JP2007318128A - スリットノズルの幅方向吐出均一度測定装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のスリットノズルの吐出均一度測定装置は、スリットノズルの幅方向に対して前記スリットノズルから吐出される吐出液を一定区間別に分配する吐出液分配器と、前記吐出液分配器から分配されたそれぞれの吐出液の量を測定する吐出液測定ユニットと、を備える。また、本発明のスリットノズルの吐出均一度測定方法は、スリットノズルの幅方向に対して一定区間別に前記スリットノズルから吐出される吐出液を分配するステップと、前記分配された吐出液を個別的に収集するステップと、前記それぞれ収集された吐出液の吐出量を測定するステップと、を含む。
【選択図】図3
Description
112 吐出口
115 フォトレジスト供給部
116 第1フォトレジスト供給ライン
117 第2フォトレジスト供給ライン
200、200a、200b 吐出液分配器
202 案内突起
204 分配突起
220 吐出液分離部
240 吐出液収集部
300 吐出液測定ユニット
320 吐出液収集容器
340 測量センサ
360 測定ユニット
Lq 吐出液
PR フォトレジスト
Claims (15)
- スリットノズルの吐出均一度測定装置において、
前記スリットノズルの幅方向に対して前記スリットノズルから吐出される吐出液を一定区間別に分配する吐出液分配器と、
前記吐出液分配器から分配されたそれぞれの吐出液の量を測定する吐出液測定ユニットと、を備えることを特徴とする吐出均一度測定装置。 - 前記吐出液分配器は、所定の厚さでスリットノズルの幅方向に長く形成されたストリップ形状を有し、その下部にのこぎり歯形状の突起が複数形成され、前記突起の連結部に吐出された吐出液が左右に分配されてそれぞれの突起に向かって流れることを特徴とする請求項1に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記突起は、全て同じ逆三角形形状であり、複数が並べて連続的に連結した形状に形成されたことを特徴とする請求項2に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記吐出液は、水であることを特徴とする請求項1〜3のうちの何れか1項に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記吐出液分配器は、前記吐出液に対して疏水性を有するように表面処理されたことを特徴とする請求項1〜3のうちの何れか1項に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記吐出液分配器は、前記吐出液が分配される部分の疏水性が残りの部分より高くなるように表面処理されることを特徴とする請求項5に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記吐出液分配器の突起間の部分には、前記吐出液分配器の厚さ方向に所定距離突出し、前記突起のエッジに沿って下へ延設された案内突起をさらに備えることを特徴とする請求項2又は3に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記案内突起は、前記突起のエッジに沿って下へ行くほど突出距離が次第に減少することを特徴とする請求項7に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記案内突起の上部面は、前記吐出液分配器の表面と鋭角を有するように形成されたことを特徴とする請求項7に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記吐出液分配器から前記吐出液が分離される部分の上端面には、頂点隅が上に向かう形状の分配突起がさらに備えられることを特徴とする請求項2又は3に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記吐出液測定ユニットは、分配されたそれぞれの吐出液を収集する複数の吐出液収集容器と、前記吐出液収集容器に収集された吐出液のそれぞれの量を検出するための測量センサと、を備えることを特徴とする請求項1〜3のうちの何れか1項に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記測量センサは、吐出液の質量を測定することを特徴とする請求項11に記載の吐出均一度測定装置。
- 前記吐出液分配器の上端面には、前記吐出液が前記吐出液分配器の前後の表面に向けるように誘導する傾斜面が形成されたことを特徴とする請求項1〜3のうちの何れか1項に記載の吐出均一度測定装置。
- スリットノズルの吐出均一度測定方法において、
スリットノズルの幅方向に対して一定区間別に前記スリットノズルから吐出される吐出液を分配するステップと、
前記分配された吐出液を個別的に収集するステップと、
前記それぞれ収集された吐出液の吐出量を測定するステップと、を含むことを特徴とする吐出均一度測定方法。 - 前記収集するステップは、前記分配された吐出液を個別的に滴下させるステップと、前記滴下された吐出液のそれぞれを収集するステップと、を含むことを特徴とする請求項14に記載の吐出均一度測定方法。
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