JP2007287977A - 固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007287977A JP2007287977A JP2006114442A JP2006114442A JP2007287977A JP 2007287977 A JP2007287977 A JP 2007287977A JP 2006114442 A JP2006114442 A JP 2006114442A JP 2006114442 A JP2006114442 A JP 2006114442A JP 2007287977 A JP2007287977 A JP 2007287977A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric conversion
- solid
- mask
- manufacturing
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体基板1上方の同一平面上に形成された多数の光電変換膜9r,9g,9bと、多数の光電変換膜9r,9g,9bの各々で発生した信号電荷に応じた信号を読み出す信号読み出し部4r,4g,4bとを有する固体撮像素子の製造方法であって、光電変換膜9r,9g,9bの各々を構成する材料を、同一平面上にマスクを介して選択的に順次成膜して、多数の光電変換膜9r,9g,9bを形成する光電変換膜形成工程と、光電変換膜形成工程に先立ち、半導体基板1上方に、前記マスクを載置するためのマスク載置部材10を形成するマスク載置部材形成工程とを含む。
【選択図】図2
Description
n型シリコン基板1上にはpウェル層2が形成されている。以下では、n型シリコン基板1とpウェル層2とを併せて半導体基板という。半導体基板上方には、主としてRの波長領域の光に感度を有し、入射光の内の赤色の入射光量に応じたR信号電荷を発生する多数のR光電変換膜(R膜)9rと、主としてGの波長領域の光に感度を有し、入射光の内の緑色の入射光量に応じたG信号電荷を発生する多数のG光電変換膜(G膜)9gと、主としてBの波長領域の光に感度を有し、入射光の内の青色の入射光量に応じたB信号電荷を発生する多数のB光電変換膜(B膜)9bとを含む多数の光電変換膜が、同一平面上の行方向とこれに直交する列方向に正方格子状に配列されている。図1の例では、列方向に並ぶ多数のR光電変換膜9rからなる光電変換膜列と、列方向に並ぶ多数のG光電変換膜9gからなる光電変換膜列と、列方向に並ぶ多数のB光電変換膜9bからなる光電変換膜列とが、この順番で行方向に繰り返し配列された構成となっている。
第一の電極膜7r,7g,7bは、上記透明導電性材料や、アルミニウム、モリブデン、タングステン、銅、金、インジウム、及びポリシリコン等の導電性材料を用いることができる。
図3に示す例では、マスク載置部材10が、平面視において、各光電変換膜9r,9g,9bの4隅に形成されている。
n+領域3r,3g,3bと、信号読み出し部4r,4g,4bを、従来の単板式カラー固体撮像素子の製造プロセスと同様のプロセスによって形成後、半導体基板上にフォトリソグラフィ法及びエッチングによってパターニングしたコンタクト部5r,5g,5bを形成する。次に、コンタクト部5r,5g,5b上に不透明な絶縁膜6を形成してこれを平坦化し、コンタクト部5r,5g,5bの表面を露出させる。次に、絶縁膜6及びコンタクト部5r,5g,5b上にフォトリソグラフィ法及びエッチングによってパターニングした第一の電極膜7r,7g,7bを形成する。次に、第一の電極膜7r,7g,7b上に透明又は不透明な絶縁膜8を形成してこれを平坦化し、第一の電極膜7r,7g,7bの表面を露出させる。次に、信号読出し部4r,4g,4bのそれぞれの上の絶縁膜6及び絶縁膜8に、フォトリソグラフィ法及びエッチングによって開口を形成し、その後、この開口上に、後に形成すべき各光電変換膜9r,9g,9bの上面よりも高い位置まで到達する膜厚の絶縁材料膜を形成し、この絶縁材料膜をフォトリソグラフィ法及びエッチングによってパターニングして、マスク載置部材10を形成する。このときの状態を示した図が図4(a)である。ここまでの工程では、光電変換膜がまだ存在しないため、フォトリソグラフィ法を使用しても、光電変換膜の特性が劣化することはない。
まず、各光電変換膜9r,9g,9bを形成する前に、図6に示した各チップ領域Cに、第二の電極膜11に外部から電圧を供給するための第二電極膜用電極パッド16を含む多数の電極パッド15を、図12に示すように、各光電変換膜9r,9g,9bが形成される領域17の周りに形成しておく。そして、各光電変換膜9r,9g,9bを形成後、第二電極膜11を形成すべき位置に形成された第一の開口K1と、開口K1の周縁の一部から第二電極膜用電極パッド15の一部の上まで張り出した第二の開口K2とを有するマスクmを介して、例えば蒸着によって第二の電極膜11を形成する。このようなマスクmを用いて第二の電極膜11を形成することで、第二の開口K2を介して形成された第二の電極膜11が、第一の開口K1を介して形成された第二の電極膜11と第二電極膜用電極パッド16との電気的接続を行う接続部の役割を果たし、第二電極膜11の形成と、第二の電極膜11と第二電極膜用電極パッド16との電気的接続とを同時に行うことができる。
信号読出し部4r,4g,4bの各々の構成は同一であるため、信号読出し部4rについて説明する。信号読出し部4rは、出力トランジスタ21と、出力トランジスタ21のゲートに移動した信号電荷をリセットするためのリセットトランジスタ20と、行方向に並ぶ多数の光電変換膜からなる光電変換膜行を選択するための行選択トランジスタ22とを備える。
2 pウェル層
6,8 絶縁膜
5r,5g,5b 接続部
7r,7g,7b 第一電極膜
9r R光電変換膜
9g G光電変換膜
9b B光電変換膜
10 マスク載置部材
11 第二電極膜
12 保護膜
Claims (17)
- 基板上方の同一平面上に配列された多数の光電変換膜と、前記多数の光電変換膜の各々で発生した信号電荷に応じた信号を読み出す信号読み出し部とを有する固体撮像素子の製造方法であって、
前記多数の光電変換膜は、それぞれ異なる波長を検出する2種類以上の光電変換膜に分類され、
前記2種類以上の光電変換膜の各々を構成する材料を、前記同一平面上にマスクを介して選択的に順次成膜して、前記多数の光電変換膜を形成する光電変換膜形成工程と、
前記光電変換膜形成工程に先立ち、前記基板上方に、前記マスクを載置するためのマスク載置部材を形成するマスク載置部材形成工程とを含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記マスク載置部材形成工程では、前記マスク載置部材を、平面視において前記光電変換膜が形成されるべき領域の周囲に点在させて形成する固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記基板には、それぞれに1つの前記固体撮像素子が形成される多数のチップ領域が設けられ、
前記マスク載置部材形成工程では、前記マスク載置部材を、前記多数のチップ領域の各々の周りを囲むように形成する固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記マスク載置部材形成工程では、前記マスク載置部材を、形成すべき前記光電変換膜の上面よりも所定量だけ高い位置に形成する固体撮像素子の製造方法。 - 請求項4記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記所定量が0.1μm〜5μmの範囲である固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれか記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記マスク載置部材が絶縁体である固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれか記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記マスクが磁性体材料で構成され、
前記光電変換膜形成工程では、磁石によって前記マスクを前記基板側に引き寄せた状態で前記光電変換膜を形成する固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1〜7のいずれか記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記多数の光電変換膜と前記基板の間に、前記多数の光電変換膜毎に対応する多数の第一の電極膜を形成する第一の電極膜形成工程と、
前記多数の光電変換膜の上に、前記多数の第一の電極膜の各々に対向し、前記多数の光電変換膜で共通化された第二の電極膜をマスクを介して形成する第二の電極膜形成工程と、
前記第二の電極膜形成工程及び前記光電変換膜形成工程に先立ち、前記第二の電極膜に外部から電圧を供給するための第二電極膜用電極パッドを含む多数の電極パッドを形成する電極パッド形成工程とを含み、
前記第二の電極膜形成工程で用いるマスクは、前記第二電極膜を形成すべき位置に形成された第一の開口と、前記開口の周縁の一部から前記第二電極膜用電極パッドの一部の上まで張り出した第二の開口とを有し、
前記第二の開口を介して形成した前記第二の電極膜により、前記第一の開口を介して形成された前記第二の電極膜と前記第二電極膜用電極パッドとの電気的接続を行う固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1〜8のいずれか記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記マスクの断面開口形状が、前記基板側に向かって細くなるテーパー状となっている固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1〜9のいずれか記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記マスクが、開口の形成された本体部と、前記本体部を前記マスク載置部に向かって支持する支持部とを有する固体撮像素子の製造方法。 - 請求項1〜10のいずれか記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記光電変換膜を構成する材料が有機材料である固体撮像素子の製造方法。 - 基板上方の同一平面上に配列された多数の第一の電極膜と、
前記多数の第一の電極膜の各々の上に形成された多数の光電変換膜と、
前記多数の光電変換膜上に形成された前記多数の光電変換膜で共通の第二の電極膜と、
前記多数の光電変換膜の各々で発生した信号電荷に応じた信号を読み出す信号読み出し部と、
前記多数の光電変換膜の各々の周囲に点在して設けられた部材であって、前記多数の光電変換膜の形成時に用いるマスクを載置するためのマスク載置部材とを備える固体撮像素子。 - 請求項12記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記マスク載置部材が、前記光電変換膜の上面よりも所定量だけ高い位置に形成されている固体撮像素子。 - 請求項13記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記所定量が0.1μm〜5μmの範囲である固体撮像素子。 - 請求項12〜14のいずれか記載の固体撮像素子であって、
前記マスク載置部材が絶縁体である固体撮像素子。 - 請求項12〜15のいずれか記載の固体撮像素子であって、
前記第二の電極膜に外部から電圧を供給するための第二電極膜用電極パッドを備え、
前記第二の電極膜は、平面視において、前記光電変換膜上から前記第二電極膜用電極パッド上まで延びて形成されている固体撮像素子。 - 請求項12〜16のいずれか記載の固体撮像素子であって、
前記光電変換膜を構成する材料が有機材料である固体撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006114442A JP4852336B2 (ja) | 2006-04-18 | 2006-04-18 | 固体撮像素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006114442A JP4852336B2 (ja) | 2006-04-18 | 2006-04-18 | 固体撮像素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007287977A true JP2007287977A (ja) | 2007-11-01 |
JP4852336B2 JP4852336B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=38759452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006114442A Expired - Fee Related JP4852336B2 (ja) | 2006-04-18 | 2006-04-18 | 固体撮像素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4852336B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011216728A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
WO2011155121A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
WO2018139110A1 (ja) * | 2017-01-24 | 2018-08-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子、受光素子の製造方法、撮像素子および電子機器 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1197664A (ja) * | 1997-09-20 | 1999-04-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 電子機器およびその作製方法 |
JP2006024741A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像素子 |
JP2007208139A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子 |
-
2006
- 2006-04-18 JP JP2006114442A patent/JP4852336B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1197664A (ja) * | 1997-09-20 | 1999-04-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 電子機器およびその作製方法 |
JP2006024741A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像素子 |
JP2007208139A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011216728A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子の製造方法 |
WO2011155121A1 (ja) * | 2010-06-08 | 2011-12-15 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
WO2018139110A1 (ja) * | 2017-01-24 | 2018-08-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子、受光素子の製造方法、撮像素子および電子機器 |
JPWO2018139110A1 (ja) * | 2017-01-24 | 2019-11-07 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子、受光素子の製造方法、撮像素子および電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4852336B2 (ja) | 2012-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4987917B2 (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP5644177B2 (ja) | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 | |
CN101494234B (zh) | 固体摄像装置、固体摄像装置制造方法以及照相机 | |
US9349766B2 (en) | Solid-state imaging device | |
JP5219348B2 (ja) | アクティブピクセルセンサーアレイを含むイメージセンサー | |
KR101899595B1 (ko) | 고체 촬상 장치, 고체 촬상 장치의 제조 방법, 및 전자 기기 | |
TWI497702B (zh) | Solid state camera device | |
KR102545845B1 (ko) | 반도체 장치 및 전자 기기 | |
KR102661038B1 (ko) | 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 및 고체 촬상 소자 및 전자 기기 | |
US8872293B2 (en) | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same and electronic apparatus | |
JP5032954B2 (ja) | カラー撮像装置 | |
US9094624B2 (en) | Solid-state imaging apparatus and camera | |
CN105762163A (zh) | 成像装置及电子设备 | |
JP2010282992A (ja) | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 | |
US6794692B2 (en) | Solid-state image pick-up device | |
JP2006245527A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2005353626A (ja) | 光電変換膜積層型固体撮像素子及びその製造方法 | |
JP4852336B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
JP2009049117A (ja) | 固体撮像素子のカラーフィルタ形成方法及び固体撮像素子、並びに固体撮像素子用パターンマスクセット | |
JP2007081140A (ja) | Mosイメージセンサ | |
JP6079804B2 (ja) | 固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器 | |
JP2007208139A (ja) | 固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子 | |
US20220014700A1 (en) | Imaging device | |
JP2009064982A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP5035452B2 (ja) | 固体撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071109 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071116 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071126 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110722 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110902 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110927 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |