JP2007305724A - ペーストの転写状態判定装置およびペーストの転写状態判定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バンプ11aの輝度を変化させる顔料が配合されたフラックスが転写されたバンプ11aにおける輝度分布を検出し、閾値THを超える輝度を示す領域11cと閾値THを超えない輝度を示す領域11dの比率に基づいてフラックスの転写状態の良否を判定する。これにより、フラックスの転写状態の良否を的確に判定することができ、フラックスの転写不良に起因する電極の接合不具合を防止することができる。
【選択図】図3
Description
が転写されたバンプ11aの輝度分布を示しており、通常使用される淡色系のフラックスが転写されたバンプ11aは、図3(b)に示すように高輝度で検出され、暗色系の顔料が配合されたフラックスが転写されたバンプ11aは、図3(c)に示すように、フラックスが転写されていないバンプ11aにおける輝度(図3(a)参照)より低輝度で検出される。
どの高反射性の顔料を配合し、フラックスが転写されてないバンプ11aにおける輝度とフラックスが転写されたバンプ11aにおける輝度との間に閾値を設定し、輝度分布のうち閾値を下回る輝度を示す画素数の認識対象全体の画素数に対する比率によりフラックスの転写状態の良否を判定する。また、上述した電子部品11の電極にはバンプ11aが形成されており、バンプ11a自体を電子部品11の電極として構成しているが、電極が電子部品11の下面から突出する凸状体等であればバンプ11aを介さずに基板2と接合できるので、その場合には電極自体にフラックスを転写し、電極自体におけるフラックスの転写状態の良否を判定する。
11a バンプ
14 カメラ
14a 輝度分布検出部
15 制御部
TH 閾値
Claims (3)
- 電極の輝度を変化させる顔料が配合されたペーストが転写された前記電極における輝度分布を検出する輝度分布検出手段と、
前記輝度分布に基づいて前記ペーストが転写された領域と転写されていない領域との比率を演算する演算手段と、
前記ペーストが転写された領域と転写されていない領域との比率に基づいて前記ペーストの転写状態の良否を判定する判定手段と、
を備えたペーストの転写状態判定装置。 - 前記演算手段が、前記ペーストが転写された電極の輝度とペーストが転写されていない電極の輝度との間の輝度に設定された閾値を超えている領域と超えていない領域との比率を演算し、前記判定手段が、前記閾値を超えている領域と超えていない領域との比率に基づいて前記ペーストの転写状態の良否を判定する請求項1記載のペーストの転写状態判定装置。
- 電極の輝度を変化させる顔料が配合されたペーストを前記電極に転写する工程と、
前記電極における輝度分布を検出する工程と、
前記輝度分布に基づいてペーストが転写された領域と転写されていない領域との比率を演算する工程と、
前記ペーストが転写された領域と転写されていない領域との比率に基づいて前記ペーストの転写状態の良否を判定する工程と、
を含むペーストの転写状態判定方法。
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