JP2008004804A - 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体装置の製造装置は、半導体基板7をダイシングテープ5に貼り付けた後、半導体基板7にレーザ照射して割断用の改質層を形成し、ダイシングテープ5をエクスパンドすることにより半導体基板7を割断して多数の半導体チップ7aを製造するものにおいて、ダイシングテープ5をエクスパンドするときに、ダイシングテープ5に対して半導体基板7が下向きになるようにセットしてエクスパンドするエクスパンド装置1を備えたものである。
【選択図】図1
Description
Claims (16)
- 半導体基板をダイシングテープに貼り付けた後、前記半導体基板にレーザ照射して割断用の改質層を形成し、前記ダイシングテープをエクスパンドすることにより前記半導体基板を割断して多数の半導体チップを製造する半導体装置の製造装置において、
前記ダイシングテープをエクスパンドするときに、前記ダイシングテープに対して前記半導体基板が下向きになるようにセットしてエクスパンドするエクスパンド装置を備えたことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 前記エクスパンド装置は、上下動可能に設けられ、前記ダイシングテープにおける前記半導体基板の外側の円環状部分を押し上げてエクスパンドする押し上げ治具を有し、
前記押し上げ治具は、円筒状部材で構成されていることを特徴する請求項1記載の半導体装置の製造装置。 - 前記エクスパンド装置は、上下動可能に設けられ、前記ダイシングテープのうちの前記半導体基板の外側の円環状部分を押し上げてエクスパンドする押し上げ治具を有し、
前記押し上げ治具は、円柱状部材で構成されていると共に、その上端部に凹部が前記半導体基板を囲むように形成されていることを特徴する請求項1記載の半導体装置の製造装置。 - 前記半導体基板における前記ダイシングテープに接着している面と反対の面の近傍から下方へ向かって流れる空気の流れを生成する空気流生成装置を備えたことを特徴する請求項2記載の半導体装置の製造装置。
- 前記空気流生成装置は、前記円筒状の押し上げ治具の上端部に設けられた複数の溝または孔を備えていることを特徴する請求項4記載の半導体装置の製造装置。
- 前記半導体基板における前記ダイシングテープに接着している面と反対の面の近傍から下方へ向かって流れる空気の流れを生成する空気流生成装置を備えたことを特徴する請求項3記載の半導体装置の製造装置。
- 前記空気流生成装置は、前記円柱状の押し上げ治具の凹部の円環状周壁部の上端部に設けられた複数の溝または孔と、前記凹部の底部に設けられた空気抜き孔とを備えていることを特徴する請求項6記載の半導体装置の製造装置。
- 前記空気流生成装置は、微細な孔が多数形成されたテープまたは多孔質の素材からなるテープで構成された前記ダイシングテープを備えていることを特徴する請求項4または6記載の半導体装置の製造装置。
- 半導体基板をダイシングテープに貼り付けた後、前記半導体基板にレーザ照射して割断用の改質層を形成し、前記ダイシングテープをエクスパンドすることにより前記半導体基板を割断して多数の半導体チップを製造する半導体装置の製造方法において、
前記ダイシングテープをエクスパンドするときに、前記ダイシングテープに対して前記半導体基板が下向きになるようにセットしてエクスパンドする工程を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ダイシングテープにおける前記半導体基板の外側の円環状部分を押し上げてエクスパンドする押し上げ治具を、円筒状部材で構成したことを特徴する請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ダイシングテープにおける前記半導体基板の外側の円環状部分を押し上げてエクスパンドする押し上げ治具を、円柱状部材で構成すると共に、その上端部に凹部が前記半導体基板を囲むように形成されていることを特徴する請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 空気を前記半導体基板における前記ダイシングテープに接着している面と反対の面の近傍から下方へ向かって流すように構成したことを特徴する請求項10記載の半導体装置の製造方法。
- 前記円筒状の押し上げ治具の上端部に複数の溝または孔を設けたことを特徴する請求項12記載の半導体装置の製造方法。
- 空気を前記半導体基板における前記ダイシングテープに接着している面と反対の面の近傍から下方へ向かって流すように構成したことを特徴する請求項11記載の半導体装置の製造方法。
- 前記円柱状の押し上げ治具の凹部の円環状周壁部の上端部に複数の溝または孔を設けると共に、前記凹部の底部に空気抜き孔を設けたことを特徴する請求項14記載の半導体装置の製造方法。
- 微細な孔が多数形成されたテープまたは多孔質の素材からなるテープで構成された前記ダイシングテープを備えていることを特徴する請求項12または14記載の半導体装置の製造方法。
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