JP2007290304A - 脆性シート材分断方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マザーガラス基板接合体4を、横分離線501a〜501dと縦分離線502a〜502f及び斜め分離線503a〜503fに沿って、波長が紫外線領域以下の短波長レーザ光を照射することにより分断する。マザーガラス基板接合体4が吸着テーブル上の所定位置に載置された際の位置データは、そのアライメントマーク402をCCDカメラにより撮像して得られ、この位置データに基づき、レーザ照射ヘッドの駆動データを設定された上記分離線501a〜501d、502a〜502f、503a〜503fに沿ってレーザ光が正確に照射されるように補正する。
【選択図】 図1
Description
図2及び図3において、基台6には、リニアサーボモータによるX軸(紙面垂直方向)移動機構7が設置されている。このX軸移動機構7は、基台6の表面をX軸方向に自在に摺動するスライダ701と、基台6内部に設置されているステータ部702からなる。ステータ部702には、複数の永久磁石(不図示)が個々のN極とS極を交互に隣接させX軸方向に沿って並設されている。なお、このX軸移動機構7の駆動手段としては、リニアサーボモータ方式に限らず、パルスモータによるボールネジ駆動方式やタイミングベルト駆動方式等も好適に用いられる。
3 枠状シール材
4 マザーガラス基板接合体
401a〜401f セル採取エリア
4011a、4012a
〜4011f、4012f 部分セル区画
5 分離線
501a〜501d 横分離線
502a〜502f 縦分離線
6 基台
7 スライダ
8 吸着ステージ
9a、9b 支持ブロック
11a、11b ガイドレール
12a、12b キャリッジ
13 レーザ照射ヘッド
131 レーザ発振器
132 自在スキャンミラー
133 fθレンズ
14 ヘッド主駆動部
15 ヘッド副駆動部
16 CCDカメラ
17 画像処理部
18 コントローラ
Claims (4)
- 実質的に透明な脆性シート材を予め設定されている分離線に沿って分断する方法であって、
波長が紫外線領域以下のレーザ光を前記脆性シート板の表面上に前記分離線に沿って照射することを特徴とする脆性シート材分断方法 - 前記レーザ光の照射位置と前記脆性シート材とが前記脆性シート材の表面に平行な平面内において直交する2方向へ互いに相対移動され、且つ、前記レーザ光の照射方向が前記平面内における任意の方向に自在に走査されることを特徴とする請求項1に記載の脆性シート材分断方法。
- 前記脆性シート材は、複数の液晶セルを形成するために接合された一対のマザーガラス基板のうちの一方であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のガラス板分断方法。
- 実質的に透明な脆性シート材を予め設定されている分離線に沿って分断する装置であって、
波長が紫外線領域以下のレーザ光を射出するレーザ発光素子と、
前記レーザ発光素子と前記脆性シート材とを前記脆性シート材の表面に平行な平面内において直交するX、Y方向へ互いに相対移動させるX−Y移動機構と、
前記レーザ光の照射方向を前記平面内における任意の方向に自在に走査させるレーザ光走査機構とを有することを特徴とする脆性シート材分断装置。
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