JP2008031014A - Method for producing high purity alkali metal hydroxide - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、粗水酸化アルカリ金属中のアルカリ土類金属を効果的に除去することができる高純度水酸化アルカリ金属の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for producing a high-purity alkali metal hydroxide capable of effectively removing an alkaline earth metal in a crude alkali metal hydroxide.
例えば半導体ウェーハやカラーフィルター等の電子部品の製造においては、ウェーハ表面のエッチングによる平面化、レジスト材の除去、あるいは表面を洗浄するためなどに水酸化アルカリ金属が使用されている。これら電子部品の製造に使用される水酸化アルカリ金属は、半導体ウェーハの劣化、半導体デバイスの特性の低下等を防ぐため、カルシウム、マグネシウム、ニッケル、クロム、鉄、および銅等の金属不純物を含まない高純度の水酸化アルカリ金属を用いることが要求されている。またこの他、医療用や化粧品等においてもこのような不純物を含まない薬剤の要求が高まっている。 For example, in the manufacture of electronic components such as semiconductor wafers and color filters, an alkali metal hydroxide is used to planarize the wafer surface by etching, remove the resist material, or clean the surface. Alkali metal hydroxide used in the manufacture of these electronic components does not contain metal impurities such as calcium, magnesium, nickel, chromium, iron, and copper to prevent deterioration of semiconductor wafers and semiconductor device characteristics. It is required to use a high purity alkali metal hydroxide. In addition, there is an increasing demand for drugs that do not contain such impurities in medical use and cosmetics.
高純度の水酸化アルカリ金属の製法としては、イオン交換膜により水酸化アルカリを精製する製造方法が挙げられる（例えば、特許文献１参照）。この方法は精製精度は十分に高いものの設備化に比較的手間がかかり、どこでも簡単に高度精製された水酸化アルカリが得られない状況であった。また、活性炭により水酸化カリウム中のニッケルを除去する方法（例えば、特許文献２参照）、活性炭にて水酸化ナトリウム中の鉄やニッケルを除去する方法（例えば、特許文献３参照）が開示されている。これらは比較的簡単な設備で対応でき高度な精製が可能であるが精製可能な金属種が少ない状況であった。また、ここから一部溶出するアルカリ土類金属類や金属種もありこの前処理に労力がかかる場合がある。 As a method for producing high-purity alkali metal hydroxide, a production method for purifying alkali hydroxide with an ion exchange membrane can be mentioned (for example, see Patent Document 1). Although this method has a sufficiently high refining accuracy, it takes a relatively long time to install equipment, and it is difficult to obtain highly purified alkali hydroxide anywhere. Also disclosed are a method for removing nickel in potassium hydroxide with activated carbon (for example, see Patent Document 2) and a method for removing iron and nickel in sodium hydroxide with activated carbon (for example, see Patent Document 3). Yes. These can be handled with relatively simple equipment and can be highly purified, but there are few metal species that can be purified. In addition, some alkaline earth metals and metal species elute from here, and this pretreatment may take effort.
一方、キレート樹脂やイオン交換樹脂にて金属類を補足し被接触溶液等を精製、もしくは金属類を回収することが知られている。これら樹脂による水酸化アルカリの精製例としては、特定構造を有するキレート樹脂による精製が開示されている（例えば、特許文献４参照）。これらは鉄等の重金属を除去し精製することができること、及び水酸化マグネシウムを用いて重金属を除去することが開示されているが、アルカリ土類金属化合物を除去するものではない。 On the other hand, it is known to supplement a metal with a chelate resin or an ion exchange resin to purify a solution to be contacted or recover a metal. As examples of the purification of alkali hydroxide by these resins, purification by a chelate resin having a specific structure is disclosed (for example, see Patent Document 4). These are disclosed that they can be purified by removing heavy metals such as iron and that heavy metals are removed using magnesium hydroxide, but they do not remove alkaline earth metal compounds.
アミノリン酸型キレート樹脂は、塩水中のカルシウムやストロンチウム等が除去できるものとして報告されている（例えば、特許文献５参照）。そして、高濃度の食塩水溶液中において、カルシウム、マグネシウム、ストロンチウム等の二価の金属イオンに対して選択性を有すると記載されている。
無機塩が大量に含有する試料であってもアルカリ土類金属を選択的に吸着する能力を有する樹脂としてイミノジ酢酸型やアミノリン酸型のキレート樹脂が報告されている（例えば、特許文献６参照）。
Aminophosphate-type chelate resins have been reported as those capable of removing calcium, strontium, and the like in salt water (see, for example, Patent Document 5). And it describes that it has selectivity with respect to bivalent metal ions, such as calcium, magnesium, strontium, in high concentration salt solution.
An iminodiacetic acid type or aminophosphate type chelate resin has been reported as a resin having the ability to selectively adsorb alkaline earth metals even in a sample containing a large amount of inorganic salt (see, for example, Patent Document 6). .
市場に流通している水酸化アルカリは、代表的な水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムの両者とも４８％が多く、使用段階ではさまざまであるが、仮保存の形態も含め２０〜６０％の範囲で保存や使用がされている場合が多いが、これら濃度領域で手軽に精製可能な方法がなった。 Alkaline hydroxides in the market account for 48% of both typical sodium hydroxide and potassium hydroxide, and they vary in use, but in the range of 20-60%, including temporary storage. Although it is often stored and used, it has become a method that can be easily purified in these concentration ranges.
本発明は、粗水酸化アルカリ金属水溶液を高濃度の状態のままで、この中に含まれるアルカリ土類金属を除去することができる高純度水酸化アルカリ金属水溶液の製造方法を提供するものである。 The present invention provides a method for producing a high-purity alkali metal hydroxide aqueous solution capable of removing an alkaline earth metal contained in a crude alkali metal hydroxide aqueous solution in a high concentration state. .
市場に流通されている様な濃度で粗水酸化アルカリ金属水溶液中のアルカリ土類金属の除去を鋭意検討した結果、アミノリン酸基を有するキレート樹脂により粗水酸化アルカリ金属中のアルカリ土類金属を除去できることを見出し、本発明を完成させたのである。即ち、本発明は具体的に、
（１）アミノリン酸基を有するキレート樹脂を用いて粗水酸化アルカリ金属水溶液中のアルカリ土類金属を除去することを特徴とする高純度水酸化アルカリ金属水溶液の製造方法であり、
（２）アミノリン酸基を有するキレート樹脂とイミノジ酢酸基を有するキレート樹脂とを用いて粗水酸化アルカリ金属水溶液中のアルカリ土類金属を除去する前記１記載の高純度水酸化アルカリ金属水溶液の製造方法であり、
（３）前記の粗水酸化アルカリ金属水溶液の濃度が２０〜６０重量％である前記１または２に記載の高純度水酸化アルカリ金属水溶液の製造方法である。
As a result of intensive investigations on the removal of alkaline earth metal in the aqueous solution of crude alkali metal hydroxide at a concentration that is distributed in the market, it was found that the alkaline earth metal in the crude alkali metal hydroxide was converted to a chelate resin having an aminophosphate group. The inventors have found that it can be removed, and have completed the present invention. That is, the present invention specifically includes
(1) A method for producing a high-purity alkali metal hydroxide aqueous solution characterized by removing alkaline earth metal in a crude alkali metal hydroxide aqueous solution using a chelate resin having an aminophosphate group,
(2) The production of the high-purity alkali metal hydroxide aqueous solution as described in 1 above, wherein alkaline earth metal in the crude alkali metal hydroxide aqueous solution is removed using a chelate resin having an aminophosphate group and a chelate resin having an iminodiacetic acid group. Is the way
(3) The method for producing a high-purity alkali metal hydroxide aqueous solution as described in 1 or 2 above, wherein the concentration of the crude alkali metal hydroxide aqueous solution is 20 to 60% by weight.
本発明の製造方法により、高濃度の粗水酸化アルカリ金属水溶液からでもアルカリ土類金属を除去できることから、濃縮操作等を行うことなくアルカリ土類金属の含有量が低い高純度水酸化アルカリ金属を提供することができる。 Since the alkaline earth metal can be removed even from a high-concentration crude alkali metal hydroxide aqueous solution by the production method of the present invention, a high-purity alkali metal hydroxide with a low content of alkaline earth metal can be obtained without performing a concentration operation or the like. Can be provided.
本発明において取扱う粗水酸化アルカリ金属としては、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムが好ましい種類として挙げられ、より好ましくは水酸化カリウムである。
本発明において粗水酸化アルカリ金属水溶液の濃度は、どのような濃度でもアルカリ土類金属の低減効果が望めるが、輸送効率、保管効率や、その後の取扱で高濃度に煮詰める等の余計な操作をしない意味で、２０％以上が好ましく、固形化しない範囲として６０％以下が好ましく、より好ましくは３５％以上５５％以下であり、４０％以上５３％以下が特に好ましい。
Examples of the crude alkali metal hydroxide handled in the present invention include sodium hydroxide and potassium hydroxide, and potassium hydroxide is more preferable.
In the present invention, the concentration of the crude alkali metal hydroxide aqueous solution can be expected to reduce alkaline earth metal at any concentration, but it is necessary to carry out unnecessary operations such as transportation efficiency, storage efficiency, and subsequent simmering to a high concentration by handling. 20% or more is preferable, and 60% or less is preferable as a range not to be solidified, more preferably 35% or more and 55% or less, and particularly preferably 40% or more and 53% or less.
また、使用する粗水酸化アルカリ金属はイオン交換膜法にて作られるものが専らではあるが、この中に含まれる不純物としてのアルカリ土類金属類や金属類としては、カルシウム、マグネシウム、ストロンチウム、バリウム、鉄、ニッケル、銅、亜鉛、鉛、カドミウム、マンガン、コバルト、バナジウム、モリブデン、クロム、ジルコニウム、銀、錫、アルミニウム、水銀、アンチモン、チタン、ビスマス、ガリウム、タリウム等が挙げられ、これを極力少なくすることが望ましい。更には特定の金属においては少量の含有でも製品の品質に対して影響が大きく、カルシウムやマグネシウムは更に低レベルまで低減できることが好ましい。 The crude alkali metal hydroxide used is exclusively produced by the ion exchange membrane method, but as alkaline earth metals and metals as impurities contained therein, calcium, magnesium, strontium, Barium, iron, nickel, copper, zinc, lead, cadmium, manganese, cobalt, vanadium, molybdenum, chromium, zirconium, silver, tin, aluminum, mercury, antimony, titanium, bismuth, gallium, thallium, etc. It is desirable to reduce as much as possible. Furthermore, even if a specific metal is contained in a small amount, the quality of the product is greatly affected, and it is preferable that calcium and magnesium can be reduced to a lower level.
本発明において高純度水酸化アルカリ金属中のカルシウムまたはマグネシウム等のアルカリ土類金属の不純物は１０００ｐｐｂ以下であり、好ましくは１００ｐｐｂ以下であり、１ｐｐｂ以上である。 In the present invention, impurities of alkaline earth metal such as calcium or magnesium in the high-purity alkali metal hydroxide are 1000 ppb or less, preferably 100 ppb or less, and 1 ppb or more.
なお、本方法に適した粗水酸化アルカリ金属水溶液としては、含有しているアルカリ土類金属により異なるが、除去前として混入していても差し支えない濃度としては１０重量ｐｐｍ以下（以降ｐｐｍ）が好ましく、より好ましくは３ｐｐｍ以下である。なお、粗水酸化アルカリ金属水溶液において含有しているアルカリ土類金属の下限量は、上記高純度水酸化アルカリ金属における各アルカリ土類金属の含有量より多いものである。 The crude alkali metal hydroxide aqueous solution suitable for this method varies depending on the alkaline earth metal contained, but the concentration that can be mixed before removal is 10 ppm by weight or less (hereinafter ppm). Preferably, it is 3 ppm or less. In addition, the minimum amount of alkaline earth metal contained in the crude alkali metal hydroxide aqueous solution is larger than the content of each alkaline earth metal in the high-purity alkali metal hydroxide.
本発明に用いるアミノリン酸型キレート樹脂としては、例えばスチレン誘導体等をベースに、アミノ基をリン酸化したものがある。具体的には、ＵＲ−３３００Ｓ（商品名、ユニチカ社製）、レバチットモノプラスＴＰ−２６０（商品名、ランクセス社製）、デュオライトＣ４６７（商品名、住化ケムテックス社製）等がある。 Examples of the aminophosphate-type chelate resin used in the present invention include those obtained by phosphorylating amino groups based on, for example, styrene derivatives. Specifically, there are UR-3300S (trade name, manufactured by Unitika Ltd.), Levacit Monoplus TP-260 (trade name, manufactured by LANXESS), Duolite C467 (trade name, manufactured by Sumika Chemtex Co., Ltd.), and the like.
本発明に用いるイミノジ酢酸型キレート樹脂としては、例えばスチレン誘導体をベースに、イミノジ酢酸基を有するものがある。具体的には、ダイヤイオンＣＲ１１（商品名、三菱化学社製）、レバチットモノプラスＴＰ−２０８（商品名、ランクセス社製）、スミキレートＭＣ−７００（商品名、住化ケムテックス社製）、アンバーライトＩＲＣ７４８（商品名、ローム＆ハース社製）等がある。 Examples of the iminodiacetic acid type chelating resin used in the present invention include those having an iminodiacetic acid group based on, for example, a styrene derivative. Specifically, Diaion CR11 (trade name, manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), Lebatit Monoplus TP-208 (trade name, manufactured by LANXESS), Sumichel MC-700 (trade name, manufactured by Sumika Chemtex Co., Ltd.), Amber Light IRC748 (trade name, manufactured by Rohm & Haas).
本発明において、該キレート樹脂の使用量は、粗水酸化アルカリ金属中のアルカリ土類金属の含有量により決定すればよい。例えば充填塔で吸着させる場合は空塔速度（以下ＳＶと表記）で、ＳＶ＝０．１〜２０［１／ｈ］、更に好ましくはＳＶ＝０．２〜１０［１／ｈ］、特に好ましくはＳＶ＝０．３〜５［１／ｈ］で接触させることにより効率良くアルカリ土類金属を吸着する事ができる。この範囲であると効率良くアルカリ土類金属を除去することができることから好ましい。 In this invention, what is necessary is just to determine the usage-amount of this chelate resin by content of the alkaline-earth metal in crude alkali hydroxide. For example, when adsorbing in a packed tower, the superficial velocity (hereinafter referred to as SV) is SV = 0.1-20 [1 / h], more preferably SV = 0.2-10 [1 / h], particularly preferably. Can adsorb alkaline earth metals efficiently by contact at SV = 0.3-5 [1 / h]. This range is preferable because the alkaline earth metal can be efficiently removed.
本発明の製造方法において、操作温度は０℃から６０℃程度であり、好ましくは５℃から５０℃であり、より好ましくは１０℃から４５℃である。該キレート樹脂との接触温度がこの範囲であると粗水酸化アルカリ金属中のアルカリ土類金属を効率よく除去することができるので好ましい。 In the production method of the present invention, the operating temperature is about 0 ° C to 60 ° C, preferably 5 ° C to 50 ° C, more preferably 10 ° C to 45 ° C. It is preferable that the contact temperature with the chelate resin is within this range because the alkaline earth metal in the crude alkali metal hydroxide can be efficiently removed.
本発明の製造方法は、アミノリン酸基を有するキレート樹脂を用いるものであるが、アミノリン酸基を有するキレート樹脂とイミノジ酢酸基を有するキレート樹脂とを一緒に使用することが好ましくアルカリ土類金属を除去することができる。 The production method of the present invention uses a chelate resin having an aminophosphate group, but it is preferable to use a chelate resin having an aminophosphate group and a chelate resin having an iminodiacetic acid group together. Can be removed.
アミノリン酸基を有するキレート樹脂を用いて粗水酸化アルカリ金属水溶液中のアルカリ土類金属を除去するすることができるがカルシウム、マグネシウム、ストロンチウムおよびバリウムが好ましく除去でき、マグネシウム、ストロンチウムおよびバリウムがより好ましく除去できる。 Alkaline earth metal in the crude alkali metal hydroxide aqueous solution can be removed using a chelate resin having an aminophosphate group, but calcium, magnesium, strontium and barium can be preferably removed, and magnesium, strontium and barium are more preferred. Can be removed.
アミノリン酸基を有するキレート樹脂とイミノジ酢酸基を有するキレート樹脂とを用いて粗水酸化アルカリ金属水溶液中のアルカリ土類金属を除去するすることができるがカルシウム、マグネシウム、ストロンチウムおよびバリウムが好ましく除去でき、マグネシウム、ストロンチウムおよびバリウムがより好ましく除去できる。 Alkaline earth metals in crude alkali metal hydroxide aqueous solution can be removed using chelate resin having aminophosphate group and chelate resin having iminodiacetic acid group, but calcium, magnesium, strontium and barium can be preferably removed. , Magnesium, strontium and barium can be removed more preferably.
本発明の製造方法は、例えば充填塔に該キレート樹脂を充填し、そこに粗水酸化アルカリ金属水溶液を通液することにより、該溶液中のアルカリ土類金属を手軽に除去することができる。またタンク等に粗水酸化アルカリ金属溶液をためておき、樹脂を加え攪拌する等バッチ操作によりアルカリ土類金属を低減することも可能である。
本発明にてアルカリ土類金属が吸着したキレート樹脂は、超純水等による洗浄や逆洗浄操作、更に塩酸や硝酸等の酸により処理した後、水で洗浄する等の、公知の脱アルカリ土類金属操作による再生方法を使用することができる。そして、このようにして再生したキレート樹脂は、本発明の製造方法に使用できる。
In the production method of the present invention, the alkaline earth metal in the solution can be easily removed by, for example, filling the chelate resin in a packed tower and passing a crude alkali metal hydroxide aqueous solution therethrough. It is also possible to reduce alkaline earth metal by batch operation such as storing a crude alkali metal hydroxide solution in a tank or the like, adding a resin and stirring.
In the present invention, the chelate resin to which the alkaline earth metal is adsorbed is a known dealkalized earth such as washing with ultrapure water or the like, back washing operation, further treatment with acid such as hydrochloric acid or nitric acid, and washing with water. Regeneration methods using metal-like operations can be used. And the chelate resin reproduced | regenerated in this way can be used for the manufacturing method of this invention.
本発明の製造方法においてキレート樹脂を複数種使用するときは、アミノリン酸基を有するキレート樹脂の前後にイミノジ酢酸基を有するキレート樹脂を用いることも、これらのキレート樹脂を混合して用いることができ、好ましくは個別に用いるものであり、より好ましくはイミノジ酢酸基を有するキレート樹脂を前に用いるものである。 When a plurality of chelate resins are used in the production method of the present invention, a chelate resin having an iminodiacetic acid group before or after the chelate resin having an aminophosphate group can be used, or a mixture of these chelate resins can be used. These are preferably used individually, more preferably a chelate resin having an iminodiacetic acid group is used in advance.
本発明の製造方法を用いて製造した高純度水酸化アルカリ金属水溶液は、用途により濃度を調整して使用することができる。 The high-purity alkali metal hydroxide aqueous solution produced using the production method of the present invention can be used after adjusting the concentration depending on the application.
本発明の製造方法を用いて製造した高純度水酸化アルカリ金属は、半導体ウェーハやカラーフィルター等の電子部品の製造、ウェーハ表面エッチングによる平面化、レジスト材の除去、あるいは表面を洗浄するものなどに使用することができる。
本発明の精製方法を用いることにより、半導体ウェーハやカラーフィルター等の電子部品の製造、ウェーハ表面エッチングによる平面化、レジスト材の除去、あるいは表面を洗浄するものなどに使用する高純度水酸化アルカリ金属を提供することができる。
High-purity alkali metal hydroxide manufactured using the manufacturing method of the present invention is used for manufacturing electronic parts such as semiconductor wafers and color filters, planarizing by wafer surface etching, removing resist material, or cleaning the surface. Can be used.
By using the purification method of the present invention, high-purity alkali metal hydroxide used for manufacturing electronic components such as semiconductor wafers and color filters, planarizing by wafer surface etching, removing resist material, or cleaning the surface, etc. Can be provided.
○実施態様
イミノジ酢酸基を有するキレート樹脂を用いて粗水酸化アルカリ金属水溶液中のアルカリ土類金属を除去する方法。
アミノリン酸基を有するキレート樹脂とイミノジ酢酸基を有するキレート樹脂とを用いて粗水酸化アルカリ金属水溶液中のアルカリ土類金属を除去する方法。
濃度が２０〜６０重量％の粗水酸化アルカリ金属水溶液中のアルカリ土類金属をイミノジ酢酸基を有するキレート樹脂を用いて除去する方法。
アミノリン酸基を有するキレート樹脂とイミノジ酢酸基を有するキレート樹脂とを用いて濃度が２０〜６０重量％の粗水酸化アルカリ金属水溶液中のアルカリ土類金属を除去する方法。
Embodiment A method for removing an alkaline earth metal in a crude aqueous alkali metal hydroxide solution using a chelate resin having an iminodiacetic acid group.
A method of removing an alkaline earth metal in a crude aqueous alkali metal hydroxide solution by using a chelate resin having an aminophosphate group and a chelate resin having an iminodiacetic acid group.
A method of removing an alkaline earth metal in a crude alkali metal hydroxide aqueous solution having a concentration of 20 to 60% by weight using a chelate resin having an iminodiacetic acid group.
A method for removing an alkaline earth metal in a crude alkali metal hydroxide aqueous solution having a concentration of 20 to 60% by weight using a chelate resin having an aminophosphate group and a chelate resin having an iminodiacetic acid group.
○実施例
以下、実施例を用いて本発明を説明するが、これらの本発明が限定されるものではない。なお、％は重量％を、ｐｐｍは重量ｐｐｍを、ｐｐｂは重量ｐｐｂを表す。
Examples Hereinafter, the present invention will be described using examples, but the present invention is not limited thereto. In addition,% represents weight%, ppm represents weight ppm, and ppb represents weight ppb.
○粗水酸化ナトリウム水溶液または粗水酸化カリウム水溶液の調製
１４００ｇの４８％水酸化ナトリウム水溶液、あるいは４８％水酸化カリウム水溶液を樹脂製容器にとり、水酸化マグネシウム２５ｍｇ、炭酸カルシウム３０ｍｇ、炭酸ストロンチウム２０ｍｇ、炭酸バリウム２０ｍｇを加え、マグネチックスターラーにて1時間攪拌した後、５μｍのポリテトラフルオロエチレンポリ四フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）製フィルターにて、不溶解物をろ過分離した。この粗水酸化ナトリウム液はマグネシウム０．３４ｐｐｍ、カルシウム５．３０ｐｐｍ、ストロンチウム９．７５ｐｐｍ、バリウム１０．１８ｐｐｍ含有していた。また、粗水酸化カリウム液はマグネシウム０．８３ｐｐｍ、カルシウム０．６８ｐｐｍ、ストロンチウム８．７１ｐｐｍ、バリウム８．８９ｐｐｍ含有していた。
Preparation of crude sodium hydroxide aqueous solution or crude potassium hydroxide aqueous solution 1400 g of 48% sodium hydroxide aqueous solution or 48% potassium hydroxide aqueous solution is placed in a resin container, 25 mg magnesium hydroxide, 30 mg calcium carbonate, 20 mg strontium carbonate, carbonic acid carbonate After adding 20 mg of barium and stirring with a magnetic stirrer for 1 hour, insoluble matters were separated by filtration with a 5 μm filter made of polytetrafluoroethylene polytetrafluoroethylene (PTFE). This crude sodium hydroxide solution contained 0.34 ppm magnesium, 5.30 ppm calcium, 9.75 ppm strontium, and 10.18 ppm barium. The crude potassium hydroxide solution contained 0.83 ppm magnesium, 0.68 ppm calcium, 8.71 ppm strontium, and 8.89 ppm barium.
上記で調製した１００ｇの４８％粗水酸化ナトリウム水溶液、あるいは、１００ｇの４８％粗水酸化カリウム水溶液をＰＴＦＥ製の容器にとり、アミノリン酸型キレート樹脂（商品名レバチットモノプラスＴＰ−２６０、ランクセス社製）を１０ｇ加え、室温で攪拌し２時間接液させた。その後、水酸化ナトリウム水溶液、あるいは水酸化カリウム水溶液を採取し、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、及びバリウム分析を行い、樹脂接触前と樹脂接触後の差異から、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、及びバリウムの除去率を求めた。この結果を表１に記載した。 100 g of the 48% crude sodium hydroxide aqueous solution prepared above or 100 g of the 48% crude potassium hydroxide aqueous solution is placed in a PTFE container, and aminophosphate-type chelate resin (trade name Lebatit Monoplus TP-260, LANXESS) 10 g) was added and stirred at room temperature for 2 hours. Thereafter, an aqueous sodium hydroxide solution or an aqueous potassium hydroxide solution is collected and analyzed for magnesium, calcium, strontium, and barium. From the difference before and after resin contact, the removal rate of magnesium, calcium, strontium, and barium Asked. The results are shown in Table 1.
○カルシウム、マグネシウム、ストロンチウム、及びバリウムの分析方法
採取した試料に超純水を加えた後、硝酸を用いてメスアップし供試液とした。これをＩＣＰ発光分析装置で測定し、検体濃度補正による検量線法により各金属濃度を求めた。
○ Analytical method of calcium, magnesium, strontium, and barium After adding ultrapure water to the collected sample, it was made up with nitric acid to prepare a test solution. This was measured with an ICP emission analyzer, and the concentration of each metal was determined by a calibration curve method with sample concentration correction.
実施例１において用いたキレート樹脂の替わりにアミノリン酸型キレート樹脂（商品名ＵＲ−３３００Ｓ、ユニチカ社製）を用いた以外は実施例１と同様に操作して、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、及びバリウムの除去率を求めた。この結果を表１に記載した。 Magnesium, calcium, strontium, and barium were operated in the same manner as in Example 1 except that an aminophosphate chelate resin (trade name UR-3300S, manufactured by Unitika Co., Ltd.) was used instead of the chelate resin used in Example 1. The removal rate was determined. The results are shown in Table 1.
実施例１において用いたキレート樹脂の替わりにイミノジ酢酸型キレート樹脂（商品名レバチットモノプラスＴＰ−２０８、ランクセス社製）を用いた以外は実施例１と同様に操作して、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、及びバリウムの除去率を求めた。この結果を表１に記載した。 In the same manner as in Example 1 except that an iminodiacetic acid type chelate resin (trade name Levacit Monoplus TP-208, manufactured by LANXESS) was used instead of the chelate resin used in Example 1, magnesium, calcium, The removal rate of strontium and barium was determined. The results are shown in Table 1.
実施例１において用いたキレート樹脂の替わりにイミノジ酢酸型キレート樹脂（商品名ダイヤイオンＣＲ−１１、三菱化学社製）を用いた以外は実施例１と同様に操作して、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、及びバリウムの除去率を求めた。この結果を表１に記載した。 Magnesium, calcium and strontium were operated in the same manner as in Example 1 except that iminodiacetic acid type chelating resin (trade name Diaion CR-11, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) was used instead of the chelating resin used in Example 1. The barium removal rate was determined. The results are shown in Table 1.
レバチットモノプラスＴＰ−２６０（商品名）とレバチットモノプラスＴＰ−２０８（商品名）とを用いた以外は実施例１と同様に操作した。この結果、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、及びバリウムの除去率は、単独でキレート樹脂を使用した除去率より向上した。 The same operation as in Example 1 was performed except that Levacit Monoplus TP-260 (trade name) and Levacit Monoplus TP-208 (trade name) were used. As a result, the removal rate of magnesium, calcium, strontium, and barium was improved more than the removal rate using a chelate resin alone.
レバチットモノプラスＴＰ−２６０（商品名）とダイヤイオンＣＲ−１１（商品名）とを用いた以外は実施例１と同様に操作した。この結果、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、及びバリウムの除去率は、単独でキレート樹脂を使用した除去率より向上した。 The same operation as in Example 1 was performed except that Levacit Monoplus TP-260 (trade name) and Diaion CR-11 (trade name) were used. As a result, the removal rate of magnesium, calcium, strontium, and barium was improved more than the removal rate using a chelate resin alone.
＜比較例１〜５＞
キレート樹脂を下記のキレート樹脂またはイオン交換樹脂に替えた以外は実施例１と同様に実施し、結果を表１に記載した。
比較例１ ダイヤイオンＰＫ−２１６（官能基−ＳＯ3Ｎａ）
比較例２ ダイヤイオンＰＫ−２２８（官能基−ＳＯ3Ｎａ）
比較例３ ダイヤイオンＷＡ−３０（官能基−ＣＨ2Ｎ（ＣＨ3）2）
比較例４ ダイヤイオンＣＲ−２０（官能基−ＣＨ2ＮＨ（ＣＨ2ＣＨ2ＮＨ−）nＨ）
以上、三菱化学（株）製。
比較例５ アンバーライトＩＲＡ４１０ＪＣＬ（官能基 ジメチルエタノールアミンクロライド、ローム＆ハース（株）製）。
<Comparative Examples 1-5>
The same procedure as in Example 1 was performed except that the chelate resin was changed to the following chelate resin or ion exchange resin, and the results are shown in Table 1.
Comparative Example 1 Diaion PK-216 (functional group —SO 3 Na)
Comparative Example 2 Diaion PK-228 (functional group —SO 3 Na)
Comparative Example 3 Diaion WA-30 (functional group —CH 2 N (CH 3 ) 2 )
Comparative Example 4 Diaion CR-20 (functional group —CH 2 NH (CH 2 CH 2 NH—) n H)
As above, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.
Comparative Example 5 Amberlite IRA410JCL (functional group dimethylethanolamine chloride, manufactured by Rohm & Haas Co.).
本発明は水酸化アルカリ金属中のアルカリ土類金属を除去精製することができるため、半導体ウエハー研磨等の電子材料向け、医薬品、化粧品等あらゆる分野に適用でき、水酸化アルカリ金属製造時、出荷時、受け入れ時、使用時等のいずれの場合でも手軽に適用することができる。 Since the present invention can remove and purify alkaline earth metals in alkali metal hydroxides, it can be applied to various fields such as semiconductor wafer polishing and other electronic materials, pharmaceuticals, cosmetics, etc. It can be easily applied at any time of acceptance or use.
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