JP2007517226A - 改造した二重ダイヤフラム圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】密封チャンバを画成する部分と通じて取り付けられた第一のダイヤフラムと、好ましくは、スペーサにより、第一のダイヤフラムから電気的に絶縁された第二のダイヤフラムとを有するチャンバを画成する部分を含む、圧力を検知する装置である。ダイヤフラムは、可撓性であり且つ導電性表面を有している。センサチャンバが第二のダイヤフラムの両側部に取り付けられている。該センサチャンバは、検知する雰囲気と通じた開口部を有している。ダイヤフラムの一方は、流体が貫通して流れるのを許容する開口部をその表面に有し、他方のダイヤフラムは、無孔であり、センサチャンバ内の圧力変化に応答して一方のダイヤフラムから又は該一方のダイヤフラムに向けて動く。電気的接続部は、センサチャンバ内の圧力の関数としてダイヤフラムの間の静電容量を測定する。
Description
Claims (20)
- 圧力を検知する装置において、
密封チャンバを画成する部分と、
両側部を有する第一の可撓性ダイヤフラムにして、前記密封チャンバを画成する部分にてチャンバと通じるようにして一側部を取り付けられ、導電性表面を有する第一の可撓性ダイヤフラムと、
前記第一の可撓性ダイヤフラムの反対側部に取り付けられた絶縁体と、
両側部を有する第二の可撓性ダイヤフラムにして、前記絶縁体と通じるようにして一側部を取り付けられ、導電性表面を有する第二の可撓性ダイヤフラムと、
前記第二の可撓性ダイヤフラムの反対側部に取り付けられ、検知する雰囲気と通じる開口部を有するセンサチャンバを画成する部分と、を備え、これにより、前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラムの一方は、流体が貫通して流れるのを許容するその表面において開口部を有し、前記第一及び第二のダイヤフラムの他方は、無孔であり且つ前記センサチャンバ内の圧力変化に応答して前記可撓性ダイヤフラムの前記一方から又は該一方に向けて動くようになされており、
前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラムと接触し、前記開口部を通して導入された前記センサチャンバ内の圧力の関数として前記ダイヤフラムの間の静電容量を測定し得るようにされ、前記一方の可撓性ダイヤフラムが前記可撓性ダイヤフラムの他方に対して動くようにする電気的接続部をさらに備える、圧力を検知する装置。 - 請求項1に記載の装置において、絶縁体は無孔の非導電性スペーサである、装置。
- 請求項1に記載の装置において、前記流体は、液体及び気体から選ばれる、装置。
- 請求項1に記載の装置において、前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラムは、導電性表面と、電気的接点とを有する、装置。
- 請求項4に記載の装置において、前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラムは、誘電性フィルムを更に有する、装置。
- 請求項1に記載の装置において、前記第二の可撓性ダイヤフラムは、流体が貫通して流れるのを許容する開口部をその表面に有し、前記第一のダイヤフラムは、無孔であり、前記センサチャンバ手段内の圧力変化に応答して、前記第二の可撓性ダイヤフラム手段から又は該第二の可撓性ダイヤフラム手段に向けて動いて、正圧を検出するようになされている、装置。
- 請求項1に記載の装置において、前記第一の可撓性ダイヤフラムは、流体が貫通して流れるのを許容する開口部をその表面に有し、前記第二のダイヤフラムは、無孔であり、前記センサチャンバ内の圧力変化に応答して、前記第二の可撓性ダイヤフラムから又は該第二の可撓性ダイヤフラムに向けて動いて、負圧を検出するようになされている、装置。
- 圧力を検知する装置において、
密封チャンバを画成する密封チャンバ手段と、
前記密封チャンバ手段と通じるようにして取り付けられ、導電性表面を有する第一の可撓性ダイヤフラム手段と、
前記第一の可撓性ダイヤフラムを絶縁し、前記第一の可撓性ダイヤフラム手段の反対側部に取り付けられる絶縁体手段と、
前記絶縁体手段と通じるようにして取り付けられ、導電性表面を有する第二の可撓性ダイヤフラム手段と、
検知する雰囲気と通じ、前記第二の可撓性ダイヤフラム手段の反対側部に取り付けられるセンサチャンバ手段と、
前記開口部を通して導入された前記センサチャンバ手段内の圧力の関数として前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラムの間の静電容量を測定する電気的接続手段とを備える、圧力を検知する装置。 - 請求項8に記載の装置において、前記絶縁体手段は、前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラム手段を分離する無孔の非導電性スペーサ手段である、装置。
- 請求項8に記載の装置において、前記流体は、液体及び気体から選ばれる、装置。
- 請求項8に記載の装置において、前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラム手段は、導電性表面と、電気的接点とを有する、装置。
- 請求項11に記載の装置において、前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラム手段は、誘電性フィルムを更に有する、装置。
- 請求項8に記載の装置において、前記第二の可撓性ダイヤフラム手段は、流体が貫通して流れるのを許容する開口部をその表面に有し、前記第一のダイヤフラム手段は、無孔であり、前記センサチャンバ手段内の圧力変化に応答して、前記第二の可撓性ダイヤフラム手段から又は該第二の可撓性ダイヤフラム手段に向けて動いて、正圧を検出するようになされている、装置。
- 請求項8に記載の装置において、前記第一の可撓性ダイヤフラム手段は、流体が貫通して流れるのを許容する開口部をその表面に有し、前記第二のダイヤフラム手段は、無孔であり、前記センサチャンバ手段内の圧力変化に応答して、前記第一の可撓性ダイヤフラム手段から又は該第一の可撓性ダイヤフラム手段に向けて動いて、負圧を検出するようになされている、装置。
- 検知する雰囲気中の圧力を検知する方法において、
両端を有するセンサ装置であって、前記検出する雰囲気と通ずる開口部を一端に有し、前記開口部は、センサチャンバを画成する部分の一部を形成する前記センサ装置によりセンサを前記検出する雰囲気に露出させるステップを備え、
前記装置の他端を形成する密封チャンバを画成する部分を備え、
前記装置は、両側部を有し且つ、前記密封チャンバを画成する部分にてチャンバと通じて一側部に取り付けられ、導電性表面を有する第一の可撓性ダイヤフラムを備え、
前記装置は、前記第一の可撓性ダイヤフラムの反対側部における絶縁体を有し、
前記装置は、両側部を有し且つ、前記絶縁体と通じて一側部に取り付けられ、導電性表面を有する第二の可撓性ダイヤフラムを備え、
前記センサチャンバを画成する部分は、前記第二の可撓性ダイヤフラムの反対側部に取り付けられ、
前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラムの一方に対し、流体が貫通して流れるのを許容するその表面における開口部を設け、前記第一及び第二のダイヤフラムの他方は、無孔であり且つ、前記センサチャンバ内の圧力変化に応答して前記可撓性ダイヤフラムの前記一方から又は該一方に向けて動くようにするステップと、
前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラムに接触する電気的接続部を形成し、前記開口部を通して導入された前記センサチャンバ内の圧力の関数として前記ダイヤフラムの間の静電容量を測定し、また、前記一方の可撓性ダイヤフラムが前記可撓性ダイヤフラムの他方に対して動くようにするステップと、
前記静電容量の関数として前記検知する雰囲気内の圧力を感知するステップとを備える、検知する雰囲気中の圧力を検知する方法。 - 請求項15に記載の方法において、前記流体は、液体及び気体から選ばれる、方法。
- 請求項15に記載の方法において、前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラムは、導電性表面と、電気的接点とを有する、方法。
- 請求項17に記載の装置において、前記第一及び第二の可撓性ダイヤフラムは、誘電性フィルムを更に有する、方法。
- 請求項15に記載の方法において、前記第二の可撓性ダイヤフラムは、流体が貫通して流れるのを許容する開口部をその表面に有し、前記第一のダイヤフラムは、無孔であり、前記センサチャンバ手段内の圧力変化に応答して、前記第二の可撓性ダイヤフラム手段から又は該第二の可撓性ダイヤフラム手段に向けて動いて、正圧を検出する、方法。
- 請求項15に記載の方法において、前記第一の可撓性ダイヤフラムは、流体が貫通して流れるのを許容する開口部をその表面に有し、前記第二のダイヤフラムは、無孔であり、前記センサチャンバ内の圧力変化に応答して、前記第二の可撓性ダイヤフラムから又は該第二の可撓性ダイヤフラムに向けて動いて、負圧を検出する、方法。
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