JP2007293949A - 光記録媒体、情報記録再生装置及び方法 - Google Patents

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司 中居
Noritake Omachi
範威 大間知
Sumio Ashida
純生 芦田
Naomasa Nakamura
直正 中村
Keiichiro Yusu
圭一郎 柚須
Sukehiro Sato
裕広 佐藤
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Abstract

【課題】高密度かつ大容量で高速オーバーライト可能な相変化記録媒体を実現する。
【解決手段】基板(1a、1b)および、干渉膜と相変化記録膜と界面膜と反射膜を含む積層構造(19、20)を持ち、前記記録膜に対し光を用いて可逆的に記録または消去が行われる相変化光ディスクにおいて、前記相変化記録膜(13a、13b)と接する部位(21a、21bの場所)からこの記録膜の厚さ方向に、もしくはこの記録膜の面内方向(厚さ方向と直交する方向)に、前記記録膜を構成する元素(Ge,Te等)が偏析または濃度分布を有する。
【選択図】図1

Description

この発明は、光ビームを照射することで状態を可逆的に変化させ、情報を記録する光記録媒体に関する。特に、状態変化が、記録情報を保持する薄膜の原子配列が非晶質と結晶質の間を遷移する相変化記録媒体に関する。
(相変化光記録原理)
相変化光記録膜は、一般に融点以上に加熱された部分が溶融し、急激に冷却される際に非晶質(アモルファス)の原子配列をとる。近年の研究では完全なアモルファス状態ではなく、ショート・レンジ(短距離)の規則性がある可能が示唆されている。しかしながら、XRD(X線回折)の測定によると結晶が存在すれば観測されるピークは確認できていない。そのため、結晶状態の本質的な特徴であるロング・レンジ(長距離)の規則性は無い、もしくはあっても非常に弱いと考えられる。そのため、以下では、「融点以上に加熱された部分が急冷される際に非晶質の原子配列をとる状態」を従前と同様にアモルファス状態と呼ぶことにする。また、融点以下、結晶化温度の温度領域に一定時間以上保持された場合は、初期状態が結晶の場合は結晶のままであるが、初期状態が非晶質の場合は結晶化する(固相消去モード)。記録膜の材料によっては、記録膜の非結晶部近傍を融点以上に加熱・溶融してから徐冷することにより結晶化を行う方法も採られる(溶融消去モード)。
非晶質である部位からの反射光強度と結晶である部位からの反射光強度が異なることから反射光の強弱を電気信号の強弱に変換し、さらにA/D変換を行って情報を読み出すのが、相変化記録媒体の原理である。結晶−非晶質間の相変化のほか、マルテンサイト相のような準安定結晶相と安定結晶相、あるいは複数の準安定結晶相間の遷移を利用して記録と読み出しを行う方法も可能である。
(高密度化の手法)
ここで、一枚の記録媒体に記録できる情報の量、すなわち記録容量を増すためには、以下の二通りの方法がある。一つは、トラック方向の記録マークのピッチを微細化する方法であるが、微細化の程度が進むと再生する光ビームの大きさよりも小さい領域に至り、再生ビームスポット内に二つの記録マークが一時的に含まれる場合が生じる。記録マークが互いに十分離れている場合は再生信号が大きく変調され、振幅の大きい信号が得られるが、互いに近接している場合は、振幅の小さい信号となり、デジタルデータへの変換の際にエラーを生じやすい。
もう一つの記録密度向上の方法は、トラックピッチを狭小化することである。この方法は、前記のマークピッチ微細化による信号強度低減の影響を大きく受けることなく、記録密度を上げることができる。しかしながら、この方法の問題点は、トラックピッチが光ビームの大きさにくらべて同程度か小さい領域においては、あるトラックの情報が、隣接したトラックに書き込みないし消去動作を行っている際に劣化してしまう、いわゆるクロスイレースが発生することである。
クロスイレースの原因は、隣接するトラック上のレーザビームの外縁部によってマークが直接照射を受けてしまうことと、記録時の熱流が隣接トラックに流れ込み、隣接トラック上のマーク温度が上昇して形状が劣化することにあるが、これらを解決することが相変化記録媒体の高密度化に必要である。また、より微小になったマークを正確に、かつ読み出しエラーの確率を低く抑えるためには、形成される記録マークの外縁部も滑らかな形状にし、ノイズ成分を極力抑えることが望まれる。
(多層媒体による大容量化)
もうひとつの大容量化の手法は、情報を担う層を複数設け、それらを重ね合わせる方法である。この方法は、特開2000−322770(特許文献1)に開示されている。二つの層を重ね合わせ、片面から読み書きできるように設計された媒体を片面2層媒体、または単に2層媒体と呼ぶ。片面2層媒体において、光入射側に近い方に設ける情報層(以後、L0と称する)は、遠い方に設ける情報層(以後、L1と称する)にアクセスする際に、L0で必要以上に光を減衰させないため、おおよそ50%以上の透過率を確保する必要がある。このためには、L0では記録膜の厚さを10nm以下と極めて薄くする必要がある。
膜を薄くしたために、結晶化に必要な保持時間が長くなり、通常の書き換え(または書替)速度では消え残りが発生する。そのための対策には、GeSbTe記録膜の一部をSnで置換する方法が有効であることが、第12回相変化記録研究会シンポジウム予稿集(Proceedings of PCOS2000)pp.36-41(非特許文献1)に開示されている。また同様に、GeSbTe記録膜の一部をBi、In、Sn、Pbで置換することが有効であることが、特開2001−232941(特許文献2)に開示されている。しかし、前記の消去率を確保するためには、記録膜材料を工夫しただけでは不十分で、記録膜との界面に結晶化促進効果のある膜を配置する必要がある。
前記相変化光記録研究会シンポジウム予稿集(非特許文献1)によると、「結晶化促進効果のある界面膜」として窒化ゲルマニウム(GeN)が有効とされているが、本願発明者らの検討の結果、前記記録膜材料の10nm以下の極薄膜とGeNなどの従来の界面膜材料の組み合わせにおいては、クロスイレースが発生し、トラックピッチを十分つめることができないことが判明した。また、他に結晶化促進機能が報告されている炭化珪素(SiC)では、本願発明者らの検討の結果、次世代の高密度光ディスクで使用されるレーザ光の波長405nmにおいて光の減衰係数が大きく、非常に大きな光学的損失があった。加えて、窒化ゲルマニウム(GeN)や窒化珪素(SiNx)においても光学的な損失があることが分かった。一方界面膜を配置しない媒体では溶融部再結晶化は抑制できクロスイレースが低く抑えられるが、消去率は全く不十分なことが判明した。
(高速記録の手法)
高速記録は相変化光記録に対するもうひとつの要求である。例えば、映像を録画する場合、実際の視聴時間よりも短時間で記録ができるようになれば、配布媒体のダビング時や、放送録画中に時間を戻って前の映像を視聴するいわゆるタイムシフト機能の実現が容易となる。ここで相変化記録において高速記録を妨げる一つの要因は、オーバーライト時に比較的低い消去レベルのレーザによって結晶化を行う際、情報が消え残ってしまう問題、すなわち消去率不足の問題である。これは、記録マークがレーザスポット内を高速に通過するため、結晶化可能な温度領域に十分に長い時間保たれず、情報が消え残ってしまうためである。
GeNをはじめとする材料を記録膜との界面に設け、結晶化を促進して消去速度を高める工夫が特開平11−213446(特許文献3)に開示されている。しかし、本願発明者らが、記録膜の状態または界面状態を制御せずに特許文献3に開示された材料を界面膜として実験した結果、記録時に溶融した部分の一部が再結晶化すること、すなわち必要な大きさの記録マークを作るにはそれ以上の範囲を溶融しなければならないことが判明した。このような界面膜の使用は、必要以上の領域を溶融させることから、前節に述べたクロスイレースを助長する結果となり、高密度記録の観点から逆効果である。言い換えれば、クロスイレースの観点で許容できる範囲のレーザパワーで記録すると、形成される記録マークの幅が細くなり、得られる信号対ノイズ比(CNR)が低下する問題がある。一方界面膜を配置しない媒体においては、溶融部再結晶化は抑制できクロスイレースが低く抑えられるが、消去率は全く不十分なことが判明した。したがって、消去時の結晶化速度は早めつつ、記録時の溶融部再結晶化は抑制できる新しい界面膜材料が望まれていた。
(相変化記録媒体の膜設計)
相変化記録媒体では、相変化光記録原理のところで説明したように、レーザパルスの照射により記録膜の所望部分にアモルファスのマークを形成し(すなわちデータを書き込み)、または逆にアモルファスのマーク上に低パワーのレーザを照射し結晶化させてデータを消去する。前者ではレーザが照射された部分を急冷することによりアモルファスのマークが形成され、後者は逆に徐冷することによりアモルファスの部分を結晶化させる。また、記録膜部でのレーザの吸収率が大きければ小さなレーザパワーで記録や消去などの動作が行え、逆に吸収率が小さければ記録や消去に大きなレーザパワーを必要とすることになる。この記録膜での吸収率は、多層膜から形成される媒体の各膜材料の光学的特性と熱特性から決まる。例えば、吸収率が同等でも膜材料の選択により構成を変えることができ、急冷構造と徐冷構造、または膜の面内方向と断面方向で熱物性の異方性を作り出すことなどができる。
すなわち、相変化記録媒体の膜設計は、光学設計と熱設計からなる。光学設計のためには各薄膜の光学特性の把握が必要となり、熱設計を行うためには各薄膜の融点、溶融潜熱、結晶化温度等を含めた熱物性の把握が必要となる。薄膜の光学定数については、エリプソ・メーターなどの装置を用いて測定することができる。ところで、ナノメートル・オーダーの薄膜の熱物性はバルクの熱物性と異なると言う事がいくつかの研究によって暗示されていた。しかし、他の要因の効果を除去しつつ、それら(薄膜とバルクの熱物性)を系統的に測定することができていなかった。そのため、これらを補正する(薄膜の熱物性を把握するために他の要因による影響を補正する)ためには経験的なパラメータが必要な状況であった。特にナノメートル・オーダーの薄膜間の界面熱抵抗を測定する方法は、殆ど無かった。本願発明者らは、これらの問題についても鋭意検討し、熱設計により精度の高い方法にて測定された薄膜の熱物性値と薄膜間の界面熱抵抗を考慮すると言う熱設計手法を確立し、それの結果この発明を完成するに至った。
(界面層材料)
GeNの他に、結晶化促進機能を有する界面層材料になり得る公知技術として、硫黄(S)フリーの保護膜用材料を目指した「Ta2O5などのいくつかの酸化物に炭化物もしくは窒化物を混合する技術」が特開2003−6794(特許文献4)に開示されている。特許文献4は、主に波長λ=650nmのレーザダイオードを用いた現行のDVDを改良することを目的に検討されている。特許文献4の材料は次世代の青色レーザダイオード(λ=405nm)では不透明となり、光学的ロスが大きくなる。そのため、次世代の高密度媒体では問題点がある。前述のGeNも同様にλ=405nmでは透明ではなく、光学的ロスが大きい。
また、ZrO2が含まれる界面層材料の公知技術として、特開2003−323743(特許文献5)に(ZrO2)M(Cr2O3)100-M、すなわちZr-Cr-O系に関する技術が開示されている。この材料系にはCr2O3が混合されているが、この材料は可視光の波長領域においては非常に大きな減衰係数を有することが知られている材料である。そのため、例え少量であっても、膜中に含まれる混合材料の場合には、比較的大きな減衰係数を有する薄膜となってしまう。
(記録膜の材料系)
また、共晶系の記録膜は、前述のように消去過程に溶融消去のモードが用いられるため、キャップ層に結晶化促進機能などは求められない。そのため、膜材料や組織と言った詳細については検討されていなかった。加えて、共晶系は、前述のように溶融消去モードを用いるため、ランド(L)とグルーブ(G)の両方に情報を記録・再生する、いわゆるランド・グルーブ記録を行うことが非常に困難である。そのため、記録密度の高密度化には非常に不利である。
これらに対して、Ge2Sb2Te5などのいわゆる擬二元系の記録膜用材料は、溶融消去モードを取らずとも、固相の状態で高速にアモルファスから結晶状態への相転移をすることができるパフォーマンスを有する(固相消去モード)。ただし、記録膜が薄い場合には結晶化に必要な時間が相対的に長くなるため、記録膜の状態をコントロールして、結晶化速度を高めるか、結晶化促進機能を有する界面層材料を用いることが必須となる。これによりランド・グルーブ記録も実現することができる。
このように、相変化方式を用いる記録膜および界面層材料に関する現象論的、結晶学的、またはバルクの熱物性・化学的な知見は、非常に多く蓄積され、媒体の研究開発および設計に応用されている。ところが、ミクロな視点または材料の電子状態等に関して研究された例は、殆ど無いのが現状である。
相変化記録膜材料として現状では種々問題点があり、用いることは殆ど無いと考えられているGeTeに関しては、S.K.Bahlらにより、電子状態を検討しようと試みた例がある(J.Appl.Phys., Vol.(1970)p.2196 : 非特許文献2)。S.K.Bahlらの研究は、電気抵抗率の温度依存性などの電子輸送現象からシンプル・バンド・モデルに立脚し、結晶状態とアモルファス状態のバンド構造の大まかな変化を推定しようとしている。しかしながら、シンプル・バンド・モデルに立脚したこと、および実験データが電子輸送現象のみであることなどから、極簡単なバンド・モデルの提案に止まっている。もちろん、相変化記録媒体への応用などには全く寄与してない。
また、相変化記録媒体に用いることができる材料の一つとしてGe2Sb2Te5に関する電子状態を小川らが計算により推定しようとした例がある(第9回相変化記録研究会シンポジウム予稿集(Proceedings of PCOS1997)pp.50-53 : 非特許文献3)。こちらも、電気抵抗率の温度依存性等をヒントに結晶構造からバンド構造を試算しようと試みたものの、実験事実と比較することができず、相変化記録媒体への応用には至らなかった。
特開2000−322770号公報 特開2001−232941号公報 特開平11−213446号公報 特開2003−6794号公報 特開2003−323743号公報 第12回相変化記録研究会シンポジウム予稿集(Proceedings of PCOS2000)pp.36-41 J.Appl.Phys., Vol.(1970)p.2196 第9回相変化記録研究会シンポジウム予稿集(Proceedings of PCOS1997)pp.50-53
特許文献1〜5あるいは非特許文献1〜3では、高速かつ高密度記録を行う相変化情報記録媒体において記録時の溶融領域に再結晶化の問題があり、そのためランド・グルーブ記録を行う上で障害となり易いクロスイレースが起き易い。また、短波長レーザ(λ=405nm以下)を用いても晶質/非晶質間のコントラストが高くCNRが十分確保でき、高線速における消去率が十分に高く、更にオーバーライト(OW)サイクル特性及び耐環境性に優れ、高密度かつ大容量で高速オーバーライト可能な相変化記録媒体を実現することが難しい。
この発明の課題の1つは、高密度かつ大容量で高速オーバーライト可能な相変化記録媒体を実現することである。
この発明の一実施の形態に係る相変化記録媒体では、記録膜を構成する元素が該記録膜と接する部位から該記録膜の厚さ方向もしくは該記録膜の面内方向に、偏析または濃度分布を持たせている。
高密度かつ大容量で高速オーバーライト可能な相変化記録媒体を実現することができる。
以下、図面を参照してこの発明の種々な実施の形態を説明する。図1は、この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(RWまたはRAMタイプの相変化記録型光ディスク)100の層構成例を示す。この光記録媒体100は、情報層を複数(ここではL0とL1の2つ)持つ多層構造の光ディスクであり、レーザ光入射側からみて、L0情報層19と、層間分離層(接着剤層)18と、L1情報層20を含んで構成されている。ここで、L0情報層19は、使用するレーザ光(波長が405nmまたはそれ以下の短波長レーザ)に対して透明な基板1a上に、第1干渉膜(保護膜または誘電体膜とも呼ぶ、以下同様)11aと、下部界面膜12aと、L0記録膜13aと、上部界面膜14aと、第2干渉膜15aと、反射膜16aと、第3干渉膜17aとを順次積層することで構成されている。L1情報層20は、逆に、透明基板1b上に、反射膜16bと、第2干渉膜15bと、上部界面膜14bと、L1記録膜13bと、下部界面膜12bと、第1干渉膜11bとを順次積層することで構成されている。そして、この実施の形態に係る光記録媒体(RWまたはRAMタイプの相変化記録型光ディスク)100は、L1情報層20の第1干渉膜11とL0情報層19の第3干渉膜17を、接着剤としての層間分離層18を用いて貼り合わせた構造を有する。
前記L0情報層の積層構造(19)は、第3干渉層が光学的エンハンスおよび/または熱拡散に寄与する誘電体膜(ZnS-SiO2等:17a)の役割も担っている。
そして、L0記録膜13aの上下両面の少なくとも一方(好ましくは両方)に所定厚(平均厚で0.1nm〜1.0nm程度)の極薄酸化膜21aを形成し、L1記録膜13bの上下両面の少なくとも一方(好ましくは両方)に所定厚(平均厚で0.1nm〜1.0nm程度)の極薄酸化膜21bを形成している。この極薄酸化膜21a/21bは記録膜13a/13bと同じ構成元素(Ge,Te等)で成膜される。
なお、図1において、a、bのサフィックス以外が同じ参照符号で示される構成要素は、原則として同様な機能の構成要素を示している。例えばL0記録膜13aとL1記録膜13bは物理的には別の構成要素であるが、情報記録を行う記録膜という機能が共通している。ただ、第1干渉膜11aと11bについては、誘電体膜という点で共通していても、保護膜という機能では必ずしも共通しているとは限らない(そのため“保護膜または誘電体膜”と併記している)。つまり、基板1bにL1情報層20が形成された状態(接着剤層18で接着する前)では第1干渉膜11bは(記録膜に対する)保護層として機能し得るが、基板1aにL0情報層19が形成された状態では第1干渉膜11aは保護層として機能する必要がない(基板1aが第1干渉膜11aを覆っているため)。この場合、接着剤層18で接着する前の状態では、むしろ第3干渉膜17aが保護層として機能し得る。また、干渉膜、界面膜、干渉膜などの用語における「膜」は、説明個所によっては適宜「層」と呼ぶことがあるが、その実体に違いはない。さらに、a、bのサフィックスをつけない参照符号はa、bのサフィックスのついた同じ参照符号と同等のものを指す(例えば干渉膜11とあれば、それは11aまたは11bと同等のものを指す)。
また、この発明の実施形態に係る相変化記録媒体の構成は、図1に示したものに限定されない。例えば、第2干渉膜15a(または15b)と反射膜16a(または16b)の間に他の誘電体膜(図示せず)を設けてもよい。干渉膜(11a、11b、15a、15b、17a、17b)を全て界面膜(12a、12b、または14a、14b)の材料で置き換えて干渉膜を省略してもよい。反射膜(16aまたは16b)を複数の積層された金属膜で構成してもよい。反射膜(16aまたは16b)の上にさらに誘電体膜(図示せず)を設けてもよい。
図1に例示されるような2層媒体の場合には、上記のような構成を有する光入射面に近い第1情報層(L0情報層)19側と光入射面から遠い第2情報層(L1情報層)20側とを作製し、これらを接着剤層18によって接着して層間分離する。3層以上の多層媒体の場合も同様である(図示しないが、情報層が3層の場合は第2の層間分離層とL2情報層を図1の基板1aと1bの間でさらに重ね、情報層が4層の場合は第2および第3の層間分離層とL2およびL3情報層を図1の基板1aと1bの間でさらに重ねればよい)。
さらに、基板1aおよび/または1b上に各種の膜を成膜し、その上に0.1mm程度の薄い透明シート(図示せず)を接着し、その透明シートを介して光を入射する形式の媒体(このような媒体は0.85程度の高NAの対物レンズを用いることを想定している)であってもよい。これは、光入射側に0.1mm程度の薄い透明カバー層を用いる場合でも、図1の実施の形態(0.6mmの透明基板を用いる場合)において用いられる記録膜、界面層材料、保護膜材料および反射膜材料に要求される特性に大きな違いが無いからである。
この発明の実施において好ましい光記録媒体(相変化光ディスク)は、次のような構成および/または特徴を持つ。すなわち、
<1>基板(1a、1b)および、干渉膜(保護膜または誘電体膜:11a、11b)と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜(13a、13b)と、この記録膜に接する結晶化促進膜(12a、12b/14a、14b)と、反射膜(16a、16b)を含む積層構造(19、20)を持ち、前記記録膜(13a、13b)に対して、光を用いて可逆的に記録または消去が行われる記録媒体(100)において、前記記録膜(13a、13b)と接する部位(21a、21bの場所)からこの記録膜の厚さ方向(図1の図示縦方向)に、もしくはこの記録膜の面内方向(図1の図示横方向または法線方向:厚さ方向と直交する方向)に、前記記録膜(13a、13b)を構成する元素(Ge,Te等)が、偏析または濃度分布を有する(図5)ように構成する。
<2>前記記録膜(13a、13b)と接する部位(21a、21bの場所)には、前記記録膜(13a、13b)の構成元素(Ge,Te等)から構成される元素の、平均厚が0.1nm以上で1nm以下の極薄酸化膜(21a、21b)を設ける。
<3>前記積層構造(19)は、光学的エンハンスおよび/または熱拡散に寄与する誘電体膜(ZnS-SiO2等:11a、15a、17a)を含んで構成される。
<4>前記干渉膜(保護膜または誘電体膜:例えば図1の11b)は、前記記録膜(例えば図1の13b)に対する保護膜として機能する。
<5>前記記録膜(13a、13b)の価電子帯の状態密度のトップ(図20のBinding Energyが0[eV]のところ)からエネルギー準位の低い側に0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度:図20のau11/au12等)が、1.0以上2.5以下となるように構成する。
<6>前記記録膜(13a、13b)の価電子帯の状態密度のトップ(Binding Energyが0[eV]のところ)からエネルギー準位の低い側に0.25ないし1.0[eV]の範囲のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度:図20のau13/au14、au15/au16等)が、1.0〜2.5の範囲に納まるように構成してもよい。価電子帯のトップのエネルギーは、XPS等で測定する場合は、Binding Energy=0[eV]と表記されるのが慣例である。これは原子と原子のBinding Energy、すなわち結合エネルギーが0であることを示すものではない。XPS等を用いた価電子帯のエネルギー準位は、標準となる既知のピークを基準に補正できる。
<7>前記結晶化促進膜(12a、12b/14a、14b)を前記記録膜(13a、13b)の一方面に接する上部界面膜(14a、14b)および前記記録膜(13a、13b)の他方面に接する下部界面膜(12a、12b)により構成し、前記上部界面膜(14a、14b)および前記下部界面膜(12a、12b)を、前記記録膜(13a、13b)の上下で結晶化速度が異なるように制御する(そのように構成する)。
<8>前記結晶化促進膜(12a、12b/14a、14b)を前記記録膜(13a、13b)の一方面に接する上部界面膜(14a、14b)または前記記録膜(13a、13b)の他方面に接する下部界面膜(12a、12b)により構成し、前記上部界面膜(14a、14b)および前記下部界面膜(12a、12b)を、前記記録膜(13a、13b)の上下で結晶化速度が異なるように制御するように構成してもよい。
<9>前記結晶化促進膜(12a、12b/14a、14b)は、窒化ゲルマニウム(GeN)、または窒化ゲルマニウム-クロム(GeCrN)、または酸化ジルコニウム(ZrO2)、または安定化ジルコニア+酸化クロム(ZrO2+Cr2O3)、または安定化ジルコニア+酸化ケイ素+酸化クロム(ZrO2+SiO2+Cr2O3)、またはジルコン+酸化クロム(ZrSiO4+Cr2O3)、または酸化ハフニウム(HfO2)を含んで構成することができる。あるいは、この結晶化促進膜は、ハフニウム(Hf)、酸素(O)、および窒素(N)を含有する化合物(HfO2-xNx)で構成することができる。あるいは、この結晶化促進膜は、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=0)で構成することができる。あるいは、この結晶化促進膜は、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびニオブ(Nb)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=1)で構成することができる。あるいは、この結晶化促進膜は、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)とニオブ(Nb)から構成される膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいて0<z<1)で構成することができる。あるいは、この結晶化促進膜は、酸化クロム(Cr2O3)、または酸化亜鉛(ZnO)、または酸化亜鉛+酸化タンタル(ZnO+Ta2O5)、または酸化亜鉛+酸化タンタル+酸化インジウム(ZnO+Ta2O5+In2O3)、または酸化錫(SnO2)、または酸化錫+酸化アンチモン(SnO2+Sb2O3)、または酸化錫+酸化タンタル(SnO2+Ta2O5)、または酸化錫+酸化ニオブ(SnO2+Nb2O5)を含んで構成することができる。
なお、この発明の一実施の形態に関わる酸化ジルコニウム(ZrO2)は、安定化ジルコニア、通常は、ZrO2+Y2O3と示され、Y2O3の濃度には3〜5mol.%程度のものを用いても良い。また安定化ジルコニアは、ZrO2+Y2O3に限定されるものではなく、ZrO2+Nb2O5、ZrO2+MgOなども用いられる。ZrO2単体では、温度の変化による結晶構造の相転移などによる熱膨張係数の急激な変化が起こり、種々問題が生じる。そのため、これらの問題点を緩和、または実質的ななくすために種々施策を施した酸化ジルコニウム(ZrO2)を、ここでは安定化ジルコニアと呼んでいる。
<10>前記記録膜(13a、13b)をその両面から挟む上部界面膜(14a、14b)および下部界面膜(12a、12b)の一方は、窒化ゲルマニウム(GeN)、または窒化ゲルマニウム-クロム(GeCrN)、または酸化ジルコニウム(ZrO2)、または安定化ジルコニア+酸化クロム(ZrO2+Cr2O3)、または安定化ジルコニア+酸化ケイ素+酸化クロム(ZrO2+SiO2+Cr2O3)、またはジルコン+酸化クロム(ZrSiO4+Cr2O3)、または酸化ハフニウム(HfO2)を含んで構成することができる。あるいは、この上部または下部結晶化促進膜は、ハフニウム(Hf)、酸素(O)、および窒素(N)を含有する化合物(HfO2-xNx : 0.1≦x≦0.2)で構成することができる。あるいは、この上部または下部結晶化促進膜は、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=0)で構成することができる。あるいは、この上部または下部結晶化促進膜は、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびニオブ(Nb)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=1)で構成することができる。あるいは、この上部または下部結晶化促進膜は、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)とニオブ(Nb)から構成される膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいて0<z<1)で構成することができる。
また、前記上部界面膜(14a、14b)および前記下部界面膜(12a、12b)の他方は、酸化クロム(Cr2O3)、または酸化亜鉛(ZnO)、または酸化亜鉛+酸化タンタル(ZnO+Ta2O5)、または酸化亜鉛+酸化タンタル+酸化インジウム(ZnO+Ta2O5+In2O3)、または酸化錫(SnO2)、または酸化錫+酸化アンチモン(SnO2+Sb2O3)、または酸化錫+酸化タンタル(SnO2+Ta2O5)、または酸化錫+酸化ニオブ(SnO2+Nb2O5)を含んで構成することができる。
<11>前記記録膜(13a、13b)がゲルマニウム(Ge)とアンチモン(Sb)とテルル(Te)を含有し、その組成をGexSbyTezかつx+y+z=100で表したときに、前記記録膜(13a、13b)は、GeSbTe三元相図(図21)上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで規定されるエリア内(図21のA1)またはそのエリア上(図21のB1)の組成を持つように構成できる。
<12>前記組成を持つGeSbTe系化合物には、窒素(N)を1ないし5at.%添加することができる。
<13>前記記録膜(13a、13b)が少なくともゲルマニウム(Ge)とビスマス(Bi)とテルル(Te)を含有し、その組成をGexBiyTezかつx+y+z=100で表したときに、前記記録膜(13a、13b)は、GeBiTe三元相図(図22)上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで規定されるエリア内(図22のA2)またはそのエリア上(図22のB2)の組成を持つように構成できる。
<14>前記組成を持つGeBiTe系化合物には、窒素(N)を1ないし5at.%添加することができる。
<15>前記記録膜(13a、13b)の組成の一部をビスマス(Bi)および/またはインジウム(In)および/またはスズ(Sn)で置換し、置換後の組成を(Ge(1-w) Snwx (Sbv (Bi(1-u) In u(1-v)y Tezかつx+y+z=100で表したときに、この組成におけるw、vおよびuを、0≦w<0.5かつ0≦v<0.7かつ0≦u≦1となるように構成できる。
<16>前記組成を持つGeSnSbTe、GeSnSbTeIn、GeSbTeIn、GeSbTeBiIn、GeSbSnTeBiIn、GeSbTeBi、GeSnSbTeBi、GeSnSbTeBiIn系化合物には、窒素(N)を1ないし5at.%添加することができる。
以下の説明では、片面2層媒体での実施形態/実施例を示す。また、試作光ディスクの測定データは、L0、L1の各ランド(L)とグルーブ(G)の中で、各実験の一番悪い値を代表値として示した。試作した光記録媒体の透過率、反射率等は、分光光度計を用いて測定されたものである。また、薄膜中の各元素の濃度は、ICP(Induced Coupled Plasma)、RBS(ラザフォード後方散乱)、SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy)、TOF−SIMS、XPS(X線光電子分光分析)等の分析手法を用いた。膜中の各元素間の結合形態は、XPS、IR(赤外分光法)測定等により明らかとした。薄膜の熱伝導率、熱拡散率、および積層薄膜間の界面熱抵抗は、サーモリフレクタンス法により評価した。記録膜の価電子帯の状態密度は、XPS 、UPS、HX−PES(Hard X-ray PhotoElectron Spectroscopy)法を用いて測定することができる。また、電子比熱などの測定でも状態密度に関する情報が得られる。
図2は、記録膜の価電子帯の状態密度の測定で用いる試料の構成を例示する図である。図2の基板1には、ポリカーボネート(PC)などが使用される。この基板1のグルーブが形成される面に、スパッタリング装置を用いて、次の層が成膜される。すなわち、レーザ光入射側に近い方に設けたL0情報層(図1では19)では、干渉膜(ZnS-SiO2)15、界面層14、記録膜層13、界面層12、干渉膜(ZnS-SiO2)11などが順次成膜される。一方、光入射側から遠い方に設けたL1情報層(図1では20)の場合は、基板上から順に、反射膜(Ag合金)16、干渉膜(ZnS-SiO2)15、界面層14、記録膜層1、界面層12b、干渉膜(ZnS-SiO2)11などが順次成膜される。
この発明の一実施の形態では、記録膜の価電子帯の状態密度は、主にHX−PES(Hard X-ray PhotoElectron Spectroscopy)法、またはXPS法を用いて測定される。HX−PES法を用いた記録膜の価電子帯の状態密度の測定は、基板上1に原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜13と、この記録膜13に接し結晶化促進機能を有する膜12および14と、保護膜11と、反射膜16とから構成された図2に示す試料を用いる。記録膜13は、as depo.の状態でアモルファスである。ポリカーボネート(PC)基板を用いた場合には、初期化装置を用いて結晶化(レーザ・アニール)されるが、Siまたはガラス基板を用いた場合には、電気炉等により所定の時間結晶化温度以上に加熱して、結晶化することができる。
価電子帯の状態密度のトップのエネルギーは、電気伝導体においては、Fermiエネルギーに相当する。半導体の場合には、Fermiエネルギーは価電子帯と伝導体の間に存在するバンド・ギャップのほぼ中央位置する。半導体の場合には、ドナーとなる不純物がドープされるのか、アクセプターとなる不純物がドープされるのかにより、局在準位を形成することがあり、Fermi準位が若干上下する。
結晶状態とアモルファス状態にある記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側のエネルギー準位における結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)をコントロールする方法には、(i)記録膜の厚さ方向の組成を僅かに変える(微量偏析)、(ii)記録膜の上下に配置する界面層材料を適切に選択し、界面層から記録膜へ微量ドープされる元素を変える(微量反応)、(iii)記録膜と接する部位に、記録膜を構成する元素の、平均厚が0.1nm以上で1nm以下の極薄の酸化膜を配置する、などがある。
また、(i)記録膜の厚さ方向の組成を僅かに変える、および/または(ii)記録膜の上下に配置する界面層材料を適切に選択し界面層から記録膜へ微量ドープされる元素を変えることなどにより、記録膜の上下で結晶化速度を変化させることも可能である。
例えば、微量偏析モデルでは、GeSbTe系においては膜中の元素のGeに偏析がある場合、Geが多い部分と少ない部分、またはその他の元素(SbやTe等)の少ない部分と多い部分が結晶化のための核となり、偏析の無い記録膜と比較して核が多く、高速結晶化に寄与すると推定される。ただし、偏析の度合いが相分離に近いくらい大きな場合には効果が無く、精密な分析にてようやく見つかる程度の微量なものでなければならない。いずれの元素に微量な偏析があるかは、用いる記録膜、界面層、およびそれらのプロセスにも依存するので、これらを適切に選択することによりコントロールが可能である。
一方、微量反応モデル、または微量ドープモデルの場合、例えばGeBiTe系においてはTeがGeやBiと比較して酸化され難い。すなわち、GeやBiが、Teと比較して酸化または反応し易い。例えば、GeやBiが微量酸化される場合には酸化されていないTeが結晶化のための核となり、もしくは微量酸化されたGeOxやBiOxが核となり、やはり従来の記録膜と比較して核が多く、高速結晶化に寄与すると推定される。いずれの元素が微量反応またはいずれの元素にドープさせられるかは、用いる記録膜、界面層、およびそれらのプロセスにも依存するので、これらを適切に選択することによりコントロールが可能である。このことにより、一見、制御が難しいと考えられる記録膜の上下で結晶化速度を変えることも可能になっている。
(i)記録膜の厚さ方向の組成を僅かに変える方法にはいくつかあるが、スパッタ初期から終了のでの間に、放電ガスの量および/または放電電力の強さを変化させることなどによって達成できる。放電ガスの量を変化させる場合には、放電中に別なガスを混合するなどの方法も可能である。
(iii)記録膜(13a/13b)と接する部位に、記録膜を構成する元素(Ge,Te等)の、平均厚が0.1nm以上で1nm以下の極薄酸化膜(21a/21b)を配置する方法としては、酸化力の強い材料を界面層(12a、12b/14a、14b)の材料として用いたり、記録膜(13a/13b)の表面を僅かに酸化させるなどの方法が用いることができる。
これまで述べてきたような従来は考えられなかった複雑かつミクロな視点からの反応モデルは、各種分析方法を組み合わせ、メカニズムの検討を積み上げてようやく想到するに至ったものである。
図3は、この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の製造装置を説明する図である。真空容器100A内の図の上部近傍には、PC基板支持用の円盤状回転基台102Aが、回転面が図中で水平(紙面に垂直)になるように配設されている。回転基台102Aの下面にPC基板が支持され、モータ110Aにより回転されるようになっている(回転させない実施形態もあり得る)。
真空容器100A内の図の下部近傍には、上方の回転基台102Aと対向するように、スパッタリング源(ターゲット材)が配置されたアノード板104Aが配設される。アノード板104Aの下部には回転可能に構成されたマグネット111Aが配設されている。回転基台(カソード板)102Aは接地される。アノード板104Aには、RFスパッタの場合、高周波電源装置112Aが接続される。(DCスパッタの場合なら直流電源装置112Aが接続される。)スパッタリングが行われる際は、電源装置112Aの出力電圧が、接地されたカソード板102Aとアノード板104Aとの間に印加される。
真空容器100Aは、ガス排気ポート113Aを介して排気装置114Aに接続される。排気装置114Aにより十分に排気された真空容器100Aへは、スパッタリング実行時に、ガス導入ポート115Aおよび制御バルブ118Aを介して、ガスボンベ116から、スパッタリングガス(アルゴン等の不活性ガスその他)が微量注入される。スパッタリングガスの注入量は、真空容器100Aに取り付けられた内圧センサ(真空計)108Aによりチェックされる。基板回転モータ110A、マグネット111A、スパッタリング用電源装置112A、排気装置114Aおよび制御バルブ118Aは、スパッタリング制御装置120Aにより、コンピュータコントロールされる。
アノード板104Aに配置されたスパッタリング源の上方には、膜厚計測機能を持つモニタ装置106Aが設けられている。制御装置120AのCPUは、モニタ装置106Aによって、スパッタリング源から基板へのスパッタ量をモニタする。すなわち、制御装置120AのCPUは、基板にスパッタされた薄膜をモニタしながら、薄膜層が所定の組成となるように(あるいは所定の膜厚になるように)、電源装置112Aからアノード板104Aへの高周波電力を調節するようにプログラムされる。なお、図3の真空容器100Aは、図示しないがロード・ロック室とプロセス・チャンバーを装備しており、スパッタリング中はそれぞれ別に機能するようになっている。
図4は、この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の製造工程を説明するフローチャート図である。まず、基板1a/1bを(人手またはロボットアームにより)スパッタリング装置の所定部分に装着し(ST100)、真空容器100A内のロード・ロック室を真空引きする(ST102)。内圧センサ108Aによりロード・ロック室内の真空度が例えば1×10−3(Pa)以下になったら(ST104イエス)、基板を真空容器100A内のプロセス・チャンバーに移動させる(ST106)。基板が所定のターゲット材と対向する位置に移動したら、カソード板102A側の基板を回転させるとともに、アノード板104A側のマグネット111Aを回転させる(ST108)。
その後、ガスボンベ116Aからプロセス・チャンバー内にスパッタリングガスを導入し(ST110)、電源装置112Aを起動してプラズマ着火を開始する(ST112)。これにより、基板上に均一にターゲット材の組成に対応した薄膜が形成される(ST114)。膜厚計106Aのモニタにより所望厚の薄膜が形成されたことが分かったら、プロセス・チャンバーへのガス導入を停止し(ST116)、1つの薄膜の形成が終了する。
同基板上にさらに薄膜を形成するときは(ST118イエス)、ST106〜ST116の処理が再度実行される。その際、成膜する薄膜の組成が変わるときは該当するターゲット材に変更するとともに、必要に応じてチャンバー内に導入するガスの成分も変更する。例えば、成膜の種類によって、ガスをアルゴンのみとしたり、アルゴンと窒素の混合ガスにしたりすることができる。
同基板上に全ての成膜が済んだら(ST118ノー)、カソード板102A側の基板回転と、アノード板104A側のマグネット回転を停止する(ST120)。その後成膜が完了した基板をロード・ロック室へ搬送し(ST122)、ロード・ロック室に外気をリークして真空状態を解除し、成膜完了後の基板1a/1bを(人手またはロボットアームにより)取り出す(ST124)。その後、成膜終了後の基板1aと1bを図1等に例示されるように貼り合わせて、片面多層の光ディスク(高密度記録用DVD-RW/RAM等)が完成する。
図5は、この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の記録膜を構成する元素(Ge,Te等)が偏析または濃度分布を有する状態を例示する図である。記録膜を構成する元素にはGe、Te以外にも種々存在する(図8等参照)。しかし、ここでは構成元素の偏析または濃度分布を分かり易く図示するため、代表例として図示する元素はGeとTeのみとしてある。
図5(a)では、記録膜(13aまたは13b)と下部界面膜(12aまたは12b)との界面から下部界面膜側へ数nm程度までの範囲と、記録膜(13aまたは13b)と上部界面膜(14aまたは14b)との界面から上部界面膜側へ数nm程度までの範囲と、これらの範囲の間にある記録膜(13aまたは13b)のうち界面から10nm程度の範囲における元素の濃度[at.%]が模式的に示されている。すなわち、記録膜の構成元素のうちの一部(例えばGe)が記録膜の範囲で高濃度側へあるパターンで偏析し、記録膜の構成元素のうちの他部(例えばTe)が記録膜の範囲で別パターンで高濃度側へ偏析している。
図5(b)(c)は偏析パターンの別例を模式的に示したもので、図5(a)と比べて、図5(b)ではGeとTeの元素濃度の違いが少なくなっている。また、図5(b)では、GeとTeの元素濃度の変化位置(図示左右方向)が図5(a)の例と反対側に出ている。なお、記録膜が相対的に厚い場合は、図示しないが、記録膜の厚み方向の中央位置付近で構成元素の濃度が肩部分よりも低くなることがあってもよい。
図6は、この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の界面層(上部界面膜および/または下部界面膜)の材料例を示す図である。図7は、界面層の材料にGeNを用いた場合における、GeとNの組成比を例示する図である。図8は、この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の記録膜(L0および/またはL1)の材料例を示す図である。図9は、界面層がない場合と界面層にSiO2およびY2O3を用いた場合の比較例1〜3を説明する図である。
図6および図8の材料を図2の構成の資料に適用して実験を行った。図6で示した界面層材料のいずれかを光入射側(12側)に配置し、反射膜側(16側)にこれ以外の界面層材料を選択して配置した。なお、GeNやGeCrNなどの組成を変えられる化合物については、その組成が異なる組み合わせに関しても好適なものがある。図7にはGeNの組成を変えた場合の例を示してある。比較例としては、図9に示す界面層材料について実験を行った。
図10は、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度:例えば図20のau11/au12)を、種々な界面層材料の組み合わせに対して測定した結果を例示する図である。図11は、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度:例えば図19のau01/au02)を、図10とは別の界面層材料の組み合わせ(界面層なしの場合も含む)に対して測定した結果を例示する図である。
図10および図11それぞれに、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)を測定した結果を示す。図10の実施例の組み合わせでは、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)は、1.0以上2.5以下であった。一方、図11の比較例ではいずれもこの比が4以上であった。
図19は、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)を、界面層がない場合について説明する図である。また、図20は、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)を、界面層がある場合について説明する図である。
光を用いて可逆的に記録や消去を行う記録媒体であって、基板と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、該記録膜に接する結晶化促進機能を有する膜と、保護膜と、反射膜と、光学的エンハンスおよび/または熱拡散に寄与する誘電体膜から構成され、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)が1.0以上2.5以下である光記録媒体は、好ましい特性をもっている(図10、図13〜図16参照)。このことは、界面層がある図20においてau11/au12(またはau13/au14もしくはau15/au16)が、状態密度比で1.0〜2.5の範囲に納まっていることに対応する。一方、界面層がない図19の場合では、この状態密度比(au01/au02またはau03/au04もしくはau05/au06)が2.5を超えてしまい、好ましくない結果となっている(図9、図11、図17、図18参照)。
以下の説明では、便宜的に価電子帯の状態密度のトップのエネルギーをFermiエネルギー(Fermi準位)として説明する。室温におけるFermiエネルギーは、約25[meV]程度の揺らぎがある。なお、本願発明者らは基準として価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位としたが、同様な傾向は、価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ1.0[eV]のエネルギー準位程度まで(さらには価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.25[eV]のエネルギー準位程度を含めて)認められる。しかしながら、本願発明者らは、SN比の高い条件を探求し、最も好ましいものの1つとして、上記のような基準(価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位)を定めた。
記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)が2.5以下になると、結晶状態とアモルファス状態が電子状態的に近い状態であることが示唆され、アモルファス状態としてもショート・レンジの規則性は高まる。そのため、結晶状態とアモルファス状態との間の相転移が容易になり、高速に結晶とアモルファスの間の相転移が可能になる。
記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)が1.0の場合は、結晶状態とアモルファス状態が電子態的には完全に同じとなり、アモルファス状態のショート・レンジの規則性は更に高まる。そのため、より高速に結晶とアモルファスの間の相転移が可能になる。
一方、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)が2.5より大きい場合には、結晶状態とアモルファス状態が結晶状態的にも電子状態的にも異なることが示され、アモルファス状態でのショート・レンジの規則性が大幅に下がる。アモルファス状態ではロング・レンジの規則性はほとんど無いので、結晶状態とアモルファス状態との間の相転移を行うためには大きなエネルギーが必要になり、高速で相転移することができない。
そのため、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)が1.0以上2.5以下である光記録媒体が好適となる。記録膜に接して結晶化促進機能を有する膜(図1の界面膜12a、12b/14a、14b)を設けたときは、さらに高速に、結晶とアモルファスの間の相転移が可能になる。
(界面膜)
記録膜に接して結晶化促進機能を有する界面膜は、窒化ゲルマニウム(GeN)、または窒化ゲルマニウム-クロム(GeCrN)、または酸化ジルコニウム(ZrO2)、または安定化ジルコニア+酸化クロム(ZrO2+Cr2O3)、または安定化ジルコニア+酸化ケイ素+酸化クロム(ZrO2+SiO2+Cr2O3)、またはジルコン+酸化クロム(ZrSiO4+Cr2O3)、または酸化ハフニウム(HfO2)を含んで構成される。あるいは、この界面膜は、ハフニウム(Hf)、酸素(O)、および窒素(N)を含有する化合物(HfO2-xNx)で構成される。あるいは、この界面膜は、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=0)で構成される。あるいは、この界面膜は、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびニオブ(Nb)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=1)で構成される。あるいは、この界面膜は、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)とニオブ(Nb)から構成される膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいて0<z<1)で構成される。あるいは、この界面膜は、酸化クロム(Cr2O3)、または酸化亜鉛(ZnO)、または酸化亜鉛+酸化タンタル(ZnO+Ta2O5)、または酸化亜鉛+酸化タンタル+酸化インジウム(ZnO+Ta2O5+In2O3)、または酸化錫(SnO2)、または酸化錫+酸化アンチモン(SnO2+Sb2O3)、または酸化錫+酸化タンタル(SnO2+Ta2O5)、または酸化錫+酸化ニオブ(SnO2+Nb2O5)を含んで構成される。このような構成を採用した場合に、この発明の実施の形態の特徴がより顕著となる。
なお、Zrを精製する過程において同属のHfやTiなどは、また同様にHfを精製する過程において同属のZrやTiなどは、相互に分離が難しく混在不可避な元素の一つとして知られている。このような不可避な元素が微量混入していても、この発明の実施の形態による効果を著しく損なうものでない。
(記録膜)
記録膜をGeSbTeとし、(GeTe)-(Sb2Te3)と表記できる、いわゆる擬二元系線上組成とその近傍とした場合に、この発明の界面膜の効果が顕著であり、さらに好ましくは、前記(GeTe)-(Sb2Te3)組成とその近傍の合金記録膜材料であって、Geの組成比が30at.%以上の組成に対して、特にこの発明の効果が顕著である。従来の考えでは、記録膜の組成のみが重要であると考えられてきたが、前述のようにこの発明ではその電子状態がどのようなものであるのかも組成と同様に重要である。以下では組成に関する記述をする。
さらに、前記したGeSbTeの組成を元にして、Geの一部をSnで置換した組成とし、あるいはSbの一部をBiおよび/またはInで置換した組成とし、前記の界面膜を使用すると、この発明による効果はさらに顕著である。その場合、GeとSnの置換の割合は、Sn/Ge<0.5が好ましく、SnとBiの置換の割合は、Bi/(Bi+Sb)<0.7が好ましい。Inの割合は、Sb、またはBiの量に対して0.7以下、より好ましくは0.5以下、更に好ましくは0.25以下が好適である。これら置換元素の量は、結晶化促進機能と共に結晶化温度、融点となどとも密接に関連がある。そのため媒体の設計により最適な条件は異なるが、上記の範囲から選択すること好適であった。
また記録膜をGeBiTeとし、(GeTe)-(Bi2Te3)と表記できる、いわゆる擬二元系線上組成とその近傍とした場合に、この発明の界面膜の効果が顕著であり、さらに好ましくは、前記(GeTe)-(Bi2Te3)組成とその近傍の合金記録膜材料であって、Geの組成比が30at.%以上の組成に対してこの発明の界面膜を用いると、特にその効果が顕著である。
(各記録膜の窒化)
記録膜に窒素(N)が含まれる場合としは、(GeTe)-(Sb2Te3)- N 、すなわち(GeTe)-(Sb2Te3)に窒素(N)を添加した構成と表記できる。すなわち、(GeTe)-(Sb2Te3)の擬二元系に窒素(N)を添加した構成である。より簡単には、GeSbTe-Nと表記できる。このように窒化された記録膜を用いた場合、この発明の界面膜の効果が顕著であり、さらに好ましくは、前記(GeTe)-(Sb2Te3)組成とその近傍の合金記録膜材料であって、Geの組成比が30at.%以上の組成に対してこの発明の界面膜を用いると、特にその効果が顕著である。
さらに、前記したGeSbTe-Nの組成を元にして、Geの一部をSnで置換した組成とし、あるいはSbの一部をBi、および/またはInで置換した組成とし、前記の界面膜を使用すると、この発明による効果はさらに顕著である。その場合、GeとSnの置換の割合は、Sn/Ge<0.5が好ましく、SnとBiの置換の割合は、Bi/(Bi+Sb)<0.7が好ましい。Inの割合は、Biの量に対して0.7以下、より好ましくは0.5以下、更に好ましくは0.25以下が好適である。これら置換元素、窒素の量は、結晶化促進機能と共に結晶化温度、融点となどとも密接に関連がある。そのため媒体の設計により最適な条件は異なるが、上記の範囲から選択すること好適であった。
また記録膜を(GeTe)-(Bi2Te3)に窒素(N)を添加した構成、(GeTe)-(Bi2Te3)-Nと表記される、いわゆる擬二元系線上組成とその近傍とした場合(より簡単に表記するとGeBiTe-N)に、この発明の界面膜の効果が顕著であり、さらに好ましくは、前記(GeTe)-(Bi2Te3)組成とその近傍の合金記録膜材料であって、Geの組成比が30at.%以上の組成に対してこの発明の界面膜を用いると、特にその効果が顕著である。
さらに、この発明の効果は記録膜の膜厚によらず現れるが、記録膜の膜厚を20nm以下、さらには10nm以下にした場合に、より効果が顕著である。
また、片面から光を入射し、異なる2層の情報層にアクセスできるタイプの記録媒体(片面2層タイプ)において、光入射側に近い層の記録膜に対してこの発明を適用すると、この発明の効果が顕著である。その場合の特徴は、記録膜の膜厚を10nm以下にできるところにある。この発明の実施の形態に係る界面層を用いることにより、短波長レーザ光に対する透過率をより高くでき、かつコントラストが高くすることができると言う特徴が顕著となる。
本願発明者らは、記録膜の結晶化促進に効果がある界面膜材料として既に知られている窒化ゲルマニウム(GeN)、炭化珪素(Si-C)、窒化珪素(Si-N)、Ta2O5+SiCなどの材料を使用し、実験を行った。その結果、記録膜の状態をコントロールせずに結晶化促進効果が高い材料を使うとCNRが低下し、CNRが高いものは結晶化促進効果が乏しいというトレードオフがあることを見出した。また、これらの材料は、Si-Nを除いて、次世代DVDで使用される青紫レーザダイオードの波長λ=405nmにおいては、吸収が比較的大きく(つまり光学的減衰係数が大きく)、光学的ロスの要因となる。この光学的ロスがあるとその分照射するレーザのパワーを大きくしなければならないことになり、またL0記録膜の透過率を上げることを妨げ、かつL1記録膜の感度およびコントラストを共に落とす結果となり、2層媒体にとって数々の問題点が発生する。
しかし、従来の均一な記録膜層とGeN等の結晶化促進機能を有する界面層材料を用いた場合には、特に低線速において再結晶化が激しく、良好なアモルファスマークを形成できないことが判明した。また、そのためにビットピッチを詰めることができず、高密度化への障害となっていた。
[実施形態1]
試作した光記録媒体の実施例を示すのに先立ち、以下の実施例に用いた構造の試料において、記録膜が結晶状態、およびアモルファス状態の両者の試料を作成し、記録膜の価電子帯の状態密度をHX−PES法を用いてそれぞれ測定した。記録膜および界面層は、以下の系に関して実験を行った。
実験した記録膜系:
GeSbTe、GeSnSbTe、GeSnSbTeIn、GeSbTeIn、GeSbTeBiIn、GeSbSnTeBiIn、GeSbTeBi、GeSnSbTeBi、GeSnSbTeBiIn、GeBiTeIn、GeBiTe、GeSbTe-N、GeSbTeBi-N、GeBiTe-N、GeSbInTe-N、GeSbTeBiIn-N、GeBiInTe-N。
実験した界面層系:
窒化ゲルマニウム(GeN)、窒化ゲルマニウム-クロム(GeCrN)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、安定化ジルコニア+酸化クロム(ZrO2+Cr2O3)、安定化ジルコニア+酸化ケイ素+酸化クロム(ZrO2+SiO2+Cr2O3)、ジルコン+酸化クロム(ZrSiO4+Cr2O3)、酸化ハフニウム(HfO2)、ハフニウム(Hf)酸素(O)および窒素(N)を含有する化合物(HfO2-xNxにおいて0.1≦x≦0.2)、ジルコニューム(Zr)酸素(O)窒素(N)およびイットリア(Y)とニオブ(Nb)から構成される膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいて0<x≦0.2、0<y≦0.1、0≦z≦1)、酸化クロム(Cr2O3)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化亜鉛+酸化タンタル(ZnO+Ta2O5)、酸化亜鉛+酸化タンタル+酸化インジウム(ZnO+Ta2O5+In2O3)、酸化錫(SnO2)、酸化錫+酸化アンチモン(SnO2+Sb2O3)、酸化錫+酸化タンタル(SnO2+Ta2O5)、酸化錫+酸化ニオブ(SnO2+Nb2O5)。
[実施形態2]
図1の基板には、ランド・グルーブ記録方式(a)およびグルーブ記録方式(b)の両者に対応するものを用いた。ランド・グルーブ記録方式(a)では射出成形で形成された厚さ0.59mmのポリカーボネート(PC)基板を使用した。グルーブピッチ0.68μmでグルーブを形成したものを用いたので、ランド(L)とグルーブ(G)の両方に記録する場合は、トラックピッチ0.34μmに相当する。グルーブ記録方式(b)ではやはり射出成形で形成された厚さ0.59mmのPC基板を使用し、グルーブピッチを0.4μmとした。
これらのPC基板のグルーブが形成された面に、スパッタリング装置を用いて、例えば次の層を成膜する。すなわち、光入射側に近い方に設けたL0情報層19では、干渉膜(ZnS-SiO2)15a、界面層14a、記録膜層13a、界面層12a、干渉膜(ZnS-SiO2)11aを順次成膜する。一方、光入射側から遠い方に設けたL1情報層20では、PC基板上から順に、反射膜(Ag合金)16b、干渉膜(ZnS-SiO2)15b、界面層14b、記録膜層13b、界面層12b、干渉膜(ZnS-SiO2)11bを順次成膜する。
用いたスパッタ装置は、各層をそれぞれ異なる成膜室でスパッタ成膜する、いわゆる枚葉式スパッタ成膜装置である。枚葉式スパッタ成膜装置は、基板を装着するロードロック室、搬送室、そして各膜を成膜するプロセス・チャンバー等で構成されている。図3に一つのプロセス・チャンバーの構成例が示されている。プロセス・チャンバーは、該チャンバーを排気する装置、真空計、圧力センサ、膜厚計、成膜する材料であるスパッタリング・ターゲット、装着した基板などから構成される。スパッタガスには、主にAr等の希ガスが用いられ、必要に応じて酸素や窒素ガスなども用いられる。スパッタ時の放電の形式は、成膜する材料や求める膜質などに応じてRF電源、DC電源などが用いられる。成膜時のプロセス・フローは図4のようになる。
図21は、この発明の実施の形態に係る光記録媒体の記録膜の好ましい組成範囲を説明するGeSbTe三元相図である。記録膜層(13a、13b)はGe、Sb、Teからなり、その組成をGexSbyTezと表すときx+y+z=100で、GeSbTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成から選択されたものを用いた。
図22は、この発明の実施の形態に係る光記録媒体の記録膜の好ましい組成範囲を説明するGeBiTe三元相図である。記録膜層(13a、13b)がGe、Bi、Teからなり、その組成をGexBiyTezと表すときx+y+z=100で、GeBiTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成から選択されたものを用いた。多くの組成について検討したが、その一例を図示した。
図23は、この発明の実施の形態に係る光記録媒体の記録膜の好ましい組成範囲を説明するGe/Sn-Sb/Bi-Te三元相図である(図21のGeおよび/またはSbがSnおよび/またはBiで置換される場合)。この実施の形態ではGeSbTeBi系記録膜を用いた場合を示す。なお、記録膜の膜厚は、10nm以下とした。
界面層には、光入射側にZrO2、反射膜側にCr2O3を用いた。ZnS-SiO2膜(干渉膜)はZnSにSiO2を混合したターゲットを用いて成膜した。用いたスパッタ装置は、各層をそれぞれ異なる成膜室でスパッタ成膜する、いわゆる枚葉式スパッタ成膜装置である。各媒体の作成後、分光光度計により反射率、透過率が測定される。
図12は、ランド・グルーブ記録形式で記録膜を評価する場合の評価条件を例示する図である。図示しない初期化装置で各層の媒体全面の記録膜を結晶化した。初期化後、成膜した面を内側にしてUV樹脂によって接着し、層間分離層を形成した。層間分離層の厚さは、25μmである。評価には、パルステック(株)製のディスク評価装置ODU−1000を用いた。同装置には、波長405nmの青紫色半導体レーザと、NA=0.65の対物レンズを備えてある。ランド・グルーブ記録の形式によって記録実験をおこなった。標準として実施した条件を図12に示す。
ディスクの特性を評価する実験は、大きく分けて以下の3通り行った。
(1) ビット・エラー・レート(SbER:Simulated bit Error Rate)の測定
一つはデータの誤り率を測定するビット・エラー・レート(SbER : Simulated bit Error Rate)の測定である。もう一つは、読み出し信号品質を判断するためのアナログ測定である。SbER測定は、まず2Tから13Tまでのパターンがランダムに含まれたマーク列を10回オーバーライトした。次に、前記トラックの両側の隣接トラックに同じランダムパターンを10回オーバーライトした。その後、真中のトラックに戻り、SbERを測定した。
(2)アナログ測定
アナログ測定は、次のように行った。やはりまず2Tから13Tまでのパターンがランダムに含まれたマーク列を10回オーバーライトした。次に、そのマーク列に9Tのシングルパターンを1回オーバーライトし、9Tマークの信号周波数の信号対ノイズ比(以下、CNR)をスペクトラムアナライザーによって測定した。次に、消去パワーレベルのレーザビームをディスク一回転分照射し、記録マークを消去した。その際の、9Tマークの信号強度の減少分を測定し、これを消去率(ER)と定義する。次に、十分離れたトラックにヘッドを移動し、クロスイレース(E−X)の測定を行った。
(3)オーバーライト(OW)試験
また、3つ目の測定としてオーバーライト(OW)特性の実験を行った。本実験では同一トラックにランダム信号をオーバーライト(OW)しつつ、CNRを測定した。CNRが、初期の価より2dB以上減少してしまう回数が2000回以上あるかどうかで判定した。OW回数が何処まで可能かどうかと言う視点で実験を行っていない。映像記録用途であれば、1000回程度、PCのデータ用途を目指すなら10000回以上可能であることが求められる。ただし、マーケットとしては、圧倒的に映像記録用途が大きいので、映像記録用途を重視した評価を行うこととした。
なお、これら図12の測定に加えて、線速を落とし(v=4.4m/s、1割以上更に容量が高まる)、ビットピッチを更に詰め、更に高密度化した条件においても評価を行い、更に高密度化が可能であることも示す実験も加えており、この実験においては更に従来より格段に特性が上がっていることが分かる。これらの結果も合わせて示した。また、環境試験も実施しているがいずれも問題が発生しなかった。
なお、前記のSbERの測定の最適パワーを媒体の感度とした。ここで、L0の感度とL0の透過率を測定するために、この実施例の構成のL0と何も成膜していないブランク・ディスクとを貼り合わせた物、L1と何も成膜していないブランク・ディスクとを貼り合わせた物もそれぞれ別途用意した。各評価は、特に明記しない場合にはランド・グルーブ記録方式(a)では、線速5.4m/s(等速)、グルーブ記録方式(b)では線速6.61m/s(等速)にて評価した。
以下の実施形態の例も全て、上記の条件を共通に用いた。代表例として示す以下の例では、上記の作成の評価結果から最も悪いデータを示している。例えば、ランド・グルーブ記録方式(a)はグルーブ記録方式(b)より記録密度を高められるため、全体的に(a)方式より(b)方式の方が、特性が良い傾向にある。その傾向はCNRやERよりSbERで特に顕著である。ある実施例では、同様な構成でも(a)方式より(b)方式の方が、SbERが1/10〜1/100程度、もしくはほとんどノー・エラーとなることなどが確認できた。
図13は、複数サンプルに対する記録膜の評価結果(CNR、SbER、ER)を例示する図である。図13にOW回数の結果以外の評価結果を示す。SbERはランド・グルーブともに1.8×10−6以下であり、OW回数も2000回以上と実用的な特性が得られた。また、この実施例のみ参考までにOW特性の評価を10000回以上実施すると10000回程度のOWは可能であることも確認できた。次に、アナログデータの比較を行った。本媒体においては、CNRがランド・グルーブともに52.9dB以上、消去率が−33.8dB以下、クロスイレースも−0.1dB以下と優れた結果となった。
この実施例の膜構成を射出成形で形成された厚さ1.1mmのポリカーボネート(PC)基板上に形成し、75μmの透明カバー層を設けたディスクを作成、波長405nmの青紫色半導体レーザと、NA=0.85の対物レンズを備えた評価装置にて媒体の記録消去特性を評価した。基板のグルーブピッチは0.32μmで、グルーブ記録で評価した。すなわち、前述の(b)方式のグルーブ記録方式である。CNRは、52dB以上、消去率が−30dB以下、OW特性も2000回以上と非常に良好な結果を得た。従って、この発明例の界面層材料は、基板の厚さや、光入射側のカバー層の厚さに影響されること無く、良好であると考えられる。
図14は、複数サンプルに対する記録膜の別の評価結果(線速を変えた場合のER)を例示する図である。実施形態2〜9に関しては、線速を変化させて消去率の測定も実施した。図14に結果を示した。いずれも良好な消去特性を示している。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜は、図5に例示するような偏析または濃度分布があることが分かった。すなわち、Ge、Sb、Biが一方(図5(a)では図示左側)の界面近傍においてリッチで、逆にTeがプアーである。(図5では分かり易くするためにGeとTeのみの元素を表示している。)
[実施形態3]
実施形態2の構成と同様な構成で、界面層には、光入射側にGeCrN、反射膜側にCr2O3を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに52dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態4]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にZrO2+Y2O3+Cr2O3、反射膜側にSnO2+Sb2O3を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに52dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態5]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にZrSiO4+Cr2O3、反射膜側にCr2O3を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに53dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態6]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にZrO2+Y2O3+SiO2+Cr2O3、反射膜側にZnO+Ta2O5+In2O3を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに53dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態7]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側に(ZrO2-xNx1-y((Y2O31-z(Nb2O5zy ((x、y、z)=(0.05、0.05、0)) 、反射膜側にSnO2+Nb2O5を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに53dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態8]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にHfO2-xNx (x=0.1)、反射膜側にGeNを用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに52dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態9]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にGeN、反射膜側にCr2O3を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに53dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態10]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にHfO2-xNx (x=0.1)、反射膜側にZrSiO4+Cr2O3を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに53dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態11]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にCr2O3、反射膜側にZnO+Ta2O5を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに51dB以上と良好な結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態12]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にGeN、反射膜側にSnO2+Ta2O5を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに53dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態13]
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にZrO2+Y2O3+Cr2O3、反射膜側にZnO+Ta2O5+In2O3を用いてディスクを作成した。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに53dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態14]
基板には、前述の(a)、(b)の両方式、すなわちランド・グルーブ記録方式(a)およびグルーブ記録方式(b)の両者に対応するものを用いた。ランド・グルーブ記録方式(a)では射出成形で形成された厚さ0.6mmのポリカーボネート(PC)基板を使用した。グルーブピッチ0.68μmでグルーブを形成したものを用いたので、ランド(L)とグルーブ(G)の両方に記録する場合は、トラックピッチ0.34μmに相当する。グルーブ記録方式(b)ではやはり射出成形で形成された厚さ0.59mmのPC基板を使用し、グルーブピッチを0.4μmとした。
これらのPC基板のグルーブが形成された面に、スパッタリング装置を用いて、光入射側からZnS-SiO2、SiO2、ZnS-SiO2、界面層、記録膜層、界面層、ZnS-SiO2、Ag合金を順次成膜した。そして、UV硬化樹脂を用いて、成膜を行っていないいわゆるブランク・ディスクを貼り合わせた。実施形態2と同様に用いたスパッタ装置は、各層をそれぞれ異なる成膜室でスパッタ成膜する、いわゆる枚葉式スパッタ成膜装置である。
記録膜層はGe、Sb、Teからなり、その組成をGexSbyTezと表すときx+y+z=100で、GeSbTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成から選択されたものを用いた。また、記録膜層がGe、Sb、TeおよびBiまたはSnからなり、前記GeSbTeの組成の一部をBiおよび/またはInおよび/またはSnで置換し、その組成を((Ge(1-w) Snwx (Sbv (Bi(1-u) In u(1-v)y Tezと表すとき、x+y+z=100で、w、vおよびuが、0≦w<0.5かつ0≦v<0.7かつ0≦u≦1.0を満たすGeSnSbTe、GeSnSbTeIn、GeSbTeIn、GeSbTeBiIn、GeSbSnTeBiIn、GeSbTeBi、GeBiTeIn、GeSnSbTeBi、GeSnSbTeBiInを用いた。更には、記録膜層がGe、Bi、Teからなり、その組成をGexBiyTezと表すときx+y+z=100で、GeBiTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成から選択されたものを用いた。
多くの組成について検討したが、この実施例ではGeSbTeBi系記録膜を用いた場合を示す。なお、記録膜の膜厚は、10nm以下とした。
界面層には、光入射側にGeN、反射膜側にCr2O3を用いた。ZnS-SiO2膜はZnSにSiO2を混合したターゲットを用いて成膜した。用いたスパッタ装置は、各層をそれぞれ異なる成膜室でスパッタ成膜する、いわゆる枚葉式スパッタ成膜装置である。各媒体の作成後、分光光度計により反射率、透過率が測定される。
図示しない初期化装置で各層の媒体全面の記録膜を結晶化した。初期化後、成膜した面を内側にしてUV樹脂によって接着し、層間分離層を形成した。層間分離層の厚さは、20μmである。評価には、前述したディスク評価装置ODU−1000を用いた。同装置には、波長405nmの青紫色半導体レーザと、NA=0.65の対物レンズを備えてある。ランド・グルーブ記録の形式によって記録実験をおこなった。やはり実施形態2と同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに53dB以上と優れた結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。また、記録膜と接する層の界面に0.6nmから0.1nmの極薄のゲルマニューム酸化物、アンチモン酸化物が存在することが確認された。
[実施形態15]
基板には、前述の(a)、(b)の両方式、すなわちランド・グルーブ記録方式およびグルーブ記録方式の両者に対応するものを用いた。すなわち、ランド・グルーブ記録方式(a)では射出成形で形成された厚さ0.6mmのポリカーボネート(PC)基板を使用した。グルーブピッチ0.68μmでグルーブを形成したものを用いたので、ランド(L)とグルーブ(G)の両方に記録する場合は、トラックピッチ0.34μmに相当する。グルーブ記録方式(b)ではやはり射出成形で形成された厚さ0.59mmのPC基板を使用し、グルーブピッチを0.4μmとした。これらのPC基板のグルーブが形成された面に、スパッタリング装置を用いて、光入射側からZnS-SiO2、SiOC、ZnS-SiO2、界面層、記録膜層、界面層、ZnS-SiO2、Ag合金を順次成膜し、UV硬化樹脂を用いて、成膜を行っていないいわゆるブランク・ディスクを貼り合わせた。SiOC膜は、SiC系ターゲットをAr/O2の混合ガスを用いて反応性スパッタリング法により得られる膜で、SiO2とほぼ同様な低屈折率を示す。やはり実施形態2などと同様な実験をした。その結果、やはり図13に示すように、いずれのサンプルについてもSbERはランド・グルーブともに10−6台であり、良好なエラーレートが得られた。アナログデータに関しても、いずれもCNRがランド・グルーブともに51dB以上と良好な結果となった。OW回数も同様にいずれの媒体も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。
[実施形態16](記録膜の組成の最も良い範囲の選択)
実施形態2の構成と同様な構成で界面層には、光入射側にGeN、反射膜側にCr2O3、または両側にGeNを用いてディスクを作成した。記録膜層は、Ge、Sb、Teからなり、その組成をGexSbyTezと表すときx+y+z=100で、GeSbTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成から選択されたものを用いた。また、記録膜層がGe、Sb、TeおよびBiまたはSnからなり、前記GeSbTeの組成の一部をBiおよび/またはInおよび/またはSnで置換し、その組成を(Ge(1-w) Snwx(Sbv (Bi(1-u) In u(1-v)yTezと表すとき、x+y+z=100で、0≦w<0.5かつ0≦v<0.7かつ0≦u≦1を満たすGeSbTeBi、GeSbTeSn、GeSbTeBiSn、GeSnSbTeIn、GeSbTeIn、GeSbTeBiIn、GeSbSnTeBiIn、GeBiTeIn、GeSnSbTeBiInを用いた。更には記録膜層が、Ge、Bi、Teからなり、その組成をGexBiyTezと表すときx+y+z=100で、GeBiTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成の条件を満たすものを用いた。多くの組成について検討したが、この実施例では図8に示すものを代表例としたGeSbTe系、GeSbTeSn系、およびGeBiTe系の記録膜層を用いたディスクの例を示した。やはりそれぞれ実施形態2と同様な実験をした。これらの結果を図15に示す。
図15は、種々な組成の記録膜の評価結果(CNR、SbER)を例示する図である。この図に示されるように、CNR、各SbERとも良好な特性を示した。OW回数も2000回以上と実用的な特性が得られた。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜の界面近傍においてにGe、Sb、Biがリッチで、逆にTeがプアーであった。また、記録膜と接する層の界面に0.4nmないし0.1nmの極薄のゲルマニューム酸化物、アンチモン酸化物、ビスマス酸化物が存在することが確認された。
[実施形態17](記録膜の組成の最も良い範囲の選択)N2添加
実施形態2の構成と同様な構成で、界面層には、光入射側にGeCrN、反射膜側にCr2O3を用いてディスクを作成した。記録膜層は、Ge、Sb、Te、およびN(窒素)からなり、Ge、Sb、Teからなる化合物のの組成をGexSbyTezと表すときx+y+z=100で、GeSbTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成領域のGeSbTe系化合物にN(窒素)を1〜5at.%添加したものから選択されたものを用いた。また、記録膜層がGe、Sb、Te、Biおよび/またはInおよび/またはSn、およびN(窒素)からなり、前記GeSbTeの組成の一部をBiおよび/またはSnで置換し、その組成を(Ge(1-w) Snwx(Sbv (Bi(1-u) In u(1-v)yTezと表すとき、x+y+z=100で、0≦w<0.5かつ0≦v<0.7かつ0≦u≦1を満たすGeSbTeBi、GeSbTeSn、GeSbTeBiSn、GeSnSbTeIn、GeSbTeIn、GeSbTeBiIn、GeSbSnTeBiIn、GeBiTeIn、GeSnSbTeBiInにN(窒素)を0.1〜10at.%添加したものを用いた。更には記録膜層が、Ge、Bi、Teからなり、その組成をGexBiyTezと表すときx+y+z=100で、GeBiTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれたGe、Sb、Te、およびN(窒素)からなり、Ge、Sb、Teからなる化合物のの組成をGexSbyTezと表すときx+y+z=100で、GeSbTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成領域のGeSbTe系化合物にN(窒素)を0.1〜10at.%添加したものの中から選択したものを用いた。
多くの組成について検討したが、この実施例では図9に示すものを代表例としてそれぞれにN(窒素)を1〜5at.%添加したものとした。この実施例ではGeSbTe系、GeSbTeSn系、およびGeBiTe系のそれぞれにN(窒素)を添加した記録膜膜を用いたディスクの例を示した。また、評価については、それぞれ実施形態2と同様な実験を2倍の線速、すなわち線速10.8[m/sec]にて評価した。その結果を図16に示す。
図16は、種々な組成の記録膜に少量のNを添加した場合の評価結果(CNR、SbER)を例示する図である。この図に示されるように、CNR、各SbERとも良好な特性を示した。OW回数も2000回以上と実用的な特性が得られ、かつ環境試験後に膜中に剥離は認められなかった。N(窒素)は、1〜5at.%が好適であるが、この中で3at.%近傍がより好適であった。
上記の評価媒体と同様に作製したものを分析した結果、記録膜と接する層の界面に0.9nmから0.1nmの極薄のゲルマニューム酸化物、ビスマス酸化物が存在することが確認された。
[比較例1〜3]
次に比較例を示す。やはり実施形態2の構成と同様な構成で界面層にSiO2、Y2O3、を用いたディスク、および界面層を用いなかったディスクを作成した。図17、図18に整理した。やはりそれぞれ実施形態2と同様な実験をした。その結果を図17、図18に示す。
図17は界面層がない場合と界面層にSiO2およびY2O3を用いた場合の比較例1〜3に対する評価結果(CNR、SbER、ER)を例示する図である。また、図18は界面層にSiO2およびY2O3を用いた場合の比較例2、3に対する別の評価結果(線速を変えた場合のER)を例示する図である。これらの図に示されるように、CNR、SbER、消去率のいずれかが十分な特性が得られなかった。そのため、OW特性の評価は未実施である。
この発明の一実施の形態における必須構成要件は、原子配列を可逆的に変化する記録膜を用いて記録を行う相変化型光記録媒体において、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)を1.0以上2.5以下にすることにあって、その他の膜等については、前記実施例に説明した材料に限定されるものではない。また、記録膜材料も、この発明の実施による効果を損なわない範囲で、GeSbTeに例えばCo、V、Agなどを微量添加しても、またはGeBiTeに例えばCo、V、Agなどを微量添加しても、かまわない。
また、この実施例は何ら基板の厚さや成膜の順番に制限をもたらすものではなく、成膜する基板を介して光を入射する形式の媒体にも、成膜した基板に別な透明シートを接着し、そのシートを介して光を入射する形式の媒体にも同様に適用できる。例えば、0.85程度の高NAの対物レンズを用い、光入射側の透明シート厚を0.1mm程度に薄く設計したタイプの記録媒体に関しても、この発明の効果が有効であることは以上の説明から明らかである。また、使用するレーザの波長も405nm近傍に限定されるものではなく、界面層材料の光学特性からは、更に短波長の350nmから250nm近傍まで実質的に透明であり、この発明の実施による効果が有効であると言える。
以上説明したように、原子配列を可逆的に変化する記録膜を用いて記録を行う相変化型光記録媒体において、基板と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、該記録膜に接する結晶化促進機能を有する膜と、保護膜または誘電体膜と、反射膜とから構成され、該記録膜を構成する元素が該記録膜と接する部位から該記録膜の厚さ方向もしくは該記録膜の面内方向に、偏析または濃度分布を持たせる。そうすることによって、高密度かつ高速記録媒体において記録時に再結晶化することなく、所望のマーク幅が得られる。そのため、高いCNR、低いビット・エラー・レートが確保でき、優れた消去比が得られる上、優れたクロスイレース特性を得ることができ、その結果として従来よりも高速かつ、高密度に記録・書替えができる相変化記録媒体を実現できる。
図24は、この発明の一実施の形態に係る情報記録再生装置の構成を説明する図である。図1などを参照して説明したこの発明の実施の形態に係る相変化光ディスク100に対する記録再生は、図24のような構成を持つ装置により、実行できる。図24において制御部143より上側の部分が主に情報記憶媒体への情報記録制御系を表す。情報再生装置の実施形態は図1における上記情報記録制御系を除いた部分が該当する。図24に於いて太い実線矢印が再生信号、または記録信号を意味するメイン情報の流れを示し、細い実線矢印が情報の流れ、一点鎖線矢印が基準クロックライン、細い破線矢印がコマンド指示方向を意味する。
図24に示した情報記録再生部141の中に光学ヘッド(図示せず)が配置されている。この実施形態では情報再生にPRML(Partial Response Maximum Likelihood)法を用い、情報記憶媒体の高密度化を図っている。種々の実験の結果、使用するPRクラスとしてはPR(1,2,2,2,1)を採用すると線密度が高くできるとともに、再生信号の信頼性(例えば焦点ぼけやトラックずれなどサーボ補正誤差が発生した時の復調信頼性)を高くできることが判ったので、この実施形態ではPR(1,2,2,2,1)を採用している。この実施形態では(d,k;m,n)変調規則(前述した記載方法ではm/n変調のRLL(d,k)を意味している)に従って変調後のチャネルビット列を情報記憶媒体に記録している。具体的には変調方式としては8ビットデータを12チャネルビットに変換(m=8、n=12)するETM(Eight to Twelve Modulation)を採用し、変調後のチャネルビット列の中で“0”が続く長さに制限を掛けるランレングスリミテッド(RLL)制約として“0”が連続する最小値をd=1とし、最大値をk=10としたRLL(1,10)の条件を課している。この実施形態では情報記憶媒体の高密度化を目指して極限近くまでチャネルビット間隔を短くしている。その結果、例えばd=1のパターンの繰り返しである“101010101010101010101010”のパターンを情報記憶媒体に記録し、そのデータを情報記録再生部141で再生した場合には、再生光学系のMTF特性の遮断周波数に近付いているため、再生生信号の信号振幅はほとんどノイズに埋もれた形に成る。したがって、そのようにMTF特性の限界(遮断周波数)近くまで密度を詰めた記録マーク、またはピットを再生する方法としてPRML(Partial Response Maximum Likelihood)法の技術を使っている。
すなわち、情報記録再生部141で再生された信号はPR等化回路130により再生波形補正を受ける。AD変換器169で基準クロック発生回路160から送られてくる基準クロック198のタイミングに合わせてPR等化回路130通過後の信号をサンプリングしてデジタル量に変換し、ビタビ復号器156内でビタビ復号処理を受ける。ビタビ復号処理後のデータは従来のスライスレベルで2値化されたデータと全く同様なデータとして処理される。PRML法の技術を採用した場合、AD変換器169でのサンプリングタイミングがずれると、ビタビ復号後のデータのエラー率は増加する。したがって、サンプリングタイミングの精度を上げるため、この実施形態の情報再生装置、または情報記録再生装置では、特にサンプリングタイミング抽出用回路(シュミットトリガ2値回路155とPLL回路174の組み合わせ)を別に持っている。
シュミットトリガ2値化回路155は2値化するためのスライス基準レベルに特定の幅(実際にはダイオードの順方向電圧値)を持たせ、その特定幅を越えた時のみ2値化される特性を持っている。したがって、例えば、上述したように“101010101010101010101010”のパターンが入力された場合には、信号振幅が非常に小さいので2値化の切り替わりが起こらず、それよりも疎のパターンである、例えば“1001001001001001001001”などが入力された場合に、再生生信号の振幅が大きくなるので、シュミットトリガ2値化回路155で“1”のタイミングに合わせて2値化信号の極性切り替えが起きる。この実施形態ではNRZI(Non Return to Zero Invert)法を採用しており、上記パターンの“1”の位置と記録マークまたはピットのエッジ部(境界部)が一致している。
PLL回路174ではシュミットトリガ2値化回路155の出力である2値化信号と基準クロック発生回路160から送られる基準クロック198信号との間の周波数と位相のずれを検出して、PLL回路174の出力クロックの周波数と位相を変化させている。基準クロック発生回路160ではPLL回路174の出力信号とビタビ復号器156の復号特性情報(具体的には図示してないがビタビ復号器156内のパスメトリックメモリ内の収束長(収束までの距離)の情報)を用いてビタビ復号後のエラーレートが低くなるように基準クロック198(の周波数と位相)にフィードバックを掛ける。基準クロック発生回路160で発生される基準クロック198は再生信号処理時の基準タイミングとして利用される。
同期コード位置抽出部145はビタビ復号器156の出力データ列の中に混在している同期コード(シンクコード)の存在位置を検出し、上記出力データの開始位置の抽出役目を担っている。この開始位置を基準としてシフトレジスタ回路170に一時保存されたデータに対して復調回路152で復調処理を行う。この実施形態では12チャネルビット毎に復調用変換テーブル記録部154内に記録された変換テーブルを参照して元のビット列に戻す。その後はECCデコーディング回路162によりエラー訂正処理が施され、デスクランブル回路159によりデスクランブルされる。この実施形態の記録形(書替え形、または追記形)情報記憶媒体ではウォブル変調によりアドレス情報が事前に記録されている。ウォブル信号検出部135で、このアドレス情報を再生し(すなわち、ウォブル信号の内容を判別し)、希望場所へのアクセスに必要な情報を制御部143に対して供給する。
制御部143より上側にある情報記録制御系について説明する。情報記憶媒体上の記録位置に合わせてデータID発生部165からデータID情報が生成され、CPR_MAIデータ発生部167でコピー制御情報が発生されるとデータID,IED,CPR_MAI,EDC付加部168により記録すべき情報にデータID,IED,CPR_MAI,EDCの各種情報が付加される。その後、デスクランブル回路157でデスクランブルされた後、ECCエンコーディング回路161でECCブロックが構成され、変調回路151でチャネルビット列に変換された後、同期コード生成・付加部146で同期コードを付加されて、情報記録再生部141で情報記憶媒体にデータが記録される。また、変調時にはDSV(Digital Sum Value)値計算部148で変調後のDSV値が逐次計算され、変調時のコード変換にフィードバックされる。
図25は、PRML検出法を用いた信号処理回路の一例を説明する図である。データ領域、データリードイン領域、データリードアウト領域で信号再生にPRML検出法を用いた信号処理回路を図25に示す。図25における4分割光検出器302は図24における情報記録再生部141内に存在する光学ヘッド内に固定されている。4分割光検出器302の各光検出セルから得られる検出信号の総和を取った信号をここではリードチャンネル1信号と呼ぶ。図24におけるPR等化回路130内の詳細な構造が図25のプリアンプ回路304からタップ制御器332、イコライザ330、オフセットキャンセラ336までの各回路で構成されている。図25内のPLL回路334は図24のPR等化回路130内の一部であり、図24のシュミットトリガ2値化回路155とは別の物を意味する。図25におけるハイパスフィルタ回路306の1次の遮断周波数は1kHzに設定してある。プリイコライザ回路は7タップのイコライザを用いている(7タップを使用すると最も回路規模が少なく、かつ精度良く再生信号の検出が出来るためである)。A/Dコンバータ回路324のサンプルクロック周波数は72MHz、デジタルは8ビット出力になっている。PRML検出法では再生信号全体のレベル変動(DCオフセット)の影響を受けるとビタビ復調時に誤差が発生し易くなる。その影響を除去するためにイコライザ330の出力から得た信号を用いてオフセットキャンセラ336によりオフセットを補正する構造になっている。図25に示した実施形態では、図24のPR等化回路130内で適応等化処理がなされている。そのため、ビタビ復号器156の出力信号を利用してイコライザ内の各タップ係数を自動修正するためのタップ制御器332が利用されている。
図26は、この発明の一実施の形態に係るビタビ復号器の構成を説明する図である。
図24または図25に示したビタビ復号器156内の構造を図26に示す。入力信号に対して予想し得る全てのブランチに対するブランチメトリックをブランチメトリック計算部340で計算し、その値をACS342へ送る。ACS342はAdd Compare Selectの略称で、ACS342の中で予想し得る各パスに対応してブランチメトリックを加算して得られるパスメトリックを計算すると共にその計算結果をパスメトリックメモリ350へ転送する。この時、ACS342内ではパスメトリックメモリ350内の情報も参照して計算処理を行う。パスメモリ346内では予想し得る各パス(遷移)状況とその各パスに対応しACS342で計算したパスメトリックの値を一時保存する。出力切替え部348で各パスに対応したパスメトリックを比較し、パスメトリック値が最小となるパスを選択する。
図27は、PR(1,2,2,2,1)クラスにおける状態遷移の一例を説明する図である。PR(1,2,2,2,1)クラスにおける取り得る状態(ステート)の遷移は図27に示す遷移のみが可能なので、図27の遷移図を元にビタビ復号器156内では復号時の存在し得る(予想し得る)パスを割り出している。
図28は、この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の構造および寸法の一例を説明する図である。図28にこの実施形態における情報記憶媒体の構造及び寸法を示す。実施形態としては
・再生専用で記録が不可能な“再生専用形情報記憶媒体”
・1回のみの追記記録が可能な“追記形情報記憶媒体”
・何回でも書き替え記録が可能な“書替え形情報記憶媒体”
の3種類の情報記憶媒体の実施形態を明示する。図28に示すように上記3種類の情報記憶媒体では大部分の構造と寸法が共通化されている。3種類の情報記憶媒体いずれも内周側からバーストカッティング領域BCA、システムリードイン領域SYLDI、コネクション領域CNA、データリードイン領域DTLDI、データ領域DTAが配置された構造になっている。OPT形再生専用媒体以外は全て外周部にデータリードアウト領域DTLDOが配置されている。後述するようにOPT形再生専用媒体では外周部にミドル領域MDAが配置される。システムリードイン領域SYLDIではエンボス(プリピット)の形で情報が記録されており、追記形および書替え形のいずれもこの領域内は再生専用(追記不可能)となっている。
再生専用形情報記憶媒体ではデータリードイン領域DTLDI内もエンボス(プリピット)の形で情報が記録されているのに対し、追記形および書替え形情報記憶媒体ではデータリードイン領域DTLDI内は記録マーク形成による新規情報の追記(書替え形では書替え)が可能な領域となっている。後述するように追記形および書替え形情報記憶媒体ではデータリードアウト領域DTLDO内は新規情報の追記(書替え形では書替え)が可能な領域とエンボス(プリピット)の形で情報が記録されている再生専用領域の混在になっている。図28に示すデータ領域DTA、データリードイン領域DTLDI、データリードアウト領域DTLDO、ミドル領域MDAでは、そこに記録されている信号の再生にPRML法を使うことにより、情報記憶媒体の高密度化(特に線密度が向上する)を達成すると共に、システムリードイン領域SYLDI、システムリードアウト領域SYLDOではそこに記録されている信号の再生にスライスレベル検出方式を使うことにより、現行DVDとの互換性を確保するとともに再生の安定化を確保している。
現行DVD規格とは異なり、図28に示す実施形態ではバーストカッティング領域BCAとシステムリードイン領域SYLDIとが重ならずに位置的に分離されている。両者を物理的に分離することにより、情報再生時のシステムリードイン領域SYLDI内に記録された情報とバーストカッティング領域BCA内に記録された情報との間の干渉を防止し、精度の高い情報再生が確保できる。
他の実施形態として、“L→H”形の記録膜を使った場合にバーストカッティング領域BCAの配置場所に予め微細な凹凸形状を形成する方法もある。後に図37における192バイト目に存在する記録マークの極性(“H→L”か“L→H”かの識別)情報に関する説明を行う部分で、この実施形態では従来の“H→L”形だけで無く“L→H”形記録膜も規格内に組み込み、記録膜の選択範囲を広げ、高速記録可能や低価格媒体を供給可能とすると言う説明を行う。後述するようにこの実施形態では“L→H”形の記録膜を使う場合も考慮する。バーストカッティング領域BCA内に記録するデータ(バーコードデータ)は記録膜に対して局所的にレーザ露光することにより形成する。
システムリードイン領域SYLDIはエンボスピット領域211で形成するため、システムリードイン領域SYLDIからの再生信号は鏡面210からの光反射レベルと比べて光反射量が減る方向に現れる。もし、バーストカッティング領域BCAを鏡面210状態にし、“L→H”形記録膜を用いた場合にはバーストカッティング領域BCA内に記録されたデータからの再生信号は(未記録状態の)鏡面210からの光反射レベルよりも光反射量が増加する方向に現れる。その結果、バーストカッティング領域BCA内に形成されたデータからの再生信号の最大レベルと最小レベルの位置(振幅レベル)とシステムリードイン領域SYLDIからの再生信号の最大レベルと最小レベルの位置(振幅レベル)との間に大きく段差が生じてしまう。
情報再生装置または情報記録再生装置は、
(1)バーストカッティング領域BCA内の情報の再生
(2)システムリードイン領域SYLDI内の制御データゾーンCDZ内の情報の再生
(3)データリードイン領域DTLDI内の情報の再生(追記形または書替え形の場合)
(4)参照コード記録ゾーンRCZ内での再生回路定数の再調整(最適化)
(5)データ領域DTA内に記録された情報の再生もしくは新たな情報の記録
の順で処理を行うため、バーストカッティング領域BCA内に形成されたデータからの再生信号振幅レベルとシステムリードイン領域SYLDIからの再生信号振幅レベルに大きな段差があると情報再生の信頼性が低下すると言う問題が生じる。その問題を解決するため、この実施形態では、記録膜に“L→H”形の記録膜を使用する場合にはバーストカッティング領域BCAに予め微細な凹凸形状を形成しておく。予め微細な凹凸形状を形成しておくと、局所的なレーザ露光によりデータ(バーコードデータ)を記録する前の段階で、光の干渉効果により光反射レベルが鏡面210からの光反射レベルよりも低くなり、バーストカッティング領域BCA内に形成されたデータからの再生信号振幅レベル(検出レベル)とシステムリードイン領域SYLDIからの再生信号振幅レベル(検出レベル)の段差が大きく減り、情報再生の信頼性が向上し、上記の(1)から(2)へ移行する際の処理が容易になる。
“L→H”形の記録膜を使用する場合には、バーストカッティング領域BCAに予め形成する微細な凹凸形状の具体的内容としてシステムリードイン領域SYLDI内と同様にエンボスピット領域211とする方法があるが、他の実施形態としてデータリードイン領域DTLDIやデータ領域DTAと同様にグルーブ領域214あるいはランド領域及びグルーブ領域213にする方法もある。システムリードイン領域SYLDIとバーストカッティング領域BCAを分離配置させる実施の形態では、バーストカッティング領域BCA内とエンボスピット領域211が重なると、不要な干渉によるバーストカッティング領域BCA内に形成されたデータからの再生信号へのノイズ成分が増加する。バーストカッティング領域BCA内の微細な凹凸形状の実施形態としてエンボスピット領域211にせずにグルーブ領域214あるいはランド領域及びグルーブ領域213にすると、不要な干渉によるバーストカッティング領域BCA内に形成されたデータからの再生信号へのノイズ成分が減少して、再生信号の品質が向上する。
バーストカッティング領域BCA内に形成するグルーブ領域214あるいはランド領域及びグルーブ領域213のトラックピッチをシステムリードイン領域SYLDIのトラックピッチに合わせると、情報記憶媒体の生産性が向上する。すなわち、情報記憶媒体の原盤製造時に原盤記録装置の露光部の送りモータ速度を一定にしてシステムリードイン領域内のエンボスピットを作成している。この時、バーストカッティング領域BCA内に形成するグルーブ領域214あるいはランド領域及びグルーブ領域213のトラックピッチをシステムリードイン領域SYLDI内のエンボスピットのトラックピッチに合わせることにより、バーストカッティング領域BCAとシステムリードイン領域SYLDIとで引き続き送りモータ速度を一定に保持できるため、途中で送りモータの速度を変える必要が無いのでピッチムラが生じ難く情報記憶媒体の生産性が向上する。
図29は、書替え形情報記憶媒体または1層構造を有する再生専用形情報記憶媒体における物理セクタ番号の設定方法の一例を説明する図である。前述した3種類の情報記憶媒体はいずれも情報記憶媒体へ記録する情報の最小管理単位を2048バイトのセクタ単位としている。上記2048バイトのセクタ単位の物理的なアドレスを物理セクタ番号と定義する。追記形情報記憶媒体と1層構造を有する再生専用形情報記憶媒体における物理セクタ番号の設定方法を図29に示す。バーストカッティング領域BCAとコネクション領域CNA内には物理セクタ番号は付与せず、システムリードイン領域SYLDI、データ領域DTA、データリードアウト領域DTLDOに内周から昇順で物理セクタ番号を設定している。システムリードイン領域SYLDIの最後の物理セクタ番号は“026AFFh”になるように、データ領域DTAの開始位置での物理セクタ番号が“030000h”になるように設定される。
図30は、2層構造を持った再生専用情報記憶媒体の物理セクタ番号設定方法の一例を説明する図である。2層構造を持った再生専用情報記憶媒体の物理セクタ番号設定方法は図30に示すように2種類存在する。一つは図30(a)に示すパラレル配置(Parallel Track Path)PTPで、図29に示した物理番号設定方法を2層ともに適応した構造となっている。他の方式は図30(b)に示すオポジト配置(Opposite Track Path)OPTで、手前の層(Layer0)では内周から外周へ向けて昇順に物理セクタ番号が設定され、奥側の層(Layer1)では逆に外周から内周へ向けて昇順に物理セクタ番号が設定される。OPTの配置の場合にはミドル領域MDA、データリードアウト領域DTLDO、システムリードアウト領域SYLDOが配置される。
図31は、書替え形情報記憶媒体における物理セクタ番号設定方法の一例を説明する図である。書替え形情報記憶媒体における物理セクタ番号設定方法を図31に示す。書替え形情報記憶媒体ではランド領域とグルーブ領域それぞれに物理セクタ番号が設定され、データ領域DTAが19ゾーンに分割された構造となっている。
図32は、書替え形情報記憶媒体(片面1層当たり20GBタイプ)における一般パラメータ値の一例を説明する図である。図32に書替え専用形情報記憶媒体におけるこの実施形態の各パラメータ値を示す。再生専用形または追記形情報記憶媒体に対して書替え専用形情報記憶媒体の方がトラックピッチ及び線密度(データビット長)を詰める事により記録容量を高くしている。後述するように、書替え専用形情報記憶媒体ではランド/グルーブ記録を採用することにより、隣接トラックのクロストークの影響を低減させてトラックピッチを詰めている。再生専用形情報記憶媒体、追記形情報記憶媒体、書替え形情報記憶媒体のいずれにおいても、システムリードイン/アウト領域SYLDI/SYLDOのデータビット長とトラックピッチ(記録密度に対応)をデータリードイン/アウト領域DTLDI/DTLDOよりも大きく(記録密度を低く)している。
システムリードイン/アウト領域SYLDI/SYLDOのデータビット長とトラックピッチを現行DVDのリードイン領域の値に近付けることで、現行DVDとの互換性を確保している。この実施形態でも、現行DVD−Rと同様に追記形情報記憶媒体のシステムリードイン/アウト領域SYLDI/SYLDOでのエンボスの段差を浅く設定している。これにより追記形情報記憶媒体のプリグルーブの深さを浅くし、プリグルーブ上に追記により形成する記録マークからの再生信号の変調度を高くする効果がある。逆に、その反作用としてシステムリードイン/アウト領域SYLDI/SYLDOからの再生信号の変調度が小さくなると言う問題が生じる。これに対して、システムリードイン/アウト領域SYLDI/SYLDOのデータビット長(とトラックピッチ)を粗くすることにより、最も詰まった位置でのピットとスペースの繰り返し周波数を再生用対物レンズのMTF(Modulation Transfer Function)の光学的遮断周波数から離す(大幅に小さくする)。こうすることにより、システムリードイン/アウト領域SYLDI/SYLDOからの再生信号振幅を引き上げ、再生の安定化を図る。
図33は、各種情報記憶媒体におけるデータ領域DTAとデータリードアウト領域DTLDO内のデータ構造の比較例を説明する図である。各種情報記憶媒体におけるデータ領域DTAとデータリードアウト領域DTLDO内のデータ構造の比較を図33に示す。図33(a)が再生専用形情報記憶媒体のデータ構造を示し、図33(b)(c)が書替え形情報記憶媒体のデータ構造を示し、図33(d)〜(f)が追記形情報記憶媒体のデータ構造を示している。特に、図33(b)と(d)が初期時(記録前)の構造を示し、図33(c)、(e)、(f)は記録(追記または書替え)がある程度進んだ状態でのデータ構造を示している。
図33(a)に示すように、再生専用形情報記憶媒体においてデータリードアウト領域DTLDOとシステムリードアウト領域SYLDO内に記録されているデータは、データフレーム構造を持ち、その中のメインデータの値を全て“00h”に設定してある。再生専用形情報記憶媒体ではデータ領域DTA内の全領域に亘りユーザデータの事前記録領域201として使用できるが、追記形情報記憶媒体と書替え形情報記憶媒体のいずれの実施形態でもユーザデータの書替え/追記可能範囲202〜205がデータ領域DTAよりも狭くなっている。
追記形情報記憶媒体あるいは書替え形情報記憶媒体ではデータ領域DTAの最内周部に代替え領域(Spare Area)SPAが設けてある。データ領域DTA内に欠陥場所が発生した場合に、代替え領域SPAを使って代替え処理を行い、書替え形情報記憶媒体の場合には、その代替え履歴情報(欠陥管理情報)を第1、第2欠陥管理領域DMA1,DMA2、及び第3、第4欠陥管理領域DMA3、DMA4に記録する。図33(b)、(c)の第3、第4欠陥管理領域DMA3、DMA4に記録される欠陥管理情報は第1、第2欠陥管理領域DMA1,DMA2に記録される情報と同じ内容が記録される。追記形情報記憶媒体の場合には、代替え処理を行った場合の代替え履歴情報(欠陥管理情報)はデータリードイン領域DTLDI内、及び後述するボーダーゾーン内に存在する記録位置管理ゾーンへの記録内容のコピー情報C_RMZ内に記録される。
現行のDVD-Rディスクでは欠陥管理を行わなかったが、DVD-Rディスクの製造枚数の増加につれて一部に欠陥場所を持つDVD-Rディスクが出廻るようになり、追記形情報記憶媒体に記録する情報の信頼性向上を望む声が大きくなっている。この実施形態では、図33(d)〜(f)に示すように、追記形情報記憶媒体に対しても代替え領域SPAを設定し、代替え処理による欠陥管理を可能としている。したがって、一部に欠陥場所を持つ追記形情報記憶媒体に対しても、欠陥管理処理を行うことにより記録する情報の信頼性を向上させる事が可能となる。
書替え形情報記憶媒体、あるいは追記形情報記憶媒体では、欠陥が多く発生した場合に、ユーザサイドで情報記録再生装置が判断して、図33(b)、(d)に示すユーザへの販売直後の状態に対して、図33(c)、(e)、(f)に示すように、自動的に拡張代替え領域(Extended Spare Area)ESPA、ESPA1、ESPA2を設定し、代替え場所を広げられるようにしてある。このように拡張代替え領域ESPA、ESPA1、ESPA2を設定可能にすることにより、製造上の都合で欠陥の多い媒体も販売可能となり、その結果、媒体の製造歩留まりが向上して媒体の低価格化が可能となる。
図33(c)、(e)、(f)に示すように、データ領域DTA内に拡張代替え領域ESPA、ESPA1、ESPA2を増設すると、ユーザデータの書替えあるいは追記可能範囲203、205が減少するので、その位置情報を管理する必要がある。書替え形情報記憶媒体では、その情報は、第1〜第4欠陥管理領域DMA1〜DMA4に記録されるとともに、制御データゾーンCDZ内にも記録される。追記形情報記憶媒体の場合には、データリードイン領域DTLDI内及びボーダーアウトBRDO内に存在する記録位置管理ゾーンRMZ内に記録され、記録位置管理ゾーンRMZ内の記録位置管理データ(Recording Management Data)RMDに記録される。記録位置管理データRMDは管理データ内容が更新される毎に記録位置管理ゾーンRMZ内でアップデート的に追記されるので、拡張代替え領域を何度設定し直しても(図33(e)の実施形態では最初に拡張代替え領域1EAPA1を設定し、その拡張代替え領域1EAPA1を全て使い果たした後でも、欠陥が多くて更なる代替え領域設定が必要になったので、後日更に拡張代替え領域2ESPA2を設定した状態を示している)タイムリーにアップデートして管理する事が可能となる。
図33(b)、(c)に示す第3ガードトラックゾーンGTZ3は第4欠陥管理領域DMA4とドライブテストゾーンDRTZ間の分離のために配置され、ガードトラックゾーンGTZ4はディスクテストゾーンDKTZとサーボキャリブレーション領域(Servo Calibration Zone)SCZとの間の分離のために配置されている。第3、第4ガードトラックゾーンGTZ3、GTZ4は第1、第2ガードトラックゾーンGTZ1、GTZ2と同様、この領域には記録マーク形成による記録をしてはいけない領域として規定される。第3、第4ガードトラックゾーンGTZ3、GTZ4はデータリードアウト領域DTLDO内に存在するため、この領域内には追記形情報記憶媒体ではプリグルーブ領域、また書替え形情報記憶媒体ではグルーブ領域とランド領域は事前に形成されている。プリグルーブ領域、あるいはグルーブ領域とランド領域内は図32に示すようにウォブルアドレスが予め記録されているので、このウォブルアドレスを用いて情報記憶媒体内の現在位置を判定する。
ドライブテストゾーンDRTZは、情報記録再生装置が情報記憶媒体への情報を記録する前に試し書きするための領域として確保されている。情報記録再生装置は予めこの領域内で試し書きを行い、最適な記録条件(ライトストラテジー)を割り出した後、その最適記録条件でデータ領域DTA内に情報を記録する事が出来る。
ディスクテストゾーンDKTZは、情報記憶媒体の製造メーカが品質テスト(評価)を行うために設けられた領域である。
サーボキャリブレーション領域(Servo Calibration Zone)SCZ以外のデータリードアウト領域DTLDO内の全領域には追記形情報記憶媒体ではプリグルーブ領域、また書替え形情報記憶媒体ではグルーブ領域とランド領域は事前に形成され、記録マークの記録(追記または書替え)が可能になっている。図33(c)と(e)に示したように、サーボキャリブレーション領域(Servo Calibration Zone)SCZ内はプリグルーブ領域214、またはランド領域及びグルーブ領域213の代わりにシステムリードイン領域SYLDIと同じようにエンボスピット領域211となっている。この領域はデータリードアウト領域DTLDOの他の領域に続いてエンボスピットによる連続したトラックを形成し、このトラックはスパイラル状に連続してつながり情報記憶媒体の円周に沿って360度に亘りエンボスピットを形成している。この領域はDPD(Deferential Phase Detect)法を用いて情報記憶媒体の傾き量を検出するために設けてある。
情報記憶媒体が傾くとDPD法を用いたトラックずれ検出信号振幅にオフセットが生じ、オフセット量で傾き量が、オフセット方向で傾き方向が精度良く検出する事が可能となる。この原理を利用し、情報記憶媒体の最外周部(データリードアウト領域DTLDO内の外周部)にDPD検出が出来るエンボスピットを事前に形成しておくことにより、図24の情報記録再生部141内に存在する光学ヘッドに(傾き検出用の)特別な部品を付加する事無く安価に精度の良い傾き検出が可能となる。さらに、この外周部の傾き量を検出することにより、データ領域DTA内でも(傾き量補正による)サーボの安定化を実現できる。
この実施形態ではサーボキャリブレーション領域SCZ内のトラックピッチをデータリードアウト領域DTLDO内の他の領域に合わせ、情報記憶媒体の製造性を向上させ、歩留まり向上による媒体の低価格化を可能にする。すなわち、追記形情報記憶媒体においてデータリードアウト領域DTLDO内の他の領域にはプリグルーブが形成されているが、追記形情報記憶媒体の原盤製造時に原盤記録装置の露光部の送りモータ速度を一定にしてプリグルーブを作成している。この時、サーボキャリブレーション領域SCZ内のトラックピッチをデータリードアウト領域DTLDO内の他の領域に合わせることにより、サーボキャリブレーション領域SCZ内も引き続き送りモータ速度を一定に保持できるため、ピッチムラが生じ辛く情報記憶媒体の製造性が向上する。
他の実施形態としてはサーボキャリブレーション領域SCZ内のトラックピッチまたはデータビット長の少なくともいずれかをシステムリードイン領域SYLDIのトラックピッチまたはデータビット長に合わせる方法もある。DPD法を用いてサーボキャリブレーション領域SCZ内の傾き量とその傾き方向を測定し、その結果をデータ領域DTA内でも利用してデータ領域DTA内でのサーボ安定化を図る事を前述したが、データ領域DTA内の傾き量を予想する方法としてシステムリードイン領域SYLDI内の傾き量とその方向を同じくDPD法により予め測定し、サーボキャリブレーション領域SCZ内の測定結果との関係を利用して予測する事ができる。
DPD法を用いた場合、情報記憶媒体の傾きに対する検出信号振幅のオフセット量とオフセットが出る方向がエンボスピットのトラックピッチとデータビット長に依存して変化する特徴がある。したがって、サーボキャリブレーション領域SCZ内のトラックピッチまたはデータビット長の少なくともいずれかをシステムリードイン領域SYLDIのトラックピッチまたはデータビット長に合わせることにより、検出信号振幅のオフセット量とオフセットが出る方向に関する検出特性をサーボキャリブレーション領域SCZ内とシステムリードイン領域SYLDI内とで一致させ、両者の相関を取り易くしてデータ領域DTA内の傾き量と方向の予測を容易にすると言う効果が生じる。
図33(d)に示すように、追記形情報記憶媒体では内周側と外周側の2箇所にドライブテストゾーンDRTZを設けてある。ドライブテストゾーンDRTZに行う試し書きの回数が多い程、細かくパラメータを振って最適な記録条件を詳細に探すことができ、データ領域DTAへの記録精度が向上する。書替え形情報記憶媒体では重ね書きによるドライブテストゾーンDRTZ内の再利用が可能となるが、追記形情報記憶媒体では試し書きの回数を多くして記録精度を上げようとすると、ドライブテストゾーンDRTZ内をすぐに使い切ってしまうと言う問題が発生する。その問題を解決するためにこの実施形態では外周部から内周方向に沿って逐次拡張ドライブテストゾーン(Extended Drive Test Zone)EDRTZの設定を可能とし、ドライブテストゾーンの拡張を可能とする。
拡張ドライブテストゾーンの設定方法とその設定された拡張ドライブテストゾーン内での試し書き方法に関する特徴としてこの実施形態では
(1)拡張ドライブテストゾーンEDRTZの設定(枠取り)は外周方向(データリードアウト領域DTLDOに近い方)から内周側にむけて順次まとめて設定する
…図33(e)に示すようにデータ領域内の最も外周に近い場所(データリードアウト領域DTLDOに最も近い場所)からまとまった領域として拡張ドライブテストゾーン1EDRTZ1を設定し、その拡張ドライブテストゾーン1EDRTZ1を使い切った後で、それより内周側に存在する纏まった領域として拡張ドライブテストゾーン2EDRTZ2を次に設定可能とする。
(2)拡張ドライブテストゾーンEDRTZの中では内周側から順次試し書きを行う
…拡張ドライブテストゾーンEDRTZの中で試し書きを行う場合には内周側から外周側に沿ってスパイラル状に配置されたグルーブ領域214に沿って行い、前回試し書きをした(既に記録された)場所のすぐ後ろの未記録場所に今回の試し書きを行う。
データ領域内は内周側から外周側に沿ってスパイラル状に配置されたグルーブ領域214に沿って追記される構造となっており、拡張ドライブテストゾーン内での試し書きが直前に行われた試し書き場所の後ろに順次追記する方法で行う事により“直前に行われた試し書き場所の確認”→“今回の試し書きの実施”の処理がシリアルに行えるため、試し書き処理が容易となるばかりでなく、拡張ドライブテストゾーンEDRTZ内での既に試し書きされた場所の管理が簡単になる。
(3)拡張ドライブテストゾーンEDRTZも含めた形でデータリードアウト領域DTLDOの再設定可能
…図33(e)にデータ領域DTA内に2箇所の拡張代替え領域ESPA1、ESPA2を設定し、2箇所の拡張ドライブテストゾーンEDRTZ1、EDRTZ2を設定した例を示す。この場合にこの実施形態では図33(f)に示すように拡張ドライブテストゾーンEDRTZ2までを含めた領域に対してデータリードアウト領域DTLOとして再設定できる。これに連動して、範囲を狭めた形でデータ領域DTAの範囲の再設定を行うことになり、データ領域DTA内に存在するユーザデータの追記可能範囲205の管理が容易になる。図33(f)のように再設定した場合には図33(e)に示した拡張代替え領域ESPA1の設定場所を“既に使い切った拡張代替え領域”と見なし、拡張ドライブテストゾーンEDRTZ内の拡張代替え領域ESPA2内のみに未記録領域(追記の試し書きが可能な領域)が存在すると管理する。この場合、拡張代替え領域ESPA1内に記録され、代替えに使われた非欠陥の情報はそっくりそのまま拡張代替え領域ESPA2内の未代替え領域の場所に移され、欠陥管理情報が書き替えられる。この時再設定されたデータリードアウト領域DTLDOの開始位置情報は記録位置管理データRMD内のRMDフィールド0の最新の(更新された)データ領域DTAの配置位置情報内に記録される。
図34はドライブテストゾーンに試し書きを行う記録パルスの波形(ライトストラテジー)の一例を説明する図である。また、図35は記録パルス形状の定義例を説明する図である。マークとスペースはピークパワー、第1バイアスパワー、第2バイアスパワー、第3バイアスパワーのパルスを照射することによりディスクに上書きされる。マークはピークパワーと第3バイアスパワーとの間で変調されるパルスを照射することによりディスクに上書きされる。スペースは第1バイアスパワーのパルスを照射することによりディスクに上書きされる。SbERはランダムエラーを評価するための手段であり、ランダムエラーにより引き起こされるビットエラーレートに相当する。PRSNRとSbERの測定前にイコライザの係数は最小自乗誤差(MSE)アルゴリズムにより計算される。
記録パルスは図34に示すように光パルスの列からなる。2Tマークの記録パルスはモノパルスと、後続する第2バイアスパワーのパルスからなる。3Tマークの記録パルスは第1パルスと、ラストパルスと、後続する第2バイアスパワーのパルスからなる。3Tマーク以上のマークの記録パルスは第1パルスと、マルチパルス列と、ラストパルスと、後続する第2バイアスパワーのパルスからなる。Tはチャンネルクロック期間である。
(2Tマークのための記録パルス構造)
NRZI信号の立上がりエッジからTSFP後にモノパルスの発生が開始し、NRZI信号の立下がりエッジから1T−TELP前に発生が終了する。モノパルスの期間は1T−TELP+TSFPである。TELP、TSFPは制御データゾーンに記録される。モノパルスに後続する第2バイアスパワーの期間はTLCである。TLCは制御データゾーンに記録される。
(2Tマーク以上のマークのための記録パルス構造)
NRZI信号の立上がりエッジからTSFP後に第1パルスの発生が開始し、NRZI信号の立下がりエッジからTEFP後に発生が終了する。TEFP、TSFPは制御データゾーンに記録される。4Tから13Tに相当する記録パルスはマルチパルス列である。マルチパスル列はパルス幅TMPの期間Tのパルスの繰返しからなる。NRZI信号の立上がりエッジから2T後にマルチパルスの発生が開始し、NRZI信号の立下がりエッジから2T前にマルチパルス列の最後のパルスの発生が終了する。TMPは制御データゾーンに記録される。
NRZI信号の立上がりエッジから1T−TSLP前にラストパルスの発生が開始し、NRZI信号の立下がりエッジから1T−TELP前にラストパルスの発生が終了する。TELP、TSLPは制御データゾーンに記録される。ラストパルスに後続する第2バイアスパワーのパルス幅はTLCである。TLCは制御データゾーンに記録される。TEFP−TSFP、TMP、TELP−TSLP、TLCは全幅、半分の最大期間である。各光パルスの全幅、半分の最大期間は図35に定義される。立上がり期間Trと立下り期間Tfは1.5ns以下である。立上がり期間Trと立下り期間Tfの差は0.5ns以下である。
SFP、TEFP、TSLP、TELP、TMP、TLCは(1/32)Tの単位で制御データゾーン内に記録され、次の値をとる:
SFPは0.25T以上、1.50T以下である;
ELPは0.00T以上、1.00T以下である;
EFPは1.00T以上、1.75T以下である;
SLPは−0.10T以上、1.00T以下である;
LCは0.00T以上、1.00T以下である;
MPは0.15T以上、0.75T以下である;
アダプティブ制御パラメータTSFP、TELP、TLCは以下の制約がある;
SFPの最大値と最小値との差は0.50T以下である;
ELPの最大値と最小値との差は0.50T以下である;
LCの最大値と最小値との差は1.00T以下である;
モノパルスの幅1T−TSFP+TELPは0.25T以上、1.50T以下である。
これらのパラメータは±0.2nsの精度で制御される。もし、第1パルスとマルチパルス列のピークパワー期間が重複している場合は、複合ピークパワー期間はこれらのピークパワー期間の連続した合計和になる。もし、第1パルスとラストパルスのピークパワー期間が重複している場合は、複合ピークパワー期間はこれらのピークパワー期間の連続した合計和になる。もし、マルチパルス列の最後のパルスとラストパルスのピークパワー期間が重複している場合は、複合ピークパワー期間はこれらのピークパワー期間の連続した合計和になる。
記録パワーはピークパワー、第1バイアスパワー、第2バイアスパワー、第3バイアスパワーの4レベルを持つ。これらは、ディスクの読み取り面に入射され、マーク、スペースを記録するために使われる光パワーである。ピークパワー、第1バイアスパワー、第2バイアスパワー、第3バイアスパワーは制御データゾーンに記録される。ピークパワーの最大値は例えば10.0mWを越えない。第1バイアスパワー、第2バイアスパワー、第3バイアスパワーの最大値は例えば4.0mWを越えない。
モノパルス、第1パルス、ラストパルスの平均ピークパワーは次の要件を満たす:
|(平均ピークパワー)−(ピークパワー)|≦ピークパワーの5%
平均第1バイアスパワー、平均第2バイアスパワーは次の要件を満たす:
|(平均第1バイアスパワー)−(第1バイアスパワー)|≦第1バイアスパワーの5%
|(平均第2バイアスパワー)−(第2バイアスパワー)|≦第2バイアスパワーの5%
マルチパルス列の平均パワーは測定期間内のパワーの瞬時値の平均パワーである。
測定期間はマルチパルス列の全てを含み、Tの倍数である。マルチパルス列の平均パワーは以下の要件を満たす:
|(マルチパルス列の平均パワー)−(ピークパワー+第3バイアスパワー)/2|≦(ピークパワー+第2バイアスパワー)/2の5%
パワーの瞬時値は実際のパワーの瞬時値である;
平均パワーは所定のパワーレンジ内のパワーの瞬時値の平均値である。
パワーの平均値のパワー範囲は以下の要件を満たす:
ピークパワーの平均値:|(実際のパワー)−(ピークパワー)|≦ピークパワーの10%
第1バイアスパワーの平均値:|(実際のパワー)−(第1バイアスパワー)|≦第1バイアスパワーの10%
第2バイアスパワーの平均値:|(実際のパワー)−(第2バイアスパワー)|≦第2バイアスパワーの10%
第3バイアスパワーの平均値:|(実際のパワー)−(第3バイアスパワー)|≦第3バイアスパワーの10%
平均パワーを測定する期間は各パルスのパルス幅期間を越えない。
瞬時値パワーは次の要件を満たす:
|(瞬時値ピークパワー)−(ピークパワー)|≦ピークパワーの10%
|(瞬時値第1バイアスパワー)−(第1バイアスパワー)|≦第1バイアスパワーの10%
|(瞬時値第2バイアスパワー)−(第2バイアスパワー)|≦第2バイアスパワーの10%
|(瞬時値第3バイアスパワー)−(第3バイアスパワー)|≦第3バイアスパワーの10%
マークエッジ位置を正確に制御するために、第1パルス、ラストパルス、モノパルスのタイミングは変調される。
NRZIのマーク長はM2、M3、M4に分類される。マーク長M2、M3、M4は2T、3T、3T以上を示す。マーク直前のNRZIのスペース長はLS2、LS3、LS4に分類される。スペース長LS2、LS3、LS4は2T、3T、3T以上を示す。マーク直後のNRZIのスペース長はTS2、TS3、TS4に分類される。スペース長TS2、TS3、TS4は2T、3T、3T以上を示す。
LCはNRZIのマーク長のカテゴリの関数として変調される。したがって、TLCは次の3つの値を有する:
LC(M2)、TLC(M3)、TLC(M4)
LC(M)はNRZI信号のマーク長のカテゴリがMの時のTLCの値を示す;
これらの3つのTLCの値は制御データゾーンに記録される。
SFPはNRZIのマーク長のカテゴリとマーク直前のNRZIのスペース長のカテゴリの関数として変調される。したがって、TSFPは次の9つの値を有する:
SFP(M2,LS2)、TSFP(M3,LS2)、TSFP(M4,LS2)
SFP(M2,LS3)、TSFP(M3,LS3)、TSFP(M4,LS3)
SFP(M2,LS4)、TSFP(M3,LS4)、TSFP(M4,LS4)
SFP(M、LS)はNRZI信号のマーク長のカテゴリがMであり、マーク直前のNRZIのスペース長のカテゴリがLSの時の値を示す。これら9つのTSFPの値は制御データゾーンに記録される。
ELPはNRZIのマーク長のカテゴリとマーク直後のNRZIのスペース長のカテゴリの関数として変調される。したがって、TELPは次の9つの値を有する:
ELP(M2,TS2)、TELP(M3,TS2)、TELP(M4,TS2)
ELP(M2,TS3)、TELP(M3,TS3)、TELP(M4,TS3)
ELP(M2,TS4)、TELP(M3,TS4)、TELP(M4,TS4)
ELP(M、TS)はNRZI信号のマーク長のカテゴリがMであり、マーク直前のNRZIのスペース長のカテゴリがTSの時の値を示す。これら9つのTELPの値は制御データゾーンに記録される。
図52は、マーク長/先行スペース長の関数として表される記録条件パラメータの一例を説明する図である。TSFPの値はマーク長と先行スペース長の関数としてaからiで表され、TELPの値はマーク長と後続スペース長の関数としてjからrで表され、TLCの値はマーク長の関数としてsからuで表される。
なお、上記の例では、ライトストラテジーとして全てマルチパルスの場合を例としては示したが、いわゆるブロックストラテジー、またはこれを変形したライトストラテジーを用いても良い。特に高転送レート/高線速の条件では、マルチパルスよりブロックストラテジーを用いる方が、制御し易い場合がある。特にレーザの立ち上がり時間の限界値(およそ1ナノ秒)以下で書き込む必要がある場合などでは、マルチパルスを用いることが難しいため、ブロックストラテジーを採用する、または周期を延長(例えば2倍)したパルストレインを用いる必要がある。
図36は、制御データゾーンCDZとR物理情報ゾーンRIZ内のデータ構造の一例を説明する図である。図36に制御データゾーンCDZとR物理情報ゾーンRIZ内のデータ構造を示す。図36(b)に示すように、制御データゾーンCDZ内には物理フォーマット情報(Physical Format Information)PFIと媒体製造関連情報(Disc Manufacturing Information)DMIが存在し、R物理情報ゾーンRIZ内には同じく媒体製造関連情報(Disc Manufacturing Information)DMIとR物理フォーマット情報(R-Physical Format Information)R_PFIが存在する。ここで、「R物理フォーマット」とは書替型メディアの物理フォーマット(Recordable-media Physical Format)のことをいう。以下ではこのフォーマットを「R物理フォーマット」と略称する。
なお、書替型メディア(RAMタイプ、RWタイプ)のうち、RWタイプの場合は、追記に関してはRタイプ(書替え不可で未記録エリアへの追記のみ可のタイプ)と同様に行われる。そのため、RWタイプの場合の説明において、Rタイプの追記と同様な記録動作に関しては、「書替え」を適宜「追記」と読み替えることとする(記録に関しては、Rタイプは追記しかできないが、RAM/RWタイプは追記と書替えの双方ができる)。 媒体製造関連情報DMI内は媒体製造国名に関する情報251と媒体メーカ所属国情報252が記録されている。販売された情報記憶媒体が特許侵害している時に製造場所がある国内、または情報記憶媒体を消費している(使っている)国内に対して侵害警告を掛ける場合が多い。情報記憶媒体内に前記の情報の記録を義務付けることにより、製造場所(国名)が判明し、特許侵害警告が掛け易くすることにより、知的財産が保証され技術の進歩が促進される。更に、媒体製造関連情報DMI内はその他媒体製造関連情報253も記録されている。
物理フォーマット情報PFIまたはR物理フォーマット情報R_PFI内には記録場所(先頭からの相対的なバイト位置)により記録される情報の種類が規定されている。すなわち、物理フォーマット情報PFI、またはR物理フォーマット情報R_PFI内の記録場所として0バイト目から31バイト目までの32バイトの領域にはDVDファミリー内の共通情報261が記録され、32バイト目から127バイト目までの96バイトがこの実施形態の対象となっているHD_DVDファミリー内の共通な情報262が記録され、128バイト目から511バイト目までの384バイトが各規格書タイプやパートバージョンに関するそれぞれ独自な情報(固有情報)263が記録され、512バイト目から2047バイト目までの1536バイトが各リビジョンに対応した情報が記録される。このように情報内容により物理フォーマット情報内の情報配置位置を共通化することにより、媒体の種類に依らず記録されている情報の場所が共通化されるので、情報再生装置あるいは情報記録再生装置の再生処理の共通化と簡素化が図れる。
0バイト目から31バイト目までに記録されているDVDファミリー内の共通情報261は、図36(d)に示すように、0バイト目から16バイト目までに記録されている再生専用形情報記憶媒体と書替え形情報記憶媒体、追記形情報記憶媒体の全てに共通に記録してある情報267と、17バイト目から31バイト目までに書替え形情報記憶媒体と追記形情報記憶媒体には共通に記録され再生専用形では記録されていない情報268に分かれる。
図37は、物理フォーマット情報とR物理フォーマット情報内の情報内容の一例を説明する図である。図36に示した物理フォーマット情報PFI、またはR物理フォーマット情報R_PFI内の具体的な情報内容と物理フォーマット情報PFI内情報の媒体種類(再生専用形か書替え形か追記形か)による比較を図37に示す。DVDファミリー内の共通情報261内の再生専用形、書替え形、追記形の全てに共通に記録してある情報267としては、バイト位置0から16までに順次に規格書のタイプ(再生専用/書替え/追記)情報とバージョン番号情報、媒体サイズ(直径)と最大可能データ転送レート情報、媒体構造(単層か2層か、エンボスピット/追記領域/書き替え領域の有無)、記録密度(線密度とトラック密度)情報、データ領域DTAの配置場所情報、バーストカッティング領域BCAの有無情報(この実施形態は全て有り)が記録されている。
DVDファミリー内の共通情報261であり、書替え形と追記形に共通に記録してある情報268として、28バイト目から31バイト目まで順次、最大記録スピードを規定したリビジョン番号情報、最大記録スピードを規定したリビジョン番号情報、リビジョン番号テーブル(応用リビジョン番号)、クラス状態情報、拡張された(パート)バージョン情報が記録されている。28バイト目から31バイト目までの情報を持たせたことは、物理フォーマット情報PFI、またはR物理フォーマット情報R_PFIの記録領域内に記録速度に応じたリビジョン情報を持たせる。
従来、2倍速や4倍速など媒体への記録速度が上がる媒体が開発されると、それに応じてその都度新たに規格書を作り直すという非常に面倒な手間が掛かっていた。これに対して、この実施形態では、大きく内容が変更になった時にバージョンを変更させる規格書(バージョンブック)と記録速度など小変更に対応してリビジョンを変更して発行するリビジョンブックに分け、記録速度が向上する毎にリビジョンのみを更新したリビジョンブックのみを発行する。これにより、将来の高速記録対応の媒体への拡張機能を保証し、リビジョンと言う簡単な方法で規格を対応できるので新たな高速記録対応媒体が開発された場合に高速で対応が可能になる。
特に、17バイト目の最高記録速度を規定したリビジョン番号情報の欄と18バイト目の最低記録速度を規定したリビジョン番号情報の欄を別々に設けることにより、記録速度の最高値と最低値でリビジョン番号を別に設定可能とする。例えば、非常に高速に記録可能な記録膜を開発した場合、その記録膜は非常に高速での記録は可能であるが、記録速度を落とすと急に記録できなくなったり、あるいは記録可能な最低速度を低く出来るような記録膜は非常に高価になったりする場合が多い。これに対して、この実施形態のように記録速度の最高値と最低値でリビジョン番号を別に設定可能とすることにより、開発可能記録膜の選択範囲を広げ、その結果、より高速記録が可能な媒体やより低価格な媒体が供給可能になると言う効果が生じる。この実施形態の情報記録再生装置では各リビジョン毎の可能最高記録速度と可能な最低記録速度の情報を事前に持っている。情報記憶媒体をこの情報記録再生装置に掛けると、最初に図24に示した情報記録再生部141で物理フォーマット情報PFI、またはR物理フォーマット情報R_PFI内の情報を読み取り、得られたリビジョン番号情報を元に制御部143内でメモリ部175内に事前に記録されている各リビジョン毎の可能最高記録速度と可能な最低記録速度の情報を参照して装着された情報記憶媒体の可能最高記録速度と可能な最低記録速度を割り出し、その結果に基付いて最適な記録速度で記録を行う。
次に、図36(c)に示した128バイト目から511バイト目までの各規格書のタイプとバージョンの固有情報263の意味と512バイト目から2047バイト目までの各リビジョン毎に固有に設定できる情報内容264の意味について説明する。すなわち、128バイト目から511バイト目までの各規格書のタイプとバージョンの固有情報263内では、各バイト位置での記録情報内容の意味がタイプが異なる書替え形情報記憶媒体と追記形情報記憶媒体に依らず一致し、512バイト目から2047バイト目までの各リビジョン毎に固有に設定できる情報内容264としてはタイプが異なる書替え形情報記憶媒体と追記形情報記憶媒体との違いのみならず、同じ種類の媒体においても、リビジョンが異なると各バイト位置での記録情報内容の意味が異なる事を許容する。
図37に示すようにタイプが異なる書替え形情報記憶媒体と追記形情報記憶媒体で各バイト位置での記録情報内容の意味が一致する各規格書のタイプとバージョンの固有情報263の中の情報としては順次、媒体製造メーカ名情報、媒体製造メーカからの付加情報、記録マークの極性(“H→L”か“L→H”かの識別)情報、記録時もしくは再生時の線速度情報、円周方向に沿った光学系のリムインテンシティ値、半径方向に沿った光学系のリムインテンシティ値、再生時の推奨レーザパワー(記録面上の光量値)が記録される。
特に、192バイト目に記録マークの極性(“H→L”か“L→H”かの識別)情報MPD(Mark Polarity Descriptor)を持たせた所にこの実施形態の特徴がある。従来の書替え形あるいは追記形DVDディスクでは未記録状態(反射レベルが相対的に高い:High)に対して記録マーク内の光反射量が低下(Low)する“H→L”(High to Low)形の記録膜しか認めていなかった。これに対して“高速記録対応”や“低価格化”あるいは物理的な性能として“クロスイレーズの減少”や“書き替え回数上限値の増加”などの要求が媒体に対して出されると、従来の“H→L”形の記録膜だけでは対応し切れないと言う問題が生じる。これに対して、この実施形態では“H→L”形の記録膜だけで無く、記録マーク内で光反射量が増加する“L→H”形の記録膜の使用まで許容するため、従来の“H→L”形だけで無く“L→H”形記録膜も規格内に組み込み、記録膜の選択範囲を広げることで高速記録可能や低価格媒体を供給できると言う効果が生じる。
具体的な情報記録再生装置の実施方法を以下に説明する。規格書(バージョンブック)あるいはリビジョンブックで“H→L”形の記録膜からの再生信号特性と“L→H”形の記録膜からの再生信号特性の両方を併記し、それに対応して図24のPR等化回路130とビタビ復号器156内に2通りずつの対応回路を用意しておく。情報再生部141内に情報記憶媒体を装着すると、まず始めにシステムリードイン領域SYLDI内の情報を読むためのスライスレベル検出回路132を起動させる。スライスレベル検出回路132で、192バイト目に記録された記録マークの極性(“H→L”か“L→H”かの識別)情報を読み取った後“H→L”形か“L→H”形かの判別を行い、それに合わせてPR等化回路130とビタビ復号器156内の回路を切り替えた後にデータリードイン領域DTLDIまたはデータ領域DTA内に記録されている情報を再生する。上記の方法により比較的早く、しかも精度良くデータリードイン領域DTLDIまたはデータ領域DTA内の情報を読む事が出来る。17バイト目に最高記録速度を規定したリビジョン番号情報と18バイト目に最低記録速度を規定したリビジョン番号情報が記載されているが、前記の情報は最高と最低を規定した範囲情報でしかない。最も安定に記録するためには記録時に最適な線速情報が必要となるので、その情報が193バイト目に記録されている。
各リビジョン毎に固有に設定できる情報内容264内に含まれる各種の記録条件(ライトストラテジー)情報に先立つ位置に光学系条件情報として194バイト目の円周方向に沿った光学系のリムインテンシティ値と、195バイト目の半径方向に沿った光学系のリムインテンシティ値の情報が配置されている所にこの実施形態の次の特徴がある。これらの情報は後ろ側に配置される記録条件を割り出す時に使用した光学ヘッドの光学系の条件情報を意味している。リムインテンシティとは情報記憶媒体の記録面上に集光する前に対物レンズに入射する入射光の分布状況を意味し、『入射光強度分布の中心強度を“1”とした時の対物レンズ周辺位置(瞳面外周位置)での強度値』で定義される。対物レンズへの入射光強度分布は点対称ではなく、楕円分布をし、情報記憶媒体の半径方向と円周方向でリムインテンシティ値が異なるので2通りの値が記録される。リムインテンシティ値が大きいほど情報記憶媒体の記録面上での集光スポットサイズが小さくなるので、リムインテンシティ値により最適な記録パワー条件が大きく変わる。
情報記録再生装置は自分が持っている光学ヘッドのリムインテンシティ値情報を事前に知っているので、先ず、情報記憶媒体内に記録されている円周方向と半径方向に沿った光学系のリムインテンシティ値を読み取り、自分が持っている光学ヘッドの値と比較する。比較した結果に大きな違いが無ければ後ろ側に記録されている記録条件を適用できるが、比較した結果で大きな食い違いが有れば後ろ側に記録されている記録条件を無視し、図33に記載されているドライブテストゾーンDRTZを利用して記録再生装置自ら試し書きをしながら最適な記録条件の割り出しを始める必要がある。
このように後ろ側に記録されている記録条件を利用するか、その情報を無視して自ら試し書きをしながら最適な記録条件の割り出しを始めるかの判断を早急に行う必要がある。図37に示すように、推奨される記録条件が記録されている位置に対する先行位置にその条件を割り出した光学系の条件情報を配置することにより、まず始めにそのリムインテンシティ情報を読み取る事ができ、後に配置される記録条件の適合可否を高速に判定できる。
上述したようにこの実施形態では大きく内容が変更になった時にバージョンを変更させる規格書(バージョンブック)と記録速度など小変更に対応してリビジョンを変更して発行するリビジョンブックに分け、記録速度が向上する毎にリビジョンのみを更新したリビジョンブックのみを発行できるようにしている。したがって、リビジョン番号が異なるとリビジョンブック内の記録条件が変化するので、記録条件(ライトストラテジー)に関する情報が主に512バイト目から2047バイト目までの各リビジョン毎に固有に設定できる情報内容264の中に記録される。図37から明らかなように、512バイト目から2047バイト目までの各リビジョン毎に固有に設定できる情報内容264としては、タイプが異なる書替え形情報記憶媒体と追記形情報記憶媒体との違いのみならず同じ種類の媒体においてもリビジョンが異なると各バイト位置での記録情報内容の意味が異なる事を許容する。
図37におけるピークパワー、第1バイアスパワー、第2バイアスパワー、第3バイアスパワーの定義は図34で定義されているパワー値に一致している。図37におけるファーストパルスの終了時間とは図34で定義したTEFPの事を意味し、マルチパルス間隔とは図34で定義したTMPの事を意味し、ラストパルスの開始時間とは図34で定義したTSLPの事を意味し、2Tマークの第2バイアスパワーの期間とは図34で定義したTLCの事を意味する。
図38は、物理セクタ構造を構成するまでの変換手順の概略を説明する図である。2048バイト単位のユーザデータを記録したデータフレーム構造からECCブロックを構成し、同期コードを付加した後、情報記憶媒体に記録する物理セクタ構造を形成するまでの変換手順の概略について図38に示す。この変換手順は再生専用形情報記憶媒体、追記形情報記憶媒体、書替え形情報記憶媒体いずれも共通に採用される。各変換段階に応じて、データフレーム(Data Frame)、スクランブル後のフレーム(scrambled frame)、レコーディングフレーム(Recording Frame)または記録データフィールド(Recorded Data Field)と呼ぶ。
データフレームはユーザデータが記録される場所であり、2048バイトからなるメインデータ、4バイトのデータID、2バイトのIDエラー検出コード(IED)、6バイトの予約バイト(Reserved Bytes)RSV、4バイトのエラー検出コード(EDC)から構成される。始めに後述するデータIDにIED(IDエラー検出コード)が付加された後、6バイトの予約バイトとデータフレームはユーザデータが記録される場所であり、2048バイトからなるメインデータを付加し、更にエラー検出コード(EDC)を付加した後、メインデータに対するスクランブルが実行される。ここで、スクランブルされた32個のデータフレーム(スクランブルドフレーム)に対して、クロスリードソロモンエラーコレクションコード(Cross Reed-Solomon Error Correction Code)が適用されて、ECCエンコード処理が実行される。これによりレコーディングフレームが構成される。
このレコーディングフレームは、アウターパリティコード(Parity of Outer-code)PO、インナーパリティコード(Parity of Inner-code)PIを含む。パリティコードPO、PIは、それぞれ32個のスクランブルドフレームによりなる各ECCブロックに対して作成されたエラー訂正コードである。記録フレームは、前述したように8データビットを12チャネルビットに変換するETM(Eight to Twelve Modulation)変調される。そして、91バイト毎に先頭に同期コード(シンクコード:Sync Code)SYNCが付加され、32個の物理セクタが形成される。図38の右下の枠内に記載されているように32セクタで一つのエラー訂正単位(ECCブロック)を構成する所にこの実施形態の特徴がある。図41または図42での各枠内の“0”から“31”までの番号は各物理セクタの番号を示し、“0”から“31”までの合計32個の物理セクタで1個の大きなECCブロックを構成する構造になっている。
次世代DVDにおいては、現世代DVDと同じ程度の長さの傷が情報記憶媒体表面に付いた場合でも、エラー訂正処理で正確な情報が再生できる事を要求される。この実施形態では大容量化を目指して記録密度を高めた。その結果、従来の1ECCブロック=16セクタの場合には、エラー訂正で補正可能な物理的傷の長さが従来のDVDに比べて短くなる。この実施形態のように1ECCブロックを32セクタで構成する構造にすることにより、エラー訂正可能な情報記憶媒体表面傷の許容長さを長くできると共に、現行DVDのECCブロック構造の互換性・フォーマット継続性を確保できる。
図39は、データフレーム内構造の一例を説明する図である。1個のデータフレームは、172バイト×2×6行からなる2064バイトであり、そのなかに2048バイトのメインデータを含む。IEDとはID Error Detection Codeの略でデータID情報に対する再生時のエラー検出用付加コードを意味している。REVはReserveの略で将来情報を設定できるための予約領域を意味している。EDCとはError Detection Codeの略でデータフレーム全体のエラー検出用付加コードを意味している。
データIDはデータフレーム情報921とデータフレーム番号922の情報から構成され、データフレーム番号は対応するデータフレームの物理セクタ番号922を表示している。
データフレーム情報921内は下記の情報から構成されている:
・フォーマットタイプ931…0b:CLVを表し、
1b:ゾーン構成を表す
・トラッキング方法932…0b:ピット対応で、この実施形態ではDPD(Differential Phase Detect)法を使用する
1b:プリグルーブ対応で、Push-Pull 法 またはDPP(Differential Push-Pull)法を使用する
・記録膜の反射率933…0b:40%以上
1b:40%以下
・レコーディングタイプ情報934…0b:一般データ
1b:リアルタイムデータ(Audio Video データ)
・領域タイプ情報935…00b:データ領域DTA
01b:システムリードイン領域SYLDIか
データリードイン領域DTLDI
10b:データリードアウト領域DTLDOか
システムリードアウト領域SYLDO
・データタイプ情報936…0b:再生専用データ
1b:書き替え可能データ
・レイヤー番号937…0b:レイヤー0
1b:レイヤー1
図40は、ECCブロック構造の一例を説明する図である。ECCブロックは、連続する32個のスクランブルドフレームから形成されている。縦方向に192行+16行、横方向に(172+10)×2列が配置されている。B0,0、B1,0、…はそれぞれ1バイトである。PO、PIは、エラー訂正コードであり、アウターパリティ、インナーパリティである。この実施形態では、積符号を用いたECCブロック構造を構成している。すなわち、情報記憶媒体に記録するデータを2次元状に配置し、エラー訂正用付加ビットとして“行”方向に対してはPI(Parity in)、“列”方向に対してはPO(Parity out)を付加した構造になっている。このように積符号を用いたECCブロック構造を構成することにより、イレイジャー訂正および縦と横の繰り返し訂正処理による高いエラー訂正能力を保証できる。
図40に示すECCブロック構造は従来のDVDのECCブロック構造とは異なり、同一“行”内で2箇所PIを設定している所に特徴がある。すなわち、図40において中央に記載された10バイトサイズのPIは、その左側に配置されている172バイトに対して付加される。すなわち、例えばB0,0からB0,171の172バイトのデータに対してPIとしてB0,172からB0,181の10バイトのPIを付加し、B1,0からB1,171の172バイトのデータに対してPIとしてB1,172からB1,181の10バイトのPIを付加する。
図40の右端に記載された10バイトサイズのPIは、その左側で中央に配置されている172バイトに対して付加される。すなわち、例えばB0,182からB0,353の172バイトのデータに対してPIとしてB0,354からB0,363の10バイトのPIを付加する。
図41は、スクランブル後のフレーム配列の一例を説明する図である。(6行×172バイト)単位が1スクランブル後のフレームとして扱われる。すなわち、1ECCブロックは連続する32個のスクランブル後のフレームからなる。さらに、このシステムでは(ブロック182バイト×207バイト)をペアとして扱う。左側のECCブロックの各スクランブル後のフレームの番号にLを付け、右側のECCブロックの各スクランブル後のフレームの番号にRを付けると、スクランブル後のフレームは、図41に示すように配置されている。すなわち、左側のブロックに左と右のスクランブル後のフレームが交互に存在し、右側のブロックにスクランブル後のフレームが交互に存在する。
すなわち、ECCブロックは、32個の連続スクランブル後のフレームから形成される。奇数セクタの左半分の各行は、右半分の行と交換されている。172×2バイト×192行は172バイト×12行×32スクランブルドフレームに等しく、データ領域となる。16バイトのPOが、各172×2列にRS(208,192,17)のアウターコードを形成するために付加される。また10バイトのPI(RS(182,172,11))が、左右のブロックの各208×2行に付加される。PIは、POの行にも付加される。フレーム内の数字は、スクランブルドフレーム番号を示し、サフィックスのR,Lは、スクランブルドフレームの右側半分と、左側半分を意味する。
同一のデータフレーム内を複数の小ECCブロックに分散配置する所にこの実施形態の特徴がある。具体的にはこの実施形態では2個の小ECCブロックで大きな1ECCブロックを構成し、同一のデータフレーム内をこの2個の小ECCブロック内に交互に分散配置する。図40の説明の所で中央に記載された10バイトサイズのPIは、その左側に配置されている172バイトに対して付加され、右端に記載された10バイトサイズのPIは、その左側で中央に配置されている172バイトに対して付加される事を既に説明した。つまり図40の左端から172バイトと連続する10バイトのPIで左側(Left 側)の小ECCブロックを構成し、中央の172バイトから右端の10バイトのPIで右側(Right 側)の小ECCブロックを構成している。それに対応して図41の各枠内の記号が設定されている。例えば図41内の“2−R”などの意味はデータフレーム番号と左右の小ECCブロックのどちらに属するか(例えば2番目のデータフレーム内で Right 側の小ECCブロックに属する)を表している。また後述するように最終的に構成される各物理セクタ毎に同一物理セクタ内のデータも交互に左右の小ECCブロック内に分散配置される(図33における左半分の列は左側の小ECCブロック(図51に示した左側の小ECCブロックA)内に含まれ、右半分の列は右側の小ECCブロック(図51に示した右側の小ECCブロックB)内に含まれる。
このように同一のデータフレーム内を複数の小ECCブロックに分散配置すると、物理セクタ(図33)内データのエラー訂正能力を向上させる事による記録データの信頼性向上が図れる。例えば、記録時にトラックが外れて既記録データ上をオーバーライトしてしまい、1物理セクタ分のデータが破壊された場合を考える。この実施形態では1セクタ内の破壊データを2個の小ECCブロックを用いてエラー訂正を行うため、1個のECCブロック内でのエラー訂正の負担が軽減され、より性能の良いエラー訂正が保証される。また、この実施形態ではECCブロック形成後でも各セクタの先頭位置にデータIDが配置される構造になっているため、アクセス時のデータ位置確認が高速で行える。
図42は、POのインターリーブ方法の一例を説明する図である。図42に示す様に、16のパリティ行は、1行ずつ分散される。すなわち、16のパリティ行は、2つのレコーディングフレーム置きに対して、1行ずつ配置される。したがって、12行からなるレコーディングフレームは12行+1行となる。この行インターリーブが行なわれた後、13行×182バイトはレコーディングフレームとして参照される。したがって、行インターリーブが行なわれた後のECCブロックは32個のレコーディングフレームからなる。1つのレコーディング内には、図41で説明したように、右側と左側のブロックの行が6行ずつ存在する。また、POは左のブロック(182×208バイト)と右のブロック(182×208バイト)間では、異なる行に位置するように配置されている。図33では、1つの完結形のECCブロックとして示している。しかし、実際のデータ再生時には、このようなECCブロックが連続してエラー訂正処理部に到来する。このようなエラー訂正処理の訂正能力を向上するために、図42に示すようなインターリーブ方式が採用された。
図51は、POインターリーブ後のECCブロックの詳細構造例を説明する図である。図39に示した1個のデータフレーム内の構造から図42に示したPOのインターリーブ方法までの関係について、図51を用いて詳細に説明する。図51では図42に示したPOインターリーブ後のECCブロック構造図の上側部分を拡大し、その中に図39に示したデータID、IED、RSV、EDCの配置場所を明示することにより、図39から図42までの変換のつながりが一目で見れるようにした。図51の“0−L”、“0−R”、“1−R”、“1−L”は図41の各“0−L”、“0−R”、“1−R”、“1−L”に対応する。“0−L”や“1−L”は図39の左半分すなわち、中央線から左側の172バイトと6行で構成されるまとまりに対してメインデータのみにスクランブルを掛けた後のデータを意味する。同様に、“0−R”や“1−R”は図39の右半分すなわち、中央線から右側の172バイトと6行で構成されるまとまりに対してメインデータのみにスクランブルを掛けた後のデータを意味する。したがって、図39から明らかなように、“0−L”や“1−L”の最初の行(0行目)の最初から12バイト目までにデータID、IED、RSVが順番に並んでいる。
図51において中心線から左側が左側の小ECCブロックAを構成し、中心線から右側が右側の小ECCブロックBを構成している。したがって、図51から分かるように“0−L”や“2−L”内に含まれるデータID#1、データID#2、IED#0、IED#2、RSV#0、RSV#2は左側の小ECCブロックAの中に含まれる。図41において、左側に“0−L”や“2−L”が配置され、右側に“0−R”や“2−R”が配置されているのに対して、“1−R”と“1−L”の配置は左右逆転し、右側に“1−L”が、左側に“1−R”がそれぞれ配置される。“1−L”の中の最初の行の最初から12バイト目までにデータID#1、IED#1、RSV#1が配置されているので、左右の配置が逆転した結果、図51から分かるように、“1−L”内に含まれるデータID#1、IED#1、RSV#1が右側の小ECCブロックBの中に構成される。
この実施形態では図51における“0−L”と“0−R”の組み合わせを“0番目のレコーディング・フレーム”、“1−L”と“1−R”の組み合わせを“1番目のレコーディング・フレーム”と呼ぶ。各レコーディング・フレーム間の境界は図51の太線で示してある。図51から分かるように、各レコーディング・フレームの先頭にはデータID、各レコーディング・フレームの最後にはPOとPI-Lが配置される。図51に示すように、レコーディング・フレームの奇数と偶数番目でデータIDが含まれる小ECCブロックが異なり、レコーディング・フレームの連続に従ってデータID、IED、RSVが左側と右側の小ECCブロックAとBに交互に配置される。1個の小ECCブロック内でのエラー訂正能力には限界が有り、特定数を越えたランダムエラーや特定長を越えたバーストエラーに対してはエラー訂正が不可能となる。上記のようにデータID、IED、RSVを左側と右側の小ECCブロックAとBに交互に配置することにより、データIDの再生信頼性を向上させる事が出来る。すなわち、情報記憶媒体上の欠陥が多発してどちらかの小ECCブロックのエラー訂正が不可能となり、そちらに属するデータIDの解読が不可能となっても、データID、IED、RSVが左側と右側の小ECCブロックAとBに交互に配置されるために、他方の小ECCブロックではエラー訂正が可能であり、残りのデータIDの解読が可能となる。データID内のアドレス情報に連続性があるため、解読可能なデータIDの情報を用いて解読が不可能だったデータIDの情報に対して補間が可能である。その結果、図51に示した実施形態によりアクセスの信頼性を高める事が出来る。図51の左側の括弧で囲った番号はPOインターリーブ後のECCブロック内の行番号を示している。情報記憶媒体に記録される場合には、行番号順に左から右に沿って順次記録される。図51において各レコーディング・フレーム内に含まれるデータID間隔は常に一定間隔で配置されているため、データID位置検索性が向上する効果がある。
レコーディング・フレームの奇数と偶数でデータIDが含まれる小ECCブロックが異なる(交互に配置される)(図51)ことにより、データIDの再生信頼性を向上させ、アクセスの信頼性が高まる。
図43は、物理セクタ内の構造例を説明する図である。図43(a)は偶数番目の物理セクタ構造を示し、図43(b)は奇数番目のデータ構造を示す。図43において、偶数記録データ領域(Even Recorded data field)及び奇数記録データ領域(Odd Recorded data field)のいずれも、最後の2シンクフレーム(すなわち最後のシンクコードがSY3の部分とその直後のシンクデータ及びシンクコードがSY1の部分とその直後のシンクデータが並んだ部分)内のシンクデータ領域に図42で示したアウターパリティPOの情報が挿入される。
偶数記録データ領域内の最後の2シンクフレーム箇所には図41に示した左側のPOの一部が挿入され、奇数記録データ領域内の最後の2シンクフレーム箇所には図41に示した右側のPOの一部が挿入される。図41に示すように1個のECCブロックはそれぞれ左右の小ECCブロックから構成され、セクタ毎に交互に異なるPOグループ(左の小ECCブロックに属するPOか、右の左の小ECCブロックに属するPOか)のデータが挿入される。図43(a)に示した偶数番目の物理セクタ構造と、図43(b)に示した奇数番目のデータ構造のいずれも中心線で2分割され、左側の“24+1092+24+1092チャネルビット”が図40または図41に示した左側(Left側)の小ECCブロック内に含まれ、右側の“24+1092+24+1092チャネルビット”が図40または図41に示した右側(Right側)の小ECCブロック内に含まれる。
図43に示した物理セクタ構造が情報記憶媒体に記録される場合には、各1列毎にシリアルに記録される。したがって、例えば図43(a)に示した偶数番目の物理セクタ構造のチャネルビットデータを情報記憶媒体に記録する場合には、最初に記録する2232チェネルビットのデータが左側(Left側)の小ECCブロック内に含まれ、次に記録する2232チェネルビットのデータが右側(Right側)の小ECCブロック内に含まる。更に次に記録する2232チェネルビットのデータは左側(Left側)の小ECCブロック内に含まれる。これに対して図43(b)に示した奇数番目のデータ構造のチャネルビットデータを情報記憶媒体に記録する場合には、最初に記録する2232チェネルビットのデータが右側(Right側)の小ECCブロック内に含まれ、次に記録する2232チェネルビットのデータが左側(Left側)の小ECCブロック内に含まる。更に次に記録する2232チェネルビットのデータは右側(Right側)の小ECCブロック内に含まれる。
このように、この実施形態では、同一の物理セクタ内を2個の小ECCブロック内に2232チェネルビット毎に交互に所属させる。これを別の形で表現すると、右側(Right側)の小ECCブロック内に含まれデータと左側(Left側)の小ECCブロック内に含まれるデータを2232チェネルビット毎に交互に分散配置した形で物理セクタを形成して情報記憶媒体に記録する事になる。その結果、バーストエラーに強い構造を提供できる。例えば、情報記憶媒体の円周方向に長い傷が付き、172バイトを越えるデータの判読が不可能になったバーストエラーの状態を考える。この場合の172バイトを越えるバーストエラーは2つの小さいECCブロック内に分散配置されるので、1個のECCブロック内でのエラー訂正の負担が軽減され、より性能の良いエラー訂正が保証される。
図43は、1個のECCブロックを構成する物理セクタの物理セクタ番号が偶数番号か奇数番号かで物理セクタ内のデータ構造が異なる所に特徴がある。つまり、
(1)物理セクタの最初の2232チェネルビットデータが属する小ECCブロック(右側か左側か)が異なる;
(2)セクタ毎に交互に異なるPOグループのデータが挿入される構造になっている。
その結果、ECCブロックを構成した後でも全ての物理セクタの先頭位置にデータIDが配置される構造を保証するため、アクセス時のデータ位置確認が高速で行える。また、同一物理セクタ内に異なる小ECCブロックに属するPOを混在挿入することにより、図42のようなPO挿入方法を採る方法が構造が簡単になり、情報再生装置内でのエラー訂正処理後の各セクタ毎の情報抽出が容易になると共に、情報記録再生装置内でのECCブロックデータの組立て処理の簡素化が図れる。
上記内容を具体的に実現する方法として、POのインターリーブ・挿入位置が左右で異なる構造としている。図42の狭い2重線で示された部分、あるいは狭い2重線と斜線で示された部分がPOのインターリーブ・挿入位置を示し、偶数番目の物理セクタ番号では左側の最後に、奇数番目の物理セクタ番号では右側の最後にそれぞれPOが挿入される。この構造を採用することにより、ECCブロックを構成した後でも物理セクタの先頭位置にデータID配置される構造になっているため、アクセス時のデータ位置確認が高速で行える
図44は、変調ブロックの構成例を説明する図である。変調はコード変換テーブルを用いて行われる。この変換テーブルは、各データワード“00h”〜“FFh”と各State0〜2毎に対応するコードワードの12チャネルビットと次のデータワードのStateを示す内容を持つ。変調ブロックの構成を図44に示す。コードテーブル352は、データワードB(t)とステートS(t)から、コードワードX(t)とネクストステートS(t+1)を次のように求める:
X(t)=H{B(t),S(t)}
S(t+1)=G{B(t),S(t)}
Hはコードワード出力機能、Gは次のState出力機能である。
ステートレジスタ358はコードテーブル352からネクストステートS(t+1)を入力してコードテーブル352へ(カレント)ステートS(t)を出力する。コード変換テーブル内の幾つかの12チャンネルビットは“0b”、“1b”とともにアスタリスクビット“*”とシャープビット“#”とを含む。コード変換テーブル内のアスタリスクビット“*”はビットがマージングビットであることを示す。変換テーブル内の幾つかのコードワードはLSBにマージングビットを有する。マージングビットは自身に後続するチャンネルビットに応じてコードコネクタ354により“0b”、“1b”の何れかに設定される。後続チャンネルビットが“0b”であれば、マージングビットは“1b”に設定される。後続チャンネルビットが“1b”であれば、マージングビットは“0b”に設定される。変換テーブル内のシャープビット“#”はビットがDSV制御ビットであることを示す。DSV制御ビットはDSVコントローラ356によりDC成分抑圧制御を行うことにより決定される。
図45は、各種情報記憶媒体毎のデータ記録形式(フォーマット)の比較例を説明する図である。図45を用いて、この実施形態における各種情報記憶媒体毎のデータ記録形式(フォーマット)の比較を説明する。図45(a)は従来の再生専用形情報記憶媒体DVD-ROMと従来の追記形情報記憶媒体DVD-R及び従来の書替え形情報記憶媒体DVD-RWにおけるデータ記録形式を示し、図45(b)はこの実施形態における再生専用形情報記憶媒体のデータ記録形式を示し、図45(c)はこの実施形態における追記形情報記憶媒体のデータ記録形式を示し、図45(d)はこの実施形態における書替え形情報記憶媒体のデータ記録形式を示している。
比較のために各ECCブロック411〜418の大きさを同じに合わせているが、図45(a)に示した従来の再生専用形情報記憶媒体DVD-ROMと従来の追記形情報記憶媒体DVD-R及び従来の書替え型情報記憶媒体におけるDVD-RWでは、16物理セクタで1個のECCブロックを構成しているのに対し、図45(b)〜(d)に示したこの実施形態では、32物理セクタで1個のECCブロックを構成している所が異なる。この実施形態では、図45(b)〜(d)に示すように、各ECCブロック #1 411〜#8 418の間にシンクフレーム長433と同じ長さのガード領域442〜448を設けている。
従来の再生専用形情報記憶媒体DVD-ROMでは図45(a)に示すように各ECCブロック #1 411〜#8 418が連続に記録されている。従来の追記形情報記憶媒体DVD-Rや従来の書替え形情報記憶媒体DVD-RWで従来の再生専用形情報記憶媒体DVD-ROMとデータ記録形式(フォーマット)の互換性を確保するために、制限付きオーバーライト(Restricted Overwrite)と呼ばれる追記又は書き替え処理を行うと、書き重ねによりECCブロック内の一部を破壊し、再生時のデータ信頼性を大きく損なうと言う問題が有った。これに対して、この実施形態のようにデータフィールド(ECCブロック)間にガード領域442〜448を配置すると、書き重ね場所をガード領域442〜448内に制限して、データフィールド(ECCブロック)のデータ破壊を防止できる。
上記ガード領域442〜448の長さを図45に示すように1シンクフレームサイズであるシンクフレーム長433に合わせた所にこの実施形態の次の特徴がある。図43、図45に示すように1116チャネルビットと言う一定のシンクフレーム長433間隔で同期コード(シンクコード)が配置されており、図24に示す同期コード位置抽出部145内ではこの一定周期間隔を利用して同期コード位置の抽出を行っている。この実施形態でガード領域442〜448の長さシンクフレーム長433に合わせることにより、再生時にガード領域442〜448を跨っても、このシンクフレーム間隔が不変に保たれるので、再生時の同期コード位置検出を容易にすると言う効果がある。
更に、
(1)ガード領域442〜448を跨った場所でも同期コードの出現頻度を一致させて同期コード位置検出の検出精度を向上させる;
(2)ガード領域442〜448も含めた物理セクタ内の位置の判別を容易にする;
を目的としてこの実施形態ではガード領域内に同期コード(シンクデータ)を配置する。
具体的には、図47に示すように、各ガード領域442〜468の開始位置にはポストアンブル領域(Postamble field)481が形成され、そのポストアンブル領域481にはシンクコード番号“1”の同期コード“SY1”が配置されている。図43から分かるように、物理セクタ内の3個の連続する同期コードのシンクコード番号の組み合わせは全ての場所で異なっている。更に、ガード領域442〜448内のシンクコード番号“1”まで加味した3個の連続する同期コードのシンクコード番号の組み合わせも全ての場所で異なっている。したがって、任意の領域内での連続する3個の同期コードのシンクコード番号の組み合わせにより物理セクタ内の位置情報のみならず、ガード領域の場所も含めた物理セクタ内の位置の判別が可能となる。
図46は各種情報記憶媒体におけるデータ構造の従来例との比較例1を説明する図であり、図47は各種情報記憶媒体におけるデータ構造の従来例との比較例2を説明する図である。図47は、図45に示したガード領域441〜448内の詳細な構造を例示している。物理セクタ内の構造はシンクコード431とシンクデータ432の組み合わせから構成されるが、ガード領域441〜448内も同様にシンクコード433とシンクデータ434の組み合わせから構成され、ガード領域 #3 443内のシンクデータ434領域内もセクタ内のシンクデータ432と同じ変調規則に従って変調されたデータが配置される。
図40に示す32個の物理セクタから構成される1個分のECCブロック#2(図46、図47)412内の領域を、この実施の形態本ではデータフィールド470と呼ぶ。図47におけるVFO(Variable Frequency Oscillator)領域471、472はデータ領域470を再生する時の情報再生装置または情報記録再生装置の基準クロックの同期合わせに利用する。VFO領域471、472内に記録されるデータ内容として、共通の変調規則における変調前のデータは“7Eh”の連続繰り返しとなり、変調後の実際に記録されるチャネルビットパターンは“010001 000100”の繰り返しパターン(“0”が連続3個ずつ繰り返すパターン)となる。なお、このパターンが得られるためにはVFO領域471、472の先頭バイトは変調におけるState2の状態に設定される必要がある。
プリシンク領域477、478はVFO領域471、472とデータ領域470間の境目位置を表し、変調後の記録チャネルビットパターンは“100000 100000”(“0”が連続5個ずつ繰り返すパターン)の繰り返しになっている。情報再生装置または情報記録再生装置ではVFO領域471、472内の“010001 000100”の繰り返しパターンから、プリシンク領域477、478内の“100000 100000”の繰り返しパターンのパターン変化位置を検出し、データ領域470が近付くことを認識する。ポストアンブル領域481はデータ領域470の終了位置を示すと共にガード領域443の開始位置を表している。ポストアンブル領域481内のパターンは同期コード(SYNC Code)の内“SY1”のパターンと一致している。
エキストラ領域482はコピー制御や不正コピー防止用に使われる領域である。特にコピー制御や不正コピー防止用に使われ無い場合にはチャネルビットで全て“0”に設定する。バッファ領域はVFO領域471、472と同じ変調前のデータは“7Eh”の連続繰り返しとなり、変調後の実際に記録されるチャネルビットパターンは“010001 000100”の繰り返しパターン(“0”が連続3個ずつ繰り返すパターン)となる。なお、このパターンが得られるためにはVFO領域471、472の先頭バイトは変調におけるState2の状態に設定される必要がある。
図47に示すように“SY1”のパターンが記録されているポストアンブル領域481がシンクコード領域433に該当し、その直後のエキストラ領域482からプリシンク領域478までの領域がシンクデータ領域434に対応する。VFO領域471からバッファ領域475に至る領域(つまりデータ領域470とその前後のガード領域の一部を含む領域)をデータセグメント490と呼び、後述する“物理セグメント”とは異なる内容を示している。図47に示した各データのデータサイズは変調前のデータのバイト数で表現している。
この実施形態は図47に示した構造に限らず、他の実施形態として下記の方法を採用することもできる。すなわち、VOF領域471とデータ領域470の境界部にプリシンク領域477を配置する代わりに、VOF領域471、472の途中にプリシンク領域477を配置する。この他の実施形態ではデータブロック470の先頭位置に配置される“SY0”のシンクコードとプリシンク領域477との間の距離を離すことで距離相関を大きく取り、プリシンク領域477を仮Syncとして設定し、本物のSync位置の距離相関情報(他のSync間距離とは異なるが)として利用する。もし本物のSyncが検出できなければ、仮Syncから生成した本物が検出されるであろう位置でSyncを挿入する。このようにしてプリシンク領域477を本物シンク(“SY0”)と多少の距離を取る所に他の実施形態の特徴がある。プリシンク領域477をVFO領域471、472の始めに配置すると、読み取りクロックのPLLがロックしていない為プリシンクの役目が弱くなる。したがって、プリシンク領域477をVFO領域471、472の中間位置に配置するのが望ましい。
この実施形態では記録形(書替え形あるいは追記形)情報記憶媒体におけるアドレス情報はウォブル変調を用いてあらかじめ記録されている。ウォブル変調方式として±90度(180度)の位相変調を用いると共にNRZ(Non Returen to Zero)方法を採用して情報記憶媒体に対してアドレス情報を事前に記録する。
図48は、書替え形情報記憶媒体上に記録される書替え可能データのデータ記録方法の一例を説明する図である。図48(a)は前述した図45(d)と同じ内容を示している。この実施形態では、書替え可能なデータに関する書替えは図48(b)及び(e)に示すレコーディングクラスタ540、541単位で行われる。1個の記録用クラスタは、1個以上のデータセグメント529〜531と、最後に配置される拡張ガードフィールド528から構成される。すなわち、1個の記録用クラスタ531の開始はデータセグメント531の開始位置に一致し、VFO領域522から始まる。
複数のデータセグメント529、530を連続して記録する場合には、図48(b),(c)に示すように、同一のレコーディングクラスタ531内に複数のデータセグメント529、530が連続して配置される。ここで、データセグメント529の最後に存在するバッファ領域547と次のデータセグメントの最初に存在するVFO領域532が連続してつながっているため、両者間の(記録時の記録用基準クロックの)位相が一致している。連続記録が終了した時にはレコーディングクラスタ540の最後位置に拡張ガード領域528を配置する。拡張ガード領域528のデータサイズは変調前のデータとして24データバイト分のサイズを持っている。
図48(a)と図48(c)の対応から分かるように、書替え形のガード領域461、462の中にポストアンブル領域546、536、エキストラ領域544、534、バッファ領域547、537、VFO領域532、522、プリシンク領域533、523が含まれ、連続記録終了場所に限り拡張ガードフィールド528が配置される。
書替え単位の物理的範囲の比較をするため、図48(c)に情報の書替え単位であるレコーディングクラスタ540の一部を示し、図48(d)に次に書替える単位であるレコーディングクラスタ541の一部を示している。書替え時の重複箇所541で拡張ガード領域528と後側のVFO領域522が一部重複するように書き換えを行う。そのように一部重複させて書替えすることにより、レコーディングクラスタ540、541間に隙間(記録マークが形成されない領域)の発生を防止し、片面2記録層の記録可能な情報記憶媒体における層間クロストークを除去することにより、安定した再生信号を検出できる。
この実施形態における1個のデータセグメント内の書替え可能なデータサイズは、
67+4+77376+2+4+16=77469データバイト …(01)
となる。また、1個のウォブルデータユニット560は
6+4+6+68=84ウォブル …(02)
で構成されており、17個のウォブルデータユニットで1個の物理セグメント550を構成している。7個の物理セグメント550〜556の長さが1個のデータセグメント531の長さに一致しているので、1個のデータセグメント531の長さ内には、
84×17×7=9996ウォブル …(03)
が配置される。したがって、(01)式と(03)式から1個のウォブルに対して
77496÷9996=7.75データバイト/ウォブル …(04)
が対応する。
図49は、書替え形情報記憶媒体上に記録される書替え可能データのデータランダムシフトの一例を説明する図である。図49に示すように、物理セグメントの先頭位置から24ウォブル以降に次のVFO領域522と拡張ガードフィールド528の重なり部分が来る。物理セグメント550の先頭から16ウォブルまではウォブルシンク領域580となるが、それ以降68ウォブル分は無変調領域590内になる。したがって、24ウォブル以降の次のVFO領域522と拡張ガードフィールド528が重なる部分は無変調領域590内となる。このように物理セグメントの先頭位置24ウォブル以降にデータセグメントの先頭位置が来るようにすることにより、重複箇所が無変調領域590内になるだけでなくウォブルシンク領域580の検出時間と記録処理の準備時間が相応に取れるので、安定でかつ精度の良い記録処理を保証できる。
この実施形態における書替え形情報記憶媒体の記録膜は、相変化形記録膜を用いている。相変化形記録膜では書き替え開始/終了位置近傍で記録膜の劣化が始まるので、同じ位置での記録開始/記録終了を繰り返すと記録膜の劣化による書き替え回数の制限が発生する。この実施形態では、上記問題を軽減するため、書き替え時には図49に示すように(Jm+1/12)データバイト分ずらすことで、ランダムに記録開始位置がずれるようにしている。 図48(c)、(d)では基本概念を説明するため拡張ガードフィールド528の先頭位置とVFO領域522の先頭位置を一致させているが、この実施形態では(厳密に言うと)図49のようにVFO領域522の先頭位置をランダムにずらしている。
現行の書替え形情報記憶媒体であるDVD-RAMデイスクでも記録膜として相変化形記録膜を使用し、書替え回数向上のためにランダムに記録開始/終了位置をずらしている。現行のDVD-RAMディスクでのランダムなずらしを行った時の最大ずらし量範囲は8データバイトに設定してある。現行のDVD-RAMディスクでの(ディスクに記録される変調後のデータとして)チャネルビット長は平均0.143μmに設定されている。
この実施形態の書替え形情報記憶媒体実施形態ではチャネルビットの平均長さは、図32のチャネルビット長(B)から、
(0.087+0.093)÷2=0.090μm …(05)
となる。物理的なずらし範囲の長さを現行のDVD-RAMディスクに合わせた場合には、この実施形態でのランダムなずらし範囲として最低限必要な長さは、上記の値を利用して、
8バイト×(0.143μm÷0.090μm)=12.7バイト…(06)
となる。
この実施形態では、再生信号検出処理の容易性を確保するため、ランダムなずらし量の単位を変調後の“チャネルビット”に合わせている。この実施形態では、変調に8ビットを12ビットに変換するETM変調(Eight to Twelve modulation)を用いているので、ランダムなずらし量を表す数式表現として、データバイトを基準として、
Jm/12 データバイト …(07)
で表す。Jmの取り得る値としては(06)式の値を用いて、
12.7×12=152.4 …(08)
なので、Jmは0から152となる。以上の理由から(08)式を満足する範囲であればランダムなずらしの範囲長さは現行DVD-RAMディスクと一致し、現行DVD-RAMディスクと同様な書き替え回数を保証できる。
この実施形態では、現行DVD-RAMディスク以上の書き替え回数を確保するため、(06)式の値に対してわずかにマージンを持たせ、
ランダムなずらし範囲の長さを14データバイト …(09)
に設定する。(09)式の値を(07)式に代入すると、14×12=168なので、
Jmの取り得る値は0〜167 …(10)
と設定される。
ランダムシフト量をJm/12(0≦Jm≦154)より大きな範囲とすることにより、(08)式を満足し、ランダムシフト量に対する物理的な範囲の長さが現行DVD-RAMと一致する。そのため、現行DVD-RAMと同様な繰り返し記録回数を保証できると言う効果がある。
図48において、記録用クラスタ540内でのバッファ領域547とVFO領域532の長さは、一定となっている。同一の記録用クラスタ540内では全てのデータセグメント529、530のランダムずらし量Jmは至る所同じ値になっている。内部に多量のデータセグメントを含む1個の記録用クラスタ540を連続して記録する場合には、記録位置をウォブルからモニタしている。すなわち、ウォブルシンク領域580の位置検出をしたり、無変調領域590、591内ではウォブルの数を数えながら情報記憶媒体上の記録位置の確認を記録と同時に行う。
この時にウォブルのカウントミスや情報記憶媒体を回転させている回転モータの回転ムラによりウォブルスリップ(1ウォブル周期分ずれた位置に記録する事)が生じ、情報記憶媒体上の記録位置がずれる事が希にある。この実施形態の情報記憶媒体では、上記のように生じた記録位置ずれが検出された場合には、図48の書替え形のガード領域461内、あるいは図45に示した追記形ガード領域452で調整を行い、記録タイミングの修正を行う。
図48においてポストアンブル領域546、エキストラ領域544、プリシンク領域533ではビット欠落やビット重複が許容できない重要な情報が記録されるが、バッファ領域547、VFO領域532では特定パターンの繰り返しになっているため、この繰り返し境界位置を確保している限りでは1パターンのみの欠落や重複が許容される。したがって、この実施形態ではガード領域461の中で特にバッファ領域547またはVFO領域532で調整を行い、記録タイミングの修正を行う。
図49に示すように、この実施形態では、位置設定の基準となる実際のスタートポイント位置はウォブル振幅“0”の(ウォブルの中心)位置と一致するように設定される。しかし、ウォブルの位置検出精度は低い。そのため、この実施形態では、実際のスタートポイント位置は、最大
±1データバイト”までのずれ量 …(11)
を許容している。
図48および図49において、データセグメント530でのランダムシフト量をJmとし(上述したように記録用クラスタ540内は全てのデータセグメント529のランダムシフト量は一致する)、その後に追記するデータセグメント531のランダムシフト量をJm+1とする。(10)式に示すJmとJm+1の取り得る値として、例えば中間値を取ると、Jm=Jm+1=84であり、実際のスタートポイントの位置精度が充分高い場合には、図48に示すように拡張ガードフィールド528の開始位置とVFO領域522の開始位置が一致する。
これに対して、データセグメント530が最大限後位置に記録され、後で追記または書き替えられるデータセグメント531が最大限前位置に記録された場合には、(09)式に明示した値と(11)式の値から、VFO領域522の先頭位置がバッファ領域537内へ最大15データバイトまで入り込む事がある。バッファ領域537の直前のエキストラ領域534には特定の重要情報が記録されている。したがって、この実施形態において、
バッファ領域537の長さは15データバイト以上 …(12)
必要となる。図48に示した実施形態では1データバイトの余裕を加味し、バッファ領域537のデータサイズを16データバイトに設定している。
ランダムシフトの結果、拡張ガード領域528とVFO領域522の間に隙間が生じると、片面2記録層構造を採用した場合に、その隙間による再生時の層間クロストークが発生する。そのため、ランダムシフトを行っても必ず拡張ガードフィールド528とVFO領域522の一部が重なり、隙間が発生しない工夫がされている。したがって、この実施形態において(12)式の同様な理由から拡張ガードフィールド528の長さは15データバイト以上に設定する必要がある。後続するVFO領域522は71データバイトと充分に長く取ってあるので、拡張ガードフィールド528とVFO領域522の重なり領域が多少広くなっても信号再生時には支障が無い(重ならないVFO領域522で再生用基準クロックの同期を取る時間が充分確保されるため)。したがって、拡張ガードフィールド528は15データバイトよりもより大きな値に設定する事が可能である。
連続記録時に希にウォブルスリップが発生し、1ウォブル周期分記録位置がずれる場合がある。(04)式に示すように1ウォブル周期は7.75(約8)データバイトに相当するので(12)式にこの値も考慮してこの実施形態では
拡張ガードフィールド528の長さを(15+8=)23データバイト以上
…(13)
に設定している。図48に示した実施形態ではバッファ領域537と同様に1データバイトの余裕を加味し、拡張ガードフィールド528の長さを24データバイトに設定している。
図48(e)において記録用クラスタ541の記録開始位置を正確に設定する必要がある。この実施形態の情報記録再生装置では書替え形または追記形情報記憶媒体に予め記録されたウォブル信号を用いてこの記録開始位置を検出する。ウォブルシンク領域580以外は全て4ウォブル単位でパターンがNPWからIPWに変化している。それに比べてウォブルシンク領域580ではウォブルの切り替わり単位が部分的に4ウォブルからずれているため、ウォブルシンク領域580が最も位置検出し易い。そのため、この実施形態の情報記録再生装置ではウォブルシンク領域580位置を検出後、記録処理の準備を行い、記録を開始する。そのためレコーディングクラスタ541の開始位置はウォブルシンク領域580の直後の無変調領域590の中に来る必要がある。
図49ではその内容を示している。物理セグメント(Physical segment)の切り替わり直後にウォブルシンク領域580が配置されている。ウォブルシンク領域580の長さは16ウォブル周期分になっている。そのウォブルシンク領域580を検出後、記録処理の準備にマージンを見越して8ウォブル周期分必要となる。したがって、図49に示すようにレコーディングクラスタ541の先頭位置に存在するVFO領域522の先頭位置がランダムシフトを考慮していも物理セグメントの切り替わり目位置から24ウォブル以上後方に配置される必要がある。
図48に示すように書替え時の重複箇所541では何度も記録処理が行われる。書替えを繰り返すとウォブルグルーブまたはウォブルランドの物理的な形状が変化(劣化)し、そこからのウォブル再生信号品質が低下する。この実施形態では図48(f)に示すように、書替え時あるいは追記時の重複箇所541がウォブルシンク領域580やウォブルアドレス領域586内に来るのを避け、無変調領域590内に記録されるように工夫している。無変調領域590は一定のウォブルパターン(NPW)が繰り返されるだけなので、部分的にウォブル再生信号品質が劣化しても前後のウォブル再生信号を利用して補間できる。このように書替え時あるいは追記時の重複箇所541位置を無変調領域590内に来るように設定したため、ウォブルシンク領域580またはウォブルアドレス領域586内での形状劣化によるウォブル再生信号品質の劣化を防止し、ウォブルアドレス情報610からの安定なウォブル検出信号を保証できると言う効果が生じる。
図50は、追記形情報記憶媒体上に記録される追記形データの追記方法の一例を説明する図である。追記形情報記憶媒体においては、1回のみの記録になるので、上記に説明したランダムシフトを必要としない。追記形情報記憶媒体においても、図49に示したように物理セグメントの先頭位置24ウォブル以降にデータセグメントの先頭位置が来るように設定し、重ね書きの場所がウォブルの無変調領域に来るようになっている。
図53は、追記形情報記憶媒体上に記録される追記形データの追記方法に関する他の例を説明する図である。この例では、物理セグメントブロックの境界位置から24ウォブル後方の位置が書き込み開始ポイントになっている。ここから新たに追記されるデータは71データバイト分のVFO領域を形成した後、ECCブロック内のデータ領域(データフィールド)が記録される。この書き込み開始ポイントと直前に記録した記録データのバッファー領域537の終了位置が一致し、それより8データバイト分の長さだけ拡張ガードフィールド528が形成された後ろが追記データの記録終了位置(書き込み終了ポイント)になる。従ってデータを追記した場合には、直前に記録されている拡張ガードフィールド529と新たに追記するVFO領域の部分で8データバイト分だけ重複記録される。
図54は再生専用形情報記憶媒体(片面1層15GBタイプと片面2層30GBタイプ)における一般パラメータ値の一例を説明する図である。図55は追記形情報記憶媒体(片面1層15GBタイプ)における一般パラメータ値の一例を説明する図である。また、図56は、追記形情報記憶媒体(片面2層30GBタイプ)における一般パラメータ値の一例を説明する図である。前述した図32のパラメータ例と、図54または図55または図56のパラメータ例(特に(B)の部分)を比較すると分かるように、再生専用形(図54)または追記形(図55、図56)の情報記憶媒体に比べて、書替え形(図32)の情報記憶媒体の方が、トラックピッチおよび線密度(データビット長)が詰まっている。こうすることにより、図32の書替え形媒体の1層当たりの記録容量を高くしている。この書替え形情報記憶媒体では、ランドグルーブ記録方式を採用することで隣接トラック間のクロストークの影響を低減させて、トラックピッチを詰めている。
また、再生専用形情報記憶媒体(図54)、追記形情報記憶媒体(図55、図56)、書替え形情報記憶媒体(図32)のいずれにおいても、システムリードイン/アウト領域SYLDI/SYLDOのデータビット長とトラックピッチ(記録密度に対応)を、データリードイン/データリードアウト領域DTLDI/DTLDOよりも大きく(記録密度を低く)している。すなわち、この発明の一実施の形態に係る光ディスク(λ=405nmレーザ用)においては、システムリードイン/システムリードアウト領域SYLDI/SYLDOのデータビット長とトラックピッチを現行DVDディスク(λ=650nmレーザ用)のリードイン領域の値に近付けることで、現行DVDとの互換性を確保している。
また、この発明の他の実施の形態においては、現行DVD−Rと同様に、追記形情報記憶媒体のシステムリードイン/システムリードアウト領域SYLDI/SYLDOでのエンボスの段差を浅く設定している。これにより、追記形情報記憶媒体のプリグルーブの深さを浅くし、プリグルーブ上に追記により形成する記録マークからの再生信号変調度を高くする効果を得ている。その副作用としてシステムリードイン/システムリードアウト領域SYLDI/SYLDOからの再生信号の変調度が小さくなるという問題が生じる。この副作用に対しては、次のような対策がある。すなわち、システムリードイン/システムリードアウト領域SYLDI/SYLDOのデータビット長(および/またはトラックピッチ)を粗くすることで、最も詰まった位置でのピットとスペースの繰り返し周波数を再生用対物レンズのMTF(Modulation Transfer Function)の光学的遮断周波数から離す(大幅に小さくする)。これにより、システムリードイン/システムリードアウト領域SYLDI/SYLDOからの再生信号振幅を引き上げ、再生の安定化を図ることができる。
なお、片面2層30GBタイプ(図56)と片面1層15GBタイプ(図55)では一般パラメータは殆ど同じであるが、以下の点が異なる。すなわち、片面2層30GBタイプではユーザが使用可能な記録容量は30GBと倍増し、データ領域の内半径がレイヤー0(図1のL0記録膜に対応)では24.6mmであり、レイヤー1(図1のL1記録膜に対応)では24.7mmであり、データ領域の外半径が58.1mm(レイヤー0、レイヤー1共通)である。
《情報領域のフォーマット》
2層のレイヤーにわたって設けられる情報領域は、7つの領域:システムリードイン領域、コネクション領域、データリードイン領域、データ領域、データリードアウト領域、システムリードアウト領域、ミドル領域からなる。各レイヤーにミドル領域が設けられることにより、再生ビームをレイヤー0からレイヤー1に移動させることができる。データ領域にはメインデータを記録する。システムリードイン領域は制御データと参照(リファレンス)コードを含む。データリードアウト領域は連続するスムーズな読み出しを可能とする。
《リードアウト領域》
システムリードイン領域とシステムリードアウト領域はエンボスピットからなるトラックを含む。レイヤー0のデータリードイン領域、データ領域、ミドル領域と、レイヤー1のミドル領域、データ領域、データリードアウト領域は、グルーブトラックを含む。グルーブトラックはレイヤー0のデータリードイン領域の開始位置からミドル領域の終了位置まで連続であり、レイヤー1のミドル領域の開始位置からデータリードアウト領域の終了位置まで連続である。なお、片面2層ディスクを貼り合わせると、2つの読み出し面を有する両面2層ディスク(合計4つの記録層を持つディスク)となる。
システムリードイン領域、システムリードアウト領域の各トラックはデータセグメントに分割される。
データリードイン領域、データ領域、データリードアウト領域、ミドル領域内のトラックはPSブロックに分割される。各PSブロックは7物理セグメントに分割される。各物理セグメントは11067バイトである。
《リードイン領域、リードアウト領域およびミドル領域》
ミドル領域のレイアウトは再配置によって変更可能であり、リードイン領域、リードアウト領域およびミドル領域の各ゾーン、各エリアの境界はデータセグメントの境界と一致している。レイヤー0の内周側には最内周から順にシステムリードイン領域、コネクション領域、データリードイン領域、データ領域が設けられる。レイヤー1の内周側には最内周から順にシステムリードアウト領域、コネクション領域、データリードアウト領域、データ領域が設けられる。
このように、管理領域が含まれるデータリードイン領域はレイヤー0にしか設けられていないので、レイヤーL1でファイナライズした時、レイヤーL1の情報もレイヤーL0のデータリードイン領域に書く。これにより、起動時にレイヤーL0だけを読めば全部の管理情報が得られ、いちいちレイヤーL0、レイヤーL1を読まなくても良くなる。なお、レイヤーL1にデータを記録するためには、レイヤーL0が全部書かれていなければならない。管理領域を埋めるのは、ファイナライズする時である。
レイヤー0のシステムリードイン領域は内周側から順にイニシャルゾーン、バッファーゾーン、制御(コントロール)データゾーン、バッファーゾーンからなる。レイヤー0のデータリードイン領域は内周側から順にブランクゾーン、ガードトラックゾーン、ドライブテストゾーン、ディスクテストゾーン、ブランクゾーン、RMDデュプリケーションゾーン、L−RMD(記録位置管理データ)、R物理フォーマット情報ゾーン、参照コードゾーンからなる。レイヤー0のデータエリアの開始アドレス(内周側)とレイヤー1のデータエリアの終了アドレス(内周側)とはクリアランスの分だけずれており、レイヤー1のデータエリアの終了アドレス(内周側)の方がレイヤー0のデータエリアの開始アドレス(内周側)より外周側である。
レイヤー1のデータリードアウト領域は内周側から順にブランクゾーン、ディスクテストゾーン、ドライブテストゾーン、ガードトラックゾーンからなる。ブランクゾーンは、溝はあるがデータが記録されない領域である。ガードトラックゾーンはテストのための特定パターンを記録するゾーンであり、変調前のデータ“00”が記録される。レイヤー0のガードトラックゾーンはレイヤー1のディスクテストゾーン、ドライブテストゾーンの記録のために設けられる。そのため、レイヤー0のガードトラックゾーンはレイヤー1のディスクテストゾーン、ドライブテストゾーンに少なくともクリアランスを加えた範囲に対応している。レイヤー1のガードトラックゾーンはレイヤー0のドライブテストゾーン、ディスクテストゾーン、ブランクゾーン、RMDデュプリケーションゾーン、L−RMD、R物理フォーマット情報ゾーン、参照コードゾーンの記録のために設けられる。そのため、レイヤー1のガードトラックゾーンはレイヤー0のドライブテストゾーン、ディスクテストゾーン、ブランクゾーン、RMDデュプリケーションゾーン、L−RMD、R物理フォーマット情報ゾーン、参照コードゾーンに少なくともクリアランスを加えた範囲に対応している。
図57は、物理フォーマット情報とR物理フォーマット情報の情報内容の他例を説明する図である。図57は図37の例に「アップデートされた物理フォーマット情報」が付加された構成を持つ。図57の例においては、バイト位置0〜31をDVDファミリー内の共通情報269の記録領域として利用し、バイト位置32以降を各規格書用に設定している。
なお、図37のバイト位置197〜511の場合と同様に、HD_DVD−Rの物理フォーマット情報(図57のR物理フォーマット情報)については、図57のバイト位置256〜263の一部を、ボーダーゾーンの開始位置のPSN(現ボーダーアウトの開始物理セグメント番号に対応)と、アップデートされた開始位置のPSN(次ボーダーアウトの開始物理セグメント番号に対応)を記述するように構成できる。
また、図示しないが、図57のバイト位置32には、該当ディスクで保証される最大読取速度(Actual maximum reading speed)の実際の数を記述するように構成できる。バイト位置32では、例えば0001010bが1xに対応し、この1xで64.8Mbpsのチャネルビットレートが示される。実際の最大読取速度は、Value x (1/10)で計算される。
また、図示しないが、図57のバイト位置33には、HD_DVD−R(レイヤ0とレイヤ1を持つ2層ディスク)の物理フォーマットに関して、“レイヤフォーマットテーブル(Layer format table)”を記述することができる。このテーブルは8ビットで構成でき、そのうちの3ビットでレイヤ0のフォーマット(例えばこの3ビットが000bならHD_DVD−Rフォーマット)が示され、他の3ビットでレイヤ1のフォーマット(例えばこの3ビットが000bならHD_DVD−Rフォーマット)が示される。片面1層のRディスクでは、バイト位置33のレイヤフォーマットテーブルは無視される。
さらに、図示しないが、図57のバイト位置133〜151には以下の情報を記載しておくことができる。すなわち、バイト位置133〜148には、i番目(i=1、2、…16)の記録速度の実際値が記載される。ここで、“i番目”とは、該当ディスクにおいて適用可能な速度の中でi番目の最小速度を示す。従い、i=1であるバイト位置133には最低の記録速度が記載される。バイト位置133〜148には“i”が第1から第16の領域まで用意されているが、全てが記述されていなくてもよい。例えば00000000bが記述されているとき(i番目の記録速度がないとき)は、その(i番目の)領域のバイトはリザーブされていることを意味する。ここで、第i番目の記録スピードは、Value x (1/10)で計算される。
バイト位置149には、データエリアの反射率(Reflectivity of Data area)が記述される。バイト位置149に例えば00101000bが記述されているときは、反射率は20%を意味する。実際の反射率は、Value x (1/2)(%)で計算される。
バイト位置150には、トラック形状(Track Shape)のビットを含んだプッシュプル信号(Push-pull signal)の情報が記述される。ここで、トラック形状ビットが0bのときは該当トラックがグルーブ上にあることが示される。このビットが1bのときは該当トラックがランド上にあることが示される。また、プッシュプル信号を表す7ビットが0101000bであるときは、プッシュプル信号の値は例えば“0.40”となるが、プッシュプル信号の実際の振幅値((I1-I2)PP/(I1+I2)DC)は、Value x (1/100)で計算される。
バイト位置151には、「オントラック信号」の振幅が記述される。バイト位置151の記述が01000110bであるときはオントラック信号の振幅は0.70であることが示される。実際のオントラック信号の振幅値は、Value x (1/100)で計算される。
追記形情報記憶媒体において、データリードイン領域DTLDI内のR物理情報ゾーンRIZ内に記録されたR物理フォーマット情報(R-physical format information)には、物理フォーマット情報PFI(HD_DVDファミリーの共通情報のコピー)にボーダーゾーンの開始位置情報(First borderの最外周アドレス)が付加されて記録されている。ボーダーインBRDI内のアップデートされた物理フォーマット情報U_PFI内には、物理フォーマット情報PFI(HD_DVDファミリーの共通情報のコピー)にアップデートされた開始位置情報(自己borderの最外周アドレス)が付加されて記録されている。図37の例では、このボーダーゾーンの開始位置情報はバイト位置197から204までに配置されている。これに対して、図57の例では、ピークパワーやバイアスパワー1など記録条件に関する情報(各リビジョン毎に固有に設定できる情報内容264)よりも先行したバイト位置でありかつDVDファミリー内の共通情報269よりも後のバイト位置である133バイト目から140バイト目に、このボーダーゾーンの開始位置情報が配置される。アップデートされた開始位置情報も、ボーダーゾーンの開始位置情報と同様に、ピークパワーやバイアスパワー1など記録条件に関する情報(各リビジョン毎に固有に設定できる情報内容264)よりも先行したバイト位置でありかつDVDファミリー内の共通情報269よりも後のバイト位置である133バイト目から140バイト目に、配置される。
将来リビジョン番号がアップしてより精度の高い記録条件が求められ、その結果、例えば書替え形情報記憶媒体の記録条件情報としてバイト位置197〜207を使用するようになる可能性がある。その場合に、図37の例のように追記形情報記憶媒体内に記録されるR物理フォーマット情報のボーダーゾーンの開始位置情報をバイト位置197〜204に配置すると、記録条件の配置位置に関して、書替え形情報記憶媒体と追記形情報記憶媒体間での対応(互換性)が崩れる危険性がある。そこで、図57に示すようにボーダーゾーンの開始位置情報とアップデートされた開始位置情報をバイト位置133〜140に配置する。そうすることで、将来記録条件に関する情報量が増加しても書替え形情報記憶媒体と追記形情報記憶媒体間での各種情報間の記録位置の対応(互換性)が確保できるようになる。
ボーダーゾーンの開始位置情報に関する具体的な情報内容としては、バイト位置133〜136に「現在使用している(カレントの)ボーダー内領域BRDAの外側にあるボーダーアウトBRDOの開始位置情報」が物理セクタ番号(PSN:Physical Sector Number)あるいは物理セグメント番号(PSN:Physical Segment Number)で記載され、バイト位置137〜140には「次に使用されるボーダー内領域BRDAに関するボーダーインBRDIの開始位置情報」が物理セクタ番号あるいは物理セグメント番号(PSN)で記載される。
アップデートされた開始位置情報に関する具体的な情報内容は、ボーダー内領域BRDAが新たに設定された場合の最新のボーダーゾーン位置情報を示し、バイト位置133〜136に現在使用している(カレントの)ボーダー内領域BRDAの外側にあるボーダーアウトBRDOの開始位置情報が物理セクタ番号あるいは物理セグメント番号(PSN)で記載され、バイト位置137〜140には次に使用されるボーダー内領域BRDAに関するボーダーインBRDIの開始位置情報が物理セクタ番号あるいは物理セグメント番号(PSN)で記載される。次のボーダー内領域BRDAが記録不可能な場合には、ここ(バイト位置137〜140)は全て“00h”で埋められる。
図37の例に対して図57の例では“媒体製造メーカー名情報”と“媒体製造メーカーからの付加情報”が削除され、バイト位置128から記録マークの極性(“H→L”か“L→H”かの識別)情報が配置されている。しかしながら、図57のバイト位置31〜263の何処かの未使用エリアに、図37のバイト位置128〜191で示した媒体製造メーカ名情報および媒体製造メーカからの付加情報が書き込まれるような構成も可能である。
図58は、図1の光記録媒体を用いてデジタル映像情報(TV放送番組等)を記録しまたは再生する場合の処理例を説明するフローチャートである。ここでは、録画処理、再生処理、データ転送処理(セットトップボックスSTBへのデジタル出力処理など)、番組設定処理、編集処理の5通りの処理を例示している。図58の処理を実行するMicro Processing Unit(MPU)を備えたデジタルレコーダ(図示せず)の電源がオンされると、MPUは、工場出荷時またはユーザが設定した後の初期設定を行い(ST10)、表示設定を行って(ST12)、ユーザ操作を待つ。ユーザが図示しないキー入力部またはリモコンからキー入力を行うと(ST14)、MPUはそのキー入力の内容を解釈する(ST16)。この入力キー解釈の結果に応じて、以下の4つのデータ処理が、適宜実行される。
すなわち、キー入力が例えばタイマ予約録画設定のキー操作であれば、番組設定処理に入る(ST20)。キー入力が録画開始のキー操作であれば、録画処理に入る(ST22)。キー入力が再生開始のキー操作であれば、再生処理に入る(ST24)。キー入力がSTB等へデジタル出力させるキー操作であれば、デジタル出力処理に入る(ST26)。編集処理のキー操作であれば、編集処理に入る(ST28)。
ST20〜ST28の処理は、そのタスク毎に適宜並列処理される。例えば、再生処理中(ST24)にSTBへデジタル出力する処理(ST26)が並列に実行される。あるいは、タイマ予約録画でない録画処理中(ST22)に新たな番組設定処理(ST20)を並列に処理するように構成することができる。あるいは、高速アクセス可能なディスク記録の特徴を生かし、録画処理(ST22)中に再生処理(ST24)とデジタル出力処理(ST26)を並列処理するように構成することもできる。図示しないHard Disk Drive(HDD)への録画中にディスクの編集処理(ST28)を行うように構成することも可能である。
本願に開示される実施の形態あるいは実施例において用いられる光ディスクの基板は、2種類に大別される。すなわち、
(a)一つは、グルーブ・ピッチが0.6〜0.8μm程度で、ランドとグルーブの両者に記録する、いわゆるランド・グルーブ記録方式を用いるもの。以下では、書替え型(1)情報記憶媒体とも呼ぶ。
(b)もう一つは、グルーブ・ピッチが0.3〜0.4μm程度で、ランドとグルーブいずれか一方にのみ記録する、いわゆるグルーブ記録方式(ランドのみに記録する場合も便宜的にこのように記す)を用いるもの。以下では、書替え型(2)情報記憶媒体とも呼ぶ。
光入射側の基板厚は、光ピックアップの対物レンズのNAの大きさに応じて、0.1mm程度の極薄の場合(NA=0.85前後)から0.6mm程度(NA=0.65前後)の場合まで可能である。使用するレーザ光の波長λとしては、405nmを想定する。
次にそれぞれ方式をこの実施形態で用いた場合の情報記録再生装置および用いるディスク(情報記録媒体)の詳細な構成について述べる。まず初めにランド・グルーブ記録方式(a)を用いた場合について記す。
詳細は既に説明してあるが、図24は情報記録再生装置の構造説明図であり、図25はこの情報記録再生装置で用いる代表的なPRML検出法を用いた信号処理回路の説明図であり、図26はPRML方式で用いられるビタビ復号器の構造説明図であり、図27は用いるクラスの状態遷移図である。図28は情報記憶媒体内の構造および寸法の具体例を示し、図29は書替え型情報記憶媒体または1層再生専用情報記憶媒体の物理セクタ番号設定方法を示し、図30は2層構造を持った再生専用情報記憶媒体の物理セクタ番号設定方法を示す。そして、図31は、書替え型情報記憶媒体における物理セクタ番号設定方法を示す。図32は書替え型情報記憶媒体における一般パラメータの設定例を示し、図33はデータ領域とデータリードアウト領域内のデータ構造比較説明図であり、図34および図35はそれぞれ記録パルスの波形(ストラテジー)説明図および記録パルス形状の定義説明図である。図36は制御データゾーンとR物理情報ゾーン内のデータ構造説明図であり、図37は物理フォーマット情報とR物理フォーマット情報内の情報内容比較説明図である。以下でも説明するが、この発明はこれらの構成やデータ構造と媒体構成との好適な組み合わせを見出したものであり、より安定に記録再生するためにはこれらの組み合わせが非常に重要である。
なお、図38は物理セクタ構造を構成するまでの変換手順説明図であり、図39はデータフレーム内の構造説明図であり、図40はECCブロック構造の説明図であり、図41はスクランブル後のフレーム配列の説明図であり、図42はP0のインターリーブ方法の説明図であり、図43は物理セクタ内の構造説明図であり、図44は同期コードパターン内容の説明図である。これらECCブロックの構造等は、データ構造等と共にエラー訂正プロセスにおいて特に大きな働きをするため、実際の記録再生装置および情報記憶媒体において高密度かつ高い信頼性を達成するためには非常に重要な部分である。
例えばある情報(データ)書かれている媒体に追記して情報を記録する場合、情報記憶媒体にロス無く情報を記録するためには、あらかじめ記録されていた情報の最後部に続けて記録を行う必要がある。その際に一部書替えられる場合があるが、このような場合に以下の実施形態でも示すこの発明の情報記録媒体の構成が、特にオーバーライト(OW)消去率が高いため好適である。
詳細は既に説明してあるが、図45は各情報記憶媒体のデータ記録形式の比較説明図であり、図46および図47はそれぞれ情報記憶媒体におけるデータ構造の従来例との比較説明図(1)および(2)である。なお、グルーブ等のウォブル形状もデータ構造とともに重要なファクターである。図48は書替え型情報記憶媒体上に記録される書替え可能データのデータ記録方法説明図であり、図49はランド・グルーブ記録方式(a)を用いる書替え型(1)情報記憶媒体上に記録される書替え可能データのデータランダムシフト説明図であり、図50はランドまたはグルーブ記録方式(b)を用いる書替え型(2)情報記憶媒体上に記録される追記形データの追記方法説明図であり、図51はP0インターリーブ後のECCブロック内の詳細説明図である。
前述したように、途中まで記録済みの媒体に追記して情報記録する場合、情報記憶媒体にロス無く情報を記録するためには記録済み情報の最後部に続けて追記の情報記録を行う必要がある。その際に記録済み情報末尾の一部が書替えられる場合があるが、このような場合に以下の実施形態で示す情報記録媒体の構成が特にOW消去率が高いため好適である。次世代の大容量媒体を用いる時代には、扱う情報量が大きいため、書替え型媒体におけるデータの追記特性も非常に重要である。この発明の一実施の形態に係る光記録媒体を用いることにより、高密度かつ高信頼性の媒体が得られ、より安定に記録再生することができる。
次にランドまたはグルーブ記録方式(b)を用いた場合について説明するが、ランド・グルーブ記録方式(a)と重複している部分は適宜説明を省略する。図52は、記録パルスタイミングパラメータ設定テーブルであり、記録条件設定方法の説明図である。図53は、ランドまたはグルーブ記録方式(b)を用いる書替え型(2)データの書替え方法の説明図である。
詳細は既に説明してあるが、図54は再生専用形情報記憶媒体における一般的なパラメータ設定例を示し、図55と図56はランドまたはグルーブ記録方式(b)を用いる書替え型(2)情報記憶媒体における一般的なパラメータ設定例を示し、図32はランド・グルーブ記録方式(a)を用いる書替え型(1)情報記憶媒体における一般的パラメータ設定例を示している。また、図57は物理フォーマット情報とR物理フォーマット情報に関する他例の説明図である(一例は図37に示されている)。
本願発明の実施の形態は、本願に開示される装置構成やデータ構造と媒体構成との好適な組み合わせを見出したものである。この発明の実施の形態に係る光記録媒体を用いることにより、高密度、高信頼性の媒体が得られ、より安定に記録再生することができる。
<まとめ>
本願発明者らは、以下のものが重要であると認識するに至った。すなわち、基板(1a、1b)および、保護膜または誘電体膜(11a、11b)と原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜(相変化記録膜13a、13b)とこの記録膜に接する結晶化促進膜(12a、12bおよび/または14a、14b)と反射膜(16a、16b)を含む積層構造を持ち、前記記録膜(13)に対して光を用いて可逆的に記録または消去が行われる記録媒体(100)において、前記記録膜(13a、13b)と接する部位(21a、21b)からこの記録膜の厚さ方向(図1の縦方向)に、もしくはこの記録膜の面内方向(図1の横方向または法線方向:厚さ方向と直交する方向)に、前記記録膜(13a、13b)を構成する元素(Ge,Te等)が偏析または濃度分布を有する(図5)ように構成した光記録媒体が好適である。
光を用いて可逆的に記録や消去を行う記録媒体であって、基板と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、該記録膜に接する結晶化促進機能を有する膜と、保護膜または誘電体膜と、反射膜から構成され、該記録膜と接する部位に、該記録膜の構成元素から構成される元素の、平均厚が0.1nm以上で1nm以下の極薄酸化膜を有する光記録媒体が好適である。
光を用いて可逆的に記録や消去を行う記録媒体であって、基板と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、該記録膜に接する結晶化促進機能を有する膜と、保護膜または誘電体膜と、反射膜と、光学的エンハンスおよび/または熱拡散に寄与する誘電体膜から構成され、該記録膜を構成する元素が該記録膜と接する部位から該記録膜の厚さ方向または該記録膜の面内方向に、偏析もしくは濃度分布を有する光記録媒体が好適である。
光を用いて可逆的に記録や消去を行う記録媒体であって、基板と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、該記録膜に接する結晶化促進機能を有する膜と、保護膜または誘電体膜と、反射膜と、光学的エンハンスおよび/または熱拡散に寄与する誘電体膜から構成され、該記録膜と接する部位に、該記録膜の構成元素から構成される元素の、平均厚が0.1nm以上で1nm以下の極薄酸化膜を有する光記録媒体が好適である。
光を用いて可逆的に記録や消去を行う記録媒体であって、基板と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、該記録膜に接する結晶化促進機能を有する膜と、保護膜(または誘電体膜)と、反射膜とから構成され、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)が、1.0以上2.5以下である光記録媒体が好適である。
光を用いて可逆的に記録や消去を行う記録媒体であって、基板と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、該記録膜に接する結晶化促進機能を有する膜と、保護膜(または誘電体膜)と、反射膜と、光学的エンハンスおよび/または熱拡散に寄与する誘電体膜から構成され、記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)が、1.0以上2.5以下である光記録媒体が好適である。
光を用いて可逆的に記録や消去を行う記録媒体であって、基板と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、該記録膜に接する結晶化促進機能を有する膜と、保護膜(または誘電体膜)と、反射膜とから構成され、記録膜の上下で結晶化速度が異なるように制御する構成を持った光記録媒体が好適である。
光を用いて可逆的に記録や消去を行う記録媒体であって、基板と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、該記録膜に接する結晶化促進機能を有する膜と、保護膜(または誘電体膜)と、反射膜と、光学的エンハンスおよび/または熱拡散に寄与する誘電体膜から構成され、記録膜の上下で結晶化速度が異なるように制御する構成を持った光記録媒体が好適である。
前記の相変化記録膜において、該記録膜に接して結晶化促進機能を有する膜(上部界面膜または下部界面膜)が、窒化ゲルマニウム(GeN)、または窒化ゲルマニウム-クロム(GeCrN)、または酸化ジルコニウム(ZrO2)、または安定化ジルコニア+酸化クロム(ZrO2+Cr2O3)、または安定化ジルコニア+酸化ケイ素+酸化クロム(ZrO2+SiO2+Cr2O3)、またはジルコン+酸化クロム(ZrSiO4+Cr2O3)、または酸化ハフニューム(HfO2)を含んで構成されるか、あるいは、ハフニウム(Hf)、酸素(O)、および窒素(N)を含有する化合物(HfO2-xNx)で構成されるか、あるいは、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=0)で構成されるか、あるいは、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびニオブ(Nb)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=1)で構成されるか、あるいは、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)とニオブ(Nb)から構成される膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいて0<z<1)で構成されるか、あるいは、酸化クロム(Cr2O3)、または酸化亜鉛(ZnO)、または酸化亜鉛+酸化タンタル(ZnO+Ta2O5)、または酸化亜鉛+酸化タンタル+酸化インジウム(ZnO+Ta2O5+In2O3)、または酸化錫(SnO2)、または酸化錫+酸化アンチモン(SnO2+Sb2O3)、または酸化錫+酸化タンタル(SnO2+Ta2O5)、または酸化錫+酸化ニオブ(SnO2+Nb2O5)を含んで構成されるような光記録媒体が好適である。
前記の相変化記録膜において、該記録膜を挟むように接して結晶化促進機能を有する膜の一方(上部界面膜および下部界面膜のうちの一方)が、窒化ゲルマニウム(GeN)、または窒化ゲルマニウム-クロム(GeCrN)、または酸化ジルコニウム(ZrO2)、または安定化ジルコニア+酸化クロム(ZrO2+Cr2O3)、または安定化ジルコニア+酸化ケイ素+酸化クロム(ZrO2+SiO2+Cr2O3)、またはジルコン+酸化クロム(ZrSiO4+Cr2O3)、または酸化ハフニューム(HfO2)を含んで構成されるか、あるいは、ハフニウム(Hf)、酸素(O)、および窒素(N)を含有する化合物(HfO2-xNx)で構成されるか、あるいは、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=0)で構成されるか、あるいは、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびニオブ(Nb)を含有する膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいてz=1)で構成されるか、あるいは、ジルコニューム(Zr)、酸素(O)、窒素(N)、およびイットリア(Y)とニオブ(Nb)から構成される膜((ZrO2-xNx1-y((Y2O3)1-z(Nb2O5)z)yにおいて0<z<1)で構成され、
該記録膜に接して結晶化促進機能を有する膜の他方(上部界面膜および下部界面膜のうちの他方)が、酸化クロム(Cr2O3)、または酸化亜鉛(ZnO)、または酸化亜鉛+酸化タンタル(ZnO+Ta2O5)、または酸化亜鉛+酸化タンタル+酸化インジウム(ZnO+Ta2O5+In2O3)、または酸化錫(SnO2)、または酸化錫+酸化アンチモン(SnO2+Sb2O3)、または酸化錫+酸化タンタル(SnO2+Ta2O5)、または酸化錫+酸化ニオブ(SnO2+Nb2O5)を含んで構成されるような光記録媒体が好適である。
前記記録膜は、少なくともGeとSbとTeとを含有し、その組成をGexSbyTezかつx+y+z=100とするとき、GeSbTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成が好適である。該記録膜は、前記組成のスパッタリング・ターゲットを用いて、該スパッタリング・ターゲットをAr等の不活性ガスを用いてスパッタすることにより得られる。
なお、記録膜中のGeは比較的酸化し易い。出発原料のスパッタリング・ターゲット、およびスパッタに用いるAr等の不活性ガス中には、微量ながら酸素が含まれる。そのため、該記録膜には微量の酸素の混入は避けられない。また、該記録膜と接する層に酸化物薄膜を用いる場合、酸素は微量に記録膜中に拡散するため更に酸素量は増えることになる。このように記録膜にGe、Sb、およびTe以外に酸素(O)などが検出されても、この発明の趣旨を逸脱するものではない。記録膜についても同様にスパッタリング・ターゲットの組成と種々の条件で形成された薄膜の組成との間には若干の組成ずれがあることは良く知られている。一般的には±1[at.%]程度の差は、特別な場合を除いては同じ組成と認識されていると言える。
前記記録膜は、少なくともGeとSbとTeとを含有し、上記に示した範囲内の組成を元にして、その一部をBiおよび/またはインジウムInおよび/またはスズSnで置換したものでもよい。置換後の組成を(Ge(1-w) Snwx (Sbv (Bi(1-u) In u(1-v)y Tezかつx+y+z=100で表したときに、この組成におけるw、vおよびuが、0≦w<0.5かつ0≦v<0.7かつ0≦u≦1.0を満たすものが好適である。該記録膜は、前記組成のスパッタリング・ターゲットを用いて、該スパッタリング・ターゲットをAr等の不活性ガスを用いてスパッタすることにより得られる。
前述したように、記録膜中のGeは比較的酸化し易い。出発原料のスパッタリング・ターゲット、およびスパッタに用いるAr等の不活性ガス中には、微量ながら酸素が含まれる。そのため、該記録膜には微量の酸素の混入は避けられない。また、該記録膜と接する層に酸化物薄膜を用いる場合、酸素は微量に記録膜中に拡散するため更に酸素量は増えることになる。このように記録膜にGe、Sb、Te、およびSn/Bi/In以外に酸素(O)などが検出されてもこの発明の趣旨を逸脱するものではない。
前記記録膜が、少なくともGeとBiとTeとを含有し、その組成をGexBiyTez かつx+y+z=100とするとき、GeBiTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成が好適である。該記録膜は、前記記載の組成のスパッタリング・ターゲットを用いて、該スパッタリング・ターゲットをAr等の不活性ガスを用いてスパッタすることにより得られる。
前述したように、記録膜中のGeは比較的酸化し易い。出発原料のスパッタリング・ターゲット、およびスパッタに用いるAr等の不活性ガス中には、微量ながら酸素が含まれる。そのため、該記録膜には微量の酸素の混入は避けられない。また、該記録膜と接する層に酸化物薄膜を用いる場合、酸素は微量に記録膜中に拡散するため更に酸素量は増えることになる。このように記録膜にGe、Bi、およびTe以外に酸素(O)などが検出されてもこの発明の趣旨を逸脱するものではない。
前記記録膜は、少なくともGeとSbとTeとN(窒素)を含有し、うちGe、Sb、Teの間の組成をGexSbyTez かつx+y+z=100であらわす。このとき、GeSbTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成領域のGeSbTe系化合物にN(窒素)を1〜5at.%添加することが好ましい。
なお、添加された窒素は膜中で常に均一に分布するとは限らず、成膜条件条件によっては分布に不均一が生じることがある。その場合には、添加しようとした膜中の中の総量で添加量を分析し、評価する必要がある。また、記録膜と接する層に窒素が含まれる場合には、この記録膜と接する層から窒素が拡散することがある。記録膜は、前記記載の組成のスパッタリング・ターゲットを用いて、該スパッタリング・ターゲットをAr等の不活性ガスを用いてスパッタすることにより得られる。
この例でもやはり、記録膜中のGeは比較的酸化し易い。出発原料のスパッタリング・ターゲット、およびスパッタに用いるAr等の不活性ガス中に微量ながら酸素が含まれる。加えて、スパッタガスに窒素(N2)を含むガスを用いる場合には、スパッタガス中に微量の酸素(O)がやはり含まれる。そのため、該記録膜には微量の酸素の混入は避けられない。また、該記録膜と接する層に酸化物薄膜を用いる場合、酸素は微量に記録膜中に拡散するため更に酸素量は増えることになる。このように記録膜にGe、Sb、およびTe以外に酸素(O)などが検出されてもこの発明の趣旨を逸脱するものではない。
前記記録膜は、少なくともGeとSbとTeとN(窒素)を含有し、うちGe、Sb、Teの間の組成をGexSbyTez かつx+y+z=100であらわす。このとき、GeSbTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた範囲内の組成を元にして、その一部をBiおよび/またはインジウムInおよび/またはスズSnで置換する。置換後の組成を(Ge(1-w) Snwx (Sbv (Bi(1-u) In u(1-v)y Tezかつx+y+z=100で表したときに、この組成におけるw、vおよびuが、0≦w<0.5かつ0≦v<0.7かつ0≦u≦1.0を満たすものが好適である。この場合、該組成領域のGeSnSbTe、GeSnSbTeIn、GeSbTeIn、GeSbTeBiIn、GeSbSnTeBiIn、GeSbTeBi、GeSnSbTeBi、GeBiTeIn、GeSnSbTeBiIn系化合物にN(窒素)を1〜5at.%添加することが好ましい。
なお、添加された窒素は膜中で常に均一に分布するとは限らず、成膜条件条件によっては分布が生じることがある。その場合には、添加しようとした膜中の中の総量で添加量を分析し、評価する必要がある。また、記録膜と接する層に窒素が含まれる場合には、この記録膜と接する層から窒素が拡散することがある。
記録膜は、前記記載の組成のスパッタリング・ターゲットを用いて、該スパッタリング・ターゲットをAr等の不活性ガスを用いてスパッタすることにより得られる。こちらも同様になお、記録膜中のGeは比較的酸化し易い。出発原料のスパッタリング・ターゲット、およびスパッタに用いるAr等の不活性ガス中に微量ながら酸素が含まれる。加えて、スパッタガスに窒素(N2)を含むガスを用いる場合には、スパッタガス中に微量の酸素(O)が含まれる。そのため、該記録膜には微量の酸素の混入は避けられない。また、該記録膜と接する層に酸化物薄膜を用いる場合、酸素は微量に記録膜中に拡散するため更に酸素量は増えることになる。このように記録膜にGe、Sb、Te、Sn/Bi/In以外に酸素(O)などが検出されてもこの発明の趣旨を逸脱するものではない。
前記記録膜が、少なくともGeとBiとTeとN(窒素)を含有し、うちGe、Bi、Teの間の組成をGexBiyTezかつx+y+z=100であらわす。このとき、GeBiTe三元相図上で、x=55・z=45と、x =45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで囲まれた組成領域のGeBiTe系化合物にN(窒素)を1〜5at.%添加することが好ましい。
なお、添加された窒素は膜中で常に均一に分布するとは限らず、成膜条件条件によっては分布が生じることがある。その場合には、添加しようとした膜中の中の総量で添加量を分析し、評価する必要がある。また、記録膜と接する層に窒素が含まれる場合には、この記録膜と接する層から窒素が拡散することがある。
記録膜は、前記記載の組成のスパッタリング・ターゲットを用いて、該スパッタリング・ターゲットをAr等の不活性ガスを用いてスパッタすることにより得られる。記録膜中のGeは比較的酸化し易い。出発原料のスパッタリング・ターゲット、およびスパッタに用いるAr等の不活性ガス中に微量ながら酸素が含まれる。加えて、スパッタガスに窒素(N2)を含むガスを用いる場合には、スパッタガス中に微量の酸素(O)が含まれる。そのため、該記録膜には微量の酸素の混入は避けられない。また、該記録膜と接する層に酸化物薄膜を用いる場合、酸素は微量に記録膜中に拡散するため更に酸素量は増えることになる。このように記録膜にGe、Bi、およびTe以外に酸素(O)などが検出されてもこの発明の趣旨を逸脱するものではない。
これらの記録膜の材料系および組成は、必要とされる結晶化速度や媒体の感度、それから媒体の反射率、コントラスト、透過率と言った光学特性などにより選択されるが、上記の範囲が好適である。
この発明の実施の形態のいずれかを実施することにより、クロスイレースが起き難く、あるいは晶質/非晶質間のコントラストが高く、あるいは高線速における消去率が高く、あるいはオーバーライト(OW)サイクル特性及び耐環境性に優れ、あるいは高密度かつ大容量で高速オーバーライト可能な、相変化記録媒体を実現することができる。
なお、この発明は前述した実施の形態に限定されるものではなく、現在または将来の実施段階では、その時点で利用可能な技術に基づき、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。たとえば、この発明の実施において利用される情報記憶媒体は、0.6ミリ基板を貼り合わせた光ディスクに限らず、1.2ミリ基板の表面側に0.1ミリの保護層(または透明シート)を設けた光ディスク(つまり記録層等が形成された1.1ミリ基板に0.1ミリ透明シートを貼り合わせた光ディスク)でもよい。あるいは、0.6ミリ基板の貼り合わせ光ディスクのうちの一方あるいは両方の基板表面側0.1ミリに透明保護層(または透明シート)を設けた光ディスクでもよい。また、この発明の実施の形態では、平均厚が0.1nm以上で1nm以下の極薄酸化膜を例示したが、この下限数値は量産時に必要な数値管理ができるなら、0.1nm以下であってもよい。また、極薄酸化膜の平均厚を示す上限数値および上限数値は有効数1桁で規定されある程度の幅を許容している。具体的には、量産時には、0.1nm〜1nmの平均厚には±20%〜30%の幅が許容される。また、極薄の薄膜は、いわゆる島状組織を示すこともあり、均一な膜ではないと言われることが学術的にはある。ただし、本発明では膜の平均的な膜厚として示し、これら島状組織であっても本発明の効果を損なうものではない。
また、各実施形態は可能な限り適宜組み合わせて実施してもよく、その場合組み合わせた効果が得られる。さらに、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適当な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
この発明の一実施の形態に係る光記録媒体の断面構造例を説明する図。 記録膜の価電子帯の状態密度の測定で用いる資料の構成を例示する図。 この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の製造装置を説明する図。 この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の製造工程を説明するフローチャート図。 この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の記録膜を構成する元素(Ge,Te等)が偏析または濃度分布を有する状態を例示する図。 この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の界面層(上部界面膜および/または下部界面膜)の材料例を示す図。 界面層の材料にGeNを用いた場合における、GeとNの組成比を例示する図。 この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の記録膜(L0および/またはL1)の材料例を示す図。 界面層がない場合と界面層にSiO2およびY2O3を用いた場合の比較例1〜3を説明する図。 記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度:例えば図20のau11/au12)を、種々な界面層材料の組み合わせに対して測定した結果を例示する図。 結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度:例えば図19のau01/au02)を、図10とは別の界面層材料の組み合わせ(界面層なしの場合も含む)に対して測定した結果を例示する図。 ランド・グルーブ記録形式で記録膜を評価する場合の評価条件を例示する図。 複数サンプルに対する記録膜の評価結果(CNR、SbER、ER)を例示する図。 複数サンプルに対する記録膜の別の評価結果(線速を変えた場合の消去率ER)を例示する図。 種々な組成の記録膜の評価結果(CNR、SbER)を例示する図。 種々な組成の記録膜に少量のNを添加した場合の評価結果(CNR、SbER)を例示する図。 界面層がない場合と界面層にSiO2およびY2O3を用いた場合の比較例1〜3に対する評価結果(CNR、SbER、ER)を例示する図。 界面層にSiO2およびY2O3を用いた場合の比較例2、3に対する別の評価結果(線速を変えた場合のER)を例示する図。 記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)を、界面層がない場合について説明する図。 記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側へ0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比(結晶状態の状態密度/アモルファス状態の状態密度)を、界面層がある場合について説明する図。 この発明の実施の形態に係る光記録媒体の記録膜の好ましい組成範囲を説明するGeSbTe三元相図。 この発明の実施の形態に係る光記録媒体の記録膜の好ましい組成範囲を説明するGeBiTe三元相図。 この発明の実施の形態に係る光記録媒体の記録膜の好ましい組成範囲を説明するGe/Sn-Sb/Bi-Te三元相図(図21のGeおよび/またはSbがSnおよび/またはBiで置換される場合)。 この発明の一実施の形態に係る情報記録再生装置の構成を説明する図。 PRML検出法を用いた信号処理回路の一例を説明する図。 この発明の一実施の形態に係るビタビ復号器の構成を説明する図。 PR(1,2,2,2,1)クラスにおける状態遷移の一例を説明する図。 この発明の一実施の形態に係る光記録媒体(相変化光ディスク)の構造および寸法の一例を説明する図。 書替え形情報記憶媒体または1層構造を有する再生専用形情報記憶媒体における物理セクタ番号の設定方法の一例を説明する図。 2層構造を持った再生専用情報記憶媒体の物理セクタ番号設定方法の一例を説明する図。 書替え形情報記憶媒体における物理セクタ番号設定方法の一例を説明する図。 書替え形情報記憶媒体(片面1層当たり20GBタイプ)における一般パラメータ値の一例を説明する図。 各種情報記憶媒体におけるデータ領域DTAとデータリードアウト領域DTLDO内のデータ構造の比較例を説明する図。 ドライブテストゾーンに試し書きを行う記録パルスの波形(ライトストラテジー)の一例を説明する図。 記録パルス形状の定義例を説明する図。 制御データゾーンCDZとR物理情報ゾーンRIZ内のデータ構造の一例を説明する図。 物理フォーマット情報とR物理フォーマット情報内の情報内容の一例を説明する図。 物理セクタ構造を構成するまでの変換手順の概略を説明する図。 データフレーム内構造の一例を説明する図。 ECCブロック構造の一例を説明する図。 スクランブル後のフレーム配列の一例を説明する図。 POのインターリーブ方法の一例を説明する図。 物理セクタ内の構造例を説明する図。 変調ブロックの構成例を説明する図。 各種情報記憶媒体毎のデータ記録形式(フォーマット)の比較例を説明する図。 各種情報記憶媒体におけるデータ構造の従来例との比較例を説明する図。 各種情報記憶媒体におけるデータ構造の従来例との他の比較例を説明する図。 書替え形情報記憶媒体上に記録される書替え可能データのデータ記録方法の一例を説明する図。 書替え形情報記憶媒体上に記録される書替え可能データのデータランダムシフトの一例を説明する図。 追記形情報記憶媒体上に記録される追記形データの追記方法の一例を説明する図。 POインターリーブ後のECCブロックの詳細構造例を説明する図。 マーク長/先行スペース長の関数として表される記録条件パラメータの一例を説明する図。 追記形情報記憶媒体上に記録される追記形データの追記方法に関する他の例を説明する図。 再生専用形情報記憶媒体(片面1層15GBタイプと片面2層30GBタイプ)における一般パラメータ値の一例を説明する図。 追記形情報記憶媒体(片面1層15GBタイプ)における一般パラメータ値の一例を説明する図。 追記形情報記憶媒体(片面2層30GBタイプ)における一般パラメータ値の一例を説明する図。 物理フォーマット情報とR物理フォーマット情報とアップデートされた物理フォーマット情報内の情報内容の一例を説明する図。 図1の光記録媒体を用いてデジタル映像情報(TV放送番組等)を記録しまたは再生する場合の処理例を説明するフローチャート図。
符号の説明
1(1a、1b)…ポリカーボネート(PC)基板、11(11a、11b)…第1干渉膜(保護膜または誘電体膜)、12(12a、12b)…下部界面膜、13(13a、13b)…記録膜(相変化光記録膜)、14(14a、14b)…上部界面膜、15(15a、15b)…第2干渉膜(保護膜または誘電体膜)、16(16a、16b)…反射膜、17(17a、17b)…第3干渉膜(保護膜または誘電体膜)、18…層間分離層(接着剤層)、19…L0情報層、20…L1情報層、21(21a、21b)…極薄酸化膜層(記録膜を構成する元素を含む層)、100…情報記録媒体(RW/RAM等の相変化光ディスク)。

Claims (18)

  1. 基板および、干渉膜と、原子配列を可逆的に変化させることができる記録膜と、この記録膜に接する結晶化促進膜と、反射膜を含む積層構造を持ち、前記記録膜に対して、光を用いて可逆的に記録または消去が行われる記録媒体において、
    前記記録膜と接する部位からこの記録膜の厚さ方向に、もしくはこの記録膜の面内方向に、前記記録膜を構成する元素が、偏析または濃度分布を有するように構成したことを特徴とする光記録媒体。
  2. 前記記録膜と接する部位に、前記記録膜の構成元素から構成される元素の、平均厚が0.1nm以上で1nm以下の極薄酸化膜を設けることを特徴とする請求項1に記載の光記録媒体。
  3. 前記積層構造が、光学的エンハンスおよび/または熱拡散に寄与する誘電体膜を含んで構成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光記録媒体。
  4. 前記干渉膜が、前記記録膜に対する保護膜として機能することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の光記録媒体。
  5. 前記記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側に0.5[eV]のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比が1.0以上、2.5以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の光記録媒体。
  6. 前記記録膜の価電子帯の状態密度のトップからエネルギー準位の低い側に0.25ないし1.0[eV]の範囲のエネルギー準位における、結晶状態の状態密度とアモルファス状態の状態密度の比が1.0以上、2.5以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の光記録媒体。
  7. 前記結晶化促進膜は前記記録膜の一方面に接する上部界面膜および前記記録膜の他方面に接する下部界面膜により構成され、前記上部界面膜および前記下部界面膜を、前記記録膜の上下で結晶化速度が異なるように制御することを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の光記録媒体。
  8. 前記結晶化促進膜は前記記録膜の一方面に接する上部界面膜または前記記録膜の他方面に接する下部界面膜により構成され、前記上部界面膜および前記下部界面膜を、前記記録膜の上下で結晶化速度が異なるように制御することを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の光記録媒体。
  9. 前記結晶化促進膜が、
    窒化ゲルマニウム、または窒化ゲルマニウム-クロム、または酸化ジルコニウム、または安定化ジルコニア+酸化クロム、または安定化ジルコニア+酸化ケイ素+酸化クロム、またはジルコン+酸化クロム、または酸化ハフニウムを含んで構成されるか、あるいは、
    ハフニウム、酸素、および窒素を含有する化合物で構成されるか、あるいは、
    ジルコニューム、酸素、窒素、およびイットリアを含有する膜で構成されるか、あるいは、
    ジルコニューム、酸素、窒素、およびニオブを含有する膜で構成されるか、あるいは、
    ジルコニューム、酸素、窒素、およびイットリアとニオブを含有する膜で構成されるか、あるいは、
    酸化クロム、または酸化亜鉛、または酸化亜鉛+酸化タンタル、または酸化亜鉛+酸化タンタル+酸化インジウム、または酸化錫、または酸化錫+酸化アンチモン、または酸化錫+酸化タンタル、または酸化錫+酸化ニオブを含んで構成される
    ことを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の光記録媒体。
  10. 前記上部界面膜および前記下部界面膜の一方が、
    窒化ゲルマニウム、または窒化ゲルマニウム-クロム、または酸化ジルコニウム、または安定化ジルコニア+酸化クロム、または安定化ジルコニア+酸化ケイ素+酸化クロム、またはジルコン+酸化クロム、または酸化ハフニュームを含んで構成されるか、あるいは、
    ハフニウム、酸素、および窒素を含有する化合物で構成されるか、あるいは、
    ジルコニューム、酸素、窒素、およびイットリアを含有する膜で構成されるか、あるいは、
    ジルコニューム、酸素、窒素、およびニオブを含有する膜で構成されるか、あるいは、
    ジルコニューム、酸素、窒素、およびイットリアとニオブを含有する膜で構成され、
    前記上部界面膜および前記下部界面膜の他方が、
    酸化クロム、または酸化亜鉛、または酸化亜鉛+酸化タンタル、または酸化亜鉛+酸化タンタル+酸化インジウム、または酸化錫、または酸化錫+酸化アンチモン、または酸化錫+酸化タンタル、または酸化錫+酸化ニオブを含んで構成される
    ことを特徴とする請求項7または請求項8に記載の光記録媒体。
  11. 前記記録膜がゲルマニウムとアンチモンとテルルを含有し、その組成をGexSbyTezかつx+y+z=100で表したときに、
    前記記録膜が、GeSbTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで規定されるエリア内またはそのエリア上の組成を持つように構成されたことを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか1項に記載の光記録媒体。
  12. 前記組成を持つGeSbTe系化合物に窒素が1ないし5at.%添加されたことを特徴とする請求項11に記載の光記録媒体。
  13. 前記記録膜が少なくともゲルマニウムとビスマスとテルルを含有し、その組成をGexBiyTezかつx+y+z=100で表したときに、
    前記記録膜が、GeBiTe三元相図上で、x=55・z=45と、x=45・z=55と、x=10・y=28・z=42と、x=10・y=36・z=54とで規定されるエリア内またはそのエリア上の組成を持つように構成されたことを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか1項に記載の光記録媒体。
  14. 前記組成を持つGeBiTe系化合物に窒素が1ないし5at.%添加されたことを特徴とする請求項13に記載の光記録媒体。
  15. 前記記録膜の組成の一部をビスマスおよび/またはインジウムおよび/またはスズで置換し、置換後の組成を(Ge(1-w) Snwx (Sbv (Bi(1-u) In u(1-v)y Tezかつx+y+z=100で表したときに、この組成におけるw、vおよびuが、0≦w<0.5かつ0≦v<0.7かつ0≦u≦1となるように構成されたことを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか1項に記載の光記録媒体。
  16. 前記組成を持つGeSnSbTe、GeSnSbTeIn、GeSbTeIn、GeSbTeBiIn、GeSbSnTeBiIn、GeSbTeBi、GeBiTeIn、GeSnSbTeBi、GeSnSbTeBiIn系化合物に窒素が1ないし5at.%添加されたことを特徴とする請求項15に記載の光記録媒体。
  17. 請求項1に記載の光記録媒体を用い、この光記録媒体の前記記録膜に対して情報記録を行なう手段と、情報記録された前記記録膜から情報再生を行なう手段を備えた情報記録再生装置。
  18. 請求項1に記載の光記録媒体を用い、この光記録媒体の前記記録膜に対して情報記録を行ない、情報記録された前記記録膜から情報再生を行なうように構成された情報記録再生方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010070901A1 (ja) * 2008-12-16 2010-06-24 パナソニック株式会社 光学的情報記録媒体及びその記録再生方式

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4271116B2 (ja) * 2004-09-29 2009-06-03 株式会社東芝 光記録再生装置
JP4227091B2 (ja) * 2004-10-01 2009-02-18 株式会社東芝 相変化光記録媒体
JP4357454B2 (ja) * 2005-06-08 2009-11-04 株式会社東芝 光記録媒体および光ディスク
JP4542995B2 (ja) * 2006-02-02 2010-09-15 株式会社東芝 相変化記録媒体
WO2009013743A2 (en) * 2007-07-23 2009-01-29 Nir Ben Zeev Prevention of software and movie piracy
JP5188328B2 (ja) * 2008-08-29 2013-04-24 株式会社日立製作所 半導体装置
US8335099B2 (en) * 2009-08-19 2012-12-18 Ocz Technology Group, Inc. Optical memory device and method therefor
GB2502568A (en) * 2012-05-31 2013-12-04 Ibm Memory apparatus with gated phase-change memory cells
GB2502569A (en) * 2012-05-31 2013-12-04 Ibm Programming of gated phase-change memory cells
WO2018094000A1 (en) * 2016-11-18 2018-05-24 Applied Materials, Inc. Methods for depositing amorphous silicon layers or silicon oxycarbide layers via physical vapor deposition
US11654635B2 (en) 2019-04-18 2023-05-23 The Research Foundation For Suny Enhanced non-destructive testing in directed energy material processing
US20240087598A1 (en) * 2022-09-14 2024-03-14 Seagate Technology Llc Fast partial erasure for drive sanitization

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11265521A (ja) * 1998-03-16 1999-09-28 Asahi Chem Ind Co Ltd 光記録媒体
WO2000006391A1 (fr) * 1998-07-31 2000-02-10 Hitachi Maxell, Ltd. Support et procede d'enregistrement d'informations

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58161161A (ja) * 1982-03-19 1983-09-24 Hitachi Ltd 記録用部材
US6033535A (en) * 1990-08-28 2000-03-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording disk and method for manufacturing the same
JPH04133791A (ja) * 1990-09-26 1992-05-07 Ricoh Co Ltd 光記録媒体
US6821707B2 (en) * 1996-03-11 2004-11-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium, producing method thereof and method of recording/erasing/reproducing information
US5849458A (en) * 1997-04-11 1998-12-15 Eastman Kodak Company Recordable optical device including a barrier layer
JP3570169B2 (ja) * 1997-08-22 2004-09-29 松下電器産業株式会社 光学情報記録媒体
KR20000061345A (ko) * 1999-03-25 2000-10-16 구자홍 광 기록 매체 및 그 제조방법
JP2003022580A (ja) * 2001-05-02 2003-01-24 Victor Co Of Japan Ltd 情報記録担体、情報記録担体の製造方法、情報記録担体再生装置及び情報記録担体記録装置
JP3509807B2 (ja) * 2002-03-13 2004-03-22 株式会社日立製作所 情報記録媒体、媒体製造方法、情報記録方法及び再生方法
US7008681B2 (en) * 2002-03-15 2006-03-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium and manufacturing method and recording/reproducing method for the same
JP4006410B2 (ja) * 2003-09-22 2007-11-14 日立マクセル株式会社 情報記録媒体
JP4064905B2 (ja) * 2003-10-29 2008-03-19 株式会社東芝 相変化光記録媒体
JP4357454B2 (ja) * 2005-06-08 2009-11-04 株式会社東芝 光記録媒体および光ディスク

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11265521A (ja) * 1998-03-16 1999-09-28 Asahi Chem Ind Co Ltd 光記録媒体
WO2000006391A1 (fr) * 1998-07-31 2000-02-10 Hitachi Maxell, Ltd. Support et procede d'enregistrement d'informations

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010070901A1 (ja) * 2008-12-16 2010-06-24 パナソニック株式会社 光学的情報記録媒体及びその記録再生方式
US8437235B2 (en) 2008-12-16 2013-05-07 Panasonic Corporation Optical information recording medium and recording/reproducing method therefor
JP5398741B2 (ja) * 2008-12-16 2014-01-29 パナソニック株式会社 光学的情報記録媒体及びその記録再生方式

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