JP4666391B2 - ガラス基板の分断方法 - Google Patents
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Description
通常、カッターホイールを用いて脆性材料基板のスクライブを行った場合には、カッターホイールによって脆性材料基板に付与される機械的な応力によって基板の欠陥が生じやすく、ブレイクを行った際に上記欠陥に起因する割れ等が発生する。
これに対して、レーザビームを用いて脆性材料基板のスクライブを行う場合には、熱応力を利用する為、工具を直接、基板に押さえつけることがないため、分断面は欠け等の少ない平滑な面となり、基板の強度が維持される。すなわち、レーザビームを用いた脆性材料基板のスクライブでは、非接触加工であるため、上記した潜在的欠陥の発生が抑えられ、ブレイクを行った際に脆性材料基板に発生する割れ等の損傷を抑えることができる。
したがって、図10(c)に示した第1のブレイクB11、B12の場合と同様の方法で、負荷Fでブレイクを行っても、3つに分断された分割マザー基板G1、G2、G3のうち、少なくとも分割マザー基板G2には、トリガが存在しないため、第1のスクライブラインS11、S12に沿って容易に分断することができない。強引に、マザー基板G2を、第1のスクライブラインS11、S12に沿ってブレイクしようとすれば、荷重F以上の大きな荷重を与えて、第2のブレイクB21、B22を行わねばならない。特に基板の板厚が大きい場合(基板の材質にもよるが、例えば、板厚2mm以上の場合)には、ブレイクの際の負荷が大きい。
一方、第1スクライブラインS11、S12を深いクラックで形成しようとすると、レーザビーム移動速度を低くするか又はレーザ出力を大きくすることが必要となり、実用上十分なレーザビーム移動速度が確保できなかったり、ブレイク後の分断面の品質が大幅に低下したりするという問題があった。
(a)第1方向スクライブ工程:レーザビームの相対移動速度及び/又は出力を調整して、第一方向スクライブラインを形成する際のレーザビームのエネルギー密度[=レーザ出力(W)÷ビーム面積(mm 2 )÷(スクライブ速度(mm/s)]が0.016〜0.022J/mm 3 となるようにしてレーザビームを走査し、それによって引張応力を発生させて第1方向スクライブラインを形成する。通常、第1方向スクライブラインを構成する垂直クラックは、ブラインドクラックである。
(b)第2方向スクライブ工程:第1方向スクライブ工程後に、第1方向スクライブライン近傍に発生させた引張応力を利用して、第2方向スクライブライン上の第1方向スクライブラインとの交点近傍に、局所的に第2方向のブレイクの際に起点となるブレイク用トリガクラックを形成させながら第2方向スクライブラインを形成する。通常、第2方向スクライブラインのブレイク用トリガクラック部分以外の部分を構成する垂直クラックは、ブラインドクラックであり、ブレイク用トリガクラックは可視クラックである。例えば、第1方向スクライブラインを形成する際のレーザビームの相対移動速度及び/又は出力を、エネルギー密度[=レーザ出力(W)÷ビーム面積(mm2)÷(スクライブ速度(mm/s)]が所定の閾値以上となるように調整することにより、局所的にブレイク用トリガクラックを形成させながら第2方向スクライブラインを形成することができる。具体的には、第1方向スクライブラインを形成する際に、スクライブラインを形成することができるエネルギー密度の範囲内で、所定の閾値よりも高い範囲のエネルギー密度で第1方向スクライブラインを形成することにより、第2方向スクライブラインを形成する際にブレイク用トリガクラックを形成させることができる。特に限定されるものではないが、脆性材料基板がソーダガラス基板等のガラス基板である場合、第1方向スクライブラインを形成する際のレーザビームのエネルギー密度[=レーザ出力(W)÷ビーム面積(mm2)÷スクライブ速度(mm/s)]を、例えば、0.016〜0.022J/mm3としてもよい。第2方向スクライブライン深さは、第1方向スクライブライン深さよりも浅くてもよいが、深くてもよい。従って、第2方向スクライブラインを形成する際のレーザビームのエネルギー密度を、第1方向スクライブラインを形成する際よりも、減らしてもよいが、増やしてもよい。
(c)第1方向ブレイク工程:第2方向スクライブ工程後に、前記基板を第1方向スクライブラインに沿ってトリガを起点にして負荷を与えてブレイクする。
(d)第2方向ブレイク工程:第1方向ブレイク工程後に、前記基板を第2方向スクライブラインに沿ってトリガまたはブレイク用トリガを起点にして、前記基板に与える負荷が、第1方向ブレイク工程の際に与える負荷と同等、または、それより小さい負荷でブレイクする。
このような基板としては、単板あるいは貼り合わせ基板が含まれ、回路パターンや電極を形成する金属膜や樹脂膜が付いた基板も含まれる。本発明は、例えば、従来の分断方法では、スクライブ後のブレイクの際に大きな加圧力が必要な基板の分断のために有効である。一般に、ソーダガラス基板は、レーザを用いたスクライブ後のブレイクが比較的容易であるが、例えば、プラズマディスプレイパネル(PDP)に用いられる2mm以上(例えば2〜5mm)の厚みを有するソーダガラス基板は、従来の分断方法では、ブレイクの際に大きな加圧力を必要とする。
本発明の脆性材料基板の分断方法が適用される脆性材料基板の具体的な用途としては、液晶表示パネル、プラズマディスプレイパネル(PDP)、有機ELディスプレイパネル、プロジェクター用基板等のフラットパネルディスプレイ用のパネルが挙げられる。本発明において「基板の局所的な体積収縮」とは、ガラスのような非晶質材料が元来有する準安定状態から熱処理等を受けることによってその体積を収縮させる現象を意味する。局所的な体積収縮を起こした基板が表面から冷却されることにより、基板内部に引張応力が発生する。
本発明において「互いに交差する第1方向と第2方向」とは、互いに直交する2方向の場合が最も好ましいが、これに限られず、要するに、交点が形成される2方向であればよい。
レーザビームの相対移動は、レーザビーム側を移動させてもよいし、基板側を移動させてもよいし、XY二次元直交座標系でX方向(Y方向)はレーザビーム側で移動させ、Y方向(X方向)は基板側で移動させてもよい。
熱応力による垂直クラックの発生は、レーザビーム照射による加熱の後に、自然放置による自然空冷を行うことにより発生させることができるが、冷媒を吹き付けて強制冷却することにより熱応力を積極的に発生させて、より確実に発生させるようにするのが好ましい。
例えば、スクライブラインに沿って押圧して、スクライブラインを軸として曲げモーメントを加えることにより、ブレイクすることができる。押圧は、基板に対し直線的に接する圧子を有するブレイクバーを用いてスクライブラインにせん断力を与えることが好ましいが、これに限られない。例えば、ブレイクバーによる押圧とともに基板の押圧側が凹部となるように基板を撓ませるようにして、実質的に押圧するようにしてもよい。
この第1スクライブラインを形成させるためのレーザビーム照射加熱の際に、上述したレーザビーム相対移動速度やレーザビーム出力の調整により、基板表面温度が溶融温度を超えないように制御することが必要であるが、さらに、その温度範囲条件下で、加熱領域をできるだけ高温にすること、すなわち、レーザビーム照射のエネルギー密度を、スクライブが可能な範囲で、できるだけ高くすること(所定の閾値以上に調整すること)が、上記の引張応力を大きく発生させる条件として好ましい。なお、所定の閾値はガラス基板では0.016〜0.022J/mm 3 である。
すなわち、第2方向へのスクライブにより、第2方向スクライブラインが形成されるが、このとき第2方向スクライブラインの第1方向スクライブラインとの交点近傍領域(すなわち引張応力が存在する位置)を構成するクラックと、第2方向スクライブラインの前記交点から離れた領域(引張応力が存在しない位置)を構成するクラックとでは、クラックの性状が異なる。
第2方向スクライブライン上の第1スクライブライン近傍領域では、第2方向スクライブにより生じるクラックによって、第1スクライブライン近傍領域に存在する引張応力が開放されるため、この領域のクラックが閉じきらずに開いた状態で残り、通常は、視認可能な可視クラックとなる。
この可視クラックは、ブレイクを行う際のトリガとして機能するようになる。
一方、後者のクラックは、第1スクライブラインと同様のスクライブラインを形成するクラック(通常はブラインドクラック)である。したがって、交点近傍の第2方向スクライブラインに生じる局所的なクラック部分のみが、ブレイク用トリガクラックとなる。
また、本発明の分断方法によれば、第2スクライブラインを形成する工程中に、同時に第2方向ブレイク工程の際のブレイク用トリガクラックを形成することができるので、別途にブレイク用トリガクラックを形成する工程を組み込む必要がなくなり、ブレイク用トリガクラックを形成する工程を含んだ他の分断プロセスに比較して、工程を簡略化することができる。
上記分断方法において、第1方向のスクライブラインおよび第2方向のスクライブライン(ブレイク用トリガクラック以外の部分)を構成する垂直クラックはブラインドクラックであり、ブレイク用トリガクラックは可視クラックであるようにしてもよい。これにより、第2方向のブレイクは小さい負荷で容易に行うことができ、しかも、トリガ形成の有無(可視クラックの有無)を目視で確認できるので、トリガ形成の有無のチェックが容易となる。
〔装置構成〕
図1は、本発明の一実施形態である分断方法を実施する際に用いられる基板分断システム100の概略構成を示すブロック図である。この基板分断システム100は、スクライブライン形成部200と、ブレイク部300と、これら全体を制御する制御部400とから構成される。スクライブライン形成部200とブレイク部300とは、一体構造にすることもできるが、本実施例では、分離した構造にしている。そのため、周知のロボットハンドからなる基板搬送部500を両者の間に介在させるようにして制御部400にて制御することにより、スクライブライン形成部200からブレイク部300へ基板を搬送し、反転させるようにしている。
レーザビーム走査部202は、図示しない入力機器により予め設定した移動速度で、レーザビーム照射部201をマザー基板Gに対し相対的に移動することにより、マザー基板Gを局所的に加熱する。レーザビーム走査方向変更部203は、マザー基板Gに対するレーザビーム走査部202の走査方向を変更する。
このスクライブ装置200は、水平なXY平面を有する架台11上で、Y方向に沿って往復移動するスライドテーブル12を有している。このスライドテーブル12は、架台11の上面にY方向に沿って平行に配置された一対のガイドレール14、15によりスライド可能に支持されている。両ガイドレール14、15の中間部には、各ガイドレール14、15と平行に、ボールネジ13が、図示しないモータによって回転するようにしてある。ボールネジ13は、正転、逆転可能になっており、このボールネジ13にボールナット16が螺合する状態で取り付けられている。
すなわち、光学ホルダ33、レーザ発振器34、レンズ光学系35は、レーザビーム照射部201に対応する。また、台座19、ボールネジ22、モータ23、ボールナット24からなるX方向駆動機構は、スクライブヘッド31から基板Gに照射されるレーザビームを走査するレーザビーム走査部202に対応する。また、回転機構25は、マザー基板Gを回転することにより、マザー基板Gに対するレーザビーム走査方向を変更することができるので、レーザビーム走査方向変更部203に対応する。
図1に示すように、ブレイク部(ブレイク装置)300は、スクライブ形成部200と同様、制御部400による制御下で、一連の動作を実行する。これらの動作を実行するブレイク部300の装置構成を、機能ブロックごとに分けて説明すると、ブレイクバー位置調整部301およびブレイクバー駆動部302により構成される。
ブレイクバー駆動部302は、ブレイクバー71を駆動することによりブレイクバー71の圧子72をマザー基板Gに当接させ、マザー基板Gに対し負荷を与える。
なお、CCDカメラ78、79により撮影された画像は、モニタ98、99により、目視によっても位置を確認できるようにしてある。
また、昇降機構74は、マザー基板Gに対し、ブレイクバー71を押圧させるブレイクバー駆動部302に対応する。
また、本実施形態では、スクライブライン形成部200からブレイク部300へ基板を反転して搬送するための基板搬送部500を使用しており、制御部400が、この基板搬送部500の制御を行うことにより、マザー基板Gを、スクライブライン形成部200の基準載置位置からブレイク部300の基準載置位置へ反転して搬送している。
次に、上記構成の基板分断システムによる基板分断動作について、図4のフローチャート図、および、図5の工程説明図を用いて説明する。
このとき使用した基板の材質はソーダガラスで、肉厚が2.8mmである。レーザ出力は170Wに固定している。なお、いずれの設定条件の場合も、決して最高到達温度が基板溶融温度には達しない範囲にしてある。
これは、測定の際に、第1スクライブが110mm/sの場合のデータは、すべて1本の長い第1スクライブラインに、順次、第2スクライブ(第1スクライブラインを横断するスクライブ)を行うことによってデータを得ていることに起因する。すなわち、1本のスクライブラインに対する第2スクライブの回数が増すことによって、1本の第1スクライブラインに残る引張応力が次第に緩和され小さくなっていくことになり、本実施例では4回目以降の第2スクライブ後は、上記の引張応力が小さくなって可視クラックを形成することができなくなったものと考えられる。
すなわち、ブレイク用トリガクラックは、可視クラックがあれば確実に形成されていると言えるが、可視クラックが目視確認できない場合であっても、第1方向ブレイクと第2方向ブレイクとの負荷が同じ程度で、第2方向の分断ができる場合は、本発明によるブレイク用トリガクラックは形成されているものと判断することができる。
図9は、厚み2.8mmのソーダガラスを、クロススクライブしたときの第1スクライブについて、スクライブが可能なレーザビームの照射エネルギーの密度[スクライブ可能エネルギー密度(J/mm3)=レーザ出力(W)÷(スクライブ速度(mm/s)×ビームスポットの面積(mm2))]と、第2スクライブの際にブレイク用トリガクラック(可視クラック)が形成されるために必要な第1スクライブのレーザビームの照射エネルギーの密度(クロススクライブ可能エネルギー密度)との関係を示す。図9から読み取れるように、少なくともレーザ出力が150〜210Wの範囲では、スクライブするためには、レーザビームの照射エネルギー密度が0.012〜0.022J/mm3であることが必要であった。一方、第2スクライブ時にブレイク用トリガクラック(可視クラック)を発生させるためには、第1スクライブ時のレーザビームの照射エネルギー密度が0.016〜0.022J/mm3であることが必要であった。
12 スライドテーブル
13 ボールネジ
14、15 ガイドレール
16 ボールナット
19 台座
21 ガイドレール
22 ボールネジ
23 モータ
24 ボールナット
25 回転機構
26 テーブル
31 スクライブヘッド
33 光学ホルダ
34 レーザ発振器
35 レンズ光学系
37 位置読取機構
38、39 CCDカメラ
40 冷却部
41 冷媒源
42 ノズル
45 トリガ形成部(カッターホイール)
52 テーブル
59 台座
61 ガイドレール
62 ボールネジ
63 モータ
64 ボールナット
65 回転機構
66 テーブル
71 ブレイクバー
72 圧子
74 昇降機構
78、79 CCDカメラ
80 位置読取機構
100 基板分断システム
200 スクライブライン形成部
201 レーザビーム照射部
202 レーザビーム走査部
205 レーザビーム走査方向変更部
300 ブレイク部
301 ブレイクバー位置調整部
302 ブレイクバー駆動部
400 制御部
500 基板搬送部
Claims (4)
- ガラス基板上の互いに交差する第1方向および第2方向に対し、基板端にトリガを形成しておくとともに、この順でそれぞれの方向にトリガの位置からレーザビームを相対移動させながら照射して溶融温度未満で加熱し、前記基板に生じる熱応力により垂直クラックからなる第1方向および第2方向のスクライブラインを順次形成した後に、これらのスクライブラインに沿って前記基板をブレイクするガラス基板の分断方法であって、
(a)レーザビームの相対移動速度及び/又は出力を調整して、第1方向スクライブラインを形成する際のレーザビームのエネルギー密度[=レーザ出力(W)÷ビーム面積(mm 2 )÷スクライブ速度(mm/s)]が0.016〜0.022J/mm 3 となるようにしてレーザビームを走査し、それによって引張応力を発生させて第1方向スクライブラインを形成する第1方向スクライブ工程、
(b)第1方向スクライブ工程後に、第1方向スクライブライン近傍に発生させた引張応力を利用して、第2方向スクライブライン上の第1方向スクライブラインとの交点近傍に、第2方向のブレイクの際に起点となるブレイク用トリガクラックを局所的に形成させながら第2方向スクライブラインを形成する第2方向スクライブ工程、
(c)第2方向スクライブ工程後に、前記基板を第1方向スクライブラインに沿ってトリガを起点にして負荷を与えてブレイクする第1方向ブレイク工程、及び、
(d)第1方向ブレイク工程後に、前記基板を第2方向スクライブラインに沿ってトリガまたはブレイク用トリガを起点にして、前記基板に与える負荷が、第1方向ブレイク工程の際に与える負荷と同等、または、それより小さい負荷でブレイクする第2方向ブレイク工程を具備することを特徴とするガラス基板の分断方法。 - 第1方向スクライブラインを構成する垂直クラックおよび第2方向スクライブラインのブレイク用トリガクラック部分以外の部分を構成する垂直クラックがブラインドクラックであり、ブレイク用トリガクラックが可視クラックであることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の分断方法。
- 第1方向スクライブライン深さよりも第2方向スクライブライン深さを深くすることを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の分断方法。
- 第2方向スクライブラインを形成する際のレーザビームのエネルギー密度を、第1方向スクライブラインを形成する際に比べて、増やすことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板の分断方法。
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