では、多数のICデバイスを収容したトレイからICデバイスを取り出し、各ICデバイスをテストヘッドのソケットに電気的に接触させ、電子部品試験装置本体(以下、テスタとも称する。)により試験を実施する。試験が終了すると各ICデバイスをテストヘッドから払い出し、試験結果に応じたトレイに載せ替えることで分類が行われる。 In the process of manufacturing an IC device, the performance and function of the IC device are tested using an electronic component test apparatus. In this electronic component testing apparatus, an IC device is taken out from a tray containing a large number of IC devices, each IC device is brought into electrical contact with a socket of a test head, and an electronic component testing apparatus main body (hereinafter also referred to as a tester) is used. Conduct the test. When the test is completed, each IC device is discharged from the test head, and is classified by replacing it with a tray according to the test result.
こうした電子部品試験装置は、トレイからICデバイスを取り出したり収容するためのピックアンドプレース装置や、ICデバイスをソケットに押し付けるためのデバイス移動装置を備えている。ピックアンドプレース装置やデバイス移動装置の可動ヘッド等の移動部分(以下、移動体とも称する。)には、ICデバイスを吸着保持するためのエアや、モータやヒータ等を作動させるための電力、或いは、各種モータを制御するための電気信号等が、ケーブルやチューブを介して供給されるようになっている。 Such an electronic component testing apparatus includes a pick-and-place apparatus for taking out and storing an IC device from a tray, and a device moving apparatus for pressing the IC device against a socket. In a moving part such as a movable head of a pick-and-place device or a device moving device (hereinafter also referred to as a moving body), air for attracting and holding an IC device, electric power for operating a motor, a heater, or the like, or Electrical signals for controlling various motors are supplied via cables and tubes.
これらチューブやケーブルは、ケーブルベアの中にまとめて収容されており、移動体に追従して移動することが可能となっている。しかしながら、移動体の移動に伴って、ケーブルベア内でチューブやケーブル同士が擦れ合ったり、ケーブルベアの内壁面とチューブやケーブルとが擦れ合うことで、チューブやケーブルが損傷する場合があった。 These tubes and cables are collectively accommodated in a cable bearer, and can move following a moving body. However, as the moving body moves, the tubes and cables may rub against each other within the cable bear, or the inner wall surface of the cable bear and the tubes and cables may rub against each other.
本発明が解決しようとする課題は、線条体の長寿命化を図ることが可能な線条保護装置及びそれを備えた電子部品試験装置を提供することである。 The problem to be solved by the present invention is to provide a wire protection device capable of extending the life of the wire body and an electronic component testing device including the same.
上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品のテストを行う電子部品試験装置が有する移動体に追従して移動する線条体と、前記線条体を保護する2以上の保護部材と、を備えており、前記線条体は、前記保護部材の間に配置されていることを特徴とする線条体保護装置が提供される(請求項1参照)。 In order to achieve the above object, according to the present invention, a linear body that moves following a mobile body included in an electronic component test apparatus that tests an electronic device under test, and two or more that protect the linear body A linear member protection device is provided, wherein the linear member is disposed between the protective members (see claim 1).
上記発明においては特に限定されないが、前記保護部材は、前記線条体よりも大きな断面形状を有することが好ましい(請求項2参照)。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the protective member has a larger cross-sectional shape than the linear body (see claim 2).
上記発明においては特に限定されないが、前記保護部材は、前記線条体の外周面に固定されていることが好ましい(請求項3参照)。 Although it does not specifically limit in the said invention, It is preferable that the said protection member is being fixed to the outer peripheral surface of the said linear body (refer Claim 3).
上記発明においては特に限定されないが、前記保護部材は、前記線条体の長手方向全域に亘って設けられ、又は、前記線条体の長手方向に沿って部分的に設けられていることが好ましい(請求項4参照)。 Although it does not specifically limit in the said invention, It is preferable that the said protection member is provided over the longitudinal direction whole region of the said linear body, or is provided partially along the longitudinal direction of the said linear body. (See claim 4).
上記発明においては特に限定されないが、前記線条体は、流体を流通させる通路を内部に有するチューブ、又は、電線若しくは光ファイバを内部に有するケーブルを含むことが好ましい(請求項5参照)。 Although not particularly limited in the above invention, it is preferable that the linear body includes a tube having a passage through which a fluid flows, or a cable having an electric wire or an optical fiber therein (see claim 5).
上記発明においては特に限定されないが、前記保護部材は、前記通路に流体を流通させない保護専用のチューブ、前記電線に通電させず若しくは前記光ファイバに信号を通過させない保護専用のケーブル、又は、前記電線又は前記光ファイバを有していない保護専用のケーブルから構成されていることが好ましい(請求項6参照)。 Although not particularly limited in the above invention, the protective member is a tube dedicated to protection that does not allow fluid to flow through the passage, a cable dedicated to protection that does not pass current through the electric wire, or does not pass a signal through the optical fiber, or the electric wire Or it is preferable to be comprised from the cable only for protection which does not have the said optical fiber (refer Claim 6).
上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に電気的に接触させて、前記被試験電子部品のテストを行う電子部品試験装置であって、移動体を移動させる移動手段と、上記の線条体保護装置を備えており、前記線条体保護装置は、前記移動体に追従して移動することを特徴とする電子部品試験装置が提供される(請求項7参照)。 In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided an electronic component test apparatus for testing an electronic device under test by electrically contacting an input / output terminal of the electronic device under test with a contact portion of a test head. An electronic component testing apparatus comprising: a moving means for moving a moving body; and the above-mentioned linear body protection device, wherein the linear body protection device moves following the mobile body. Is provided (see claim 7).
本発明では、2以上の保護部材の間に線条体を配置して線条体を保護するので、線条体の長寿命化を図ることができる。 In the present invention, since the linear body is protected by arranging the linear body between two or more protective members, the life of the linear body can be extended.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本発明の実施形態における電子部品試験装置を示す平面図、図2は図1のII-II線に沿った概略断面図、図3は本発明の実施形態における第1のピックアンドプレース装置の側面図、図4は本発明の実施形態におけるケーブルベアの断面図、図5は図4のV-V線に沿った断面図、図6は本発明の他の実施形態におけるケーブルベアの長手方向に沿った断面図、図7〜図12はケーブルベア内におけるチューブ又はケーブル及び保護部材の組み合わせの変形例を示す断面図、図13は図2におけるXIII部の概略断面図である。 1 is a plan view showing an electronic component testing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1, and FIG. 3 is a first pick and place according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 is a sectional view of the cable bear in the embodiment of the present invention, FIG. 5 is a sectional view taken along the line VV of FIG. 4, and FIG. 6 is a longitudinal direction of the cable bear in another embodiment of the present invention. 7 to 12 are cross-sectional views showing a modification of the combination of the tube or the cable and the protective member in the cable bear, and FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of the portion XIII in FIG.
図1及び図2に示すように、本発明の実施形態における電子部品試験装置1は、ハンドラ10、テストヘッド70及びテスタ80を備えており、テストヘッド70とテスタ80とはケーブル81を介して接続されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the electronic component testing apparatus 1 according to the embodiment of the present invention includes a
ハンドラ10は、格納部20、ローダ部30、テスト部40及びアンローダ部50から構成されており、格納部20からローダ部30を介してテスト部40に被試験ICデバイスを供給し、コンタクトアーム420がテストヘッド70のソケット71にICデバイスを押し付けて、テスタ80がテストヘッド70を介してICデバイスのテストを実行した後、アンローダ部50が試験結果に応じて試験済みのICデバイスを分類しながら格納部20に格納するようになっている。
The
<格納部20>
格納部20は、供給トレイストッカ21、分類トレイストッカ22、空トレイストッカ23及びトレイ搬送装置24を備えており、試験前及び試験後のICデバイスを格納することが可能となっている。
<
The
供給トレイストッカ21は、複数の供給トレイを積層して収容しており、各供給トレイには複数の試験前のICデバイスが搭載されている。本実施形態では、図1に示すように、格納部20に2つの供給トレイストッカ21が設けられているが、本発明においては、供給トレイストッカ21の数は特に限定されない。
The
分類トレイストッカ22は、複数の分類トレイを積層して収容しており、それぞれの分類トレイには複数の試験済みのICデバイスが搭載されている。本実施形態では、図1に示すように、格納部20に4つの分類トレイストッカ22が設けられている。分類トレイストッカ22を4つ設けることにより、試験結果に応じて、最大4つの分類にICデバイスを仕分けして格納することが可能となっている。つまり、良品と不良品の分類のみではなく、良品のなかでも動作速度が高速なもの、中速なもの、低速なもの、或いは、不良の中でも再試験が必要なもの等に仕分けすることが可能となっている。なお、本発明においては分類トレイストッカ22の数は特に限定されない。
The classification tray stocker 22 stores a plurality of classification trays stacked, and a plurality of tested IC devices are mounted on each classification tray. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, four
空トレイストッカ23は、複数の空トレイを積層して収容している。それぞれの空トレイは、供給トレイ上に搭載された全てのICデバイスがローダ部30に供給された空となったトレイである。
The
なお、供給トレイ、分類トレイ及び空トレイは、特に図示しないが、いずれもICデバイスを収容可能な凹部が複数形成された同一形状のトレイであり、本実施形態では、便宜上、試験前のICデバイスを搭載しているトレイを供給トレイと称し、試験済みのICデバイスを搭載しているトレイを分類トレイと称し、一つもICデバイスを搭載していないトレイを空トレイと称する。 Although the supply tray, the classification tray, and the empty tray are not particularly illustrated, all of them are trays having the same shape in which a plurality of recesses capable of accommodating IC devices are formed. In this embodiment, for convenience, the IC device before the test. Is referred to as a supply tray, a tray in which a tested IC device is mounted is referred to as a classification tray, and a tray in which no IC device is mounted is referred to as an empty tray.
各ストッカ21〜23には、特に図示しないが、Z軸方向に沿って移動可能なエレベータが設けられており、積層した状態の複数のトレイを昇降させることが可能となっている。
Although not shown in particular, each of the
トレイ搬送装置24は、図1及び図2に示すように、支持レール241、可動ヘッド242及び吸着ヘッド243を備えており、X軸及びZ軸方向に沿ってトレイを移動させることが可能となっている。このトレイ搬送装置24は、供給トレイストッカ21、分類トレイストッカ22及び空トレイストッカ23を包含する動作範囲を有している。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
支持レール241は、ハンドラ10の装置基台11上にX軸方向に沿って設けられている。可動ヘッド242は、この支持レール241にX軸方向に沿って移動可能に支持されている。4つの吸着ヘッド243は、可動ヘッド242に下向きに装着されており、特に図示しないアクチュエータによりZ軸方向に沿って移動可能となっている。なお、支持レール241に対して移動可能な可動ヘッド242に追従して移動するチューブやケーブルに、後述するようなチューブ316、ケーブル317及び保護部材318〜320から構成される保護構造を適用してもよい。
The
トレイ搬送装置24は、全ての試験前のICデバイスをローダ部30に供給して空となった空トレイを、供給トレイストッカ21から空トレイストッカ23に移動させる。また、トレイ搬送装置24は、分類トレイが試験済みのICデバイスで満杯となった場合に、空トレイストッカ23から分類トレイストッカ22に空トレイを移送する。
The
<ローダ部30>
ローダ部30は、第1のピックアンドプレース装置31、ヒートプレート32及び2つのバッファ部33を備えており、格納部20から試験前のICデバイスを取り出し、所定の熱ストレスを印加した後にテスト部40に供給するようになっている。
<Loader
The
第1のピックアンドプレース装置31は、図1に示すように、支持レール311、可動レール312、可動ヘッド313及び吸着ヘッド314を備えており、4つのICデバイスをXYZ軸に沿って移動させることが可能となっている。この第1のピックアンドプレース装置31は、供給トレイストッカ21、ヒートプレート32及び第1のバッファ部33を包含する動作範囲を有している。
As shown in FIG. 1, the first pick-and-
支持レール311は、ハンドラ1の装置基台11上にY軸方向に沿って設けられている。可動レール312は、2本の支持レール311の間にY軸方向に沿って移動可能に支持されている。可動ヘッド313は、可動レール312にX軸方向に沿って移動可能に設けられている。さらに、吸着ヘッド314は、可動ヘッド313に下向きに装着されており、モータ等のアクチュエータ(不図示)によりZ軸方向に沿って移動可能となっている。
The
図3に示すように、可動レール312にはケーブルベア315の一端が固定されており、支持レール311上を移動する可動レール312にケーブルベア315が追従するようになっている。このケーブルベア315は、多数のケーブルベアユニット315aを連結して構成されている。各ケーブルベアユニット315aの内部には、エアチューブや電気ケーブル等を束ねて挿入可能な挿通部315bがそれぞれ形成されている(図4参照)。隣接するユニット315a同士は、関節軸315cを中心として相互に回転可能となっていると共に、それらの挿通部315bが互いに連通している。
As shown in FIG. 3, one end of a
図4に示すように、このケーブルベア315において連通した挿通部315bには、例えばチューブ316が挿入されている。このチューブ316は、例えば吸着ヘッド314にエアを供給するために、エアを流通可能な通路316aが内部に形成されている。
As shown in FIG. 4, for example, a
さらに、本実施形態では、ケーブルベア315の挿通部315bに2つの保護部材318が挿入されている。保持部材318は何れも、内部に流体を流通可能な通路318aが形成された既製品のチューブであるが、実際には通路318aに流体を流通させない保護専用のチューブである。このように、保護部材318として既製品のチューブを用いることにより低コスト化を図ることができる。
Furthermore, in this embodiment, two
図4に示すように、各保護部材318は、保護対象であるチューブ316よりも大きな断面形状を有している。また、チューブ316は2つの保護部材318の間に配置されており、チューブ316と各保護部材318は、例えば熱融着等により互いに固定されている。このため、チューブ316が、他のチューブやケーブル等と擦れ合ったり、ケーブルベア315の内壁面と擦れ合うのを防止することができ、チューブ316の長寿命化を図ることができる。
As shown in FIG. 4, each
さらに、本実施形態では、チューブ316が2つの保護部材318よりも内側に位置している。具体的には、図4に示すように、2つの保護部材318に接する上下2つの仮想接線318bの間にチューブ316が位置している。これにより、チューブ316とケーブルベア315の内壁面とが擦れ合うのをさらに防止することができる。なお、図4において下側に位置する仮想接線318bは、ケーブルベア315の内壁面と重なって図示されている。
Furthermore, in this embodiment, the
本実施形態では、図5に示すように、2つの保護部材318は、チューブ316の長手方向全域に亘ってチューブ316に並行して設けられている。なお、図6に示すように、チューブ316の長手方向に沿って部分的(間欠的)に保護部材318を設けてもよい。
In the present embodiment, as shown in FIG. 5, the two
図7はケーブルベア内におけるチューブ又はケーブル及び保護部材の組み合わせの変形例1を示す断面図である。図7に示すように、チューブ316と2つの保護部材318とを固定せずに、これらをケーブルベア315の挿通部315b内に挿入してもよい。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a modified example 1 of a combination of a tube or a cable and a protective member in a cable carrier. As shown in FIG. 7, the
図8及び図9はケーブルベア内におけるチューブ又はケーブル及び保護部材の組み合わせの変形例2及び変形例3を示す断面図である。図8及び図9に示すように、2つの保護部材318の間に、2つのチューブ316を配置してもよい。この場合、図8に示すように、チューブ同士316を熱融着等により固定すると共に、保護部材318とチューブ316を熱融着等により固定して、2つのチューブ316と2つの保護部材318を連結してもよい。或いは、図9に示すように、チューブ316同士を固定せず、且つ、チューブ316と保護部材318同士も固定せずに、ケーブルベア315の挿通部315b内に挿入してもよい。
8 and 9 are cross-sectional views showing Modification 2 and Modification 3 of the combination of the tube or the cable and the protective member in the cable track. As shown in FIGS. 8 and 9, two
図10〜図12はケーブルベア内におけるチューブ又はケーブル及び保護部材の組み合わせの変形例4〜6を示す断面図である。変形例4におけるケーブルベア315の挿通部315bにはケーブル317が挿入されている。このケーブル317は、例えば可動ヘッド313を昇降させるモータに電力を供給するための電線317aを内部に有している。なお、ケーブル317の代わりに、例えばモータに制御信号(電気信号)を送信するための電線や光ファイバを内部に有するケーブルを用いてもよい。
FIGS. 10-12 is sectional drawing which shows the modifications 4-6 of the combination of the tube in a cable bear, or a cable, and a protection member. The
変形例4では、ケーブルベア315の挿通部315bに2つの保護部材319が挿入されている。保護部材319は何れも、電線319aを内部に有する既製品のケーブルであるが、実際には電線319aに通電させない保護専用のケーブルである。このように、保護部材319として既製品のケーブルを用いることにより低コスト化を図ることができる。
In Modification 4, two
なお、保護部材319として、電線319aの代わりに、光ファイバを内部に有するケーブルを用いてもよい。また、図11に示すように、保護部材319の代わりに、通路318aが内部に形成された保護部材318を用いてもよい。或いは、図12に示すように、保護部材319の代わりに、中空でない円柱状の保護部材320を用いてもよい。なお、本発明においては、保護部材の断面形状は円形に特に限定されず、例えば三角形状や矩形形状であってもよい。また、保護対象がチューブ316である場合に、保護部材318の代わりに、電線319a等を内部に有する保護部材319や、中空でない円柱状の保護部材320を用いてもよい。さらに、チューブ316、ケーブル317及び保護部材318〜320の表面を改質することでこれらの耐久性を向上させてもよい。
Note that a cable having an optical fiber inside may be used as the
以上のようなチューブ316、ケーブル317及び保護部材318〜320から構成される保護構造を、第1のピックアンドプレース装置31において、可動レール312に対して移動可能な可動ヘッド313に追従して移動するチューブやケーブルに適用してもよい。
The protective structure composed of the
図1に戻り、以上のような構成の第1のピックアンドプレース装置31は、供給トレイストッカ21の供給トレイからヒートプレート32に、例えば4つのICデバイスを同時に搬送し、ヒートプレート32にてICデバイスに所定の熱ストレスを印加した後、そのICデバイスをヒートプレート32から第1のバッファ部33に再び移動させる。
Returning to FIG. 1, the first pick-and-
ヒートプレート32は、例えば下部に発熱源(不図示)を有する金属プレートでから構成されており、試験前のICデバイスに所定の熱ストレスを印加することが可能となっている。このヒートプレート32の上面には、ICデバイスを収容可能な凹部321が多数形成されている。
The
第1のバッファ部33は、図1に示すように、アクチュエータ331と可動ヘッド332を備えている。アクチュエータ331は、例えばエアシリンダ等から構成されており、ハンドラ10の装置基台11上にX軸方向に伸縮可能に設けられている。可動ヘッド332は、アクチュエータ331の駆動軸の先端に固定されている。可動ヘッド332の上面には、ICデバイスを収容可能な4つの凹部333が形成されている。
As shown in FIG. 1, the
この第1のバッファ部33は、第1のピックアンドプレース装置31により可動ヘッド332の各凹部333にICデバイスが落とし込まれると、アクチュエータ331を伸長させて、ローダ部30の領域からテスト部40の領域にICデバイスを移動させるようになっている。
When the IC device is dropped into each
<テスト部40>
テスト部40は、デバイス移動装置41と4つのアライメント装置43を備えており、画像処理技術を用いて試験前のICデバイスをソケット71に対して高精度に位置決めした後に、テストヘッド70のソケット71にICデバイスを押し付けることが可能となっている。
<
The
図2に示すように、テスト部40の下方に空間12が形成されており、この空間12にテストヘッド70が挿入され、テスト部40の下方にテストヘッド70が位置している。
As shown in FIG. 2, a
図2及び図13に示すように、テスト部40における装置基台11には開口11aが形成されている。また、テストヘッド70の上部には、4つのソケット71が装着されている。各ソケット71は、ICデバイスの入出力端子に対応するように配置された多数のコンタクトピンを備えている。そして、テストヘッド70の上部に装着されたソケット71が、開口11aを介して、ハンドラ10の内部に臨んでいる。
As shown in FIGS. 2 and 13, an opening 11 a is formed in the
デバイス移動装置41は、図1に示すように、支持レール411、可動レール412及び可動ヘッド413から構成されており、ICデバイスを保持してXYZ軸方向に移動させることが可能となっている。このデバイス移動装置41は、開口11aを介してハンドラ10内を臨んでいるソケット71とアライメント装置43とを包含する動作範囲を有している。
As shown in FIG. 1, the
支持レール411は、ハンドラ10の装置基台11上にY軸方向に沿って設けられている。可動レール412は、2本の支持レール411の間にY軸方向に沿って移動可能に支持されている。可動ヘッド413は、可動レール412に支持されており、アクチュエータ415(図13参照)によりZ軸方向に昇降可能となっている。
The
なお、図1に示すように、本実施形態では、2本の支持レール411の間に2つの可動レール412が独立して移動可能に支持されている。そのため、一方の可動レール412がアライメント装置43に移動してICデバイスの位置のアライメントを行っている間に、他方の可動レール412がソケット71上に移動してICデバイスのテストを行うことが可能となっている。
As shown in FIG. 1, in this embodiment, two
また、本実施形態では、特に図示しないが、上述の第1のピックアンドプレース装置31と同様に、可動レール412にケーブルベア315の一端が固定されており、そのケーブルベア315内に挿入されているチューブ316やケーブル317が保護部材318〜320の間に配置されていることにより保護されている。このため、チューブ316が、他のチューブやケーブル等と擦れ合ったり、ケーブルベア315の内壁面と擦れ合うのを防止することができ、チューブやケーブルの長寿命化を図ることができる。
In the present embodiment, although not particularly illustrated, one end of the
可動ヘッド413は、図13に示すように、ICデバイスを吸着保持するコンタクトアーム420を備えている。このコンタクトアーム420は、テストヘッド70のソケット71に対応するように、可動ヘッド413に下向きに設けられている。なお、図13では、便宜上、一つのコンタクトアーム420しか図示していないが、実際には、図1に示すように、4つのコンタクトアーム420が可動ヘッド413に設けられており、これらのコンタクトアーム420は、テストヘッド70のソケット71に対応するように、2行2列に配列されている。
As shown in FIG. 13, the
各コンタクトアーム420は、固定側アーム421、ロックアンドフリー機構422及び保持側アーム423を備えている。固定側アーム421は、その上端でアクチュエータ415の駆動軸に固定されており、その下端でロックアンドフリー機構422を介して保持側アーム423に連結されている。
Each
ロックアンドフリー機構422は、特に図示しないが、加圧エアを利用して、固定側アーム421に対する保持側アーム423の相対移動を拘束したり、非拘束としたりすることが可能となっている。また、ロックアンドフリー機構422は、固定側アーム421の中心軸と保持側アーム423の中心軸とを実質的に一致させるセンタリング機能も備えている。
Although not particularly shown, the lock-and-
保持側アーム423は、ICデバイスを吸着保持するための吸着パッド424が下端に設けられていると共に、その吸着パッド424を囲うように環状の当接部材425が設けられている。また、保持側アーム423の内部には、ヒータ426及び温度センサ427が埋め込まれている。保持側アーム423の温度を温度センサ427により計測することでICデバイスの温度を間接的に検出し、この測定値に基づいてヒータ426のON/OFF制御を行うことにより、ICデバイスを所望の温度に維持することができる。
The holding
アライメント装置43は、図13に示すように、ステージ431、ミラー432及びカメラ433を備えており、ステージ431に当接している保持側アーム423の位置や姿勢のアライメントを行うことで、ICデバイスをソケット71に対して高精度に位置決めすることが可能となっている。なお、本実施形態では、デバイス移動装置41が2つの可動ヘッド413を備えていることに対応して、図1に示すように、2組合計4個のアライメント装置43が設けられている。
As shown in FIG. 13, the
ステージ431は、特に図示しないモータ機構により、XY平面における移動及び回転動作が可能となっている。また、ステージ431の略中央部には、ICデバイスが通過可能であり且つ環状の当接部材425が周囲に当接可能な内径を有する開口431aが形成されている。
The
カメラ433は、横置きされた例えばCCDカメラであり、ミラー432及びステージ431の開口431aを介して、保持側アーム423に保持されているICデバイスを撮像することが可能となっている。
The
このアライメント装置43では、保持側アーム423がステージ431に当接し且つロックアンドフリー機構422を非拘束状態とした状態で、カメラ433によりICデバイスを撮像し、この画像データに画像処理を行うことでアライメント量を算出し、このアライメント量に基づいてステージ431を駆動させる。このステージ431の動きに保持側アーム423が追従することで、保持側アーム423に保持されているICデバイスが相対的に位置決めされる。
In this
アライメント装置43による位置決めが完了したら、ロックアンドフリー機構422を再び拘束状態とした後に、デバイス移動装置41がICデバイスをテストヘッド70のソケット71へ移動させ、コンタクトアーム420がICデバイスをソケット71に押し付け、この状態でテスタ80がICデバイスのテストを実行する。ICデバイスのテストが完了したら、デバイス移動装置41は、アンローダ部50の第2のバッファ部51に試験済みのICデバイスを払い出す。
After the positioning by the
<アンローダ部50>
アンローダ部50は、図1に示すように、2つの第2のバッファ部51と第2のピックアンドプレース装置52を備えており、テスト部40から試験済みのICデバイスを搬出して、当該ICデバイスを試験結果に応じて分類しながら格納部20に移動させるようになっている。
<
As shown in FIG. 1, the
第2のバッファ部51は、第1のバッファ部33と同様に、アクチュエータ511と可動ヘッド512から構成されており、試験済みのICデバイスをテスト部40の領域からアンローダ部50の領域へと移動させることが可能となっている。
Similar to the
第2のピックアンドプレース装置52は、第1のピックアンドプレース装置31と同様に、支持レール521、可動レール522、可動ヘッド523及び吸着ヘッド524を備えており、4つのICデバイスをXYZ軸に沿って移動させることが可能となっている。この第2のピックアンドプレース装置52は、第2のバッファ部51及び4つの分類トレイストッカ22を包含する動作範囲を有している。
Similar to the first pick-and-
本実施形態では、特に図示しないが、上述の第1のピックアンドプレース装置31と同様に、可動レール522にケーブルベア315の一端が固定されている。そして、このケーブルベア315内には、チューブ316やケーブル317が挿入されており、これらチューブ316やケーブル317は保護部材318〜320の間に配置されている。このため、チューブ316やケーブル317が、他のチューブやケーブル等と擦れ合ったり、ケーブルベア315の内壁面と擦れ合うのを防止することができ、チューブ316やケーブル317の長寿命化を図ることができる。
In the present embodiment, although not particularly illustrated, one end of the
なお、上述のチューブ316、ケーブル317及び保護部材318〜320から構成される保護構造を、第2のピックアンドプレース装置52において、可動レール522に対して移動可能な可動ヘッド523に追従して移動するチューブやケーブルに適用してもよい。
The protective structure composed of the
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiment described above is described for facilitating the understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.
上述の実施形態では、ケーブルベア内に収容されたチューブやケーブルに保護装置を適用した例について説明したが、本発明においては特に限定されず、ケーブルベアに収容されずに外部に露出しているチューブやケーブルに保護装置を適用してもよい。 In the above-described embodiment, the example in which the protective device is applied to the tube or the cable accommodated in the cable bear has been described. However, the present invention is not particularly limited, and is exposed to the outside without being accommodated in the cable bear. You may apply a protective device to a tube or a cable.
上述の実施形態では2つの保護部材を用いて保護装置を構成したが、本発明において保護部材の数は特に限定されず、例えば、保護対象であるチューブやケーブルの周囲に3つ以上の保護部材を囲むように配置してもよい。 In the above-described embodiment, the protection device is configured using two protection members. However, in the present invention, the number of protection members is not particularly limited. For example, three or more protection members are provided around a tube or cable to be protected. You may arrange so that it may surround.
上述の実施形態では、チューブ316又はケーブル317がケーブルベア315内に挿入されている場合について説明したが、本発明においては特に限定されず、例えば、チューブ316とケーブル31が一つのケーブルベア315内に混在していてもよい。また、ケーブルベア315内に挿入されているチューブ316やケーブル317の本数は任意に設定することができる。
In the above-described embodiment, the case where the
1…電子部品試験装置
10…ハンドラ
20…格納部
30…ローダ部
31…第1のピックアンドプレース装置
311…支持レール
312…可動レール
313…可動ヘッド
314…吸着ヘッド
315…ケーブルベア
315a…ケーブルベアユニット
315b…挿通部
315c…関節軸
316…チューブ
317…ケーブル
318…保護部材
318a…通路
318b…仮想接線
319…保護部材
319a…電線
320…保護部材
40…テスト部
41…デバイス移動装置
50…アンローダ部
52…第2のピックアンドプレース装置
70…テストヘッド
80…テスタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electronic
315a: Cable carrier unit
315b ... insertion part
315c ...
318a ... passage
318b ...
319a ...
Claims (7)
前記線条体を保護する2以上の保護部材と、を備えており、
前記線条体は、前記保護部材の間に配置されていることを特徴とする線条体保護装置。 A linear body that moves following a moving body of an electronic component testing apparatus that tests an electronic device under test; and
Two or more protective members for protecting the striatum,
The said linear body is arrange | positioned between the said protection members, The linear body protection apparatus characterized by the above-mentioned.
流体を流通させる通路を内部に有するチューブ、又は、電線若しくは光ファイバを内部に有するケーブルを含むことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の線条体保護装置。 The striatum is
The linear body protection device according to any one of claims 1 to 4, further comprising: a tube having a passage through which a fluid flows, or a cable having an electric wire or an optical fiber inside.
移動体を移動させる移動手段と、
請求項1〜6の何れかに記載の線条体保護装置を備えており、
前記線条体保護装置は、前記移動体に追従して移動することを特徴とする電子部品試験装置。 An electronic component testing apparatus for testing the electronic device under test by bringing an input / output terminal of the electronic device under test into electrical contact with a contact portion of a test head,
Moving means for moving the moving body;
It comprises the striatum protection device according to any one of claims 1 to 6,
The said linear body protection apparatus moves following the said mobile body, The electronic component test apparatus characterized by the above-mentioned.
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JP2003168326A (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Sumitomo Wiring Syst Ltd | Cable harness |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05274922A (en) * | 1992-03-27 | 1993-10-22 | Hitachi Cable Ltd | Flat cable |
JP2003168326A (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Sumitomo Wiring Syst Ltd | Cable harness |
JP2006337052A (en) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Yamaha Motor Co Ltd | Ic handler |
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